CN220543861U - 一种硅片整盒翻转冶具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种硅片整盒翻转冶具，包括片盒支座，所述片盒支座的一端设有片盒靠山和硅片推动机构，所述硅片推动机构能够沿所述片盒支座的两端往复移动。本申请提供的翻转冶具实现了硅片整盒翻面动作，减少了人员单片翻面动作，可高效完成整盒翻面并有效提高人员工作效率；可避免人员在单片翻面时忘记已翻面位置而造成有忘翻与漏翻现象，从而减少客户投诉率；并减少人为单片翻面对硅片造成的损伤；通过本申请提供的翻转冶具可间接提高切片良率及品质。因此，本申请所提供的硅片整盒翻面装置在晶圆加工制造、尤其是晶圆切片剥离工序中具有较好的实用价值和技术改进意义。
Description
技术领域
本实用新型属于硅片生产技术领域，具体涉及一种硅片整盒翻转冶具。
背景技术
在硅晶圆成型制程加工中，有一项重要制程管控参数硅晶圆倾角度，该参数在黏着与切片制程均有进行管控，不同的客户对该参数有不同的管控要求。针对Y轴倾角度为0°产品黏着切片后无正反面之区分，对于Y轴倾角度非0°产品则需进行正反面之区分，若发生面反现象，则Y轴倾角度与客户规格不符，即为混料，严重者会产生客诉风险。该制程参数只有切片站点倾角度量测机台可进行检测，一旦切片站点出错直至出货端都无法检出异常，只能在客户反馈电性异常后才能检出。
黏着工站作业规范规定晶棒头部朝向作业人员一端，导致切片后需进行晶圆正反面之区分，若出现量测Y轴倾角度与客户规范不符，则需整批进行翻面处理，以确保Y轴倾角度符合客户规范。
在确认硅片需进行翻面后，一般需由人工手动进行单片式翻面，该做法较为繁琐且可能在翻面时碰撞硅片导致不良更有甚者会忘记是否翻面，故针对该项目进行改善对提高晶圆良率与人员操作便捷具有重要的技术价值。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于为解决现有技术的不足而提供一种硅片整盒翻转冶具。
本实用新型的目的是以下述技术方案实现的：
一种硅片整盒翻转冶具，包括片盒支座，所述片盒支座的一端设有片盒靠山和硅片推动机构，所述硅片推动机构能够沿所述片盒支座的两端往复移动；
当进行硅片翻面作业时，待翻面片盒以片盒靠山作为基准点置于所述片盒支座上，翻面片盒对准所述待翻面片盒置于所述片盒支座上，所述翻面片盒与所述待翻面片盒放置方向相反，使所述待翻面片盒和翻面片盒的硅片放置表面置于同一水平线上；然后通过所述硅片推动机构的移动将所述待翻面片盒内的硅片推动至所述翻面片盒内。
优选的，所述片盒支座的另一端设有用于避让翻面片盒表面的标签区域和把手的避位槽。
优选的，所述片盒支座的底部设有支撑腿。
优选的，所述硅片推动机构包括导向轴固定器、导向轴、推动支杆和缓冲件；
所述导向轴固定器固定连接于所述片盒支座底部，所述导向轴固定器上设有供所述导向轴穿过的通孔，所述导向轴位于所述通孔内并能够沿所述片盒支座的两端往复移动；
所述推动支杆连接于所述导向轴的一端，所述片盒靠山的中心设有供所述推动支杆通过的开口；
所述缓冲件位于所述推动支杆的端部，用于与所述硅片直接接触；
所述推动支杆和所述缓冲件能够在所述导向轴带动下穿过所述开口推动所述待翻面片盒内的硅片。
优选的，所述导向轴包括两个，呈上下平行布置，且两个所述导向轴之间设有联轴器。
优选的，所述导向轴上设有转换拉手。
优选的，所述缓冲件材质为PU材料。
本申请提供的翻转冶具实现了硅片整盒翻面动作，减少了人员单片翻面动作，可高效完成整盒翻面并有效提高人员工作效率；可避免人员在单片翻面时忘记已翻面位置而造成有忘翻与漏翻现象，从而减少客户投诉率；并减少人为单片翻面对硅片造成的损伤；通过本申请提供的翻转冶具可间接提高切片良率及品质。因此，本申请所提供的硅片整盒翻面装置在晶圆加工制造、尤其是晶圆切片剥离工序中具有较好的实用价值和技术改进意义。
附图说明
图1是片盒的结构示意图；
图2是本实用新型提供的翻转冶具的立体结构示意图；
图3是本实用新型提供的翻转冶具的主视结构示意图；
其中，1-避位槽；2-转换拉手；3-片盒支座；4-片盒靠山；5-支撑腿；6-缓冲件；7-推动支杆；8-导向轴固定器；9-导向轴；10-开口；11-联轴器；12-标签，13-把手。
具体实施方式
本实用新型提供了一种硅片整盒翻转冶具，如图2～3所示，包括片盒支座3，片盒支座用于承载一正一反两片盒用，长度为2个片盒长度；片盒支座3的一端设有片盒靠山4和硅片推动机构，硅片推动机构能够沿片盒支座4的两端往复移动。
当进行硅片翻面作业时，将盛有待翻面硅片的待翻面片盒以片盒靠山作为基准点(使待翻面片盒的底部位置与片盒靠山接触即可)置于片盒支座上，然后取翻面片盒对准待翻面片盒置于片盒支座上，翻面片盒与待翻面片盒放置方向相反，使待翻面片盒和翻面片盒的硅片放置表面置于同一水平线上，以使硅片能够顺利转移；然后通过硅片推动机构的移动将待翻面片盒内的硅片推动至翻面片盒内，硅片转移之后，取出翻面片盒和待翻面片盒并使硅片推动机构复位，即可进行下一批硅片的翻面操作。由于翻面片盒放置方向与待翻面片盒相反，在硅片保持原有方向水平转移至翻面片盒以后，将翻面片盒正向放置，即完成了整盒硅片的翻面作业。
一般情况下，待翻面片盒和翻面片盒结构上相同。如本领域技术人员可以理解的，为了使片盒内的硅片能够顺利转移，待翻面片盒的两端均开口设置，以使硅片推动机构能够进入片盒内并推出硅片，翻面片盒至少与待翻面片盒相对的一端也开口设置，以使硅片能够进入翻面片盒。
如图1所示，为了能够追踪硅片，片盒表面上一般均设置可以录入和识别硅片信息的标签12，该标签一般凸出设置于片盒表面，另外，片盒表面还设有凸出的把手13，因此，本申请为了能够顺利转移硅片，在翻面片盒放置区域设置可以放置标签和把手的避位槽1。如本领域技术人员可以理解的，若待翻面片盒和翻面片盒放置后有某些区域凸出或凹陷而不能使待翻面片盒和翻面片盒的硅片放置表面置于同一水平线上时，在待翻面片盒和翻面片盒放置区域的相应位置设置相应的避位槽和垫块即可。
本申请提供的翻转冶具实现了硅片整盒翻面动作，减少了人员单片翻面动作，可高效完成整盒翻面并有效提高人员工作效率；可避免人员在单片翻面时忘记已翻面位置而造成有忘翻与漏翻现象，从而减少客户投诉率；并减少人为单片翻面对硅片造成的损伤；通过本申请提供的翻转冶具可间接提高切片良率及品质。因此，本申请所提供的硅片整盒翻面装置在晶圆加工制造、尤其是晶圆切片剥离工序中具有较好的实用价值和技术改进意义。
优选的，片盒支座3底部设有支撑腿5，优选支撑腿为4个，分别位于片盒支座底部四角，用于将片盒支座支撑起，方便安装硅片推动机构。
硅片推动机构可采用现有技术中能够进行直线往复移动的结构，如丝杠螺母等。本申请提供一种优选的结构，具体如下：
硅片推动机构包括导向轴固定器8、导向轴9、推动支杆7和缓冲件6。
导向轴固定器8固定连接于片盒支座底部，导向轴固定器上设有供导向轴穿过的通孔，导向轴位于通孔内并能够沿片盒支座的两端往复移动。
推动支杆7连接于导向轴的一端，片盒靠山的中心设有供推动支杆通过的开口10。
缓冲件6位于推动支杆的端部，用于与硅片直接接触，优选为PU材质，目的在于防止与硅片端面接触时造成硅片损伤。
推动支杆和缓冲件能够在导向轴的带动作用下穿过开口进行左右移动，将硅片从正面片盒(待翻面片盒)内推入至反面片盒(翻面片盒)内。通过设置导向轴可加强推动支杆移动时的稳定性，减少对硅片的损伤。进一步优选导向轴为2个，呈上下平行布置，且两个导向轴之间设有联轴器11，可使两个导向轴同步移动。
优选的，导向轴上设有转换拉手2，方便操作人员手持拉动导向轴带动推动支杆左右移动，进一步优选，转换拉手位于导向轴的远离推动支杆的另一端，即如图所示的最左端。
尽管已描述了本实用新型的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本实用新型范围的所有变更和修改。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (7)
1.一种硅片整盒翻转冶具，包括片盒支座，其特征在于，所述片盒支座的一端设有片盒靠山和硅片推动机构，所述硅片推动机构能够沿所述片盒支座的两端往复移动；
当进行硅片翻面作业时，待翻面片盒以片盒靠山作为基准点置于所述片盒支座上，翻面片盒对准所述待翻面片盒置于所述片盒支座上，所述翻面片盒与所述待翻面片盒放置方向相反，使所述待翻面片盒和翻面片盒的硅片放置表面置于同一水平线上；然后通过所述硅片推动机构的移动将所述待翻面片盒内的硅片推动至所述翻面片盒内。
2.如权利要求1所述的硅片整盒翻转冶具，其特征在于，
所述片盒支座的另一端设有用于避让翻面片盒表面的标签区域和把手的避位槽。
3.如权利要求1所述的硅片整盒翻转冶具，其特征在于，
所述片盒支座的底部设有支撑腿。
4.如权利要求1所述的硅片整盒翻转冶具，其特征在于，
所述硅片推动机构包括导向轴固定器、导向轴、推动支杆和缓冲件；
所述导向轴固定器固定连接于所述片盒支座底部，所述导向轴固定器上设有供所述导向轴穿过的通孔，所述导向轴位于所述通孔内并能够沿所述片盒支座的两端往复移动；
所述推动支杆连接于所述导向轴的一端，所述片盒靠山的中心设有供所述推动支杆通过的开口；
所述缓冲件位于所述推动支杆的端部，用于与所述硅片直接接触；
所述推动支杆和所述缓冲件能够在所述导向轴带动下穿过所述开口推动所述待翻面片盒内的硅片。
5.如权利要求4所述的硅片整盒翻转冶具，其特征在于，
所述导向轴包括两个，呈上下平行布置，且两个所述导向轴之间设有联轴器。
6.如权利要求4所述的硅片整盒翻转冶具，其特征在于，
所述导向轴上设有转换拉手。
7.如权利要求4所述的硅片整盒翻转冶具，其特征在于，
所述缓冲件材质为PU材料。
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