CN215969501U - 一种硅片脱胶系统及生产系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种硅片脱胶系统及生产系统，涉及硅片生产技术领域，以解决脱胶架回流至切片下料工位过程中残留的酸液对辊道线的腐蚀与损坏的问题。所述硅片脱胶系统包括：控制器、切片搬运机器人、脱胶机、脱胶架以及用于传送脱胶架的脱胶架输送线；控制器分别与切片搬运机器人、脱胶机以及脱胶架输送线电连接；硅片脱胶系统具有切片取料工位以及沿着脱胶架输送线分布方向的脱胶架装料工位和脱胶机上料工位。所述硅片生产系统包括上述技术方案所提的硅片脱胶系统。本实用新型提供的硅片脱胶系统，用于硅片生产。

Description

一种硅片脱胶系统及生产系统

技术领域

本实用新型涉及硅片生产技术领域，尤其涉及一种硅片脱胶系统及生产系统。

背景技术

在硅片生产技术中，晶棒进行切片后，需要对切片后的晶棒进行脱胶工序。现有技术多采用塑料或橡胶等辊道输送线，将切片后的物料(例如硅片)放置在切片机下料工位的脱胶架中，从切片机下料工位运送到脱胶机上料工位。接着将位于脱胶机上料工位的脱胶架连同物料放置在脱胶机中进行脱胶。当硅片完成脱胶后，再通过人工取料的方式，将硅片从脱胶架中取出，然后将空置的脱胶架放置在辊道输送线上，利用辊道输送线回流至切片下料工位。

在脱胶架回流的过程中，脱胶架上的酸液会滴落在辊道输送线上的塑料或橡胶运输带上，导致传送带等零部件受到腐蚀。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片脱胶系统及生产系统，以解决脱胶架回流至切片下料工位过程中残留的酸液对辊道线的腐蚀与损坏的问题。

第一方面，本实用新型提供一种硅片脱胶系统，硅片脱胶系统包括控制器、切片搬运机器人、脱胶机、脱胶架以及用于传送脱胶架的脱胶架输送线。控制器分别与切片搬运机器人、脱胶机以及脱胶架输送线电连接。硅片脱胶系统具有切片取料工位以及沿着脱胶架输送线分布方向的脱胶架装料工位和脱胶机上料工位。

采用上述技术方案的情况下，当切片取料工位放置有切好的硅片时，控制器控制切片搬运机器人将硅片从切片区的切片取料工位搬运至脱胶区的脱胶架装料工位的脱胶架。在上述硅片中切片区搬运至脱胶区的过程中，切片搬运机器人在不使用脱胶架的前提下，可以直接将硅片搬运至脱胶架装料工位上的脱胶架上。当硅片脱胶完成后，脱胶架输运回脱胶架装料工位，脱胶架不存在回流至切片区的情况，脱胶架输送线仅用于在脱胶区对脱胶架进行输送。由此可见，本实用新型提供的可以利用切片搬运机器人省去脱胶架回流至切片区的流程，避免了酸液对脱胶架输送线的腐蚀与损坏。

在一种可能实现的方式中，硅片脱胶系统还包括用于承载脱胶架的物料移载台，物料移载台位于脱胶架装料工位上，物料移载台与控制器电连接。

采用上述技术方案的情况下，物料移载台位于脱胶架装料工位上，物料移载台用于对脱胶架进行转移、承载以及转向。控制器用于控制物料移载台执行上述动作，物料移载台将脱胶架装料工位上的脱胶架移动至下一个工位，并根据下一个工位的需要将脱胶架进行转向，以使得脱胶架流转至脱胶机的过程更加流畅，提高脱胶区的工作效率。

在一种可能实现的方式中，上述脱胶机的数量为多个。此时，硅片脱胶系统还具有物料分料工位，沿着脱胶架输送线分布方向，物料分料工位位于脱胶架装料工位和脱胶机上料工位之间。硅胶脱胶系统还包括位于物料分料工位的第一传感器和分料装置，第一传感器和分料装置均与控制器电连接。

采用上述技术方案的情况下，第一传感器检测脱胶架流转至物料分料工位时，向控制器发送相应信号。控制器根据第一传感器的信号，并通过根据脱胶机的信息，控制分料装置以及脱胶架输送线将脱胶架输送至脱胶机中。当脱胶区中具有多个脱胶机的时候，物料分料工位的分料装置，可以将脱胶架分流至不同脱胶架输送线支路上，因此多个装有硅片的脱胶架可以流向相应的脱胶机中进行脱胶。从而降低脱胶架在辊道输送线发生堵料的几率。

在一种可能实现的方式中，脱胶架输送线还具有插挡片工位，沿着脱胶架输送线分布方向，插挡片工位位于脱胶架装料工位和脱胶机上料工位之间。硅片脱胶系统还包括与控制器电连接的第二传感器，第二传感器位于插挡片工位。

采用上述技术方案的情况下，第二传感器检测脱胶架流转至插挡片工位时，向控制器发送相应信号。控制器根据第二传感器的信号，停止脱胶架输送线，作业人员进行插挡片工序。

在一种可能实现的方式中，硅片脱胶系统还包括位于插挡片工位的脱胶架转向装置，脱胶架转向装置与控制器电连接。

采用上述技术方案的情况下，脱胶架转向装置可以将插挡片工位的脱胶架进行转向，作业人员在完成一个方向的插挡片工序中，通过脱胶架转向装置将脱胶架转向后进行另一个方向的插挡片工序。从而实现了只需要一名作业人员即可完成插挡片工序，节省了人力成本的投入。

在一种可能实现的方式中，硅片脱胶系统还包括位于脱胶机上料工位的脱胶机上料装置和第三传感器，脱胶机上料装置以及第三传感器均与控制器电连接。

采用上述技术方案的情况下，第三传感器检测脱胶架输送至脱胶机上料工位时，第三传感器向控制器发送相应信号。控制器根据第三传感器的信号，停止脱胶架输送线的运行，并控制脱胶机上料装置将脱胶架上料至脱胶机中，脱胶机随后进行脱胶工序。

在一种可能实现的方式中，硅片脱胶系统还具有脱胶机下料工位。硅片脱胶系统还包括分别与控制器电连接的脱胶机下料装置以及第四传感器，脱胶机下料装置以及第四传感器位于脱胶机下料工位。

采用上述技术方案的情况下，脱胶机完成脱胶后，向控制器发送相应信号。控制器根据脱胶机的信号，控制脱胶机下料装置将脱胶架从脱胶机中下料至脱胶机下料工位。当脱胶架被下料至脱胶机下料工位时，第四传感器检测脱胶架输送至脱胶机下料工位，第四传感器向控制器发送相应信号。控制器根据第四传感器的信号，控制器控制脱胶架输送线将脱胶架输送至脱胶架装料工位。

在一种可能实现的方式中，脱胶架输送线为倍速链输送线或金属辊道输送线。

采用上述技术方案的情况下，倍速链输送线或金属辊道输送线较于塑料或橡胶输送链的耐腐蚀能力更强，在脱胶区中脱胶架输送过程中，倍速链输送线或金属辊道输送线可以即时将酸液漏下，酸液不会长期残留在输送线上。

在一种可能实现的方式中，切片搬运机器人为具有行走轴的搬运机器人。

采用上述技术方案的情况下，具有行走轴的搬运机器人的行进精度高，能够满足硅片的搬运要求。

第二方面，本实用新型还提供一种硅片生产系统，包括第一方面以及第一方面任一种可能实现方式中的硅片脱胶系统。

与现有技术相比，本实用新型提供的硅片生产系统的有益效果与上述技术方案所述硅片脱胶系统的有益效果相同，此处不做赘述。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1和图2为本实用新型实施例提供的硅片脱胶系统的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的控制器的结构示意图。

附图标记：

1-切片搬运机器人，100-控制器，110-处理器，120-存储器，130-通信接口，140-通信线路，150-处理器，2-脱胶机，3-切片下料装置，4-脱胶架输送线，5-切片取料工位，6-脱胶架装料工位，61-物料移载台，7-物料分料工位，71-分料装置，8-插挡片工位，81-脱胶架转向装置。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在硅片生产过程中，脱胶工序(脱胶区)与切片工序(切片区)的物料流转及衔接过程如下：

切片机完成切片后，通过切片机下料装置将切好的硅片下料至切片下料工位中的脱胶架，随后脱胶架通过辊道输送线输送至脱胶区进行脱胶。硅片脱胶完成后，空置的脱胶架再通过辊道输送线回流至切片下料工位，在上述回流过程中，脱胶机的酸液会残留在脱胶架中。随着脱胶架的回流，酸液残留至辊道输送线上。由于现有的辊道输送线多为塑料或橡胶的辊道输送线，酸液会对辊道输送线造成腐蚀与损坏。同时辊道输送线结构复杂，维修难度大，一旦出现上述酸液腐蚀造成辊道输送线需要进行维修，其维修成本大。另一个方面，硅片或脱胶架只能依次在辊道线上输送，输送灵活度低，且有堵料风险。

为了解决上述问题，图1和图2示例出本实用新型实施例提供一种硅片脱胶系统的结构示意图。如图1和图2所示，本实用新型实施例提供一种硅片脱胶系统包括控制器100、切片搬运机器人1、脱胶机2、脱胶架以及输送脱胶架的脱胶架输送线4；控制器100分别与切片搬运机器人1、脱胶机2以及脱胶架输送线4电连接；硅片脱胶系统具有切片取料工位5以及沿着脱胶架输送线4分布方向的脱胶架装料工位6和脱胶机上料工位。

如图1和图2所示，上述切片区的切片下料装置3也与控制器100电连接。切片下料装置3可以向控制器100发送切片下料完成信号，控制器100根据切片下料完成信号控制切片搬运机器人1移动至切片取料工位5。应理解，切片搬运机器人1的切片取料工位5与切片下料装置3的切片下料工位可以是一个工位，也是可以两个工位，两个工位之间可以设置输送装置，在此不再展开说明。为了便于描述，切片搬运机器人1的切片取料工位5与切片下料装置3的切片下料工位是一个工位。

当切片搬运机器人1到达切片取料工位5后，控制器100控制切片搬运机器人1将硅片进行取料。切片搬运机器人1向控制器100发送上料完成信号，控制器100根据上料完成信号控制切片搬运机器人1将硅片从切片取料工位5搬运至脱胶架装料工位6的脱胶架，切片搬运机器人1将硅片从切片取料工位5搬运至脱胶架装料工位6上的脱胶架后，切片搬运机器人1向控制器100发送下料完成信号。接着控制器100根据下料完成信号控制脱胶区物料输送线至少将脱胶架从脱胶架装料工位6输送至脱胶机上料工位，随后进行脱胶上料并进行脱胶。

采用上述技术方案的情况下，当切片取料工位5放置有切好的硅片时，在切片取料工位5上设置与控制器100电连接的传感器，传感器控制器100发送信号；或者是与控制器100电连接的切片下料装置3下料完成后，向控制器100发送信号。控制器100根据传感器或切片下料装置3的信号控制切片搬运机器人1将硅片从切片区的切片取料工位5搬运至脱胶区的脱胶架装料工位6的脱胶架。在上述硅片中切片区搬运至脱胶区的过程中，切片搬运机器人1在不使用脱胶架的前提下，直接将硅片搬运至脱胶架装料工位6上的脱胶架上。硅片脱胶完成后，脱胶架输运回脱胶架装料工位6，脱胶架不存在回流至切片区的情况，脱胶架输送线4仅在脱胶区对脱胶架进行输送。也就是说，通过省去脱胶架回流至切片区的流程，避免了酸液对辊道输送线的腐蚀与损坏。在切片区与脱胶区之间不需要设置辊道输送线，因此较于现有技术，还减少了辊道输运线的使用长度，从而降低了设备的成本投入与后续的维护成本。

在上述技术方案中，采用切片搬运机器人1能解决脱胶架回流带来的问题，但是脱胶工序的工作效率，不仅受制于切片区与脱胶区之间的硅片搬运的效率，还受制于脱胶区中脱胶架的流转的效率。为了进一步提高脱胶工序的整体效率，如图1和图2所示，本实用新型实施例中提供的硅片脱胶系统还可以包括承载脱胶架的物料移载台61。物料移载台61位于脱胶架装料工位6上或物料移载台61位于脱胶架装料工位6，物料移载台61与控制器100电连接。物料移载台61不仅可以承载脱胶架，还可以将脱胶架进行转向与转移。根据脱胶架装料工位6下一个工位需要脱胶架的摆向，控制器100控制物料移载台61将脱胶架进行转向。

例如，物料移载台61的具体实现形式具有多种，其中转移功能可以是通过滚动机构，如辊道、滚轮等机构实现，可以是通过推动机构来实现，如推杆。而转向功能可以是通过电机驱动来实现。以下举例说明，物料移载台61可以包括平台、转动机构与推动机构，转动机构驱动平台转动，推动机构将平台的脱胶架径向推动。

采用上述技术方案的情况下，物料移载台61可以对脱胶架进行转移、承载以及转向。控制器100用于控制物料移载台61执行上述动作，物料移载台61将脱胶架装料工位6上的脱胶架移动至下一个工位，并根据下一个工位的需要将脱胶架进行转向，以使得脱胶架流转至脱胶机2的过程更加流畅，提高脱胶区的工作效率。

在实际使用的场景中，如图1和图2所示，脱胶区中设置有多个脱胶机2，通过脱胶架输送线4连通多个脱胶机2，脱胶架输送线4具有多个支路。针对上述多个脱胶机2的使用场景下，硅片脱胶系统还可以具有物料分料工位7。物料分料工位7沿着脱胶架输送线4分布方向，物料分料工位7位于脱胶架装料工位6和脱胶机上料工位之间。控制器100根据下料完成信号控制物料移载台61将脱胶架从脱胶架装料工位6移动至物料分料工位7。硅胶脱胶系统还可以包括位于物料分料工位7的第一传感器和分料装置71，第一传感器和分料装置71均与控制器100电连接。

当第一传感器检测脱胶架流转至物料分料工位7上，第一传感器向控制器100发送相应信号。控制器100在接收到第一传感器的信号后，通过获取多个脱胶机2的工作状态，例如获取脱胶机2是否具有工作余位。控制器100根据脱胶机2的工作状态，通过分料装置71将位于分料工位脱胶架分流至具有工作余位的脱胶机2的脱胶架输送线4支路上。

例如，分料装置71的具体结构并不限制，分料装置71可以是具有导向机构与转动机构的装置。当脱胶架位于物料分料工位7，分料装置71通过转动机构将脱胶架的运输方向转动至具有工作余位的脱胶机2的脱胶架输送线4支路上，随后通过导向机构将脱胶架进行导向。

除了上述例子，分料装置71还可以是六轴机械手，通过抓取脱胶架，放置到指定支路上实现分流的作用。

采用上述技术方案的情况下，当脱胶区中具有多个脱胶机2的时候，物料分料工位7的分料装置71，可以将脱胶架分流至不同的脱胶架输送线4的支路上，因此多个装有硅片的脱胶架可以流向相应的脱胶机2中进行脱胶。其中第一传感器检测脱胶架是否流转至物料分料工位7上，控制器100获取第一传感器的信号，并通过获取脱胶机2的信息，控制分料装置71以及脱胶架输送线4将脱胶架输送至指定的脱胶机2中。也即是说，通过物料分料工位7的分料装置71，降低脱胶架在脱胶架输送线4发生堵料的几率。

通过上述技术方案，可以对物料(脱胶架或硅片)进行分流，而在脱胶架被上料至脱胶机2之前，脱胶工序还需要对硅片进行插挡片工作。在现有技术中，插挡片工序多为人工进行插片。为了提高插挡片的工作效率，减少人力成本的投入，提高自动化程度。如图1和图2所示，脱胶架输送线4还可以具有插挡片工位8，沿着脱胶架输送线4分布方向，插挡片工位8位于脱胶架装料工位6和脱胶机上料工位之间，也就是说插挡片工位8可以设置在物料分料工位7之前或物料分料工位7之后。

硅片脱胶系统还可以包括与控制器100电连接的第二传感器，第二传感器位于插挡片工位8，控制器100根据下料完成信号控制脱胶架输送线4将脱胶架从脱胶架装料工位6输送至插挡片工位8。第二传感器检测脱胶架到达插挡片工位8时，控制器100根据第二传感器的信号控制脱胶架输送线4停止输送，作业人员根据指示进行插挡片工序。

由于硅片的插挡片每次只能进行一个方向的插挡片，因此在传统的插挡片工序中，是需要配置两名作业人员，分别在脱胶架的对面进行插挡片。为了节省人力的投入，硅片脱胶系统还可以包括位于插挡片工位8的脱胶架转向装置81，脱胶架转向装置81与控制器100电连接。当脱胶架位于脱胶架装料工位6，控制器100控制脱胶架转向装置81在脱胶架中插挡片过程中对脱胶架进行转向；当完成脱胶架插挡片的情况下，控制器100控制脱胶架输送线4将脱胶架从插挡片工位8输送至脱胶机上料工位。

为了便于作业人员操作脱胶架转向装置81将脱胶架进行180°转向，硅片脱胶系统还可以包括与控制器100电连接的转向确认按钮。作业人员在完成一个方向的插挡片之后，通过触发上述转向确认按钮，控制器100通过获取转向确认按钮的信号，控制脱胶架转向装置81在脱胶架中插挡片过程中对脱胶架进行转向。在完成两个方向的插片后，作业人员通过双击转向确认按钮，控制器100通过获取转向确认按钮的双击信号控制器100控制脱胶架输送线4将脱胶架从插挡片工位8输送至脱胶机上料工位。又或者是，硅片脱胶系统还可以包括与控制器100电连接的插片完成确认按钮，控制器100根据插片完成确认按钮的信号，控制器100控制脱胶架输送线4将脱胶架从插挡片工位8输送至脱胶机上料工位。

采用上述技术方案的情况下，第二传感器检测脱胶架流转至插挡片工位8时，向控制器100发送相应信号。控制器100根据第二传感器的信号，停止脱胶架输送线4，作业人员进行插挡片工序。脱胶架转向装置81可以将插挡片工位8的脱胶架进行转向，作业人员在完成一个方向的插挡片工序中，通过脱胶架转向装置81将脱胶架转向后进行另一个方向的插挡片工序，实现了只需要一名作业人员即可完成插挡片工序，节省了人力成本的投入。

在完成上述插挡片工序后，脱胶架被输送至脱胶机上料工位，随后进行脱胶。如图1和图2所示，本实用新型实施例提供的硅片脱胶系统还可以包括位于脱胶机上料工位的脱胶机2上料装置和第三传感器，脱胶机2上料装置以及第三传感器均与控制器100电连接。第三传感器检测脱胶架是够输送至脱胶机上料工位，控制器100通过获取第三传感器的信号，根据脱胶上料信号控制脱胶架上料装置将脱胶架从脱胶机上料工位上料至脱胶机2。

采用上述技术方案的情况下，第三传感器检测脱胶架是否输送至脱胶机上料工位，控制器100通过获取第三传感器的信号，控制脱胶机2上料装置将脱胶架上料至脱胶机2中，脱胶机2随后进行脱胶工序。

在采用上述技术方案后，硅片完成了脱胶，作业人员收集硅片后，需要将空的脱胶架放置在脱胶架装料工位6上。切片搬运机器人1在将硅片放置到脱胶架装料工位6的脱胶架上，进行下一次脱胶工序。为了实现更高的自动化，本实用新型实施例提供的硅片脱胶系统还可以具有脱胶机2下料工位，硅片脱胶系统还可以包括分别与控制器100电连接的脱胶机2下料装置以及第四传感器，脱胶机2下料装置以及第四传感器位于脱胶机2下料工位。控制器100根据脱胶机2的工作状态，在脱胶机2完成脱胶后，控制器100还控制将脱胶架从脱胶机2中取出，当脱胶架从脱胶机2中下料至脱胶机2下料工位时，第四传感器检测到脱胶架位于脱胶机2下料工位并通过向控制器100发送信号，控制器100根据第四传感器的信号控制脱胶架输送线4将脱胶架输送至脱胶架装料工位6。

采用上述技术方案的情况下，脱胶架从脱胶机2回流至脱胶架装料工位6实现了自动化操作，节省了人力成本的投入。

采用脱胶架输送线4进行脱胶架回流至脱胶架装料工位6之前，为了减少酸液对脱胶架输送线4的腐蚀，硅片脱胶系统还可以包括位于脱胶机2下料工位的清洗装置。清洗装置与控制器100电连接，控制器100通过获取第四传感器的信号，控制器100控制清洗装置对脱胶架进行清洗，以去除酸液。清洗装置向控制器100发送清洗完毕信号。随后控制器100根据清洗完毕信号控制脱胶架输送线4将脱胶架输送至脱胶架装料工位6。

需要说明的是，上述脱胶架输送线4用于输送脱胶架，其本身可以是连续的也可以是不连续的。也就是说，上述各个工位之间设置的设备，可以通过脱胶架输送线4进行连接。

另一个方面，针对传统的塑料或橡胶辊道线，为了进一步提高脱胶架输送连的耐腐蚀能力，脱胶架输送线4可以为倍速链输送线或金属辊道输送线。

采用上述技术方案的情况下，倍速链输送线或金属辊道输送线较于塑料或橡胶输送链的耐腐蚀能力更强，在脱胶区中脱胶架输送过程中，倍速链输送线或金属辊道输送线可以即时将酸液漏下，酸液不会长期残留在输送线上。

在上述任一种技术方案中，切片搬运机器人1为具有行走轴的搬运机器人。

采用上述技术方案的情况下，具有行走轴的搬运机器人的行进精度高，能够满足硅片的搬运要求。

需要说明的是，上述第一传感器、第二传感器、第三传感器以及第四传感器可以是接近开关或行程开关或其他类型的传感器。具体的器件形式结合所在工位以及工位上的装置进行选用，在此不作限定。

还需要说明的是，本实用新型实施例提供的硅片脱胶系统，并没有采用新设计的设备，均是采用现有的设备。本实用新型实施例提供的硅片脱胶系统旨在通过合理布局各个工位与相应的设备，优化设备之间的协作，优化工位的衔接，从而实现提高脱胶的效率。本实用新型实施例提供的硅片脱胶系统并未对控制器100与设备之间的控制方法或连接方式进行限定，本领域人员可以采用现有的设备以及程序或算法进行上述系统的实施。

本实用新型还提供一种硅片生产系统，包括上述任一种可能实现方式中的硅片脱胶系统。

与现有技术相比，本实用新型提供的硅片生产系统的有益效果与上述技术方案所述硅片脱胶系统的有益效果相同，此处不做赘述。

图3示例出本实用新型实施例提供的控制器100的结构示意图。如图3所示，图3示出了本实用新型实施例提供的一种控制器100的硬件结构示意图。如图3所示，该控制器100包括处理器110和通信接口130。

如图3所示，上述处理器110可以是一个通用中央处理器110(central processingunit，CPU)，微处理器110，专用集成电路(application-specific integrated circuit，ASIC)，或一个或多个控制本实用新型方案程序执行的集成电路。上述通信接口130可以为一个或多个。通信接口130可使用任何收发器一类的装置，与其他设备或通信网络通信。

如图3所示，上述控制器100还可以包括通信线路140。通信线路140可包括一通路，在上述组件之间传送信息。

可选的，如图3所示，该控制器100还可以包括存储器120。存储器120存储执行本实用新型方案的计算机执行指令，并由处理器110来控制执行。处理器110执行存储器120中存储的计算机执行指令，从而实现本实用新型实施例提供的控制器100控制各个装置或设备的过程。

如图3所示，存储器120可以是只读存储器120(read-only memory，ROM)或可存储静态信息和指令的其他类型的静态存储设备，随机存取存储器120(random accessmemory，RAM)或者可存储信息和指令的其他类型的动态存储设备，也可以是电可擦可编程只读存储器120(electrically erasable programmable read-only memory，EEPROM)、只读光盘(compact disc read-only memory，CD-ROM)或其他光盘存储、光碟存储(包括压缩光碟、激光碟、光碟、数字通用光碟、蓝光光碟等)、磁盘存储介质或者其他磁存储设备、或者能够携带或存储具有指令或数据结构形式的期望的程序代码并能够由计算机存取的任何其他介质，但不限于此。存储器120可以是独立存在，通过通信线路140与处理器110相连接。存储器120也可以和处理器110集成在一起。

可选的，本实用新型实施例中的计算机执行指令也可以称之为应用程序代码，本实用新型实施例对此不作具体限定。

在具体实现中，作为一种实施例，如图3所示，处理器110可以包括一个或多个CPU，如图3中的CPU0和CPU1。

在具体实现中，作为一种实施例，如图3所示，控制器100可以包括多个处理器110，如图3中的处理器110和处理器150。这些处理器110中的每一个可以是一个单核处理器，也可以是一个多核处理器。

在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种硅片脱胶系统，其特征在于，所述硅片脱胶系统包括控制器、切片搬运机器人、脱胶机、脱胶架以及用于传送所述脱胶架的脱胶架输送线；所述控制器分别与所述切片搬运机器人、所述脱胶机以及所述脱胶架输送线电连接；所述硅片脱胶系统具有切片取料工位以及沿着所述脱胶架输送线分布方向的脱胶架装料工位和脱胶机上料工位。

2.根据权利要求1所述的硅片脱胶系统，其特征在于，所述硅片脱胶系统还包括用于承载所述脱胶架的物料移载台，所述物料移载台位于所述脱胶架装料工位上，所述物料移载台与所述控制器电连接。

3.根据权利要求1所述的硅片脱胶系统，其特征在于，所述脱胶机的数量为多个，所述硅片脱胶系统还具有物料分料工位，沿着所述脱胶架输送线分布方向，所述物料分料工位位于所述脱胶架装料工位和所述脱胶机上料工位之间；

所述硅片脱胶系统还包括位于所述物料分料工位的第一传感器和分料装置，所述第一传感器和所述分料装置均与所述控制器电连接。

4.根据权利要求1所述的硅片脱胶系统，其特征在于，所述硅片脱胶系统还具有插挡片工位，沿着所述脱胶架输送线分布方向，所述插挡片工位位于所述脱胶架装料工位和所述脱胶机上料工位之间；

所述硅片脱胶系统还包括与所述控制器电连接的第二传感器，所述第二传感器位于所述插挡片工位。

5.根据权利要求4所述的硅片脱胶系统，其特征在于，所述硅片脱胶系统还包括位于所述插挡片工位的脱胶架转向装置，所述脱胶架转向装置与所述控制器电连接。

6.根据权利要求1所述的硅片脱胶系统，其特征在于，所述硅片脱胶系统还包括位于所述脱胶机上料工位的脱胶机上料装置和第三传感器，所述脱胶机上料装置以及所述第三传感器均与所述控制器电连接。

7.根据权利要求1所述的硅片脱胶系统，其特征在于，所述硅片脱胶系统还具有脱胶机下料工位，所述硅片脱胶系统还包括分别与所述控制器电连接的脱胶机下料装置以及第四传感器，所述脱胶机下料装置以及所述第四传感器位于所述脱胶机下料工位。

8.根据权利要求1-7任一项所述的硅片脱胶系统，其特征在于，所述脱胶架输送线为倍速链输送线或金属辊道输送线。

9.根据权利要求1-7任一项所述的硅片脱胶系统，其特征在于，所述切片搬运机器人为具有行走轴的搬运机器人。

10.一种硅片生产系统，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的硅片脱胶系统。

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