CN214875777U - 一种晶圆覆膜装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆覆膜装置，涉及芯片加工技术领域，具体为包括固定底板，固定底板的上表面固定连接有支撑板，支撑板的顶端固定连接有连接块，连接块的顶端固定连接有电动液压推杆，电动液压推杆的活动端固定连接有固定块，固定块的一侧插接有支撑轴，支撑轴的一端通过连块固定连接有圆板，圆板的中部转动连接有转动轴，转动轴的一侧固定连接有U形架，U形架的内部滑动连接有连接杆。通过转动轴、U形架、连接杆、拉伸弹簧、滑动块和伺服电机的设置，在使用的过程中可以实现自动化切割薄膜，从而起到了保证每次切割的形状相同的作用，降低切割薄膜过程中出现偏差，达到了提高工作效率和覆膜质量的目的。

Description

一种晶圆覆膜装置

技术领域

本实用新型涉及芯片加工技术领域，具体为一种晶圆覆膜装置。

背景技术

目前晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在晶圆上可加工制作成各种电路元件结构，晶圆是由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶圆。晶圆制作完成后需要在其表面覆膜，以保护晶圆，避免晶圆磨损。

传统的晶圆覆膜的切割通常是人工操作，将薄膜覆盖在晶圆上，工人握持切刀沿着晶圆周边转动一圈从而实现薄膜的切割，但是手工切割薄膜的过程中，由于切割人员不能保证每次切割的形状相同，时常会因为切割薄膜出现偏差，进而影响覆膜的效果，并且外围的薄膜由于没有贴附在晶圆上且没有被压紧处于自由的状态，切刀转动时会给这部分薄膜施加一个旋向的作用力，从而导致薄膜被拉扯发生形变和褶皱，影响晶圆贴膜的质量。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆覆膜装置，解决了上述背景技术中提出的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种晶圆覆膜装置，包括固定底板，所述固定底板的上表面固定连接有支撑板，所述支撑板的顶端固定连接有连接块，所述连接块的顶端固定连接有电动液压推杆，所述电动液压推杆的活动端固定连接有固定块，所述固定块的一侧插接有支撑轴，所述支撑轴的一端通过连块固定连接有圆板，所述圆板的中部转动连接有转动轴，所述转动轴的一侧固定连接有U形架，所述U形架的内部滑动连接有连接杆，所述连接杆的一侧固定连接有拉伸弹簧，所述拉伸弹簧的另一端与转动轴的一侧固定连接，所述圆板的下表面设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑动块，所述滑槽和滑动块的一端均设置为T形，所述滑槽设为多个，且尺寸均不相同，所述滑动块的底面固定连接有切割刀，所述滑动块与连接杆可拆卸连接，所述转动轴底端转动连接有固定柱，所述圆板的上表面固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端与转动轴固定连接。

可选的，所述支撑轴的一端贯穿固定块，并延伸至固定块的外部，所述支撑轴延伸至固定块外部的一端固定连接有转动块，所述转动块的一侧螺纹连接有限位杆，所述限位杆的一端与固定块的一侧抵接。

可选的，所述连接块的内部设有运动槽，所述运动槽的一侧固定连接有压缩弹簧，所述压缩弹簧的另一端固定连接有压板，所述压板的一侧抵接有薄膜。

可选的，所述固定底板的上表面固定连接有升降装置，所述升降装置包括安装板，所述安装板的一侧通过连轴铰接有转动杆，所述转动杆另一端的一侧通过连轴铰接有连接座，所述连接座的一侧固定连接有传动块，所述传动块的中部螺纹连接有双向螺纹杆，所述双向螺纹杆的一端固定连接有限位块。

可选的，所述升降装置的顶部固定连接有放置板，所述放置板的上表面开设有滑槽，所述滑槽的一侧固定连接有伸缩弹簧，所述伸缩弹簧的另一端固定连接有支撑块，所述支撑块的顶部固定连接有L卡板。

可选的，所述连接杆的一侧插接有L推杆，所述连接杆的内部设有安装槽，所述安装槽的一侧固定连接有连接弹簧，所述连接弹簧的另一端与L推杆固定连接有，所述L推杆的一侧固定连接有卡接杆，所述滑动块的内部设有卡接槽，所述卡接杆的一端插接在卡接槽内。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种晶圆覆膜装置，具备以下有益效果：

1、该一种晶圆覆膜装置，通过转动轴、U形架、连接杆、拉伸弹簧、滑动块和伺服电机的设置，在使用的过程中可以实现自动化切割薄膜，从而起到了保证每次切割的形状相同的作用，降低切割薄膜过程中出现偏差，达到了提高工作效率和覆膜质量的目的。

2、该一种晶圆覆膜装置，通过固定柱、压缩弹簧和压板的配合设置，在使用的过程中可以对薄膜进行压紧固定，从而避免薄膜被拉扯发生形变和褶皱，影响晶圆覆膜的质量，通过L推杆、连接弹簧和卡接杆的配合设置，在使用的过程中可以对滑动块进行拆卸，根据晶圆尺寸大小将滑动块放入相应的滑槽内，从而起到了可以对多种尺寸的晶圆覆膜进行切割的作用，达到了便于操作、适用范围广和提高实用性的目的。

附图说明

图1为本实用新型立体结构示意图；

图2为本实用新型正视结构示意图；

图3为本实用新型连接块侧视结构示意图；

图4为本实用新型圆板仰视结构示意图，

图5为本实用新型连接杆俯视剖视结构示意图。

图中：1、固定底板；2、支撑板；3、连接块；4、电动液压推杆；5、固定块；6、支撑轴；7、圆板；8、转动轴；9、U形架；10、连接杆；11、拉伸弹簧；12、滑动块；13、切割刀；14、伺服电机；15、压缩弹簧；16、压板；17、薄膜；18、安装板；19、转动杆；20、传动块；21、双向螺纹杆；22、放置板；23、伸缩弹簧；24、支撑块；25、L卡板；26、L推杆；27、连接弹簧；28、卡接杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

请参阅图1至图5，本实用新型提供技术方案：一种晶圆覆膜装置，包括固定底板1，固定底板1的上表面固定连接有支撑板2，支撑板2的顶端固定连接有连接块3，连接块3的顶端固定连接有电动液压推杆4，电动液压推杆4的活动端固定连接有固定块5，固定块5的一侧插接有支撑轴6，支撑轴6的一端贯穿固定块5，并延伸至固定块5的外部，支撑轴6延伸至固定块5外部的一端固定连接有转动块，转动块的一侧螺纹连接有限位杆，限位杆的一端与固定块5的一侧抵接，支撑轴6的一端通过连块固定连接有圆板7，圆板7的中部转动连接有转动轴8，转动轴8的一侧固定连接有U形架9，U形架9的内部滑动连接有连接杆10，连接杆10的一侧固定连接有拉伸弹簧11，拉伸弹簧11的另一端与转动轴8的一侧固定连接，圆板7的下表面设有滑槽，滑槽的内部滑动连接有滑动块12，滑槽和滑动块12的一端均设置为T形，滑槽设为多个，且尺寸均不相同，滑动块12的底面固定连接有切割刀13，滑动块12与连接杆10可拆卸连接，转动轴8底端转动连接有固定柱，圆板7的上表面固定连接有伺服电机14，伺服电机14的输出端与转动轴8固定连接，通过转动轴8、U形架9、连接杆10、拉伸弹簧11、滑动块12和伺服电机14的设置，在使用的过程中可以实现自动化切割薄膜17，从而起到了保证每次切割的形状相同的作用，降低切割薄膜17过程中出现偏差，达到了提高工作效率和覆膜质量的目的，连接块3的内部设有运动槽，运动槽的一侧固定连接有压缩弹簧15，压缩弹簧15的另一端固定连接有压板16，压板16的一侧抵接有薄膜17，通过固定柱、压缩弹簧15和压板16的配合设置，在使用的过程中可以对薄膜17进行压紧固定，从而避免薄膜17被拉扯发生形变和褶皱，影响晶圆覆膜的质量，固定底板1的上表面固定连接有升降装置，升降装置包括安装板18，安装板18的一侧通过连轴铰接有转动杆19，转动杆19另一端的一侧通过连轴铰接有连接座，连接座的一侧固定连接有传动块20，传动块20的中部螺纹连接有双向螺纹杆21，双向螺纹杆21的一端固定连接有限位块，升降装置的顶部固定连接有放置板22，放置板22的上表面开设有滑槽，滑槽的一侧固定连接有伸缩弹簧23，伸缩弹簧23的另一端固定连接有支撑块24，支撑块24的顶部固定连接有L卡板25，连接杆10的一侧插接有L推杆26，连接杆10的内部设有安装槽，安装槽的一侧固定连接有连接弹簧27，连接弹簧27的另一端与L推杆26固定连接有，L推杆26的一侧固定连接有卡接杆28，滑动块12的内部设有卡接槽，卡接杆28的一端插接在卡接槽内，通过L推杆26、连接弹簧27和卡接杆28的配合设置，在使用的过程中可以对滑动块12进行拆卸，根据晶圆尺寸大小将滑动块12放入相应的滑槽内，从而起到了可以对多种尺寸的晶圆覆膜进行切割的作用，达到了便于操作、适用范围广和提高实用性的目的。

使用时，先将需要覆膜的晶圆进行固定，拉动L卡板25，L卡板25带动支撑块24移动，支撑块24对伸缩弹簧23进行挤压，接着将需要覆膜的晶圆放在L卡板25上，松开L卡板25，通过伸缩弹簧23恢复原状所产生的弹力带动支撑块24移动，支撑块24带动L卡板25移动，从而实现对晶圆的固定，L卡板25的高度低于晶圆的厚度，然后将晶圆覆膜所用的薄膜17固定，拉动压板16，压板16通过挤压压缩弹簧15移动，接着将薄膜17移到两个压板16的中间，松开压板16，通过压缩弹簧15恢复原状所产生的弹力带动压板16回到最初的位置，从而将薄膜17进行压紧，然后根据晶圆的尺寸将切割刀13移动到相应的滑槽内，将滑动块12与连接杆10进行安装，转动支撑轴6，支撑轴6带动圆板7转动，将圆板7转到方便安装滑动块12的位置，通过滑动块12和滑槽设置为T形，先将滑动块12放入滑槽内，接着转动角度，使滑动块12卡进滑槽内，然后通过连接杆10挤压拉伸弹簧11，连接杆10在U形架9内滑动，同时，通过L推杆26挤压连接弹簧27带动卡接杆28移动，接着将卡接杆28插进卡接槽，松开L推杆26和连接杆10，从而完成滑动块12的固定，同时根据晶圆的尺寸更换相应的固定柱，将圆板7转回与晶圆平行的形状，然后通过升降装置调整晶圆的位置，使晶圆与薄膜17贴合，接着通过电动液压推杆4带动固定块5向下移动，固定块5通过支撑轴6带动圆板7向下移动，圆板7带动切割刀13向下移动，使固定柱与薄膜17抵接，从而对薄膜17压紧，停止下移，接着启动伺服电机14，伺服电机14带动转动轴8转动，转动轴8带动U形架9转动，U形架9通过连接杆10带动滑动块12在滑槽内转动，滑动块12带动切割刀13转动，从而实现对薄膜17切割，通过将滑槽的尺寸设置为大于晶圆的尺寸，避免在切膜的过程中对晶圆的边缘造成损坏。

本实用新型的工作原理及有益效果：通过转动轴8、U形架9、连接杆10、拉伸弹簧11、滑动块12和伺服电机14的设置，在使用的过程中可以实现自动化切割薄膜17，从而起到了保证每次切割的形状相同的作用，降低切割薄膜17过程中出现偏差，达到了提高工作效率和覆膜质量的目的，通过固定柱、压缩弹簧15和压板16的配合设置，在使用的过程中可以对薄膜17进行压紧固定，从而避免薄膜17被拉扯发生形变和褶皱，影响晶圆覆膜的质量，通过L推杆26、连接弹簧27和卡接杆28的配合设置，在使用的过程中可以对滑动块12进行拆卸，根据晶圆尺寸大小将滑动块12放入相应的滑槽内，从而起到了可以对多种尺寸的晶圆覆膜进行切割的作用，达到了便于操作、适用范围广和提高实用性的目的。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种晶圆覆膜装置，包括固定底板(1)，其特征在于：所述固定底板(1)的上表面固定连接有支撑板(2)，所述支撑板(2)的顶端固定连接有连接块(3)，所述连接块(3)的顶端固定连接有电动液压推杆(4)，所述电动液压推杆(4)的活动端固定连接有固定块(5)，所述固定块(5)的一侧插接有支撑轴(6)，所述支撑轴(6)的一端通过连块固定连接有圆板(7)，所述圆板(7)的中部转动连接有转动轴(8)，所述转动轴(8)的一侧固定连接有U形架(9)，所述U形架(9)的内部滑动连接有连接杆(10)，所述连接杆(10)的一侧固定连接有拉伸弹簧(11)，所述拉伸弹簧(11)的另一端与转动轴(8)的一侧固定连接，所述圆板(7)的下表面设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑动块(12)，所述滑槽和滑动块(12)的一端均设置为T形，所述滑槽设为多个，且尺寸均不相同，所述滑动块(12)的底面固定连接有切割刀(13)，所述滑动块(12)与连接杆(10)可拆卸连接，所述转动轴(8)底端转动连接有固定柱，所述圆板(7)的上表面固定连接有伺服电机(14)，所述伺服电机(14)的输出端与转动轴(8)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆覆膜装置，其特征在于：所述支撑轴(6)的一端贯穿固定块(5)，并延伸至固定块(5)的外部，所述支撑轴(6)延伸至固定块(5)外部的一端固定连接有转动块，所述转动块的一侧螺纹连接有限位杆，所述限位杆的一端与固定块(5)的一侧抵接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆覆膜装置，其特征在于：所述连接块(3)的内部设有运动槽，所述运动槽的一侧固定连接有压缩弹簧(15)，所述压缩弹簧(15)的另一端固定连接有压板(16)，所述压板(16)的一侧抵接有薄膜(17)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆覆膜装置，其特征在于：所述固定底板(1)的上表面固定连接有升降装置，所述升降装置包括安装板(18)，所述安装板(18)的一侧通过连轴铰接有转动杆(19)，所述转动杆(19)另一端的一侧通过连轴铰接有连接座，所述连接座的一侧固定连接有传动块(20)，所述传动块(20)的中部螺纹连接有双向螺纹杆(21)，所述双向螺纹杆(21)的一端固定连接有限位块。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆覆膜装置，其特征在于：所述升降装置的顶部固定连接有放置板(22)，所述放置板(22)的上表面开设有滑槽，所述滑槽的一侧固定连接有伸缩弹簧(23)，所述伸缩弹簧(23)的另一端固定连接有支撑块(24)，所述支撑块(24)的顶部固定连接有L卡板(25)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆覆膜装置，其特征在于：所述连接杆(10)的一侧插接有L推杆(26)，所述连接杆(10)的内部设有安装槽，所述安装槽的一侧固定连接有连接弹簧(27)，所述连接弹簧(27)的另一端与L推杆(26)固定连接有，所述L推杆(26)的一侧固定连接有卡接杆(28)，所述滑动块(12)的内部设有卡接槽，所述卡接杆(28)的一端插接在卡接槽内。

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