CN214426398U - 一种循环吹气式烘干槽 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种循环吹气式烘干槽，包括外槽体和内槽体，外槽体和内槽体均开口朝上且内槽体设置在外槽体的内部，外槽体的开口端与内槽体外壁之间采用密封连接并形成第一腔体，内槽体的开口端设置有槽盖形成第二腔体，内槽体和/或槽盖连接有鼓风泵，槽盖上设置有排湿口，内槽体的侧壁上设置有若干第一进气孔，内槽体底部设置有抽气口，外槽体的底部设置有离心涡轮风机，离心涡轮风机的叶轮位于第一腔体内抽气口的下方。本实用新型提供的循环吹气式烘干槽，采用吹气加吸气的组合，使槽体内形成气流循环，并对气体进行加热，提高烘干效果，缩短烘干时间，同时增加多重过滤，保证槽内的洁净度，防止硅片受到污染。

Description

一种循环吹气式烘干槽

技术领域

本实用新型涉及一种烘干槽，尤其涉及一种循环吹气式烘干槽。

背景技术

在光伏、半导体领域的产品制作过程中，需要进行清洗和烘干工作，烘干工作通常都是利用烘干槽来完成的。针对硅片的烘干，目前烘干槽的设计是内部放置固定有硅片的花篮，然后从侧面和下面对花篮进行吹风，达到对花篮和硅片的烘干效果。

目前烘干槽普遍存在的问题是烘干效果比较差，烘干时间长或者容易产生二次污染。一般烘不干及烘干时间长主要是花篮底杆部分，水在重力作用下会汇集在底杆上边的齿内和底杆底部，由于目前硅片尺寸越来越大，所用烘干槽体容机也越来越大，槽内单位面积的风量变的非常有限，因此即使烘干时间达到700秒以上底杆仍然会残留大量水滴，并且烘干时间越长硅片越容易静电吸附空气杂质形成表面污染。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有的缺陷，提供一种循环吹气式烘干槽，解决目前烘干槽烘干效果差、烘干时间长、容易产生二次污染的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

一种循环吹气式烘干槽，包括外槽体和内槽体，所述外槽体和内槽体均开口朝上且所述内槽体设置在所述外槽体的内部，所述外槽体的开口端与内槽体外壁之间采用密封连接并形成第一腔体，所述内槽体的开口端设置有槽盖形成第二腔体，所述内槽体和/或槽盖连接有鼓风泵，所述槽盖上设置有排湿口，所述内槽体的侧壁上设置有若干第一进气孔，所述内槽体底部设置有抽气口，所述外槽体的底部设置有离心涡轮风机，所述离心涡轮风机的叶轮位于所述第一腔体内所述抽气口的下方。

进一步地，所述槽盖下端面设置有若干第一进气管，所述第一进气管的下端面设置有若干第二进气孔，所述第一进气管与所述鼓风泵连接。

进一步地，所述内槽体的底部设置有若干第二进气管，所述第二进气管的上端面设置有若干第三进气孔，所述第二进气管与所述鼓风泵连接。

进一步地，所述第二进气管的端部与所述内槽体旋转定位连接。

进一步地，所述鼓风泵的出气路径上设置有外置式加热装置。

进一步地，所述第一腔体内设置有内置式加热装置。

进一步地，所述鼓风泵的进气路径上设置有第一过滤器，所述鼓风泵的出气路径上设置有第二过滤器。

进一步地，所述第一腔体内在所述第一进气孔处设置有第三过滤器。

进一步地，所述外槽体、内槽体、槽盖、叶轮、第一过滤器、第二过滤器、第三过滤器和各连接管路均为塑料材质。

进一步地，所述抽气口处设置有匀流板。

本实用新型一种循环吹气式烘干槽，采用吹气加吸气的组合，使槽体内形成气流循环，并对气体进行加热，提高烘干效果，缩短烘干时间，同时增加多重过滤，保证槽内的洁净度，防止硅片受到污染。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型实施例1的结构示意图；

图2是本实用新型实施例1中烘干槽主体的剖视示意图；

图3是本实用新型实施例2中烘干槽主体的剖视示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例1

如图1、2所示，一种循环吹气式烘干槽，包括外槽体1和内槽体2，外槽体1和内槽体2均开口朝上且内槽体2设置在外槽体1的内部，外槽体1的开口端与内槽体2外壁之间采用密封连接并形成第一腔体，内槽体2的开口端设置有槽盖3形成第二腔体，内槽体2和槽盖3连接有鼓风泵4，槽盖3上设置有排湿口，内槽体2的侧壁上设置有若干第一进气孔，内槽体2底部设置有抽气口，外槽体1的底部设置有离心涡轮风机5，离心涡轮风机5的叶轮6位于第一腔体内抽气口的下方。

工作原理：

当固定有硅片的花篮放置在内槽体内部后，开启鼓风泵和离心涡轮风机，气体进入第二腔体从上下两个方向对硅片和花篮进行烘干，烘干后的气体在风机的作用下由抽气口进入第一腔体再由第一进气孔进入第二腔体从左右两个方向对硅片和花篮进行烘干，从而实现全方位无死角的烘干，增强烘干效果，提高烘干效率。目前量产一批400片大尺寸210硅片，烘干时间可以由原有600-700秒以上时间缩短至250-350秒以内，大大缩短了烘干时间。

槽盖3下端面设置有若干第一进气管7，第一进气管7的下端面设置有若干第二进气孔，第一进气管7与鼓风泵4连接。利用平行排布的第一进气管，增大吹气的覆盖面和均匀性，提高烘干效率。

内槽体2的底部设置有若干第二进气管8，第二进气管8的上端面设置有若干第三进气孔，第二进气管8与鼓风泵4连接。利用第二进气管直接从下方对花篮底杆部分进行吹气，有效减少花篮底杆上的水残留。

第二进气管8的端部与内槽体2旋转定位连接，针对不同的花篮，可以通过旋转第二进气管来控制第三进气孔的出气方向，从而使出气对准花篮底杆。

鼓风泵4的出气路径上设置有外置式加热装置9，外置式加热装置9为PTC加热器。利用加热器对进入烘干槽的气体进行加热，增强烘干效果，提高烘干效率。以往的烘干方式偏重于采用高温气体，而本申请由于加速了气体对流，对于烘干温度的要求有所降低，从而降低了设备能耗。

鼓风泵4的进气路径上设置有第一过滤器10，鼓风泵4的出气路径上设置有第二过滤器11。对气体进行多重过滤，保证气体的洁净度，防止气体内含杂质对产品或设备造成不良影响。

第一腔体内在第一进气孔处设置有第三过滤器12，进入第一腔体内的气体可能会在烘干过程中夹带杂质，对其进行过滤后再让其进入第二腔体，保证第二腔体内气体的洁净度。

外槽体1、内槽体2、槽盖3、叶轮6、第一过滤器10、第二过滤器11、第三过滤器12和各连接管路均为塑料材质，如PP或PVDF，确保其在长期使用过程中不会释放金属离子。

抽气口处设置有匀流板13，能够使气流均匀分散，同时避免碎硅片掉落到叶轮内，影响风机的正常工作。

烘干槽及连接管路上均设置有温度监控和报警装置，保证设备及产品的安全。

实施例2

如图3所示，本实施例与实施例1的区别在于：去除第二进气管和外置式加热装置，在第一腔体内设置有内置式加热装置14，内置式加热装置14为石英红外加热灯管，石英红外加热灯管设置在叶轮6的侧面。利用加热灯管对进入第一腔体内的气体进行加热再使其返回第二腔体实现烘干，循环加热的效率更高，同时还节省设备的安装空间。

本实用新型一种循环吹气式烘干槽，采用吹气加吸气的组合，使槽体内形成气流循环，并对气体进行加热，提高烘干效果，缩短烘干时间，同时增加多重过滤，保证槽内的洁净度，防止硅片受到污染。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种循环吹气式烘干槽，其特征在于：包括外槽体和内槽体，所述外槽体和内槽体均开口朝上且所述内槽体设置在所述外槽体的内部，所述外槽体的开口端与内槽体外壁之间采用密封连接并形成第一腔体，所述内槽体的开口端设置有槽盖形成第二腔体，所述内槽体和/或槽盖连接有鼓风泵，所述槽盖上设置有排湿口，所述内槽体的侧壁上设置有若干第一进气孔，所述内槽体底部设置有抽气口，所述外槽体的底部设置有离心涡轮风机，所述离心涡轮风机的叶轮位于所述第一腔体内所述抽气口的下方。

2.根据权利要求1所述的一种循环吹气式烘干槽，其特征在于：所述槽盖下端面设置有若干第一进气管，所述第一进气管的下端面设置有若干第二进气孔，所述第一进气管与所述鼓风泵连接。

3.根据权利要求1所述的一种循环吹气式烘干槽，其特征在于：所述内槽体的底部设置有若干第二进气管，所述第二进气管的上端面设置有若干第三进气孔，所述第二进气管与所述鼓风泵连接。

4.根据权利要求3所述的一种循环吹气式烘干槽，其特征在于：所述第二进气管的端部与所述内槽体旋转定位连接。

5.根据权利要求1所述的一种循环吹气式烘干槽，其特征在于：所述鼓风泵的出气路径上设置有外置式加热装置。

6.根据权利要求1所述的一种循环吹气式烘干槽，其特征在于：所述第一腔体内设置有内置式加热装置。

7.根据权利要求1所述的一种循环吹气式烘干槽，其特征在于：所述鼓风泵的进气路径上设置有第一过滤器，所述鼓风泵的出气路径上设置有第二过滤器。

8.根据权利要求1所述的一种循环吹气式烘干槽，其特征在于：所述第一腔体内在所述第一进气孔处设置有第三过滤器。

9.根据权利要求1所述的一种循环吹气式烘干槽，其特征在于：所述外槽体、内槽体、槽盖、叶轮、第一过滤器、第二过滤器、第三过滤器和各连接管路均为塑料材质。

10.根据权利要求1所述的一种循环吹气式烘干槽，其特征在于：所述抽气口处设置有匀流板。

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