CN207456038U - 烘干装置及其应用的设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及烘干技术领域，尤其是一种烘干装置及其应用，包括鼓风机及开口均朝上的外槽和内槽，外槽的开口处盖设有槽盖，内槽设置在外槽内，内槽与外槽之间形成循环通道，内槽的底部与循环通道连通，外槽的底部固定有电机，电机的输出端上固定有风轮，风轮位于循环通道中，循环通道中设置有加热器，内槽的内部设置有反吹管，反吹管分布有若干喷孔，鼓风机的进气口通过吸气管道与循环通道连通，鼓风机的出气口通过出气管道与反吹管连通，本实用新型的烘干装置利用循环通道内的热风对硅片及进行载具烘干的同时，由鼓风机将循环通道内的热风抽出并加压后输送至反吹管，并由反吹管的喷孔吹出直接作用于载具底部，从而实现载具及硅片的快速烘干。

Description

烘干装置及其应用的设备

技术领域

本实用新型涉及烘干技术领域，尤其是一种烘干装置及其应用的设备。

背景技术

在湿法设备行业，尤其是在太阳能硅片槽式湿法处理设备行业中，为了使硅片烘干，国内外通行的做法是制作一个槽体，利用循环热风经过装在载具里的硅片表面，达到利用流动热气把硅片及载具表面的水分蒸发带走的目的，这样虽然可以在一定的时间内对硅片及载具进行烘干，但是由于载具放置在槽式烘干槽体内，载具的底部容易存在死角区，循环热风很难直接对死角区进行快速带走水分，这也造就成了目前硅片容易烘干，但是载具难烘干的问题。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为了解决现有技术中放置在载具内的硅片容易烘干，但是载具本身不易烘干的问题，现提供一种烘干装置及其应用的设备。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种烘干装置，包括鼓风机及开口均朝上的外槽和内槽，所述外槽的开口处盖设有槽盖，所述内槽设置在外槽内，所述内槽与外槽之间形成循环通道，所述内槽的底部与循环通道连通，所述外槽的底部固定有电机，所述电机的输出端上固定有风轮，所述风轮位于循环通道中，所述循环通道中设置有加热器，所述内槽的内部设置有反吹管，所述反吹管上分布有若干喷孔，所述鼓风机的进气口通过吸气管道与循环通道连通，所述鼓风机的出气口通过出气管道与反吹管连通。

本方案中通过鼓风机将循环通道内的热风抽出并加压后输送到反吹管，反吹管上的喷孔将加压后的热风直接吹到载具的底部，从而达到快速烘干的目的。

目前常见的烘干槽式结构，通常利用槽盖与槽体之间的缝隙进行湿气排除，但是此处的热风经过加热器加热后温度较高，含水量相对较低，因此采用此处排除湿气不但效率低，而且热量损失较快，不利于节约能源，进一步地，所述外槽的外侧下端设有与循环通道连通的排湿管，由于热风通过硅片及载具表面后，所带的水汽在此处最多，且温度较低，因此在外槽的下端设置排湿管，排湿效果更佳。

进一步地，所述吸气管道上串联有初效过滤器，初效过滤器用于对从循环通道中引入的热风进行过滤，并去除5μm以上尘埃粒子。

进一步地，所述出气管道上串联有高效过滤器，高效过滤器可捕集0.5um 以下的颗粒灰尘及各种悬浮物，确保反吹管对硅片及载具吹出洁净的风。

本实用新型还提供一种硅片湿法处理设备，包括上述的烘干装置。

本实用新型还提供一种硅片槽式清洗设备，包括上述的烘干装置。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的烘干装置利用循环通道内的热风对硅片及载具进行烘干的同时，由鼓风机将循环通道内的热风抽出并加压后输送至反吹管，并由反吹管的喷孔吹出直接作用于载具底部，从而实现载具及硅片的快速烘干。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型烘干装置的示意图；

图2是本实用新中硅片置于载具上的示意图。

图中：1、外槽，1-1、槽盖，2、内槽，3、鼓风机，4、循环通道，5、电机，6、风轮，7、加热器，8、反吹管，9、吸气管道，10、出气管道，11、排湿管，12、初效过滤器，13、高效过滤器，14、硅片，15、载具。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成，方向和参照(例如，上、下、左、右、等等)可以仅用于帮助对附图中的特征的描述。因此，并非在限制性意义上采用以下具体实施方式，并且仅仅由所附权利要求及其等同形式来限定所请求保护的主题的范围。

实施例1

如图1和2所示，一种烘干装置，包括鼓风机3及开口均朝上的外槽1和内槽2，外槽1的开口处盖设有槽盖1-1，内槽2设置在外槽1内，内槽2与外槽1之间形成循环通道4，内槽2的底部与循环通道4连通，外槽1的底部固定有电机5，电机5的输出端上固定有风轮6，风轮6位于循环通道4中，循环通道4中设置有加热器7，内槽2的内部设置有反吹管8，反吹管8上分布有若干喷孔，鼓风机3的进气口通过吸气管道9与循环通道4连通，鼓风机3的出气口通过出气管道10与反吹管8连通，加热器7位于外槽1的中间部位。

外槽1的外侧下端设有与循环通道4连通的排湿管11，由于热风通过硅片 14及载具15表面后，所带的水汽在此处最多，且温度较低，因此在外槽1的下端设置排湿管11，排湿效果更佳，热量损失少。

吸气管道9上串联有初效过滤器12，初效过滤器12用于对从循环通道4中引入的热风进行过滤，并去除5μm以上尘埃粒子。

出气管道10上串联有高效过滤器13，高效过滤器13可捕集0.5um以下的颗粒灰尘及各种悬浮物，确保反吹管8对硅片14及载具15吹出洁净的风。

本实施例的工作原理如下：

硅片14放置在载具15内，然后将载具15至于内槽2中，载具15放置在反吹管8的上方，电机5带动风轮6转动产生吹风，吹风沿循环通道4向上运动并经加热器7的加热变为热风，热风从内槽2的开口处进入并从上至下对硅片14及载具15进行吹拂；同时鼓风机3会通过吸气管道9将循环通道4内的部分热风抽出加压后，经出气管道10输送至反吹管8，加压后的热风从反吹管 8的喷孔中直接喷向载具15的底部，可将载具15底部的液滴吹至往下循环的气流中，还可对载具15底部的液滴进行加热蒸发，有效的缩短了硅片14及载具 15的烘干时间；其中初效过滤器12及高效过滤器13可对从循环通道4中引入的热风进行过滤，确保整个烘干系统的洁净度。

实施例2

一种硅片湿法处理设备，包括实施例1中的烘干装置。

实施例3

一种硅片槽式清洗设备，包括实施例1中的烘干装置。

上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (6)

1.一种烘干装置，其特征在于：包括鼓风机(3)及开口均朝上的外槽(1)和内槽(2)，所述外槽(1)的开口处盖设有槽盖(1-1)，所述内槽(2)设置在外槽(1)内，所述内槽(2)与外槽(1)之间形成循环通道(4)，所述内槽(2)的底部与循环通道(4)连通，所述外槽(1)的底部固定有电机(5)，所述电机(5)的输出端上固定有风轮(6)，所述风轮(6)位于循环通道(4)中，所述循环通道(4)中设置有加热器(7)，所述内槽(2)的内部设置有反吹管(8)，所述反吹管(8)上分布有若干喷孔，所述鼓风机(3)的进气口通过吸气管道(9)与循环通道(4)连通，所述鼓风机(3)的出气口通过出气管道(10)与反吹管(8)连通。

2.根据权利要求1所述的烘干装置，其特征在于：所述外槽(1)的外侧下端设有与循环通道(4)连通的排湿管(11)。

3.根据权利要求1所述的烘干装置，其特征在于：所述吸气管道(9)上串联有初效过滤器(12)。

4.根据权利要求3所述的烘干装置，其特征在于：所述出气管道(10)上串联有高效过滤器(13)。

5.一种硅片湿法处理设备，其特征在于：包括权利要求1-4任一项所述的烘干装置。

6.一种硅片槽式清洗设备，其特征在于：包括权利要求1-4任一项所述的烘干装置。