CN109813067A - 一种烘干系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种烘干系统，包括烘干槽体，所述烘干槽体呈上开口的结构，所述烘干槽体内放置有带硅片的载具，所述烘干槽体外设有上开口的加热系统，所述烘干槽体的底部设有连同加热系统的通风孔，形成上开口的循环烘干结构，所述循环烘干结构的开口上设有活动盖板。本发明结构紧凑，烘干效率得到大幅提升，传统烘干系统需要600秒烘干时间，采用结构烘干系统只需要200秒即可；且本发明体积小，可安装在设备内部，烘干效率较传统烘干系统有大幅度提升。
Description
技术领域
本发明涉及半导体及太阳能清洗设备和湿法处理设备,尤其是槽式清洗设备和湿法处理设备。
背景技术
在半导体及光伏清洗行业,产品放置在载具内进行湿法腐蚀或清洗处理,处理完毕后需要进行烘干方能流出设备.传统烘干系统往往具有体积庞大，烘干效率低等缺点。随着设备产能的不断提升,以及对设备占用场地要求越来越严格。设计一种体积小，具备高效率的烘干系统,成为迫切需要解决的问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种体积小，可安装在设备内部，烘干效率较传统烘干系统有大幅度提升的槽式烘干系统结构。
为了达到上述技术目的，本发明的技术方案是提供了一种烘干系统，包括烘干槽体，所述烘干槽体呈上开口的结构，所述烘干槽体内放置有带硅片的载具，所述烘干槽体外设有上开口的加热系统，所述烘干槽体的底部设有连同加热系统的通风孔，形成上开口的循环烘干结构，所述循环烘干结构的开口上设有活动盖板。
优选地，所述烘干槽体与加热系统之间的通风孔处设有位于加热系统内的风轮，所述风轮与加热槽体底部外侧的马达连接。
优选地，所述加热系统包括设置在上开口的烘干槽体外的上开口的加热槽体，所述加热槽体与烘干槽体之间设有分别位于烘干槽体两侧的加热器、温度传感器。
优选地，所述循环烘干结构外设有一套带过滤的高压鼓风机，所述高压鼓风机进风口为循环烘干结构的加热区，所述高压鼓风机的出风口与设置在烘干区底部吹风管相连。
优选地，所述高压鼓风机还设有一条外界环境的进风口；外界环境支路上设有控制外界环境的进风口打开直至关闭的手阀，所述手阀的上方连接外界环境的进风口。
优选地，所述高压鼓风机的输出出风口的管路上设有惰性气体注入口，通过注入惰性气体，防止在高温下硅片被氧化。
优选地，所述载具两侧的烘干槽体侧壁上开有小孔，使经过载具及硅片表面的热风流量更加均匀。
优选地，所述加热器的下方设有排风口，通过排风口将烘干系统内的湿气排出。
优选地，所述循环烘干结构最底部设有排水口，用于将滴落到循环烘干结构底部的载具及硅片上的液态水及时排出。
本发明还提供了一种烘干系统的实施方法，步骤如下：
第一步，将装有硅片的载具放入烘干槽体中；
第二步，打开马达，马达运转，带与马达连接的风轮旋转，使烘干槽体成为低压区，包裹在烘干槽体外的加热系统成为高压区，使循环烘干结构内的空气形成对流，烘干槽体内的空气向下运动，经过载具及载具内的硅片，并由烘干槽体底部的通风孔进入加热系统内，经过加热器的加热后再次进入烘干槽体内，如此循环；
同时，温度传感器实时采集加热器上方的空气温度数据，并传送给PLC控制系统，如果超过PLC控制系统预设的温度，则加热器停止工作；
第三步，当高压鼓风机运行时，如果环境支路截断，则只抽取烘干槽体内空气，通过粗过滤和精过滤，将洁净的热风通过烘干槽体底部的吹风管对载具底部进行高压热风吹风，既提高了烘干槽内部洁净度，又能加快载具及产品底部的烘干速度；如果通过手阀打开外界环境的进风口，高压鼓风机则从进风口及循环烘干结构内部同时抽取空气，并注入烘干槽体内，对载具底部进行吹风。
本发明结构紧凑，烘干效率得到大幅提升，传统烘干系统需要600秒烘干时间，采用结构烘干系统只需要200秒即可；且本发明体积小，可安装在设备内部，烘干效率较传统烘干系统有大幅度提升。
附图说明
图1为本发明提供的一种烘干系统的工作流程示意图。
图中序号如下：
1、加热槽体；1-1、加热器；1-2、温度传感器；2、活动盖板；3、烘干槽体；3-1、吹风管；4、惰性气体注入口；5、马达；5-1、马达轴；5-2、风轮；6、高压鼓风机；6-1、粗过滤；6-2、精过滤；6-3、手阀；6-4、进风口；7、排水口；8、排风口。
具体实施方式
为使本发明更明显易懂，兹以优选实施例，并配合附图作详细说明如下。
如图1所示，为本发明提供的一种烘干系统，包括烘干槽体3，所述烘干槽体3呈上开口的结构，所述烘干槽体3内放置有带硅片的载具，该烘干槽体3外设有上开口的加热系统，所述烘干槽体3的底部设有连同加热系统的通风孔，所述烘干槽体3与加热系统之间的通风孔处设有位于加热系统内的风轮5-2，所述风轮5-2与加热槽体1底部外侧的马达5通过马达轴5-1连接，以上形成上开口具有内部通道的内外槽循环烘干结构，所述循环烘干结构的开口上设有活动盖板2，所述循环烘干结构最底部设有排水口7，用于将滴落到循环烘干结构底部的载具及硅片上的液态水及时排出。
所述加热系统包括设置在上开口的烘干槽体3外的上开口的加热槽体1，所述加热槽体1与烘干槽体3之间设有分别位于烘干槽体3两侧的加热器1-1和温度传感器1-2，所述温度传感器1-2实施采集加热器1-1上方的空气温度数据，并传送给PLC控制系统，如果超过PLC控制系统预设的温度，则加热器1-1停止工作；所述加热器1-1的下方设有排风口8，通过排风口8将烘干系统内的湿气排出。
所述循环烘干结构外设有一套带过滤的高压鼓风机6，高压鼓风机6进风口分为两路，一路为烘干系统的加热区，一路为外界环境，外界环境支路上设有控制外界环境的进风口6-4打开直至关闭的手阀6-3，所述手阀6-3的上方连接外界环境的进风口6-4，所述高压鼓风机6的出风口与设置在烘干区底部吹风管3-1相连；所述高压鼓风机6的输出出风口的管路上设有惰性气体注入口9，通过注入惰性气体，防止在高温下硅片被氧化。
进一步，所述载具两侧的烘干槽体3侧壁上开有小孔，使经过载具及硅片表面的热风流量更加均匀。
本发明的实施方法，步骤如下：
第一步，将装有硅片的载具放入烘干槽体1中；
第二步，打开马达5，马达5运转，带与马达5连接的风轮5-2旋转，使烘干槽体3成为低压区，包裹在烘干槽体3外的加热系统成为高压区，使循环烘干结构内的空气形成对流，烘干槽体3内的空气向下运动，经过载具及载具内的硅片，并由烘干槽体3底部的通风孔进入加热系统内，经过加热器1-1的加热后再次进入烘干槽体3内，如此循环；
同时，温度传感器1-2实时采集加热器1-1上方的空气温度数据，并传送给PLC控制系统，如果超过PLC控制系统预设的温度，则加热器1-1停止工作；
第三步，当高压鼓风机6运行时，如果环境支路截断，则只抽取烘干槽体1内空气，通过粗过滤6-1和精过滤6-2，将洁净的热风通过烘干槽体3底部的吹风管3-1对载具底部进行高压热风吹风，既提高了烘干槽3内部洁净度，又有能加快载具及产品底部的烘干速度；如果通过手阀6-3打开外界环境的进风口6-4，高压鼓风机6则从进风口6-4及循环烘干结构内部同时抽取空气，并注入烘干槽体3内，对载具底部进行吹风。
本发明结构紧凑，烘干效率得到大幅提升，传统烘干系统需要600秒烘干时间，采用结构烘干系统只需要200秒即可；且本发明体积小，可安装在设备内部，烘干效率较传统烘干系统有大幅度提升。
Claims (10)
1.一种烘干系统，包括烘干槽体(3)，所述烘干槽体(3)呈上开口的结构，所述烘干槽体(3)内放置有带硅片的载具，其特征在于，所述烘干槽体(3)外设有上开口的加热系统，所述烘干槽体(3)的底部设有连同加热系统的通风孔，形成上开口的循环烘干结构，所述循环烘干结构的开口上设有活动盖板(2)。
2.根据权利要求1所述的一种烘干系统，其特征在于，所述烘干槽体(3)与加热系统之间的通风孔处设有位于加热系统内的风轮(5-2)，所述风轮(5-2)与加热槽体(1)底部外侧的马达(5)连接。
3.根据权利要求2所述的一种烘干系统，其特征在于，所述加热系统包括设置在上开口的烘干槽体(3)外的上开口的加热槽体(1)，所述加热槽体(1)与烘干槽体(3)之间设有分别位于烘干槽体(3)两侧的加热器(1-1)、温度传感器(1-2)。
4.根据权利要求3所述的一种烘干系统，其特征在于，所述循环烘干结构外设有一套带过滤的高压鼓风机(6)，所述高压鼓风机(6)进风口为循环烘干结构的加热区，所述高压鼓风机(6)的出风口与设置在烘干区底部吹风管(3-1)相连。
5.根据权利要求4所述的一种烘干系统，其特征在于，所述高压鼓风机(6)还设有一条外界环境的进风口(6-4)；外界环境支路上设有控制外界环境的进风口(6-4)打开直至关闭的手阀(6-3)，所述手阀(6-3)的上方连接外界环境的进风口(6-4)。
6.根据权利要求5所述的一种烘干系统，其特征在于，所述高压鼓风机(6)的输出出风口的管路上设有惰性气体注入口(4)，通过注入惰性气体，防止在高温下硅片被氧化。
7.根据权利要求6所述的一种烘干系统，其特征在于，所述载具两侧的烘干槽体(3)侧壁上开有小孔，使经过载具及硅片表面的热风流量更加均匀。
8.根据权利要求7所述的一种烘干系统，其特征在于，所述加热器(1-1)的下方设有排风口(8)，通过排风口(8)将烘干系统内的湿气排出。
9.根据权利要求8所述的一种烘干系统，其特征在于，所述循环烘干结构最底部设有排水口(7)，用于将滴落到循环烘干结构底部的载具及硅片上的液态水及时排出。
10.一种根据权利要求1-9任一项所述的烘干系统结构的实施方法，步骤如下：
第一步，将装有硅片的载具放入烘干槽体(1)中；
第二步，打开马达(5)，马达(5)运转，带与马达(5)连接的风轮(5-2)旋转，使烘干槽体(3)成为低压区，包裹在烘干槽体(3)外的加热系统成为高压区，使循环烘干结构内的空气形成对流，烘干槽体(3)内的空气向下运动，经过载具及载具内的硅片，并由烘干槽体(3)底部的通风孔进入加热系统内，经过加热器(1-1)的加热后再次进入烘干槽体(3)内，如此循环；
同时，温度传感器(1-2)实时采集加热器(1-1)上方的空气温度数据，并传送给PLC控制系统，如果超过PLC控制系统预设的温度，则加热器(1-1)停止工作；
第三步，当高压鼓风机(6)运行时，如果环境支路截断，则只抽取烘干槽体(1)内空气，通过粗过滤(6-1)和精过滤(6-2)，将洁净的热风通过烘干槽体(3)底部的吹风管(3-1)对载具底部进行高压热风吹风，既提高了烘干槽3内部洁净度，又能加快载具及产品底部的烘干速度；如果通过手阀(6-3)打开外界环境的进风口(6-4)，高压鼓风机(6)则从进风口(6-4)及循环烘干结构内部同时抽取空气，并注入烘干槽体(3)内，对载具底部进行吹风。
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