CN214163578U - 一种单晶棒料接送料装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及硬脆材料切割技术领域，尤其涉及一种接送料装置，包括圆棒夹持机构、圆棒位移驱动机构、方棒接取机构、方棒位移驱动机构、进给滑动架和底架；圆棒夹持机构包括圆棒夹持单元、滚轮支撑架、两轴滑动架和夹持单元移动驱动组件，滚轮支撑架固定于两轴滑动架上，两轴滑动架包括上滑动架、上滑动组件、下滑动架和下滑动组件，上滑动架固定于下滑动架上，圆棒夹持单元与上滑动组件固定，夹持单元移动驱动组件用于驱动圆棒夹持单元在上滑动组件上沿竖直方向移动；圆棒位移驱动机构用于驱动两轴支撑架沿水平方向进给运动；所述方棒接取机构设置于进给滑动架上。本方案中转运效率高，夹持稳定，安全性较高。

Description

一种单晶棒料接送料装置

技术领域

本实用新型涉及硬脆材料切割技术领域，尤其涉及一种单晶棒料接送料装置。

背景技术

中国实用新型ZL201821888906.1，公开了“一种单晶硅棒开方夹持装置，在该方案中单晶硅棒切割前圆棒以及开方切割后方棒移动机构是一体式集成设置，结构较为简单，但是因为棒料夹持转运位于设备上方位置，转运时需要夹持棒料运行较长距离，在该过程中如果夹持机构出现失效，则容易造成工件损坏，安全系数低。并且夹爪位置不能沿轴线调整，导致抓取时难以快速定位单晶硅棒的中心，需反复调整，效率较低。而且，现有的圆棒夹持机构防护结构不合理，由于硅晶棒在进行加工过程中会出现喷淋液以及切割废屑，非常容易导致圆棒夹持驱动单元的驱动布设出现锈蚀、堵塞的情况，影响整个设备的正常工作。

并且，在该实用新型方案中在对单晶硅棒进行开方切割完成之后，首先要将单晶方棒旋转45°，以便于机械手进行夹取，安全系数较低。

此外，在该实用新型方案中皮料接收机构设置在切割运行轮系的机架上，在完成对单晶硅棒的开方切割后，由皮料夹持机构夹持的皮料会随之被松开，皮料自由掉落在接料挡板上，在积累一定数量后由人工进行收集清理。而随着当前切割的硅晶棒料规格越来越大，随之产生的皮料也越来越重，若继续采用上述收集结构，会产生如下问题：第一，自由掉落时冲击力较大，损伤设备，使用时间长后会对开方切割精度产生影响；第二，人工收集废料费时费力。

发明内容

为此，需要提供一种单晶棒料接送料装置，来解决现有的单晶硅棒切割设备中，单晶硅棒切割前的圆棒和开方后的硅晶方棒的夹持通过一体式集成抓取装置进行接送料，转运时间长、安全系数较低的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种单晶棒料接送料装置，所述接送料装置包括圆棒夹持机构、圆棒位移驱动机构、方棒接取机构、方棒位移驱动机构、进给滑动架和底架，所述圆棒夹持机构和方棒接取机构分别位于底架的两侧；

所述圆棒夹持机构包括圆棒夹持单元、滚轮支撑架、两轴滑动架和夹持单元移动驱动组件，所述滚轮支撑架固定于两轴滑动架上，所述两轴滑动架包括上滑动架、上滑动组件、下滑动架和下滑动组件，所述上滑动组件沿竖直方向设置于上滑动架的顶部，所述上滑动架固定于下滑动架上，所述下滑动架通过沿水平方向设置的下滑动组件装配于底架上，所述圆棒夹持单元与上滑动组件固定，且圆棒夹持单元的左夹爪和右夹爪分别位于滚轮支撑架的两侧，所述夹持单元移动驱动组件用于驱动圆棒夹持单元在上滑动组件上沿竖直方向移动；

所述圆棒位移驱动机构用于驱动两轴支撑架沿水平方向进给运动；

所述方棒接取机构设置于进给滑动架上，所述进给滑动架装配于底架上；

所述方棒位移驱动机构用于驱动进给滑动架沿水平方向进给运动。

作为本实用新型的一种优选结构，所述圆棒夹持单元包括圆棒夹爪、夹爪滑动座、安装底板、防护外罩和夹爪驱动组件，所述圆棒夹爪包括左夹爪和右夹爪，所述左夹爪和右夹爪分别固定于两夹爪滑动座上，所述防护外罩设置于安装底板上形成容置腔，所述防护外罩包括防护盖板和两防护侧板，所述防护盖板为底面为敞口的矩形体，所述防护盖板罩设于防护侧板上，所述防护侧板与安装底板连接，所述防护侧板与防护盖板之间具有滑动间隙，所述夹爪滑动座通过所述滑动间隙可滑动套设于防护盖板上，所述夹爪驱动组件包括双向丝杆、移动滑块和夹爪驱动电机，所述双向丝杆设置于容置腔内，两夹爪固定座通过移动滑块分别连接双向丝杆的相反螺纹段，所述夹爪驱动电机与双向丝杆传动连接。

作为本实用新型的一种优选结构，所述圆棒夹持单元为两组，两组圆棒夹持单元均与上滑动组件固定。

作为本实用新型的一种优选结构，所述方棒接取机构包括长滚轮支架、顶升驱动单元和压力检测传感器，所述顶升驱动单元的伸缩端与长滚轮支架的底面连接，用于驱动长滚轮支架升降运动，所述压力检测传感器设置于长滚轮支架上，用于检测硅晶方棒与长滚轮支架接触时的顶出压力。

作为本实用新型的一种优选结构，所述方棒接取机构还包括顶升滑动单元和滑动机构安装板，所述顶升滑动单元包括顶升滑轴和顶升滑套，所述顶升滑轴固定于滑动机构安装板上，所述顶升滑轴滑动套设于顶升滑套内，顶升滑轴的顶端与长滚轮支架的底部连接。

作为本实用新型的一种优选结构，所述顶升滑动单元还包括润滑件和密封垫，所述润滑件套设于顶升滑滑轴外，并与顶升滑套固定，所述润滑件内腔的两端具有润滑沟槽，所述密封垫设置于润滑沟槽的外侧。

作为本实用新型的一种优选结构，所述接送料装置还包括皮料接收机构，所述皮料接收机构设置于进给滑动架上，且位于方棒接取机构的同侧，皮料接收机构包括皮料输送机、限位板和第一接料挡板，所述皮料输送机具有输送平台，所述限位板设置于输送平台的两侧，所述限位板上开设有沿输送方向设置长槽孔，所述第一接料挡板的两侧壁通过紧固螺钉锁固于限位板上，第一接料挡板横跨于输送平台上，且第一接料挡板与输送平台之间具有过料间隙，第一接料挡板具有接料斜面。

作为本实用新型的一种优选结构，所述皮料接收机构还包括第二接料挡板，所述第二接料档板固定于限位板的一侧，第二接料档板横跨于输送平台上，且与输送平台之间具有运动间隙，第二接料挡板具有接料斜面。

作为本实用新型的一种优选结构，所述皮料接收机构还包括皮料检测传感器，所述皮料检测传感器设置于第一接料挡板的前方的限位板上。

作为本实用新型的一种优选结构，所述底架上设置有进给移动滑轨，所述两轴滑动架和滑动架均装配于进给移动滑轨上。

区别于现有技术，上述技术方案具有如下优点：本实用新型一种单晶棒料接送料装置，所述接送料装置包括圆棒夹持机构、圆棒位移驱动机构、方棒接取机构、方棒位移驱动机构、进给滑动架和底架，首先将开方的单硅晶棒即硅晶圆棒放置在圆棒夹持机构的滚轮支撑架上，在需要进行进料输送时，圆棒夹持单元夹紧硅晶圆棒，防止输送过程中出现掉落的情况。所述两轴滑动架的设置，使得在切割送料时，在圆棒位移驱动机构的驱动下沿水平方向进给滑动，进而实现圆棒夹持单元沿水平方向进给运动，同时夹持单元移动驱动组件可以驱动圆棒夹持单元在上滑动组件沿竖直方向移动，实现两轴运动，实现对圆棒夹持单元的位置调整，以便于根据硅晶圆棒的不同长度快速调整并夹持到硅晶圆棒中心位置，确保夹持稳定。在硅晶圆棒开方切割后成硅晶方棒，方棒位移驱动机构驱动通过进给滑动架带动将方棒接取机构移动到硅晶方棒下方，进行硅晶方棒的接取转运，从而实现单晶硅棒开方过程中的接送料。在本方案中，单硅晶棒开方过程中的硅晶圆棒和硅晶方棒分别通过圆棒夹持机构和方棒接取机构进行转运，转运效率高，夹持稳定，安全性较高。

附图说明

图1为具体实施方式中所述单晶棒料接送料装置的斜视结构示意图；

图2为具体实施方式中所述单晶棒料接送料装置中圆棒夹持机构的斜视结构示意图；

图3为具体实施方式中所述圆棒夹持单元的斜视结构示意图；

图4为具体实施方式中所述圆棒夹持单元的剖视结构示意图；

图5为具体实施方式中所述圆棒夹持机构中滚轮支撑架的斜视结构示意图；

图6为具体实施方式中所述方棒接取机构接料前的斜视结构示意图；

图7为具体实施方式中所述方棒接取机构接料后的斜视结构示意图；

图8为具体实施方式中所述方棒接取机构接料后的剖视结构示意图；

图9为具体实施方式中所述皮料接收机构的斜视示意图。

附图标记说明：

100、圆棒夹持机构；

110、圆棒夹持单元；

111、圆棒夹爪；1111、传感器；1112、垫块；

112、夹爪滑动座；

113、安装底板；

114、防护外罩；1141、容置腔；1142、防护盖板；1143、防护侧板；1144、第一竖板；1145、斜板；1146、第二竖板；

115、夹爪驱动组件；1151、双向丝杆；1152、移动滑块；1153、夹爪驱动电机；1154、夹爪移动滑轨；

116、滑动间隙；

117、端板；

120、滚轮支撑架；

121、轴向限位块A；

122、检测传感器；

130、两轴滑动架；

131、上滑动架；

132、上滑动组件；

133、下滑动架；

134、下滑动组件；

140、夹持单元移动驱动组件；

200、圆棒位移驱动机构；

300、方棒接取机构；

310、长滚轮支架；

311、侧向限位块；

312、轴向限位块B；

320、顶升驱动单元；

330、压力检测传感器；

340、顶升滑动单元；

341、顶升滑轴；

342、顶升滑套；

343、润滑件；

344、密封垫；

350、滑动机构安装板；

360、缓冲器；

400、方棒位移驱动机构；

500、进给滑动架；

600、底架；

610、进给移动滑轨；

700、皮料接收机构；

710、皮料输送机；

711、输送平台；

720、限位板；

721、长槽孔；

730、第一接料挡板；

731、接料斜面；

740、紧固螺钉；

750、过料间隙；

760、第二接料挡板；

770、皮料检测传感器；

780、容置孔。

具体实施方式

为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。

请一并参阅图1至图9，本实用新型提供了一种单晶棒料接送料装置，所述接送料装置包括圆棒夹持机构100、圆棒位移驱动机构200、方棒接取机构300、方棒位移驱动机构400、进给滑动架500和底架600，所述圆棒夹持机构100和方棒接取机构300分别位于底架600的两侧；

所述圆棒夹持机构100包括圆棒夹持单元110、滚轮支撑架120、两轴滑动架130和夹持单元移动驱动组件140，所述滚轮支撑架120固定于两轴滑动架130上，所述两轴滑动架130包括上滑动架131、上滑动组件132、下滑动架133和下滑动组件134，所述上滑动组件132沿竖直方向设置于上滑动架131的顶部，所述上滑动架131固定于下滑动架133上，所述下滑动架133通过沿水平方向设置的下滑动组件134装配于底架600上，所述圆棒夹持单元110与上滑动组件132固定，且圆棒夹持单元110的左夹爪和右夹爪分别位于滚轮支撑架120的两侧，所述夹持单元移动驱动组件140用于驱动圆棒夹持单元110在上滑动组件132沿竖直方向移动；所述滚轮支撑架120用于待加工的单晶硅棒也就是硅晶圆棒上料的放置，起到辅助装夹的作用。所述圆棒夹持单元110在硅晶圆棒放置在滚轮支撑架120后，在需要进行进料输送时，夹紧硅晶圆棒，防止输送过程中出现掉落的情况。具体的，夹持单元移动驱动组件140为电机、滚珠丝杆组成的驱动装置。

所述圆棒位移驱动机构200用于驱动两轴支撑架沿水平方向进给运动；

所述方棒接取机构300设置于进给滑动架500上，所述进给滑动架500装配于底架600上；

所述方棒位移驱动机构400用于驱动进给滑动架500沿水平方向进给运动。优选的，所述底架上设置有进给移动滑轨610，所述两轴滑动架和滑动架均装配于进给移动滑轨610上。

本实施例一种单晶棒料接送料装置，所述接送料装置包括圆棒夹持机构100、圆棒位移驱动机构200、方棒接取机构300、方棒位移驱动机构400、进给滑动架500和底架600，首先将开方的单硅晶棒即硅晶圆棒放置在圆棒夹持机构100的滚轮支撑架120上，在需要进行进料输送时，圆棒夹持单元110夹紧硅晶圆棒，防止输送过程中出现掉落的情况。所述两轴滑动架130的设置，使得在切割送料时，在圆棒位移驱动机构200的驱动下沿水平方向进给滑动，进而实现圆棒夹持单元110沿水平方向进给运动，同时夹持单元移动驱动组件140可以驱动圆棒夹持单元110在上滑动组件132沿竖直方向移动，实现两轴运动，实现对圆棒夹持单元110的位置调整，以便于根据硅晶圆棒的不同长度快速调整并夹持到硅晶圆棒中心位置，确保夹持稳定。在硅晶圆棒开方切割后成硅晶方棒，方棒位移驱动机构400驱动通过进给滑动架500带动将方棒接取机构300移动到硅晶方棒下方，进行硅晶方棒的接取转运，从而实现单晶硅棒开方过程中的接送料。在本方案中，单硅晶棒开方过程中的硅晶圆棒和硅晶方棒分别通过圆棒夹持机构100和方棒接取机构300进行转运，转运效率高，夹持稳定，安全性较高。

请参阅图2至图4，作为本实用新型的一种优选实施例，所述圆棒夹持单元110主要可用于单晶硅棒的硅晶圆棒在进行切割加工前的送料夹持操作。具体的，所述圆棒夹持单元110包括圆棒夹爪111、夹爪滑动座112、安装底板113、防护外罩114和夹爪驱动组件115，所述圆棒夹爪111包括左夹爪和右夹爪，所述左夹爪和右夹爪分别固定于两夹爪滑动座112上，所述防护外罩114设置于安装底板113形成容置腔1141，所述防护外罩114包括防护盖板1142和两防护侧板1143，所述防护盖板1142为底面为敞口的矩形体，所述防护盖板1142罩设于防护侧板1143上，防护盖板1142完全遮住防护侧板1143，以防止喷淋液或者大量的粉屑从上方落入到容置腔1141内，所述防护侧板1143与安装底板113连接，所述防护侧板1143与防护盖板1142之间具有滑动间隙116，所述夹爪滑动座112通过所述滑动间隙116可滑动套设于防护盖板1142上，所述夹爪驱动组件115包括双向丝杆1151、移动滑块1152和夹爪驱动电机1153，所述双向丝杆1151设置于容置腔1141内，两夹爪固定座通过移动滑块1152分别连接双向丝杆1151的相反螺纹段，所述夹爪驱动电机1153与双向丝杆1151传动连接，夹爪驱动电机1153通过减速电机驱动双向丝杆1151转动，所述移动滑块1152具有丝杆螺母，将双向丝杆1151的回转运动转化成直线运动，从而最终驱动圆棒夹爪111松开或者夹紧硅晶圆棒。

所述圆棒夹爪111则直接用于和硅晶圆棒的侧壁接触进行夹持。圆棒夹爪111包括左夹爪和右夹爪，左夹爪和右夹爪配合进行硅晶圆棒的夹持。优选的，所述左夹爪和右夹爪的夹持区均设置有垫块1112。所述垫块1112一般为橡胶等软质垫块1112，能够防止硅晶圆棒被夹持时侧壁受到损伤。

在本实施例，防护外罩114设置于安装底板113上形成容置腔1141，将双向丝杆1151以及移动滑块1152安装于容置腔1141中，且防护外罩114的防护盖板1142罩设于防护侧板1143上，并且防护侧板1143与防护盖板1142之间具有滑动间隙116，夹爪滑动座112通过所述滑动间隙116可滑动套设于防护盖板1142上，在不影响双向丝杆1151以及移动滑块1152配合进行驱动圆棒夹爪111运动的同时，对其进行了有效的防护，部件不容易出现锈蚀、运动阻塞等运动故障，设备运动可靠性高。

请参阅图3和图4，优选的，所述防护侧板1143包括第一竖板1144、斜板1145和第二竖板1146，所述第一竖板1144与连接于安装底座上，所述第二竖板1146与第一竖板1144平行设置，第二竖板1146位于防护盖板1142的内腔，所述斜板1145连接第一竖板1144和第二竖板1146，三者可以一体成型。将防护侧板1143设置成上述结构，结构合理，制作架构，防护效果更加，并且能够便于在防护盖板1142与防护侧板1143之间预留出一定空间，使得夹爪滑动座112能够能够滑动卡接于防护侧板1143与防护盖板1142之间的滑动间隙116内。优选的实施例中，所述安装底板113截面呈“凵”字形结构，所述防护外罩114扣设于安装底板113上。防护外罩114可以之间搭设在安装底板113上，固定方便且有利于提高防护效果。优选的，所述安装底板为顶面为敞口的盒体。

请参阅图4，优选实施例中所述容置腔1141的两端还设有有端板117，用于封闭容置腔1141的两端口，所述夹爪驱动电机穿过端板与双向丝杆传动连接，夹爪驱动电机的输出轴端板之间安装有转动滑套。端板117的设置设置不仅可以进一步地保证容置腔1141的密封性，还可以避免单晶硅棒其他杂质掉落至容置腔1141内，影响夹持驱动机构的工作。

如图3所示的实施例中，所述夹爪驱动组件115还包括夹爪移动滑轨1154，所述移动滑块1152固定于夹爪移动滑轨1154，双向丝杆1151转动带动移动滑块1152沿夹爪移动滑轨1154运动。夹爪移动滑轨1154的设置使得圆棒夹爪111运动更加稳定，对硅晶圆棒的夹持更加稳定。

请参阅图2所述的实施例，所述左夹爪或者右夹爪的中部还设置有传感器1111。所述传感器1111用于配合单晶硅棒加工装置中的开方夹持机构和滚轮支撑架120，调整单晶硅棒的晶线以及单晶硅棒的中心线位置，以便于开方切割时的线锯对刀，提高切割精度。相对于现有技术，调整效率更高，更为安全可靠。

如图2所示，在进一步优选的实施例中，所述圆棒夹持单为两组，两组圆棒夹持单元110均与上滑动组件132固定。设置两组圆棒夹持单元110对硅晶圆棒的夹持更加的牢固，使得在单晶硅棒在进行切割送料过程更加稳定。优选的，所述滚轮支撑件的一端还设有轴向限位块A121和检测传感器122，轴向限位块A121以防止硅晶圆棒脱出，所述检测传感器122用于检测硅晶方棒是否放置到位。

请参阅图1、图6、图7和图8，作为本实用新型的一种优选实施例，所述方棒接取机构300包括长滚轮支架310、顶升驱动单元320和压力检测传感器330，所述顶升驱动单元的伸缩端与长滚轮支架310的底面连接，用于驱动长滚轮支架310升降运动，所述压力检测传感器330设置于长滚轮支架310上，用于判断硅晶方棒是否与长滚轮支架的滚轮支撑面接触。所述长滚轮支架310用于硅晶方棒的承接，具体是长滚轮支架310的滚轮支撑面与硅晶方棒的底面接触进行支撑。所述顶升驱动单元320在需要进行硅晶方棒接取时顶升，进而使得长滚轮支架310与硅晶方棒底面接触；在无需进行硅晶方棒接取时，顶升驱动单元320带动长滚轮支架310下降，以便进行下次硅晶方棒接取工作。当单晶方棒落在长滚轮支撑架上必然会引起压力变化，所述压力检测传感器330则通过检测硅晶方棒与长滚轮支架接触时的存在顶出压力，来判断硅晶方棒已经落在长滚轮支架上，从而保证硅晶方棒是否被稳定接取，进而防止单晶硅棒开方夹持机构松开硅晶方棒时下落不稳。压力检测传感器不直接检测顶出压力大小，而是通过检测到顶出压力来判断单晶方棒已经落到滚轮支撑架上。具体的，单晶方棒的底面落入到压力检测传感器的转动滚轮上，改变压力检测传感器的力矩检测到顶出压力。

本实施例方棒接取机构300在硅晶方棒的下方通过长滚轮支架310进行承接，接料过程简单，较为安全，通过顶升驱动单元320驱动使得长滚轮支架310与硅晶方棒接触或者远离，同时在长滚轮支架上设置压力检测传感器检测到顶出压力来判断硅晶方棒是否与长滚轮支架的滚轮支撑面接触，来确保硅晶方棒稳定落在长滚轮支架上，单晶硅棒开方夹持机构再松开硅晶方棒，大大提高接料的安全性。

请参阅图6和图7，所述方棒接取机构300还包括顶升滑动单元340和滑动机构安装板350，所述顶升滑动单元340包括顶升滑轴341和顶升滑套342，所述顶升滑轴341固定于滑动机构安装板350上，所述顶升滑轴滑动套设于顶升滑套342内，顶升滑轴341的顶端与长滚轮支架310的底部连接。所述滑动机构安装板350用于顶升滑动单元340的安装固定。顶升活动单元的设置使得顶升驱动单元320带动长滚轮支架310升降运动时更加稳定，通过顶升滑轴341和顶升滑套342的配合，进行直线升降运动限位。

如图8所示的实例中，所述顶升滑动单元340还包括润滑件343和密封垫344，所述润滑件343套设于顶升滑滑轴外，并与顶升滑套342固定，所述润滑件343内腔的两端具有润滑沟槽，所述密封垫344设置于润滑沟槽的外侧。通过油脂泵以及配油器可以向润滑件343内加入润滑油，从而对顶升滑轴341和顶升滑套342进行润滑，保证使用效果，增加顶升滑动单元340的使用寿命。

请参阅图8所示的实施例中，所述方棒接取机构300还包括缓冲器360，所述缓冲器360固定于滑动机构安装板350上，缓冲器360位于长滚轮支架310与滑动机构安装板350之间。缓冲器360主要起到缓冲避震作用，可以起到保护顶升驱动单元320的作用。

如图7所示优选实施例，所述顶升驱动单元320设置有两组，两组顶升驱动单元320的伸缩端均与长滚轮支架310的底面连接。两组顶升驱动单元320在带动长滚轮支架310运动时，提供的支撑力更加的稳定，支撑效果更好。同时防止单个顶升驱动单元320受力过大，影响使用寿命。具体的实施例中，所述顶升驱动单元320可以为气缸、液压缸或者直线电机等直线往复装置。

请参阅图6和图7，作为本实用新型的一种优选实施例，所述长滚轮支架310的两侧还设有侧向限位块311，用于防止硅晶方棒侧方滑落。在进一步优选的实施例中，所述长滚轮支架310的两端均设置轴向限位块B312，用于防止硅晶方棒侧方滑落。在某些其他的实施例中，所述长滚轮支架310的滚轮支撑面倾斜设置，长滚轮支架310的较低端设置有轴向限位块B312。长滚轮支架310的较高端可以是简易的开口式无限位结构，制作成本低，只需要将位于此端的滚轮设置更高一点，滚轮支撑面即可形成倾角，便能保证单晶方棒不会从开口端滑出。

请参阅图9所述的优选实施例，所述接送料装置还包括皮料接收机构700，所述皮料接收机构700用于单晶硅棒开方切割后产生的皮料的接取和收集工作。具体的，所述皮料接收机构设置于进给滑动架500上，且位于方棒接取机构300的同侧，皮料接收机构700包括皮料输送机710、限位板720和第一接料挡板730，所述皮料输送机710具有输送平台711，所述限位板720设置于输送平台711的两侧，所述限位板720上开设有沿输送方向设置长槽孔721，所述第一接料挡板730的两侧壁通过紧固螺钉740锁固于限位板720上，第一接料挡板730横跨于输送平台711上，且第一接料挡板730与输送平台711之间具有过料间隙750，第一接料挡板730具有接料斜面731。所述过料间隙750的高度在实际使用中可以通过皮料的厚度进行选择设置。

本实施例皮料接收机构700包括皮料输送机710、限位板720和第一接料挡板730，皮料输送机710具有输送平台711，限位板720设置于输送平台711的两侧，防止掉落的皮料掉出输送平台711，限位板720上开设有沿输送方向设置长槽孔721，第一接料挡板730的两侧壁通过紧固螺钉740锁固于限位板720上，可以根据单晶硅棒的规格来调整第一接料挡板730的在长槽孔721上的固定位置，使得开方切割后产生的皮料恰好掉落在第一接料挡板730的接料斜面731上，在滑落到输送平台711上，输送平台711运动，将皮料通过第一接料挡板730与输送平台711之间具有过料间隙750向外部进行输送收集。本方案中第一接料挡板730位置可调，将其调整到皮料刚好掉落在接料斜面731的位置上，能够有效减小皮料掉落冲击，保证了皮料输送机710的使用寿命，同时通过皮料输送机710进行皮料的输送替代人工收集，收集效率高，省时省力。

请参阅图9所示的优选实施例，所述皮料接收机构700还包括第二接料挡板760，所述第二接料档板固定于限位板720的一侧，第二接料档板横跨于输送平台711上，且与输送平台711之间具有运动间隙，第二接料挡板760具有接料斜面731。当前，较多单硅晶棒开方机是同时进行双边开方切割，两组边料夹持组件进行边料夹持。因此设置第二接料挡板760的设置是为了适配进行双边接料。第二接料挡板760与输送平台711设置运动间隙，是为了防止第二接料挡板760对输送平台711的移动造成干涉。在实际使用中，在安装时首先使得第二接料挡板760设置在皮料下方，使得皮料能够刚好落到第二接料挡板760的接料斜面731上；然后在沿着限位板720上的长槽孔721来调整第一接料挡板730的位置，使得皮料同样能够恰好落到第一接料挡板730上。从而能够更有效减小皮料掉落冲击，保证了皮料输送机710的使用寿命。

请参阅图9，优选的实施例中，所述皮料接收机构700还包括皮料检测传感器770，所述皮料检测传感器770设置于第一接料挡板730的前方的限位板720上。皮料检测传感器770用于确定第一批脱落的皮料已通过皮料输送机710远离第一接料挡板730一定安全距离后，再松开第二批皮料。如此，前后两次皮料的掉落相对有序，皮料之间没有砸落接触，不会产生碎片，同时输送有一定时间差，不会产生堆积，导致局部重量过大，影响皮料输送机710的使用寿命。优选的实施例中，所述限位板720上开设有容置孔780，所述皮料检测传感器770设置于所述容置孔780内，防止皮料检测传感器770对皮料的输送造成干涉，同时起到对皮料检测传感器770的保护作用。

请参阅图9，皮料接收机构700中限位板720上的长槽孔721至少为两条，长槽孔721设置于限位板720的不同高度上。设置多条长槽孔721，使得通过紧固螺钉740对第一接料挡板730进行锁固时更为牢固。具体的，所述皮料输送机710为皮带输送机、板链输送机或者履带输送机，以上皮料输送机710均可完成对皮料的稳定输送。

需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本实用新型的专利保护范围。因此，基于本实用新型的创新理念，对本文所述实施例进行的变更和修改，或利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的技术领域，均包括在本实用新型专利的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种单晶棒料接送料装置，其特征在于，所述接送料装置包括圆棒夹持机构、圆棒位移驱动机构、方棒接取机构、方棒位移驱动机构、进给滑动架和底架，所述圆棒夹持机构和方棒接取机构分别位于底架的两侧；

所述圆棒夹持机构包括圆棒夹持单元、滚轮支撑架、两轴滑动架和夹持单元移动驱动组件，所述滚轮支撑架固定于两轴滑动架上，所述两轴滑动架包括上滑动架、上滑动组件、下滑动架和下滑动组件，所述上滑动组件沿竖直方向设置于上滑动架的顶部，所述上滑动架固定于下滑动架上，所述下滑动架通过沿水平方向设置的下滑动组件装配于底架上，所述圆棒夹持单元与上滑动组件固定，所述夹持单元移动驱动组件用于驱动圆棒夹持单元在上滑动组件上沿竖直方向移动；

所述圆棒位移驱动机构用于驱动两轴支撑架沿水平方向进给运动；

所述方棒接取机构设置于进给滑动架上，所述进给滑动架装配于底架上；

所述方棒位移驱动机构用于驱动进给滑动架沿水平方向进给运动。

2.根据权利要求1所述单晶棒料接送料装置，其特征在于，所述圆棒夹持单元包括圆棒夹爪、夹爪滑动座、安装底板、防护外罩和夹爪驱动组件，所述圆棒夹爪包括左夹爪和右夹爪，所述左夹爪和右夹爪分别固定于两夹爪滑动座上，所述防护外罩设置于安装底板上形成容置腔，所述防护外罩包括防护盖板和两防护侧板，所述防护盖板为底面为敞口的矩形体，所述防护盖板罩设于防护侧板上，所述防护侧板与安装底板连接，所述防护侧板与防护盖板之间具有滑动间隙，所述夹爪滑动座通过所述滑动间隙可滑动套设于防护盖板上，所述夹爪驱动组件包括双向丝杆、移动滑块和夹爪驱动电机，所述双向丝杆设置于容置腔内，两夹爪固定座通过移动滑块分别连接双向丝杆的相反螺纹段，所述夹爪驱动电机与双向丝杆传动连接。

3.根据权利要求2所述单晶棒料接送料装置，其特征在于，所述圆棒夹持单元为两组，两组圆棒夹持单元均与上滑动组件固定。

4.根据权利要求1所述单晶棒料接送料装置，其特征在于，所述方棒接取机构包括长滚轮支架、顶升驱动单元和压力检测传感器，所述顶升驱动单元的伸缩端与长滚轮支架的底面连接，用于驱动长滚轮支架升降运动，所述压力检测传感器设置于长滚轮支架上，用于判断硅晶方棒是否与长滚轮支架的滚轮支撑面接触。

5.根据权利要求4所述单晶棒料接送料装置，其特征在于，所述方棒接取机构还包括顶升滑动单元和滑动机构安装板，所述顶升滑动单元包括顶升滑轴和顶升滑套，所述顶升滑轴固定于滑动机构安装板上，所述顶升滑轴滑动套设于顶升滑套内，顶升滑轴的顶端与长滚轮支架的底部连接。

6.根据权利要求5所述单晶棒料接送料装置，其特征在于，所述顶升滑动单元还包括润滑件和密封垫，所述润滑件套设于顶升滑滑轴外，并与顶升滑套固定，所述润滑件内腔的两端具有润滑沟槽，所述密封垫设置于润滑沟槽的外侧。

7.根据权利要求1所述单晶棒料接送料装置，其特征在于，所述接送料装置还包括皮料接收机构，所述皮料接收机构设置于进给滑动架上，且位于方棒接取机构的同侧，皮料接收机构包括皮料输送机、限位板和第一接料挡板，所述皮料输送机具有输送平台，所述限位板设置于输送平台的两侧，所述限位板上开设有沿输送方向设置长槽孔，所述第一接料挡板的两侧壁通过紧固螺钉锁固于限位板上，第一接料挡板横跨于输送平台上，且第一接料挡板与输送平台之间具有过料间隙，第一接料挡板具有接料斜面。

8.根据权利要求7所述单晶棒料接送料装置，其特征在于，所述皮料接收机构还包括第二接料挡板，所述第二接料档板固定于限位板的一侧，第二接料档板横跨于输送平台上，且与输送平台之间具有运动间隙，第二接料挡板具有接料斜面。

9.根据权利要求7所述单晶棒料接送料装置，其特征在于，所述皮料接收机构还包括皮料检测传感器，所述皮料检测传感器设置于第一接料挡板的前方的限位板上。

10.根据权利要求1所述单晶棒料接送料装置，其特征在于，所述底架上设置有进给移动滑轨，所述两轴滑动架和滑动架均装配于进给移动滑轨上。

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