CN213878036U - 一种晶圆旋转脱离装置 - Google Patents
一种晶圆旋转脱离装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN213878036U CN213878036U CN202023042546.3U CN202023042546U CN213878036U CN 213878036 U CN213878036 U CN 213878036U CN 202023042546 U CN202023042546 U CN 202023042546U CN 213878036 U CN213878036 U CN 213878036U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- suction pump
- wafer
- box
- exhaust port
- control panel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型为一种晶圆旋转脱离装置，包括操作台、操作箱以及控制箱，所述操作台上设有放置口，所述放置口上设有吸附孔，所述操作箱的内部设有第一吸泵，所述第一吸泵的一端设有第一排气口，所述第一吸泵的顶端设有连接管道，所述控制箱包括转柱、控制面板以及电机，所述控制箱的底端设有安装板，所述安装板的底端设有支柱，所述支柱的底端设有吸垫，所述支柱的内部设有第二吸泵，所述第二吸泵的顶端设有第二排气口，通过第一吸泵将晶圆吸附在放置口上，通过多个吸附口使晶圆进行充分吸附固定，防止第一吸泵因吸附力过大损伤晶圆，旋转过程中，通过第二吸泵使吸垫对地面进行吸附紧固，使该装置稳定放置在地面上。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域，具体为一种晶圆旋转脱离装置。
背景技术
众所周知，晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工一片或多片晶圆，随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点，同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点，发光二极管晶圆在制造完成之后，必须进行晶圆减薄加工，其包含研磨与抛光操作，以进行后续的晶圆切割、封装等操作。
如对比公开专利“CN203288572U”名为“一种晶圆旋转脱离装置”，其包含一磁铁固定座与一铁环座，其中，该磁铁固定座的表面具有多个磁铁与多个弧槽，该多个磁铁与该多个弧槽排列为圆环状，且该多个弧槽为等分均匀分散排列，而该铁环座承载该铁环且具有对应于该多个弧槽的多个滚轮，该一种晶圆旋转脱离装置在固定晶圆时，对晶圆的紧固力度调整不准确，如果是力度较小导致在旋转过程中晶圆飞溅出去，如果是力度较大对晶圆造成一定的损伤等问题，不方便工作人员调整紧固力度。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种紧固稳定，方便操作的晶圆旋转脱离装置。
(二)技术方案
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆旋转脱离装置，包括操作台、操作箱以及控制箱，所述操作台安装在所述操作箱的顶端，所述操作台上设有放置口，所述放置口设有多个，所述放置口上设有吸附孔，所述吸附孔设有多个，所述操作箱的内部设有第一吸泵，所述第一吸泵的一端设有第一排气口，所述第一排气口连通所述操作箱，所述第一吸泵的顶端设有连接管道，所述连接管道分叉连接所述吸附孔，所述第一吸泵连通所述第一排气口以及连接管道，所述控制箱包括转柱、控制面板以及电机，所述控制面板安装在所述控制箱的一侧，所述电机安装在所述控制箱的内部，所述转柱安装在所述控制箱的顶端，且所述转柱抵在所述操作箱的底端，所述转柱连通所述电机，所述控制箱的底端设有安装板，所述安装板的底端设有支柱，所述支柱设有多个，所述支柱的底端设有吸垫，所述支柱的内部设有第二吸泵，所述第二吸泵的顶端设有第二排气口，所述第二排气口连通所述安装板，所述第二吸泵连通所述第二排气口、支柱以及吸垫，所述控制面板与所述第一吸泵、第二吸泵以及电机之间设有电路线连接。
为了使晶圆紧固更加稳定，本实用新型改进有，所述操作箱的内部设有电磁器，所述放置口上设有电磁环，所述电磁器与所述电磁环之间设有电路线连接，所述控制面板与所述电磁器之间设有电路线连接。
为了方便工作人员检测装置内部的压力值，本实用新型改进有，所述连接管道的内部设有气压检测器，所述控制面板与所述气压检测器之间设有电路线连接。
为了防止灰尘进入装置内部，影响设备正常运行，本实用新型改进有，所述第一排气口以及第二排气口上设有防尘网。
为了延长防尘网的使用寿命，本实用新型改进有，所述防尘网的材质为不锈钢材质。
为了防止晶圆加工过程中腐蚀该装置，本实用新型改进有，所述操作台的外表面涂有防腐蚀涂料。
为了方便工作人员操作该装置，本实用新型改进有，所述控制面板包括控制模块、显示屏以及按键，所述控制模块与所述显示屏以及按键之间设有电路线连接。
为了方便工作人员调整该装置的旋转速率，本实用新型改进有，所述电机的顶端设有变速箱，所述支柱连通所述变速箱，所述控制面板与所述变速箱之间设有电路线连接。
(三)有益效果
与现有技术相比，本实用新型提供了一种晶圆旋转脱离装置，具备以下有益效果：
该晶圆旋转脱离装置，通过第一吸泵将晶圆吸附在放置口上，通过多个吸附口使晶圆进行充分吸附固定，防止第一吸泵因吸附力过大损伤晶圆，通过电机进行旋转操作箱和操作台，旋转过程中，通过第二吸泵使吸垫对地面进行吸附紧固，使该装置稳定放置在地面上，防止旋转过程中该装置发生晃动，方便工作人员操作，防止吸附晶圆过程中损伤晶圆增加的成本费用，稳定高效，同时对多个晶圆进行作业，提高生产效率。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型结构正视图；
图3为本实用新型结构右视半剖图；
图4为本实用新型图1中操作台的结构俯视半剖图；
图5为本实用新型图4中吸附孔结构正视半剖图。
图中：1、操作台；2、放置口；3、连接管道；4、第一吸泵；5、第一排气口；6、操作箱；7、转柱；8、控制箱；9、控制面板；10、电机；11、安装板；12、支柱；13、吸垫；14、电磁环；15、电磁器；16、第二吸泵；17、第二排气口；18、吸附孔。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-5，本实用新型为一种晶圆旋转脱离装置，包括操作台1、操作箱6以及控制箱8，所述操作台1安装在所述操作箱6的顶端，所述操作台1上设有放置口2，所述放置口2设有多个，所述放置口2上设有吸附孔18，所述吸附孔18设有多个，所述操作箱6的内部设有第一吸泵4，所述第一吸泵4的一端设有第一排气口5，所述第一排气口5连通所述操作箱6，所述第一吸泵4的顶端设有连接管道3，所述连接管道3分叉连接所述吸附孔18，所述第一吸泵4连通所述第一排气口5以及连接管道3，所述控制箱8包括转柱7、控制面板9以及电机10，所述控制面板9安装在所述控制箱8的一侧，所述电机10安装在所述控制箱8的内部，所述转柱7安装在所述控制箱8的顶端，且所述转柱7抵在所述操作箱6的底端，所述转柱7连通所述电机10，所述控制箱8的底端设有安装板11，所述安装板11的底端设有支柱12，所述支柱12设有多个，所述支柱12的底端设有吸垫13，所述支柱12的内部设有第二吸泵16，所述第二吸泵16的顶端设有第二排气口17，所述第二排气口17连通所述安装板11，所述第二吸泵16连通所述第二排气口17、支柱12以及吸垫13，所述控制面板9与所述第一吸泵4、第二吸泵16以及电机10之间设有电路线连接。
综上所述，该晶圆旋转脱离装置，在使用时，工作人员将设备接入电源，通过控制面板9开启该装置，将晶圆防止在放置口2上，控制面板9通过电路线控制第一吸泵4、电机10以及第二吸泵16，操作箱6的第一吸泵4通过连接管道3进行吸气，使多个吸附孔18使晶圆进行充分吸附固定，气体通过第一气泵传输到第一排气口5中进行排出，通过多个吸附孔18防止第一吸泵4因吸附力过大损伤晶圆，通过控制箱8内部的电机10进行旋转转柱7，转柱7带动操作箱6和操作台1进行旋转，使晶圆进行旋转脱离作业，旋转过程中，通过第二吸泵16对支柱12和吸垫13进行吸收空气，使吸垫13对地面进行吸附紧固，气体通过第二吸泵16传输到安装板11上的第二排气口17中排出，使该装置稳定放置在地面上，防止旋转过程中该装置发生晃动，方便工作人员操作，防止吸附晶圆过程中损伤晶圆增加的成本费用，稳定高效，同时对多个晶圆进行作业，提高生产效率。
本实施例中，所述操作箱6的内部设有电磁器15，所述放置口2上设有电磁环14，所述电磁器15与所述电磁环14之间设有电路线连接，所述控制面板9与所述电磁器15之间设有电路线连接，使晶圆紧固更加稳定。
本实施例中，所述连接管道3的内部设有气压检测器，所述控制面板9与所述气压检测器之间设有电路线连接，方便工作人员检测装置内部的压力值。
本实施例中，所述第一排气口5以及第二排气口17上设有防尘网，防止灰尘进入装置内部，影响设备正常运行。
本实施例中，所述防尘网的材质为不锈钢材质，延长防尘网的使用寿命。
本实施例中，所述操作台1的外表面涂有防腐蚀涂料，防止晶圆加工过程中腐蚀该装置。
本实施例中，所述控制面板9包括控制模块、显示屏以及按键，所述控制模块与所述显示屏以及按键之间设有电路线连接，方便工作人员操作该装置。
本实施例中，所述电机10的顶端设有变速箱，所述支柱12连通所述变速箱，所述控制面板9与所述变速箱之间设有电路线连接，方便工作人员调整该装置的旋转速率。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (8)
1.一种晶圆旋转脱离装置，其特征在于，包括操作台(1)、操作箱(6)以及控制箱(8)，所述操作台(1)安装在所述操作箱(6)的顶端，所述操作台(1)上设有放置口(2)，所述放置口(2)设有多个，所述放置口(2)上设有吸附孔(18)，所述吸附孔(18)设有多个，所述操作箱(6)的内部设有第一吸泵(4)，所述第一吸泵(4)的一端设有第一排气口(5)，所述第一排气口(5)连通所述操作箱(6)，所述第一吸泵(4)的顶端设有连接管道(3)，所述连接管道(3)分叉连接所述吸附孔(18)，所述第一吸泵(4)连通所述第一排气口(5)以及连接管道(3)，所述控制箱(8)包括转柱(7)、控制面板(9)以及电机(10)，所述控制面板(9)安装在所述控制箱(8)的一侧，所述电机(10)安装在所述控制箱(8)的内部，所述转柱(7)安装在所述控制箱(8)的顶端，且所述转柱(7)抵在所述操作箱(6)的底端，所述转柱(7)连通所述电机(10)，所述控制箱(8)的底端设有安装板(11)，所述安装板(11)的底端设有支柱(12)，所述支柱(12)设有多个，所述支柱(12)的底端设有吸垫(13)，所述支柱(12)的内部设有第二吸泵(16)，所述第二吸泵(16)的顶端设有第二排气口(17)，所述第二排气口(17)连通所述安装板(11)，所述第二吸泵(16)连通所述第二排气口(17)、支柱(12)以及吸垫(13)，所述控制面板(9)与所述第一吸泵(4)、第二吸泵(16)以及电机(10)之间设有电路线连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆旋转脱离装置，其特征在于，所述操作箱(6)的内部设有电磁器(15)，所述放置口(2)上设有电磁环(14)，所述电磁器(15)与所述电磁环(14)之间设有电路线连接，所述控制面板(9)与所述电磁器(15)之间设有电路线连接。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆旋转脱离装置，其特征在于，所述连接管道(3)的内部设有气压检测器，所述控制面板(9)与所述气压检测器之间设有电路线连接。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆旋转脱离装置，其特征在于，所述第一排气口(5)以及第二排气口(17)上设有防尘网。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆旋转脱离装置，其特征在于，所述防尘网的材质为不锈钢材质。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆旋转脱离装置，其特征在于，所述操作台(1)的外表面涂有防腐蚀涂料。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆旋转脱离装置，其特征在于，所述控制面板(9)包括控制模块、显示屏以及按键，所述控制模块与所述显示屏以及按键之间设有电路线连接。
8.根据权利要求1所述的一种晶圆旋转脱离装置，其特征在于，所述电机(10)的顶端设有变速箱，所述支柱(12)连通所述变速箱，所述控制面板(9)与所述变速箱之间设有电路线连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202023042546.3U CN213878036U (zh) | 2020-12-15 | 2020-12-15 | 一种晶圆旋转脱离装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202023042546.3U CN213878036U (zh) | 2020-12-15 | 2020-12-15 | 一种晶圆旋转脱离装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN213878036U true CN213878036U (zh) | 2021-08-03 |
Family
ID=77068790
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202023042546.3U Active CN213878036U (zh) | 2020-12-15 | 2020-12-15 | 一种晶圆旋转脱离装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN213878036U (zh) |
-
2020
- 2020-12-15 CN CN202023042546.3U patent/CN213878036U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN115476237B (zh) | 一种单晶硅片自动翻面磨削设备 | |
| JP2008187098A (ja) | 基板の吸着方法および吸着装置 | |
| JP2006237333A (ja) | 半導体ウエーハの研削方法および研削装置 | |
| CN213878036U (zh) | 一种晶圆旋转脱离装置 | |
| CN108926928A (zh) | 一种用于打磨工位的粉尘分离及风量平衡装置 | |
| US20120252212A1 (en) | Processing method for wafer having embedded electrodes | |
| JPH11320406A (ja) | 研磨装置における排液・排気の処理方法及び装置 | |
| CN114248199A (zh) | 一种晶圆平坦化工序中作为连接件的双面吸附装置 | |
| CN114899139B (zh) | 一种晶圆定位夹紧组件 | |
| CN218827036U (zh) | 一种吸附晶圆的真空调节装置 | |
| CN218726561U (zh) | 一种检查集成电路芯片外观的检测装置 | |
| CN218282848U (zh) | 晶圆清洗装置 | |
| KR101289629B1 (ko) | 집진 장치를 구비한 카세트 반송 장비 및 그 집진 방법 | |
| JP2016215342A (ja) | ウェーハの回収方法及び両面研磨装置 | |
| CN213084720U (zh) | 玻璃件转料装置 | |
| CN206154042U (zh) | 一种壳体用自动打磨装置 | |
| CN108296980A (zh) | 水晶平面研磨装置及其磨头结构 | |
| CN115241114B (zh) | 一种晶圆盘夹具 | |
| CN219275532U (zh) | 一种晶片抛光用取片装置 | |
| CN207642743U (zh) | 一种连续负压旋转装置 | |
| CN212967660U (zh) | 一种多工位旋转吸附放料机构 | |
| CN217334048U (zh) | 一种半导体晶圆划片机贴片环吸附载具 | |
| CN218613601U (zh) | 一种针对非全尺寸晶圆的机械对中装置 | |
| CN216657548U (zh) | 一种晶圆平坦化工序中作为连接件的双面吸附装置 | |
| CN218137242U (zh) | 一种测试晶圆生产用研磨装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of utility model: A wafer rotating and disengaging device Effective date of registration: 20220818 Granted publication date: 20210803 Pledgee: Guangdong Nanhai rural commercial bank Limited by Share Ltd. Li Shui branch Pledgor: Guangzhou Honghao Optoelectronic Semiconductor Co.,Ltd. Registration number: Y2022980012957 |