CN213583725U - 一种可调节式石英舟 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种可调节式石英舟，包括底杆、固定架、翻转架以及限位杆；所述底杆的底端设置有支脚，所述固定架与底杆上端固定连接，所述翻转架与底杆两端铰接；所述底杆上设置有底定位条，所述固定架上设置有固定定位条，所述翻转架上设置有翻转定位条，所述底定位条、固定定位条以及翻转定位条上均设置有定位凹槽；所述限位杆与固定架上的销轴铰接，所述限位杆上设置有卡槽，所述卡槽与翻转架上的卡柱的位置相对应。本实用新型一种可调节式石英舟，具备变形调节能力，可根据晶圆硅片的尺寸进行翻转调节，从而实现对多种不同规格的晶圆硅片的放置，通用性较强。

Description

一种可调节式石英舟

技术领域

本实用新型涉及一种石英舟，具体涉及一种可调节式石英舟。

背景技术

在晶圆片的生产加工过程中，需要使用专用的清洗剂对晶圆硅片进行清洗操作，以确保硅片表面的洁净度。硅片的清洗操作为：将硅片放置在石英舟上，然后将整个石英舟浸入液态的清洗剂中进行清洗。

但是，现有的硅片石英舟均为一体成型式的石英结构体，不具备变形调节能力，即只能对特定大小的硅片进行承载，而不能对其他尺寸的硅片进行承载，通用性较低。

实用新型内容

本实用新型的目的是：提供一种可调节式石英舟，具备变形调节能力，可根据晶圆硅片的尺寸进行翻转调节，从而实现对多种不同规格的晶圆硅片的放置，通用性较强。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下的技术方案：

一种可调节式石英舟，包括底杆、固定架、翻转架以及限位杆；所述底杆的底端设置有支脚，所述固定架与底杆上端固定连接，所述翻转架与底杆两端铰接；所述底杆上设置有底定位条，所述固定架上设置有固定定位条，所述翻转架上设置有翻转定位条，所述底定位条、固定定位条以及翻转定位条上均设置有定位凹槽；所述限位杆与固定架上的销轴铰接，所述限位杆上设置有卡槽，所述卡槽与翻转架上的卡柱的位置相对应。

进一步的，所述底杆呈圆柱状并且水平设置，所述支脚的截面呈倒置V形；所述固定架与翻转架的夹角为锐角。

进一步的，所述底定位条、固定定位条以及翻转定位条均呈条状并且相平行，所述底定位条、固定定位条以及翻转定位条上的定位凹槽均一一对应。

进一步的，所述限位杆具体位于固定架的两侧，所述限位杆呈圆杆状，所述卡槽位于限位杆远离销轴的端头处。

进一步的，所述卡柱呈圆柱状，所述卡槽的间隙宽度大于卡柱的直径。

本实用新型的有益效果为：一种可调节式石英舟，通过底杆、支脚、固定架、翻转架、限位杆、销轴以及卡柱的配合使用，具备变形调节能力，可根据晶圆硅片的尺寸对固定架与翻转架的夹角进行翻转调节，从而实现对多种不同规格的晶圆硅片的放置，通用性较强。

附图说明

图1为本实用新型一种可调节式石英舟的整体结构示意图。

图2为本实用新型一种可调节式石英舟另一视角的整体结构示意图。

图中：1、底杆；2、支脚；3、固定架；4、翻转架；5、底定位条；6、固定定位条；7、翻转定位条；8、限位杆；81、卡槽；9、销轴；10、卡柱。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型作进一步的详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

参考图1和图2，一种可调节式石英舟，包括底杆1、固定架3、翻转架4以及限位杆8；所述底杆1的底端设置有支脚2，支脚2用于支撑底杆1，所述固定架3与底杆1上端固定连接，所述翻转架4与底杆1两端铰接；所述底杆1上设置有底定位条5，所述固定架3上设置有固定定位条6，所述翻转架4上设置有翻转定位条7，所述底定位条5、固定定位条6以及翻转定位条7上均设置有定位凹槽，定位凹槽用于对晶圆硅片进行定位；所述限位杆8与固定架3上的销轴9铰接，所述限位杆8上设置有卡槽81，所述卡槽81与翻转架4上的卡柱10的位置相对应，所述限位杆8用于对固定架3与翻转架4的夹角进行限定，所述卡槽81用于容纳卡柱10。

所述底杆1呈圆柱状并且水平设置，所述支脚2的截面呈倒置V形，确保稳固性；所述固定架3与翻转架4的夹角为锐角。

所述底定位条5、固定定位条6以及翻转定位条7均呈条状并且相平行，所述底定位条5、固定定位条6以及翻转定位条7上的定位凹槽均一一对应，从而满足单个硅片的三点定位。

所述限位杆8具体位于固定架3的两侧，所述限位杆8呈圆杆状，所述卡槽81位于限位杆8远离销轴9的端头处。

所述卡柱10呈圆柱状，所述卡槽81的间隙宽度大于卡柱10的直径，以确保卡柱10可以卡入卡槽81内。

本实用新型的工作原理为：首先根据晶圆硅片的直径尺寸，来调节固定架3与翻转架4的夹角；将限位杆8翻转打开，使卡柱10脱离卡槽81，随后将固定架3与翻转架4的夹角调节至合适范围，然后翻转限位杆8，使卡柱10卡在卡槽81内，从而实现固定架3与翻转架4的相对固定，此时可将待进行清洗的晶圆硅片放置在底定位条5、固定定位条6以及翻转定位条7上的定位凹槽内，实现晶圆硅片的放置定位，然后可将石英舟浸入液态的清洗剂中进行清洗。

上述实施例用于对本实用新型作进一步的说明，但并不将本实用新型局限于这些具体实施方式。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应理解为在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种可调节式石英舟，其特征在于：包括底杆(1)、固定架(3)、翻转架(4)以及限位杆(8)；所述底杆(1)的底端设置有支脚(2)，所述固定架(3)与底杆(1)上端固定连接，所述翻转架(4)与底杆(1)两端铰接；所述底杆(1)上设置有底定位条(5)，所述固定架(3)上设置有固定定位条(6)，所述翻转架(4)上设置有翻转定位条(7)，所述底定位条(5)、固定定位条(6)以及翻转定位条(7)上均设置有定位凹槽；所述限位杆(8)与固定架(3)上的销轴(9)铰接，所述限位杆(8)上设置有卡槽(81)，所述卡槽(81)与翻转架(4)上的卡柱(10)的位置相对应。

2.根据权利要求1所述的一种可调节式石英舟，其特征在于：所述底杆(1)呈圆柱状并且水平设置，所述支脚(2)的截面呈倒置V形；所述固定架(3)与翻转架(4)的夹角为锐角。

3.根据权利要求2所述的一种可调节式石英舟，其特征在于：所述底定位条(5)、固定定位条(6)以及翻转定位条(7)均呈条状并且相平行，所述底定位条(5)、固定定位条(6)以及翻转定位条(7)上的定位凹槽均一一对应。

4.根据权利要求3所述的一种可调节式石英舟，其特征在于：所述限位杆(8)具体位于固定架(3)的两侧，所述限位杆(8)呈圆杆状，所述卡槽(81)位于限位杆(8)远离销轴(9)的端头处。

5.根据权利要求4所述的一种可调节式石英舟，其特征在于：所述卡柱(10)呈圆柱状，所述卡槽(81)的间隙宽度大于卡柱(10)的直径。

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