CN214099604U - 一种用于硅片放置固定的石英舟 - Google Patents
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- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 48
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 47
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 47
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 23
- 239000010453 quartz Substances 0.000 title claims abstract description 21
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 title claims abstract description 21
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005272 metallurgy Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000011435 rock Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
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Abstract
本实用新型涉及石英舟领域，且公开了一种用于硅片放置固定的石英舟，包括支架、第一支撑杆、第二支撑杆、第一滑动杆、第二滑动杆以及调节装置，所述支架设于水平台上，所述第一支撑杆的两端穿插于支架开设的通孔内，且第一支撑杆外表面固定连接于支架通孔侧壁，所述第二支撑杆底部固定连接于支架的顶部，所述第一滑动杆通过调节装置活动连接于第一支撑杆，所述第二滑动杆通过调节装置活动连接于第二支撑杆，该实用新型，使得该装置可放置不同尺寸的硅片，此外，通过夹紧装置，硅片的顶部正好卡合在橡胶垫的卡位槽内，且在第二弹簧的作用下，压板通过橡胶垫紧紧的压着硅片，使得硅片更加稳定，不易晃动。
Description
技术领域
本实用新型涉及石英舟领域，具体为一种用于硅片放置固定的石英舟。
背景技术
石英舟又名石英玻璃，随着现代科学技术的发展，石英玻璃在各个领域方面得到更加广泛的应用，比如化工、冶金、电工、科研等方面，硅片在进行放置时，也需要用到石英舟，一般一个石英舟只能放置一种尺寸的硅片，不同尺寸的硅片需要不同的石英舟进行放置，比较麻烦，此外，硅片放置在石英舟上不够稳定，容易晃动。
为此，我们设计了一种用于硅片放置固定的石英舟。
实用新型内容
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于硅片放置固定的石英舟，解决了上述背景技术中提出的问题。
为了达到上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：
一种用于硅片放置固定的石英舟，包括支架、第一支撑杆、第二支撑杆、第一滑动杆、第二滑动杆以及调节装置，所述支架设于水平台上，所述第一支撑杆的两端穿插于支架开设的通孔内，且第一支撑杆外表面固定连接于支架通孔侧壁，所述第二支撑杆底部固定连接于支架的顶部，所述第一滑动杆通过调节装置活动连接于第一支撑杆，所述第二滑动杆通过调节装置活动连接于第二支撑杆。
进一步的，所述第一滑动杆及第二滑动杆均设有两个，且第一滑动杆及第二滑动杆之间放置有硅片，且硅片通过夹紧装置活动连接于第二支撑杆。
进一步的，所述第一滑动杆及第二滑动杆上均开设有限位槽。
进一步的，所述调节装置包括移动块、第一弹簧以及限位螺栓，所述移动块设于第二支撑杆的内腔中，且移动块的一端通过第二支撑杆内腔侧壁开设的通孔固定连接于第二滑动杆，所述第一弹簧的两端分别固定连接于第二支撑杆的内腔底部以及移动块，所述限位螺栓与第二支撑杆的内腔侧壁螺纹相啮合。
进一步的，所述夹紧装置包括固定块、连接块、第一连接体、第二连接体、第二弹簧以及压板，所述固定块一端固定连接于第二支撑杆，所述连接块铰接于固定块，所述第一连接体的底部固定连接于连接块，所述第二连接体的底部设于第一连接体的盲孔内，且第二连接体通过第二弹簧活动连接于第一连接体，所述第二弹簧的两端分别固定连接于第一连接体的内腔底部以及第二连接体，所述压板的底部固定连接于第二连接体的顶部。
进一步的，所述压板的底部固定连接有橡胶垫，且橡胶垫上开设有若干个卡位槽。
本实用新型的有益效果为：
1、该实用新型，通过调节装置，若需要调节整个装置的尺寸，工作人员直接转动限位螺栓，即可使得两个第一滑动杆之间距离发生改变，两个第二滑动杆之间的距离发生改变，由此，即可使得该装置可放置不同尺寸的硅片。
2、该实用新型，通过夹紧装置，工作人员在将硅片放上后，手持压板并且转动，将压板置于硅片的顶部，硅片的顶部正好卡合在橡胶垫的卡位槽内，且在第二弹簧的作用下，压板通过橡胶垫紧紧的压着硅片，使得硅片更加稳定，不易晃动。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型中调节装置内部结构示意图；
图3为本实用新型中夹紧装置内部结构示意图。
图中：1、支架；2、第一支撑杆；3、第二支撑杆；4、第一滑动杆；5、第二滑动杆；6、调节装置；7、硅片；8、夹紧装置；9、限位槽；10、移动块；11、第一弹簧；12、限位螺栓；13、固定块；14、连接块；15、第一连接体；16、第二连接体；17、第二弹簧；18、压板；19、橡胶垫；20、卡位槽。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
参看图1-3：一种用于硅片放置固定的石英舟，包括支架1、第一支撑杆2、第二支撑杆3、第一滑动杆4、第二滑动杆5以及调节装置6，支架1设于水平台上，第一支撑杆2的两端穿插于支架1开设的通孔内，且第一支撑杆2外表面固定连接于支架1通孔侧壁，第二支撑杆3底部固定连接于支架1的顶部，第一滑动杆4通过调节装置6活动连接于第一支撑杆2，第二滑动杆5通过调节装置6活动连接于第二支撑杆3，第一滑动杆4及第二滑动杆5均设有两个，且第一滑动杆4及第二滑动杆5之间放置有硅片7，且硅片7通过夹紧装置8活动连接于第二支撑杆3，第一滑动杆4及第二滑动杆5上均开设有限位槽9。
其中，调节装置6包括移动块10、第一弹簧11以及限位螺栓12，移动块10设于第二支撑杆3的内腔中，且移动块10的一端通过第二支撑杆3内腔侧壁开设的通孔固定连接于第二滑动杆5，第一弹簧11的两端分别固定连接于第二支撑杆3的内腔底部以及移动块10，限位螺栓12与第二支撑杆3的内腔侧壁螺纹相啮合，通过调节装置6，若需要调节整个装置的尺寸，工作人员直接转动限位螺栓12，即可使得两个第一滑动杆4之间距离发生改变，两个第二滑动杆5之间的距离发生改变，由此，即可使得该装置可放置不同尺寸的硅片7。
其中，夹紧装置8包括固定块13、连接块14、第一连接体15、第二连接体16、第二弹簧17以及压板18，固定块13一端固定连接于第二支撑杆3，连接块14铰接于固定块13，第一连接体15的底部固定连接于连接块14，第二连接体16的底部设于第一连接体15的盲孔内，且第二连接体16通过第二弹簧17活动连接于第一连接体15，第二弹簧17的两端分别固定连接于第一连接体15的内腔底部以及第二连接体16，压板18的底部固定连接于第二连接体16的顶部，且压板18的底部固定连接有橡胶垫19，橡胶垫19上开设有若干个卡位槽20，通过夹紧装置8，工作人员在将硅片7放上后，手持压板18并且转动，将压板18置于硅片7的顶部，硅片7的顶部正好卡合在橡胶垫19的卡位槽20内，且在第二弹簧17的作用下，压板18通过橡胶垫19紧紧的压着硅片7，使得硅片7更加稳定，不易晃动。
综上所述，本实用新型在使用时，通过调节装置6，若需要调节整个装置的尺寸，工作人员直接转动限位螺栓12，即可使得两个第一滑动杆4之间距离发生改变，两个第二滑动杆5之间的距离发生改变，由此，即可使得该装置可放置不同尺寸的硅片7，此外，通过夹紧装置8，工作人员在将硅片7放上后，手持压板18并且转动，将压板18置于硅片7的顶部，硅片7的顶部正好卡合在橡胶垫19的卡位槽20内，且在第二弹簧17的作用下，压板18通过橡胶垫19紧紧的压着硅片7，使得硅片7更加稳定，不易晃动。
以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (6)
1.一种用于硅片放置固定的石英舟，包括支架(1)、第一支撑杆(2)、第二支撑杆(3)、第一滑动杆(4)、第二滑动杆(5)以及调节装置(6)，其特征在于：所述支架(1)设于水平台上，所述第一支撑杆(2)的两端穿插于支架(1)开设的通孔内，且第一支撑杆(2)外表面固定连接于支架(1)通孔侧壁，所述第二支撑杆(3)底部固定连接于支架(1)的顶部，所述第一滑动杆(4)通过调节装置(6)活动连接于第一支撑杆(2)，所述第二滑动杆(5)通过调节装置(6)活动连接于第二支撑杆(3)。
2.根据权利要求1所述的一种用于硅片放置固定的石英舟，其特征在于：所述第一滑动杆(4)及第二滑动杆(5)均设有两个，且第一滑动杆(4)及第二滑动杆(5)之间放置有硅片(7)，且硅片(7)通过夹紧装置(8)活动连接于第二支撑杆(3)。
3.根据权利要求1所述的一种用于硅片放置固定的石英舟，其特征在于：所述第一滑动杆(4)及第二滑动杆(5)上均开设有限位槽(9)。
4.根据权利要求1所述的一种用于硅片放置固定的石英舟，其特征在于：所述调节装置(6)包括移动块(10)、第一弹簧(11)以及限位螺栓(12)，所述移动块(10)设于第二支撑杆(3)的内腔中，且移动块(10)的一端通过第二支撑杆(3)内腔侧壁开设的通孔固定连接于第二滑动杆(5)，所述第一弹簧(11)的两端分别固定连接于第二支撑杆(3)的内腔底部以及移动块(10)，所述限位螺栓(12)与第二支撑杆(3)的内腔侧壁螺纹相啮合。
5.根据权利要求2所述的一种用于硅片放置固定的石英舟，其特征在于：所述夹紧装置(8)包括固定块(13)、连接块(14)、第一连接体(15)、第二连接体(16)、第二弹簧(17)以及压板(18)，所述固定块(13)一端固定连接于第二支撑杆(3)，所述连接块(14)铰接于固定块(13)，所述第一连接体(15)的底部固定连接于连接块(14)，所述第二连接体(16)的底部设于第一连接体(15)的盲孔内，且第二连接体(16)通过第二弹簧(17)活动连接于第一连接体(15)，所述第二弹簧(17)的两端分别固定连接于第一连接体(15)的内腔底部以及第二连接体(16)，所述压板(18)的底部固定连接于第二连接体(16)的顶部。
6.根据权利要求5所述的一种用于硅片放置固定的石英舟，其特征在于：所述压板(18)的底部固定连接有橡胶垫(19)，且橡胶垫(19)上开设有若干个卡位槽(20)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120235427.5U CN214099604U (zh) | 2021-01-28 | 2021-01-28 | 一种用于硅片放置固定的石英舟 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120235427.5U CN214099604U (zh) | 2021-01-28 | 2021-01-28 | 一种用于硅片放置固定的石英舟 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN214099604U true CN214099604U (zh) | 2021-08-31 |
Family
ID=77440928
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN115420093A (zh) * | 2022-08-31 | 2022-12-02 | 上海华力微电子有限公司 | 石英烘干架及烘干装置 |
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2021
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115420093A (zh) * | 2022-08-31 | 2022-12-02 | 上海华力微电子有限公司 | 石英烘干架及烘干装置 |
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