CN206799728U - 一种用于固定石英晶片镀膜夹具的固定框 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于固定石英晶片镀膜夹具的固定框，属于石英晶片镀膜技术领域，包括：支架，包括底部和分别垂直于底部的两根支柱；压条，压条的两端分别设置于两根支柱未连接底部的一端，压条内设置有磁铁。固定挡板，与底部的一个侧面贴合固定，固定挡板包括：支撑板，与底部的一个侧面贴合固定，并且支撑板低于底部的上端面；挡板，设置于支撑板未贴合底部的一面，挡板高于支撑板；固定挡板与支架的底部之间形成一沟槽。上述技术方案的有益效果是：在固定框的底部设置沟槽来放置石英晶片镀膜夹具，再使用带有磁铁的压条固定夹具，不需在固定框内设置挡板定位，实现放置夹具数量的增加，有效降低单位产品对镀膜材料的耗用量。

Description

一种用于固定石英晶片镀膜夹具的固定框

技术领域

本实用新型涉及石英晶片镀膜技术领域，尤其涉及一种适用于镀膜设备的用于固定石英晶片镀膜夹具的固定框。

背景技术

在石英晶体谐振器生产过程中，镀膜是最重要的工序之一，其效率的提升一直是石英晶片生产厂家的重点项目。石英晶片镀膜工序主要是利用溅射原理，溅射镀膜就是在真空环镜中，利用荷能粒子轰击靶材表面，使被轰击出的粒子沉积在石英晶片上的技术。镀膜设备中的石英晶片镀膜固定框的设计好坏，不仅影响镀膜设备的效率，而且影响耗材的单位耗用率，由于石英晶片的电极材料一般选用稳定性和导电性能优良的金、银等其他合金贵金属，降低镀膜材料的单位耗用率，提高镀膜的效率在石英晶片生产过程中至关重要。

因为石英晶片轻薄小的特点，依2.0*1.2*0.07mm的尺寸为例，10平方厘米的面积最多可放置4166pcs，因此从放片治夹具定位精度以及石英谐振器对镀膜工序实际需求考虑，一般的电极成膜治具会设计成多个小模块，每块一般放置300PCS晶片左右，然后置于镀膜固定框内。现有的固定框，如图1所示，主要为加焊档条的支架框，将上片完成的电极成膜夹具依次放入中间的隔开的框里，然后放入镀膜设备内完成溅射镀膜工序。上述的现有的镀膜固定框中间有挡条，每次镀膜时，挡条都会镀上金属，增加镀膜材料的无效耗用率，也降低设备的产能。

发明内容

根据现有技术中存在的上述问题，现提供一种用于固定石英晶片镀膜夹具的固定框，适用于镀膜设备内，所述镀膜设备内设置有导轨，所述固定框包括：

支架，为框形，包括底部和分别垂直于所述底部的两根支柱，两根所述支柱分别设置于所述底部的左右两端；

压条，所述压条的两端分别设置于两根所述支柱未连接所述底部的一端，所述压条内设置有磁铁。

固定挡板，与所述底部的一个侧面贴合固定，所述固定挡板包括：

支撑板，与所述底部的一个侧面贴合固定，并且所述支撑板的上端面低于所述底部的上端面；

挡板，设置于所述支撑板未贴合所述底部的一面，所述挡板的上端面高于所述支撑板的上端面；

所述固定挡板与所述支架的所述底部之间形成一沟槽；

待固定的石英晶片镀膜夹具的一条边设置于所述沟槽内，所述石英晶片镀膜夹具上与设置于所述沟槽内的边相对的一条边搭靠在所述压条上，所述石英晶片镀膜夹具和所述压条之间磁力固定。

较佳的，上述固定框中，所述压条平行于所述底部的上端面。

较佳的，上述固定框中，所述压条设置于所述支架未设置所述固定挡板的一面。

较佳的，上述固定框中，所述石英晶片镀膜夹具接触所述支架和所述压条的一对对边上分别设置有一突出的定位销；

所述支架的所述底部的上端面上设置有若干个半圆形的缺口，所述缺口可容纳所述定位销；

所述压条对应于所述缺口处有向下突出的突起，所述突起上于所述压条接触所述石英晶片镀膜夹具的一面的中间向内凹陷，所述突起可容纳所述定位销。

较佳的，上述固定框中，设置于所述底部未连接所述固定挡板的一面；

所述遮挡板上对应于所述缺口的位置设置有突出的子遮挡板；

所述子遮挡板可遮盖住所述定位销。

较佳的，上述固定框中，所述固定挡板通过螺钉可分离的固定在所述底部。

较佳的，上述固定框中，所述压条通过螺钉可分离的固定在所述支柱上。

较佳的，上述固定框中，所述底部的两端为楔形，与所述镀膜设备的所述导轨匹配，使得所述支架可固定在所述镀膜设备的所述导轨上。

上述技术方案的有益效果是：在固定框的底部设置沟槽来放置石英晶片镀膜夹具，再通过在固定框上设置带有磁铁的压条固定石英晶片镀膜夹具，不需在固定框内设置挡板定位，实现放置石英晶片镀膜夹具数量的增加，有效降低单位产品对镀膜材料的耗用量。

附图说明

图1是本实用新型的较佳的实施例中，一种用于固定石英晶片镀膜夹具的固定框的结构示意图；

图2是本实用新型的较佳的实施例中，支架的结构示意图；

图3是本实用新型的较佳的实施例中，固定挡板的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。

本实用新型的较佳的实施例中，如图1、图2、图3所示，一种用于固定石英晶片镀膜夹具的固定框，适用于镀膜设备内，其中镀膜设备内设置有导轨，固定框具体包括：

支架1，如图2所示为板状的半框形结构，具体的，包括底部11和分别垂直于底部11的两根支柱12，两根支柱12分别设置于底部11的左右两端；

压条2，如图1所示，压条2的两端分别设置于两根支柱12未连接底部 11的一端，并且压条2内设置有磁铁。

固定挡板3，与底部11的一个侧面贴合固定，固定挡板3，进一步包括：

支撑板31，与底部11的一个侧面贴合固定，并且支撑板31的上端面低于底部11的上端面，图1中，虚线所示部位为支撑板31的上端面；

挡板32，设置于支撑板32未贴合底部11的一面，挡板32的上端面高于支撑板31的上端面；

进一步地，支撑板31设置于支架1的底部11和挡板32的中间，并且支撑板31的上端面低于底部11和挡板32的上端面，因此支撑板31、底部11 和挡板32三者之间形成一沟槽，即固定挡板3与支架1的底部11之间形成一沟槽；

石英晶片镀膜夹具的一条边设置于上述沟槽内，石英晶片镀膜夹具上与设置于上述沟槽内的边相对的一条边搭靠在压条2上，石英晶片镀膜夹具和压条2之间磁力固定。

上述技术方案中，石英晶片镀膜夹具竖直放入固定框内，内置磁铁的石英晶片镀膜夹具的一边卡进上述沟槽内，并由支撑板31的上端面支撑石英晶片镀膜夹具，石英晶片镀膜夹具上与卡在上述沟槽内的边相对搭靠在压条2 上，压条2内设置有磁铁，与石英晶片镀膜夹具内磁铁之间磁力固定，可以根据实际镀膜情况，将多个石英晶片镀膜夹具并排放入固定框内，不需要在固定框内设置用于定位石英晶片镀膜夹具的挡板，实现放置石英晶片镀膜夹具数量的增加，有效降低单位产品对镀膜材料的耗用量。需要说明的是，如图2和图3所示，支撑板31的结构与支架1的结构相同，上面描述的支撑板 31的上端面为支撑板31与支架1的底部11接触部分的上端面。

本实用新型的较佳的实施例中，压条2平行于底部11的上端面，以保证压条2在固定多个石英晶片镀膜夹具的同时，不会遮挡住石英晶片镀膜夹具上电极孔，使石英晶片镀膜夹具内每块晶片都能镀上电极膜。

本实用新型的较佳的实施例中，压条2设置于支架1未设置固定挡板3 的一面。

本实用新型的较佳的实施例中，石英晶片镀膜夹具接触支架1和压条2 的一对对边上分别设置有一突出的定位销；

支架1的底部11的上端面上设置有若干个半圆形的缺口13，缺口13可容纳定位销；

压条2对应于缺口13处有向下突出的突起21，突起21上于压条2接触石英晶片镀膜夹具的一面的中间向内凹陷，突起21可容纳定位销。

本实用新型的较佳的实施例中，还包括一遮挡板4，设置于底部11未连接固定挡板3的一面；

遮挡板4上对应于缺口13的位置设置有突出的子遮挡板41；

子遮挡板41可遮盖住定位销。

上述技术方案中，当待固定的石英晶片镀膜夹具的两端设置有突出的定位销时，通过在支架1的底部11上设置缺口13，压条2上设置有中间向内凹陷的突起，使固定框上有空间可容纳上述定位销，有利于使石英晶片镀膜夹具放置的更为平稳，压条2的突起21和遮挡板4上的子遮挡板41可以遮挡上述定位销，避免在镀膜时，定位销被溅射到镀膜耗材，损坏石英晶片镀膜夹具。需要说明的是，当待固定的石英晶片镀膜夹具上未设置定位销时，支架1上的缺口13、压条2上的突起21以及遮挡板4也不会影响固定框的正常使用，因此，当固定框上设置有缺口13、突起21、遮挡板4时，适用于固定设置有定位销的石英晶片镀膜夹具，以及未设置定位销的石英晶片镀膜夹具。进一步地，本技术领域内的技术人员可根据待固定的石英晶片镀膜夹具的具体的结构选择是否在固定框上设置缺口13、突起21、遮挡板4，也可根据具体需求更改缺口13、突起21、遮挡板4的具体结构和设置位置。

本实用新型的较佳的实施例中，固定挡板3通过螺钉可分离的固定在支架1的底部11，压条2通过螺钉可分离的固定在支柱12上。通过使用螺钉使固定挡板3和压条2固定，方便拆卸固定挡板3和压条2，便清洁护理，同时出方便调整压条4与上述沟槽之间的距离，使固定框适用于固定不同大小的石英晶片镀膜夹具。

本实用新型的较佳的实施例中，如图3所示，支架1的底部11的两端为楔形，与镀膜设备的内的导轨匹配，使得支架1可固定在镀膜设备内的导轨上。

以上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。

Claims (8)

1.一种用于固定石英晶片镀膜夹具的固定框，适用于镀膜设备内，所述镀膜设备内设置有导轨，其特征在于，所述固定框包括：

支架，为框形，包括底部和分别垂直于所述底部的两根支柱，两根所述支柱分别设置于所述底部的左右两端；

压条，所述压条的两端分别设置于两根所述支柱未连接所述底部的一端，所述压条内设置有磁铁；

固定挡板，与所述底部的一个侧面贴合固定，所述固定挡板包括：

支撑板，与所述底部的一个侧面贴合固定，并且所述支撑板的上端面低于所述底部的上端面；

挡板，设置于所述支撑板未贴合所述底部的一面，所述挡板的上端面高于所述支撑板的上端面；

所述固定挡板与所述支架的所述底部之间形成一沟槽；

待固定的石英晶片镀膜夹具的一条边设置于所述沟槽内，所述石英晶片镀膜夹具上与设置于所述沟槽内的边相对的一条边搭靠在所述压条上，所述石英晶片镀膜夹具和所述压条之间磁力固定。

2.如权利要求1所述的固定框，其特征在于，所述压条平行于所述底部的上端面。

3.如权利要求1所述的固定框，其特征在于，所述压条设置于所述支架未设置所述固定挡板的一面。

4.如权利要求3所述的固定框，其特征在于，所述石英晶片镀膜夹具接触所述支架和所述压条的一对对边上分别设置有一突出的定位销；

所述支架的所述底部的上端面上设置有若干个半圆形的缺口，所述缺口可容纳所述定位销；

所述压条对应于所述缺口处有向下突出的突起，所述突起上于所述压条接触所述石英晶片镀膜夹具的一面的中间向内凹陷，所述突起可容纳所述定位销。

5.如权利要求4所述的固定框，其特征在于，还包括一遮挡板，设置于所述底部未连接所述固定挡板的一面；

所述遮挡板上对应于所述缺口的位置设置有突出的子遮挡板；

所述子遮挡板可遮盖住所述定位销。

6.如权利要求1所述的固定框，其特征在于，所述固定挡板通过螺钉可分离的固定在所述底部。

7.如权利要求1所述的固定框，其特征在于，所述压条通过螺钉可分离的固定在所述支柱上。

8.如权利要求1所述的固定框，其特征在于，所述底部的两端为楔形，与所述镀膜设备的所述导轨匹配，使得所述支架可固定在所述镀膜设备的所述导轨上。