CN212635718U - 一种半导体制造用机械手臂 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种半导体制造用机械手臂，包括座体，所述座体的顶部右侧通过销轴转动相连有转动臂，所述座体的底部设有连接机构，所述连接机构包括第一箱体、第一圆杆、弹簧、块体、第二圆杆、第二箱体、圆块、弧形块、第三箱体和手柄，所述手柄的顶部固接有圆块，两个所述弧形块的外侧分别与两个第二圆杆的内侧相贴合，所述第二箱体的底部固接有第三箱体，所述第三箱体的通口与手柄的右侧间隙配合。该半导体制造用机械手臂通过第一箱体、第一圆杆和弹簧之间的配合，使得该半导体制造用机械手臂可进行快速的拆卸，避免存在机械手柄固定后，方便该半导体制造用机械手臂更具使用者的需求进行移动，省时省力。

Description

一种半导体制造用机械手臂

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体为一种半导体制造用机械手臂。

背景技术

机械手臂是机械人技术领域中得到最广泛实际应用的自动化机械装置，在工业制造、医学治疗、娱乐服务、军事、半导体制造以及太空探索等领域都能见到它的身影，虽然现有的机械手臂虽然可以实现对半导体的加工，但存在机械手柄固定后，无法进行快速的拆卸，当机械手臂损坏后，使用者对其进行拆卸维修费时费力，影响工作效率的问题，且存在现有的机械手臂活动高度有限，无法更具不同的工作高度，进行高度调节，需进行重新安装，进行加工的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供，以解决上述背景技术中提出的虽然现有的机械手臂虽然可以实现对半导体的加工，但存在机械手柄固定后，无法进行快速的拆卸，当机械手臂损坏后，使用者对其进行拆卸维修费时费力，影响工作效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体制造用机械手臂，包括座体，所述座体的顶部右侧通过销轴转动相连有转动臂，所述座体的顶部左侧通过销轴转动相连有推杆，所述推杆的输出端通过销轴与转动臂的顶部转动相连，所述座体的底部设有连接机构；

所述连接机构包括第一箱体、第一圆杆、弹簧、块体、第二圆杆、第二箱体、圆块、弧形块、第三箱体和手柄；

所述第一箱体固接于座体的底部，所述第一箱体的左右两侧均连通有第一圆杆，所述第一圆杆的内壁外侧卡接有弹簧，所述弹簧的内侧卡接有块体，所述第一箱体的内壁间隙配合有第二箱体，所述第二箱体的内壁左右两侧均贯穿有第二圆杆，所述第二圆杆的外壁与第一圆杆的内壁间隙配合并与块体相贴合，所述第二箱体的顶部通过轴承转动相连有手柄，所述手柄的顶部固接有圆块，所述圆块的左右两侧均固接有弧形块，两个所述弧形块的外侧分别与两个第二圆杆的内侧相贴合，所述第二箱体的底部固接有第三箱体，所述第三箱体的通口与手柄的右侧间隙配合。

优选的，所述手柄的表面加工有纹路。

优选的，所述第三箱体的底部设有升降机构；

所述升降机构包括竖杆、第三圆杆和螺杆；

所述竖杆固接于第三箱体的底部，所述竖杆的外壁间隙配合有第三圆杆，所述第三圆杆的内壁底部通过轴承转动相连有螺杆，所述螺杆的外壁与竖杆的内壁螺纹相连。

优选的，所述第三圆杆的底部设有移动机构；

所述移动机构包括横板和万向轮；

所述横板固接于第三圆杆的底部，所述横板的底部四角均固接有万向轮。

优选的，所述横板的顶部设有调节机构；

所述调节机构包括槽轮、转盘和皮带；

两个所述槽轮设于横板的顶部，右侧所述槽轮套接于螺杆的外壁，左侧所述槽轮通过销轴与横板的顶部左侧转动相连，左侧所述槽轮的顶部固接有转盘，两个所述槽轮通过皮带转动相连，所述皮带的外壁贯穿于第三圆杆的内壁左侧。

优选的，两个所述槽轮位于同一水平线上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构科学合理，使用安全方便。

该半导体制造用机械手臂，通过第一箱体、第一圆杆和弹簧之间的配合，使得该半导体制造用机械手臂可进行快速的拆卸，避免存在机械手柄固定后，无法进行快速的拆卸，当机械手臂损坏后，使用者对其进行拆卸维修费时费力，影响工作效率。

该半导体制造用机械手臂，通过螺杆、第三圆杆和竖杆之间的配合，使得该半导体制造用机械手臂可根据使用者需求，进行一定的高度调节，避免存在现有的机械手臂活动高度有限，无法更具不同的工作高度，进行高度调节，需进行重新安装，进行加工。

该半导体制造用机械手臂，通过横板、万向轮和第三圆杆之间的配合，使得该半导体制造用机械手臂可进行移动，方便该半导体制造用机械手臂更具使用者的需求进行移动，省时省力。

附图说明

图1为本实用新型连接关系示意图；

图2为图1中第一箱体、第一圆杆和块体的连接关系示意图；

图3为图1中手柄、竖杆和第三圆杆的连接关系示意图；

图4为图1中槽轮、皮带和横板的连接关系示意图。

图中：1、座体，2、转动臂，3、推杆，4、连接机构，401、第一箱体， 402、第一圆杆，403、弹簧，404、块体，405、第二圆杆，406、第二箱体， 407、圆块，408、弧形块，409、第三箱体，410、手柄，5、升降机构，501、竖杆，502、第三圆杆，503、螺杆，6、调节机构，601、槽轮，602、转盘，603、皮带，7、移动机构，701、横板，702、万向轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体制造用机械手臂，包括座体1，座体1的顶部右侧通过销轴转动相连有转动臂2，使得转动壁2可进行转动，转动壁2的顶部用于连接外界加工设备，座体1的顶部左侧通过销轴转动相连有推杆3，推杆3的型号为DH190-S200，推杆3的输出端通过销轴与转动臂2的顶部转动相连，使得推杆3可带动转动臂2进行转动，座体1的底部设有连接机构4，连接机构4包括第一箱体401、第一圆杆 402、弹簧403、块体404、第二圆杆405、第二箱体406、圆块407、弧形块 408、第三箱体409和手柄410，第一箱体401固接于座体1的底部，第一箱体401的左右两侧均连通有第一圆杆402，第一圆杆402的内壁外侧卡接有弹簧403，弹簧403的弹力系数为7500-8500N\M，弹簧403的内侧卡接有块体 404，弹簧403给予块体404向内移动的力，第一箱体401的内壁间隙配合有第二箱体406，使得第二箱体406移出或移入第一箱体401的内壁，第二箱体 406的内壁左右两侧均贯穿有第二圆杆405，使得第二圆杆405可在第二箱体 406的内壁进行左右移动，第二圆杆405的外壁与第一圆杆402的内壁间隙配合并与块体404相贴合，使得第二圆杆405可将第二箱体406与第一箱体401 固定连接在一起，第二箱体406的顶部通过轴承转动相连有手柄410，手柄 410的顶部固接有圆块407，圆块407的左右两侧均固接有弧形块408，两个弧形块408的外侧分别与两个第二圆杆405的内侧相贴合，使得弧形块408 可将第二圆杆405移入第一圆杆402的内部，第二箱体406的底部固接有第三箱体409，第三箱体409的通口与手柄410的右侧间隙配合，使得手柄410 可在第三箱体409的通口内壁进行转动，进而使得手柄410可调动圆块407 转动，圆块409带动弧形块408与第二圆杆405相接触，或取消接触，手柄 410的表面加工有纹路，纹路用于增加手柄410与手之间的摩擦力。

第三箱体409的底部设有升降机构5，升降机构5包括竖杆501、第三圆杆502和螺杆503，竖杆501固接于第三箱体409的底部，竖杆501的外壁间隙配合有第三圆杆502，使得竖杆501可在第三圆杆502的内壁进行升降运动，第三圆杆502的内壁底部通过轴承转动相连有螺杆503，螺杆503的外壁与竖杆501的内壁螺纹相连，当螺杆501受力转动时，可带动竖杆501在第三圆杆502的内壁进行升降运动。

第三圆杆502的底部设有移动机构7，移动机构7包括横板701和万向轮 702，横板701固接于第三圆杆502的底部，横板701的底部四角均固接有万向轮702，万向轮702用于带动该半导体制造用机械手臂进行移动。

横板701的顶部设有调节机构6，调节机构6包括槽轮601、转盘602和皮带603，两个槽轮601设于横板701的顶部，右侧槽轮601套接于螺杆503 的外壁，左侧槽轮601通过销轴与横板701的顶部左侧转动相连，左侧槽轮 601的顶部固接有转盘602，两个槽轮601通过皮带603转动相连，使得转盘 602转动时，可通过两个槽轮601与皮带603的连接，带动螺杆503进行转动，进而使得螺杆503可带动竖杆501在第三圆杆502的内壁进行升降运动，皮带603的外壁贯穿于第三圆杆502的内壁左侧，使得皮带603可在第三圆杆 502的内壁左侧进行转动，两个槽轮601位于同一水平线上，使得两个槽轮 601转动稳定性高。

当使用该半导体制造用机械手臂时，当需要对该半导体制造用机械手臂进行高度调节时，使用者转动转盘602，使得转盘602转动时，可通过两个槽轮601与皮带603的连接，带动螺杆503进行转动，进而使得螺杆503可带动竖杆501在第三圆杆502的内壁进行升降运动，使得该半导体制造用机械手臂完成高度调节，当该半导体制造用机械手臂损坏需进行维修时，使用者通过万向轮701将该半导体制造用机械手臂移动至指定位置，移动后，使用者转动手柄410，使得手柄410带动圆块407转动，进而使得圆块407带动弧形块408取消与第二圆杆405的接触，当弧形块408取消与第二圆杆405的接触后，第二圆杆405通过弹簧403的弹力形变，使得弹簧403带动块体404 将第二圆杆405移出第一圆杆402，进而使得第一箱体401与第二箱体406取消固定连接，使得第一箱体401、座体1、转动臂2和推杆3与第二箱体406 分离，可进行维修。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种半导体制造用机械手臂，包括座体(1)，所述座体(1)的顶部右侧通过销轴转动相连有转动臂(2)，所述座体(1)的顶部左侧通过销轴转动相连有推杆(3)，所述推杆(3)的输出端通过销轴与转动臂(2)的顶部转动相连，其特征在于：所述座体(1)的底部设有连接机构(4)；

所述连接机构(4)包括第一箱体(401)、第一圆杆(402)、弹簧(403)、块体(404)、第二圆杆(405)、第二箱体(406)、圆块(407)、弧形块(408)、第三箱体(409)和手柄(410)；

所述第一箱体(401)固接于座体(1)的底部，所述第一箱体(401)的左右两侧均连通有第一圆杆(402)，所述第一圆杆(402)的内壁外侧卡接有弹簧(403)，所述弹簧(403)的内侧卡接有块体(404)，所述第一箱体(401)的内壁间隙配合有第二箱体(406)，所述第二箱体(406)的内壁左右两侧均贯穿有第二圆杆(405)，所述第二圆杆(405)的外壁与第一圆杆(402)的内壁间隙配合并与块体(404)相贴合，所述第二箱体(406)的顶部通过轴承转动相连有手柄(410)，所述手柄(410)的顶部固接有圆块(407)，所述圆块(407)的左右两侧均固接有弧形块(408)，两个所述弧形块(408)的外侧分别与两个第二圆杆(405)的内侧相贴合，所述第二箱体(406)的底部固接有第三箱体(409)，所述第三箱体(409)的通口与手柄(410)的右侧间隙配合。

2.根据权利要求1所述的一种半导体制造用机械手臂，其特征在于：所述手柄(410)的表面加工有纹路。

3.根据权利要求1所述的一种半导体制造用机械手臂，其特征在于：所述第三箱体(409)的底部设有升降机构(5)；

所述升降机构(5)包括竖杆(501)、第三圆杆(502)和螺杆(503)；

所述竖杆(501)固接于第三箱体(409)的底部，所述竖杆(501)的外壁间隙配合有第三圆杆(502)，所述第三圆杆(502)的内壁底部通过轴承转动相连有螺杆(503)，所述螺杆(503)的外壁与竖杆(501)的内壁螺纹相连。

4.根据权利要求3所述的一种半导体制造用机械手臂，其特征在于：所述第三圆杆(502)的底部设有移动机构(7)；

所述移动机构(7)包括横板(701)和万向轮(702)；

所述横板(701)固接于第三圆杆(502)的底部，所述横板(701)的底部四角均固接有万向轮(702)。

5.根据权利要求4所述的一种半导体制造用机械手臂，其特征在于：所述横板(701)的顶部设有调节机构(6)；

所述调节机构(6)包括槽轮(601)、转盘(602)和皮带(603)；

两个所述槽轮(601)设于横板(701)的顶部，右侧所述槽轮(601)套接于螺杆(503)的外壁，左侧所述槽轮(601)通过销轴与横板(701)的顶部左侧转动相连，左侧所述槽轮(601)的顶部固接有转盘(602)，两个所述槽轮(601)通过皮带(603)转动相连，所述皮带(603)的外壁贯穿于第三圆杆(502)的内壁左侧。

6.根据权利要求5所述的一种半导体制造用机械手臂，其特征在于：两个所述槽轮(601)位于同一水平线上。

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