CN211700220U

CN211700220U - 一种水平放片舟结构

Info

Publication number: CN211700220U
Application number: CN202020139170.9U
Authority: CN
Inventors: 林佳继; 庞爱锁; 刘群; 朱太荣; 林依婷
Original assignee: Shenzhen Laplace Energy Technology Co Ltd
Current assignee: Laplace New Energy Technology Co ltd
Priority date: 2020-01-21
Filing date: 2020-01-21
Publication date: 2020-10-16
Anticipated expiration: 2030-01-21

Abstract

一种水平放片舟结构，包括顶板、底板、卡槽柱、支撑片；所述顶板和底板平行且相对设置，底板包括长边和短边，所述长边包括第一长边和第二长边；所述卡槽柱和支撑片设置于顶板和底板之间；所述卡槽柱与底板垂直设置，卡槽柱包括前卡槽柱组和后卡槽柱组；前卡槽柱组设置于底板的第一长边上，所有前卡槽柱平行等间距设置；所述后卡槽柱组设置于底板的第二长边上，所有后卡槽柱平行设置；本实用新型通过设置一个舟体解决水平插片方式需要多个舟体的问题，一个舟设置多列的方式替代原有的多个舟的方案，不需要对每个舟进行搬运，方便生产、维护、搬运和存储，对于自动化以及管理维护都具有极大的好处。

Description

一种水平放片舟结构

技术领域

本实用新型涉及半导体和太阳能电池制造领域，特别是涉及一种水平放片舟结构。

背景技术

半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过加工处理才能够应用到产品上，CVD技术、扩散工艺或氧化工艺是其中的一种处理方式，其中CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外还有扩散工艺包括磷扩散、硼扩散等。目前行业内已有不少相关的设备，可以针对具体的加工需求来选择相应的设备进行加工，半导体或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实现，在对半导体或者光伏材料加工的过程中，设备内通常采用一些装片载具来装载或移动待加工的、加工中的或者加工后的材料，行业内通常把这种装载或者移动的装置称为舟，根据材质可分为石英舟、石墨舟、碳化硅舟，根据尺寸又可分为大舟、小舟。

在片状材料在小舟或称石英花篮内水平放置后，需要将多个小舟整齐放置到一个大舟托中，然后进行运输等工艺。但是小舟放置到大舟托的自动化操作动作多，需要对每一个舟进行搬运和装卸片的操作，自动化效率低。

发明内容

本实用新型的目的是解决现有技术的不足，提供一种水平放片舟结构，结构简单，使用方便。

一种水平放片舟结构，包括顶板、底板、卡槽柱、支撑片；所述顶板和底板平行且相对设置，底板包括长边和短边，所述长边包括第一长边和第二长边；所述卡槽柱和支撑片设置于顶板和底板之间；所述卡槽柱与底板垂直设置，卡槽柱包括前卡槽柱组和后卡槽柱组；前卡槽柱组设置于底板的第一长边上，所有前卡槽柱平行等间距设置；所述后卡槽柱组设置于底板的第二长边上，所有后卡槽柱平行设置。

进一步的，所述前卡槽柱组至少包含三个前卡槽柱；所述前卡槽柱组包括单面卡齿的前卡槽柱以及双面卡齿的前卡槽柱；所述双面卡齿的前卡槽柱，两个面上的卡齿的朝向相反；其中单面卡齿的前卡槽柱设置于前卡槽柱组的第一个和最后一个；双面卡齿的前卡槽柱设置于两个单面卡齿的前卡槽柱之间；单面卡齿的前卡槽柱的卡齿朝向相邻的前卡槽柱；双面卡齿的前卡槽柱的卡齿的朝向与底板的第一长边平行。

进一步的，所述前卡槽柱组中任一前卡槽柱与底板接触的部位到底板第一长边的边缘的垂直距离相等；所述后卡槽柱组中任一后卡槽柱与底板接触的部位到底板第二长边的边缘的垂直距离相等。

进一步的，所述支撑片整体呈矩形，支撑片的中间可以镂空；支撑片垂直设置于底板的两侧；支撑片与底板的短边平行。

进一步的，所述支撑片还可以设置于底板两侧的支撑片之间，两侧支撑片之间的支撑片需要经过前卡槽柱设置；所有支撑片相互平行。

进一步的，所述顶板设置与于底板的上方，顶板与底板的中部位可以镂空。

进一步的，所述支撑片的外侧，设置舟耳；所述支撑片的外侧，设置舟耳；所述卡齿的上下表面可以为三角形、梯形、圆弧形；卡齿的上表面可以水平或者与水平呈设定角度，卡齿的下表面水平。

进一步的，所述支撑片靠近底板的边的两端设置舟脚，所述舟脚和卡槽柱设置于底板的两侧。

进一步的，所述底板的长边的下方设置加固杆，所述加固杆设置于相邻的舟脚之间；加固杆与底板紧贴。

进一步的，所述支撑片垂直于底板的两条边上设置支撑位。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型通过设置一个舟体解决水平插片方式需要多个舟体的问题，一个舟设置多列的方式替代原有的多个舟的方案，不需要对每个舟进行搬运，方便生产、维护、搬运和存储，对于自动化以及管理维护都具有极大的好处；

本实用新型通过设置支撑片和加固杆，增强舟体的承载能力。

附图说明

图1为本实用新型实施例一的结构图；

图2为本实用新型实施例一的仰视图；

图3为本实用新型实施例一双面卡齿的前卡槽柱示意图；

图4为本实用新型实施例一单面卡齿的前卡槽柱或后卡槽柱示意图；

图5为本实用新型实施例一带负载的仰视图。

附图标识说明：顶板1、底板2、第一长边21、短边22、第二长边23、卡槽柱3、前卡槽柱组31、单面卡齿的前卡槽柱311、双面卡齿的前卡槽柱312、后卡槽柱组32、单面卡齿的后卡槽柱321、卡齿33、支撑片4、支撑位41、舟脚5、舟耳6、加固杆7。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。

需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

实施例一：

一种水平放片舟结构，包括顶板1、底板2、卡槽柱3、支撑片4。所述顶板1和底板2平行且相对设置；所述卡槽柱3和支撑片4设置于顶板1和底板2之间。

所述顶板1设置与于底板2的上方，顶板1与底板2的中部位可以镂空。底板包括长边和短边22，所述长边包括第一长边21和第二长边23。在本实施例中第一长边21以及第二长边23的长度长于短边22，短边22共两条；第一长边21、第二长边23和短边22不限于直线的边。在本实施例中顶板1和底板2为矩形。

所述卡槽柱3与底板2垂直设置，卡槽柱3包括前卡槽柱组31和后卡槽柱组32。所述前卡槽柱组31至少包含三个前卡槽柱，在本实施例中设置有11个前卡槽柱3。前卡槽柱组31设置于底板2的第一长边21上，所有前卡槽柱平行等间距设置，并且所有前卡槽柱与底板2接触的部位到底板第一长边21的边缘的垂直距离相等。所述后卡槽柱组32设置于底板2的第二长边23上，所有后卡槽柱平行设置，并且所有后卡槽柱与底板2接触的部位到底板第二长边23的边缘的垂直距离相等。以经过任一前卡槽柱，并且垂直底板2的长边做一个面，相邻的两个面之间至少设置一个后卡槽柱，在本实施例中设置两个后卡槽柱。

所述前卡槽柱组31包括两类，一类是单面卡齿的前卡槽柱，另一类是双面卡齿的前卡槽柱。所述双面卡齿的前卡槽柱，两个面上的卡齿33的朝向相反。其中单面卡齿的前卡槽柱设置于前卡槽柱组31的第一个前卡槽柱和最后一个前卡槽柱；双面卡齿的前卡槽柱设置于两个单面卡齿的前卡槽柱之间。单面卡齿的前卡槽柱的卡齿33朝向相邻的前卡槽柱；双面卡齿的前卡槽柱的卡齿33的朝向与底板2的第二长边23平行。

所述后卡槽柱为单面卡齿的后卡槽柱，其中卡齿33的朝向垂直于底板2的第二长边23，并且朝向底板2的内侧。

所述卡齿33的上下表面可以为三角形、梯形、圆弧形等，在本实施例中，卡齿33的上下表面为圆弧形。卡齿33的上表面可以水平或者与水平呈设定角度，卡齿33的下表面水平。若卡齿33的上表面与水平呈设定角度，则放置硅片的时候，硅片与卡齿33呈线接触，减小接触面积，减少卡槽印。

所述支撑片4整体呈矩形，支撑片4的中间可以镂空。支撑片4垂直设置于底板2的两侧，并且支撑片4与底板2的短边22平行。为了增强舟体的支撑能力，还可以在底板2两侧的支撑片4之间设置设定数量的支撑片4，所有支撑片4相互平行，为了不妨碍硅片的放置，两侧支撑片4之间的支撑片4需要经过前卡槽柱设置。

为了方便舟体的搬运，在两侧的支撑片4的外侧，设置舟耳6。

为了方便舟体的放置，实现舟体的软着陆，在支撑片4靠近底板2的边的两端设置舟脚5，所述舟脚5和卡槽柱3设置于底板2的两侧。

为了在搬运过程中更好的固定舟体，在支撑片4垂直于底板2的两条边上设置支撑位41。

为了进一步的增强舟体的支撑能力，在底板2的长边的下方设置加固杆7，所述加固杆7设置于相邻的舟脚5之间；加固杆7与底板2紧贴。

在实施的过程中，舟的列数能够通过设置前卡槽柱和后卡槽柱的数量进行调解，在本实施中，前卡槽柱为11个，所以舟的列数为10列。在插片过程中，能够将舟体翻转，使底板2和顶板1竖直设置，前卡槽柱组31位于后卡槽柱组32上方，硅片从相邻的前卡槽柱之间的间隙插向后卡槽柱，由后卡槽柱托住硅片。在进行炉体工艺的过程中，比如扩散工艺，顶板1和底板2水平设置，顶板1位于底板2的上方。在搬运的过程中可以顶板1位于底板2的上方或者前卡槽柱组31位于后卡槽柱组32的上方。

需要说明的是在本实施例中长边、短边仅为名词，不用于限定边的长度；并且本实施例中的舟实现了传统的舟托结合传统的舟的功能，因此本实施例中的舟也能够被称为舟托。

以上描述仅是本实用新型的一个具体实例，不构成对本实用新型的任何限制。显然对于本领域的专业人员来说，在了解了本实用新型内容和原理后，都可能在不背离本实用新型原理、结构的情况下，进行形式和细节上的各种修改和改变，但是这些基于本实用新型思想的修正和改变仍在本实用新型的权利要求保护范围之内。

Claims

1.一种水平放片舟结构，其特征在于，包括顶板、底板、卡槽柱、支撑片；所述顶板和底板平行且相对设置，底板包括长边和短边，所述长边包括第一长边和第二长边；所述卡槽柱和支撑片设置于顶板和底板之间；所述卡槽柱与底板垂直设置，卡槽柱包括前卡槽柱组和后卡槽柱组；前卡槽柱组设置于底板的第一长边上，所有前卡槽柱平行等间距设置；所述后卡槽柱组设置于底板的第二长边上，所有后卡槽柱平行设置。

2.根据权利要求1所述的一种水平放片舟结构，其特征在于，所述前卡槽柱组至少包含三个前卡槽柱；所述前卡槽柱组包括单面卡齿的前卡槽柱以及双面卡齿的前卡槽柱；所述双面卡齿的前卡槽柱，两个面上的卡齿的朝向相反；其中单面卡齿的前卡槽柱设置于前卡槽柱组的第一个和最后一个；双面卡齿的前卡槽柱设置于两个单面卡齿的前卡槽柱之间；单面卡齿的前卡槽柱的卡齿朝向相邻的前卡槽柱；双面卡齿的前卡槽柱的卡齿的朝向与底板的第一长边平行。

3.根据权利要求2所述的一种水平放片舟结构，其特征在于，所述前卡槽柱组中任一前卡槽柱与底板接触的部位到底板第一长边的边缘的垂直距离相等；所述后卡槽柱组中任一后卡槽柱与底板接触的部位到底板第二长边的边缘的垂直距离相等。

4.根据权利要求1所述的一种水平放片舟结构，其特征在于，所述支撑片整体呈矩形，支撑片的中间可以镂空；支撑片垂直设置于底板的两侧；支撑片与底板的短边平行。

5.根据权利要求4所述的一种水平放片舟结构，其特征在于，所述支撑片还可以设置于底板两侧的支撑片之间，两侧支撑片之间的支撑片需要经过前卡槽柱设置；所有支撑片相互平行。

6.根据权利要求1所述的一种水平放片舟结构，其特征在于，所述顶板设置与于底板的上方，顶板与底板的中部位可以镂空。

7.根据权利要求2所述的一种水平放片舟结构，其特征在于，所述支撑片的外侧，设置舟耳；所述卡齿的上下表面可以为三角形、梯形、圆弧形；卡齿的上表面可以水平或者与水平呈设定角度，卡齿的下表面水平。

8.根据权利要求1所述的一种水平放片舟结构，其特征在于，所述支撑片靠近底板的边的两端设置舟脚，所述舟脚和卡槽柱设置于底板的两侧。

9.根据权利要求8所述的一种水平放片舟结构，其特征在于，所述底板的长边的下方设置加固杆，所述加固杆设置于相邻的舟脚之间；加固杆与底板紧贴。

10.根据权利要求1所述的一种水平放片舟结构，其特征在于，所述支撑片垂直于底板的两条边上设置支撑位。