CN212136404U - 一种整体式硅片承载盘 - Google Patents

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李文红
杨宗明
张帆
王小东
刘平
高晗
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Abstract

本实用新型公开一种整体式硅片承载盘,包括主体板以及用于与承载框匹配安装的限位件;其中,所述限位件设置在主体板的底面上,所述限位件的外轮廓与承载框上的承载槽的内轮廓对应;所述主体板的宽度与承载框的横向尺寸对应设置,所述主体板的顶面上设有多个用于存放硅片的存放槽,所述多个存放槽沿横向方向等间距排列设置。本实用新型能装载多个硅片,并且便于与承载框定位匹配,加工方便。

Description

一种整体式硅片承载盘
技术领域
本实用新型涉及一种电池片加工设备,具体涉及一种整体式硅片承载盘。
背景技术
太阳能硅片的生产工艺流程一般包括硅片检测、表面制绒及酸洗、扩散制结、去磷硅玻璃、等离子刻蚀及酸洗、镀减反射膜、丝网印刷以及快速烧结等。在生产加工过程中,一般会将多张待加工的硅片放置在硅片承载框上,再将整个硅片承载框连接安装在运输轨道上,通过硅片承载框的移动带动硅片在各个加工工位之间的转移,从而实现硅片的批量加工。市场上一般的硅片承载框上均设有多个上下互通的承载槽,在放置待加工的硅片时,一般的做法是先在承载槽上设置挂钩,再将待加工的硅片放置在挂钩上;例如,授权公告号为CN205473976U的实用新型专利“太阳能硅片镀膜机石墨柜挂钩”以及授权公告号为CN205792426U的实用新型专利“一种适用于PERC电池片的双面镀膜石墨框”。另外,针对特定的硅片加工工艺,例如硅片的镀膜层较薄时,还会使用承载盘完成对硅片的支撑,以确保在加工过程中保护硅片的镀膜以及让硅片能够均匀受热等,例如授权公告号为CN209963035U的实用新型专利“一种硅片承载盘及硅片承载装置”;虽然这样的承载盘能够提高硅片加工时的质量,但是,这样的承载盘只能承载一个硅片,并且需要逐个放置在承载框上进行定位固定等,影响硅片的上料效率;同时在取出承载盘时,同样需要逐个取出,操作繁琐;另外,单独的承载盘需要逐个加工,其外型尺寸偏小,对加工要求较高,导致加工成本增加。
实用新型内容
本实用新型目的在于克服现有技术的不足,提供一种整体式硅片承载盘,该承载盘能装载多个硅片,并且便于与承载框定位匹配,加工方便。
本实用新型的目的通过以下技术方案实现:
一种整体式硅片承载盘,其特征在于,包括主体板以及用于与承载框匹配安装的限位件;其中,所述限位件设置在主体板的底面上,所述限位件的外轮廓与承载框上的承载槽的内轮廓对应;所述主体板的宽度与承载框的横向尺寸对应设置,所述主体板的顶面上设有多个用于存放硅片的存放槽,所述多个存放槽沿横向方向等间距排列设置。
上述整体式硅片承载盘的工作原理是:
首先,在承载框上的每两条横支承杆之间放置一个本实用新型的承载盘(每两条横支承杆之间的矩形空间构成承载槽),其中,让主体板底面上的限位件匹配放置在承载槽中实现限位和固定,避免承载盘移动;接着,再将多个待加工的硅片一一放置在主体板顶面上的多个存放槽中,从而完成承载盘的安装以及待加工的硅片的放置。由于主体板底面的限位件的外轮廓与承载槽的内轮廓匹配,因此将限位件放置在承载槽中后,承载槽的内侧就会限制所述限位件的移动,从而使得整个主体板无法移动,实现主体板的固定,确保硅片的位置精度;同时,在主体板顶面上设有多个存放槽,既能够放置硅片,又能够限制硅片的移动,一举两得,有利于进一步提高硅片的位置精度,从而提高硅片的加工精度;另外,安装一个承载盘就能装载多个硅片,简化安装工序,方便操作,同时,本实用新型的承载盘的宽度与承载框的横向宽度匹配,形成一个矩形或长条形的承载盘,在加工时便于板材的选择,并且无需将板材裁切成单个独立的承载盘,直接在矩形或长条形的板材上加工出存放槽即可,有效降低加工难度。
本实用新型的一个优选方案,所述存放槽的深度比硅片的厚度小。
优选地,所述存放槽的角落处均设有倒角。
本实用新型的一个优选方案,其中,所述主体板的顶面还设有取放槽,该取放槽的面积比所述存放槽大,且取放槽的深度比所述存放槽浅。
优选地,所述取放槽的四个角落处均设有向外设置的圆形槽,该圆形槽与取放槽连通。
本实用新型的一个优选方案,所述限位件包括四组限位柱,每组限位柱的两个限位柱的连线分别与主体板的四个边缘平行设置;所述四组限位柱的连线构成所述限位件的外轮廓。
本实用新型的一个优选方案,所述主体板的底部还设有多条加强杆,所述多条加强杆纵横交错设置。
本实用新型的一个优选方案,所述主体板由石墨材料制成。
本实用新型与现有技术相比具有以下有益效果:
1、本实用新型通过在主体板上设置多个存放槽,使得能装载多个硅片,简化承载盘的安装工序,方便操作;同时,主体板的宽度与承载框的横向宽度匹配,形成一个矩形或长条形的承载盘,在加工时便于板材的选择,并且无需将板材裁切成单个独立的承载盘,直接在矩形或长条形的板材上加工出存放槽即可,有效降低加工难度和加工成本。
2、通过主体板底部的限位件实现与承载框定位匹配,安装定位方便。
附图说明
图1-图5为本实用新型的整体式硅片承载盘的其中一种具体实施方式的结构示意图,其中,图1为俯视图,图2为图1中A的放大图,图3为仰视断面图,图4为立体图,图5为图4中B的放大图。
具体实施方式
下面结合实施例和附图对本实用新型作进一步描述,但本实用新型的实施方式不仅限于此。
参见图1-图5,本实例的整体式硅片承载盘,包括主体板1以及用于与承载框匹配安装的限位件;其中,所述限位件设置在主体板1的底面上,所述限位件的外轮廓与承载框上的承载槽的内轮廓对应;所述主体板1的宽度与承载框的横向尺寸对应设置,所述主体板1的顶面上设有多个用于存放硅片的存放槽2,所述多个存放槽2沿横向方向等间距排列设置。
本实施例中,所述存放槽2的深度比硅片的厚度小。这样就能够便于工人通过硅片凸起的边缘处将硅片从存放槽2中取出,结构简单,实用性强。
参见图1、图2、图4和图5,所述存放槽2的角落处均设有倒角5。通过倒角5的设置,能够与设有倒角5的硅片匹配,并且工人在取出硅片时,也可以通过硅片的倒角5处开始取出,操作更加方便,并且能够避免硅片的角落扎手。
参见图1、图2、图4和图5,所述存放槽2角落处的倒角5拐角处以及存放槽2的内壁均作圆角处理。这样使得硅片的尖角能够避免直接与存放槽2的内壁接触,并且避免硅片侧边与存放槽2内壁的碰撞,有利于保护硅片;同时,整个存放槽2的内壁只剩下倒角5的中部为平面,其作为与硅片的定位和固定,结构简单,有效减少了硅片与存放槽2内壁直接接触的面积,设计巧妙。
参见图1、图2、图4和图5,所述主体板1的顶面还设有取放槽3,该取放槽3的面积比所述存放槽2大,且取放槽3的深度比所述存放槽2浅。这样,一方面通过取放槽3的设置,使得需要将完成加工后的硅片取出时,工人能够通过取放槽3和存放槽2之间的间隙,从硅片的边缘处开始拿起,从而完成硅片的取出,操作方便;另一方面,通过取放槽3的设置,能够避免硅片的边缘完成裸露出来,在取放槽3的保护下,有利于提高硅片的加工精度;另外,面积更大的取放槽3也能够放置尺寸更大的硅片,从而能够适应两种不同尺寸的硅片,设计巧妙。
参见图1、图2、图4和图5,所述取放槽3的四个角落处均设有向外设置的圆形槽4,该圆形槽4与取放槽3连通。当需要在取放槽3上存放硅片时,圆形槽4的设置就能够避免硅片的边角直接与取放槽3的角落触碰,能够有效地对硅片的边角进行保护。本实施例中,所述取放槽3的顶部边缘设有倒角,这样能够避免放置在取放槽3中的硅片上边缘被损坏,有利于保护硅片。
参见图3,所述限位件包括四组限位柱7,每组限位柱7的两个限位柱7的连线分别与主体板1的四个边缘平行设置;所述四组限位柱7的连线构成所述限位件的外轮廓。通过限位柱7的设置,实现与承载槽的配合,并对主体板1 的位置进行限定;采用限位柱7的方式,结构简单,并且能够减轻承载盘的重量,从而减轻对硅片承载框的压力,避免硅片承载框发生形变。
参见图3,所述主体板1的底部还设有多条加强杆6,所述多条加强杆6纵横交错设置。通过加强杆6的设置,有利于提高主体板1的承载能力和抗变形能力,确保主体板1保持水平的姿态,避免变形。
参见图1、图2、图4和图5,主体板1顶面的两端部留空处理,这样能够让主体板1的实体部分支撑在承载框两侧的导轨组杆上,以便主体板1与承载款的安装,同时也避免将硅片放置在主体板1顶面靠近边缘的位置处。本实施例中,位于主体板两端部的限位柱7,设置在所述主体板1底部两端部的留空处理位置处;这样,能够在承载框的导轨上设有对应的限位孔,在安装本实施例的承载盘时,将主体板1两端部底面的限位柱7对应插装在限位孔中,从而完成整个承载盘的安装以及位置限定,并且位置限定效果好。
本实施例中,所述主体板1由石墨材料制成。由石墨制成的主体板1存放硅片,一方面石墨主体板1具有较好的导热功能,且与硅片整个底面均接触,因此能够让硅片均匀受热,有利于硅片更好地进行特定条件的镀膜加工;另一方面,石墨主体板1的致密性相对于C-C复合板较好,加工后的表面更加光滑,避免对硅片上的镀膜层产生损坏,并且致密性较好且表面光洁度高的主体板1 能够避免在镀膜加工过程中吸附粉尘,从而有利于提高硅片的镀膜加工精度。
参见图1-图5,本实施例的整体式硅片承载盘的工作原理是:
首先,在承载框上的每两条横支承杆之间放置一个本实用新型的承载盘(每两条横支承杆之间的矩形空间构成承载槽),其中,让主体板1底面上的限位件匹配放置在承载槽中实现限位和固定,避免承载盘移动;接着,再将多个待加工的硅片一一放置在主体板1顶面上的多个存放槽2中,从而完成承载盘的安装以及待加工的硅片的放置。由于主体板1底面的限位件的外轮廓与承载槽的内轮廓匹配,因此将限位件放置在承载槽中后,承载槽的内侧就会限制所述限位件的移动,从而使得整个主体板1无法移动,实现主体板1的固定,确保硅片的位置精度;同时,在主体板1顶面上设有多个存放槽2,既能够放置硅片,又能够限制硅片的移动,一举两得,有利于进一步提高硅片的位置精度,从而提高硅片的加工精度;另外,安装一个承载盘就能装载多个硅片,简化安装工序,方便操作,同时,本实用新型的承载盘的宽度与承载框的横向宽度匹配,形成一个矩形或长条形的承载盘,在加工时便于板材的选择,并且无需将板材裁切成单个独立的承载盘,直接在矩形或长条形的板材上加工出存放槽2即可,有效降低加工难度。
上述为本实用新型较佳的实施方式,但本实用新型的实施方式并不受上述内容的限制,其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所做的改变、修饰、替代、组合、简化,均应为等效的置换方式,都包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种整体式硅片承载盘,其特征在于,包括主体板以及用于与承载框匹配安装的限位件;其中,所述限位件设置在主体板的底面上,所述限位件的外轮廓与承载框上的承载槽的内轮廓对应;所述主体板的宽度与承载框的横向尺寸对应设置,所述主体板的顶面上设有多个用于存放硅片的存放槽,所述多个存放槽沿横向方向等间距排列设置。
2.根据权利要求1所述的整体式硅片承载盘,其特征在于,所述存放槽的深度比硅片的厚度小。
3.根据权利要求2所述的整体式硅片承载盘,其特征在于,所述存放槽的角落处均设有倒角。
4.根据权利要求1所述的整体式硅片承载盘,其特征在于,所述主体板的顶面还设有取放槽,该取放槽的面积比所述存放槽大,且取放槽的深度比所述存放槽浅。
5.根据权利要求4所述的整体式硅片承载盘,其特征在于,所述取放槽的四个角落处均设有向外设置的圆形槽,该圆形槽与取放槽连通。
6.根据权利要求1所述的整体式硅片承载盘,其特征在于,所述限位件包括四组限位柱,每组限位柱的两个限位柱的连线分别与主体板的四个边缘平行设置;所述四组限位柱的连线构成所述限位件的外轮廓。
7.根据权利要求1所述的整体式硅片承载盘,其特征在于,所述主体板的底部还设有多条加强杆,所述多条加强杆纵横交错设置。
8.根据权利要求1所述的整体式硅片承载盘,其特征在于,所述主体板由石墨材料制成。
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