CN218304036U - 一种适用于自动化生产的晶粒存储装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种适用于自动化生产的晶粒存储装置，包括储料直线模组、储料滑座及储料组件，储料直线模组竖直设置；储料滑座沿竖直方向可活动地设置在储料直线模组上；储料组件设置在储料滑座上；储料组件包括储料支架及储料箱；储料支架连接于储料滑座的侧壁上，储料支架上沿竖直方向间隔设有至少两个储存空间；储料箱包括至少两个，至少两个储料箱沿水平方向可滑动地经储存空间的开放面插入上述储存空间内；储料箱内设有载板储存空间，载板储存空间沿竖直方向包括至少两层单层空间。本实用新型采用双极多层储存结构，提升晶粒存储量，采用滑入式取放方式，且具备限位导向及阻挡定位功能，有效提升载板取放效率以及取放过程中位置准确度。

Description

一种适用于自动化生产的晶粒存储装置

技术领域

本实用新型涉及半导体制造设备领域，特别指一种适用于自动化生产的晶粒存储装置。

背景技术

在显示技术领域，目前已经量产的微型显示技术包括基于水晶玻璃的HTPS TFTLCD、基于硅晶圆的DLP等。由于OLED技术有发光效率、操作温度范围以及寿命等限制缺陷，从长远来看，无机的Micro LED将是未来微型显示的技术主流。随着传统平面显示技术与应用逐渐进入成熟期，未来显示应用发展将迈向穿戴或虚拟实境与扩增实境等领域，因对比值、面板精度及省电等因素影响，基于晶圆制程的微型显示技术更加适用于新兴应用。在晶圆上制作Micro LED阵列技术上已成熟，因此采用该技术的微型显示器有望投入量产，但是将此类技术向一般平板显示应用扩展时，晶粒巨量转移效率成为最大的技术瓶颈。如何有效地将LED晶粒转移到玻璃或塑胶基板上成为Micro LED技术大规模发展推广的关键因素。

在进行晶粒转移自动化设备（产线）研发过程中，需要通过载板装载晶粒以适应自动化生产过程中的物料搬移中转及上下料，通过单块载板承载多颗晶粒以保证上述生产过程中的效率。因此，在晶粒转移过程中需要解决载板的自动存储问题，载板存储与取放载板动作协同问题，以及载板存储过程中导向限位及固定问题，以便保证晶粒位置稳定性。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，提供一种采用双极多层储存结构，极大地提升晶粒存储量，采用滑入式取放方式，且具备限位导向及阻挡定位功能，有效提升载板取放效率以及取放过程中位置准确度的适用于自动化生产的晶粒存储装置。

本实用新型采用的技术方案如下：一种适用于自动化生产的晶粒存储装置，包括储料直线模组、储料滑座及储料组件，其中，

上述储料直线模组竖直设置；

上述储料滑座沿竖直方向可活动地设置在储料直线模组上，并与储料直线模组的输出端连接；

上述储料组件设置在储料滑座上；

上述储料组件包括储料支架及储料箱；

上述储料支架连接于上述储料滑座的侧壁上，储料支架上沿竖直方向间隔设有至少两个储存空间，储存空间的一侧为开放面；

上述储料箱包括至少两个，至少两个储料箱沿水平方向可滑动地经储存空间的开放面插入上述储存空间内，并经储料支架导向限位及卡紧；

上述储料箱内设有载板储存空间，载板储存空间沿竖直方向包括至少两层单层空间，形成多层储板结构，载板水平经单层空间滑入储板空间内。

优选的，所述储料支架还包括储料架体及储料隔板，其中，上述储料架体为矩形架体结构，储料支架的一侧及顶部为开放面；上述储料隔板包括至少两块，至少两块储料隔板沿竖直方向水平间隔地设置在储料架体内，将储料架体内空间分隔为至少两个储存空间。

优选的，所述储料支架包括至少两组限位阻挡组件，至少两组限位阻挡组件对应设置于各储存空间内，储料箱在储存空间内滑动时经限位阻挡组件限位和阻挡。

优选的，所述限位阻挡组件包括限位导条及阻挡座，其中，上述限位导条包括两条，分别设置于储存空间的两侧，限位导条的横截面为L状结构，其顶部水平面与储料隔板之间形成滑入空间，储料箱的两侧嵌入滑入空间内，经限位导条导向限位。

优选的，所述阻挡座包括两块，两阻挡座对应限位导条设置于远离储存空间开放面的一侧，阻挡座对应滑入空间的侧壁上设有内凹的阻挡槽，储料箱滑入阻挡槽内，经阻挡座阻挡卡紧。

优选的，所述储料箱包括储料下支板、储料侧板及储料上支板及限位柱，其中，上述储料上支板及储料下支板沿竖直方向上下间隔设置；上述储料侧板包括两块，两块储料侧板分别竖直连接于储料上支板与储料下支板之间，使储料下支板与储料上支板之间形成两侧开放的载板储存空间。

优选的，所述储料侧板的内侧壁上沿竖直方向间隔设有至少两个安装条槽，载板水插入两储料侧板的安装条槽内，并沿直线方向滑入或滑出。

优选的，所述储料箱还包括限位柱；上述限位柱包括至少两根，限位柱竖直可活动地设置在储料下支板与储料上支板之间，并位于载板储存空间的开放面处，以便限位载板。

本实用新型的有益效果在于：

本实用新型针对现有技术存在的缺陷和不足自主研发设计了一种采用双极多层储存结构，极大地提升晶粒存储量，采用滑入式取放方式，且具备限位导向及阻挡定位功能，有效提升载板取放效率以及取放过程中位置准确度的适用于自动化生产的晶粒存储装置。本实用新型适用于晶粒转移过程中载板的存储，可同时用于存放晶粒转移前的蓝膜载板及晶粒转移后的玻璃载板；同时，本实用新型所采用的技术方案也同样适用于自动化生产过程中板状物料或载具的存储。

本实用新型通过储料直线模组驱动储料组件沿竖直方向升降运动，以便协同载板取放动作，将储料组件升降至不同高度，以便于其内不同高度的储板空间取放载板。本实用新型的储料组件包括储料支架和储料箱，储料支架用于储存多个储料箱，储料箱用于存储多块载板，载板用于装载多颗晶粒。本实用新型的储料支架以顶部及一侧为开放面的储料架体作为承载结构，通过在储料架体内沿竖直方向间隔水平设置多块储料隔板，储料隔板将储料架体内部空间分隔为多个储存空间；储存空间的两侧设有横截面为L状结构的限位导条，限位导条的顶部水平面与储料隔板之间形成滑入空间，储料箱在储料隔板上自动取放时通过滑入空间从两侧及上方进行导向限位，从而保证取放过程中位置准确度；同时在滑入空间的端部还设有阻挡座，阻挡座的侧壁上对应滑入空间设有内凹的阻挡槽，储料箱滑入完成后，经阻挡槽阻挡卡紧，从而实现储料箱的自动取放及导向限位固定。本实用新型的储料箱以上下间隔设置的储料上支板及储料下支板为载体，两者之间竖直连接有储料侧板，储料侧板与储料上支板及储料下支板的侧边之间留有间距，以便储料上支板及储料下支板两侧空闲位置插入上述滑入空间；储料侧板的内侧壁上沿竖直方向间隔开设有多条内凹的安装条槽，从而使储料箱内形成沿竖直方向多层储板结构，以便同时存储多块载板；同时，储料上支板及处理下支板上可拆卸地插设有限位柱，通过限位柱对储料箱内的载板进行限位。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图之一。

图2为本实用新型的立体结构示意图之二。

图3为本实用新型储料组件的立体结构示意图之一。

图4为本实用新型储料组件的立体结构示意图之二。

图5为本实用新型储料组件隐藏部件后的立体结构示意图之一。

图6为本实用新型储料组件隐藏部件后的立体结构示意图之二。

图7为本实用新型储料组件隐藏部件后的立体结构示意图之三。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型作进一步描述：

如图1至图7所示，本实用新型采取的技术方案如下：一种适用于自动化生产的晶粒存储装置，包括储料直线模组21、储料滑座22及储料组件，其中，

上述储料直线模组21竖直设置；

上述储料滑座22沿竖直方向可活动地设置在储料直线模组21上，并与储料直线模组21的输出端连接；

上述储料组件设置在储料滑座22上；

上述储料组件包括储料支架23及储料箱24；

上述储料支架23连接于上述储料滑座22的侧壁上，储料支架23上沿竖直方向间隔设有至少两个储存空间，储存空间的一侧为开放面；

上述储料箱24包括至少两个，至少两个储料箱24沿水平方向可滑动地经储存空间的开放面插入上述储存空间内，并经储料支架23导向限位及卡紧；

上述储料箱24内设有载板储存空间，载板储存空间沿竖直方向包括至少两层单层空间，形成多层储板结构，载板水平经单层空间滑入储板空间内。

储料支架23还包括储料架体231及储料隔板232，其中，上述储料架体231为矩形架体结构，储料支架231的一侧及顶部为开放面；上述储料隔板232包括至少两块，至少两块储料隔板232沿竖直方向水平间隔地设置在储料架体231内，将储料架体231内空间分隔为至少两个储存空间。

储料支架23包括至少两组限位阻挡组件，至少两组限位阻挡组件对应设置于各储存空间内，储料箱24在储存空间内滑动时经限位阻挡组件限位和阻挡。

限位阻挡组件包括限位导条234及阻挡座233，其中，上述限位导条234包括两条，分别设置于储存空间的两侧，限位导条234的横截面为L状结构，其顶部水平面与储料隔板232之间形成滑入空间A，储料箱24的两侧嵌入滑入空间A内，经限位导条234导向限位。

阻挡座233包括两块，两阻挡座233对应限位导条234设置于远离储存空间开放面的一侧，阻挡座233对应滑入空间A的侧壁上设有内凹的阻挡槽B，储料箱24滑入阻挡槽B内，经阻挡座233阻挡卡紧。

储料箱24包括储料下支板241、储料侧板242及储料上支板243及限位柱244，其中，上述储料上支板243及储料下支板241沿竖直方向上下间隔设置；上述储料侧板242包括两块，两块储料侧板242分别竖直连接于储料上支板243与储料下支板241之间，使储料下支板241与储料上支板243之间形成两侧开放的载板储存空间。

储料侧板242的内侧壁上沿竖直方向间隔设有至少两个安装条槽C，载板水插入两储料侧板242的安装条槽C内，并沿直线方向滑入或滑出。

储料箱24还包括限位柱244；上述限位柱244包括至少两根，限位柱244竖直可活动地设置在储料下支板241与储料上支板243之间，并位于载板储存空间的开放面处，以便限位载板。

进一步，本实用新型设计了一种采用双极多层储存结构，极大地提升晶粒存储量，采用滑入式取放方式，且具备限位导向及阻挡定位功能，有效提升载板取放效率以及取放过程中位置准确度的适用于自动化生产的晶粒存储装置。本实用新型适用于晶粒转移过程中载板的存储，可同时用于存放晶粒转移前的蓝膜载板及晶粒转移后的玻璃载板；同时，本实用新型所采用的技术方案也同样适用于自动化生产过程中板状物料或载具的存储。本实用新型通过储料直线模组驱动储料组件沿竖直方向升降运动，以便协同载板取放动作，将储料组件升降至不同高度，以便于其内不同高度的储板空间取放载板。本实用新型的储料组件包括储料支架和储料箱，储料支架用于储存多个储料箱，储料箱用于存储多块载板，载板用于装载多颗晶粒。本实用新型的储料支架以顶部及一侧为开放面的储料架体作为承载结构，通过在储料架体内沿竖直方向间隔水平设置多块储料隔板，储料隔板将储料架体内部空间分隔为多个储存空间；储存空间的两侧设有横截面为L状结构的限位导条，限位导条的顶部水平面与储料隔板之间形成滑入空间，储料箱在储料隔板上自动取放时通过滑入空间从两侧及上方进行导向限位，从而保证取放过程中位置准确度；同时在滑入空间的端部还设有阻挡座，阻挡座的侧壁上对应滑入空间设有内凹的阻挡槽，储料箱滑入完成后，经阻挡槽阻挡卡紧，从而实现储料箱的自动取放及导向限位固定。本实用新型的储料箱以上下间隔设置的储料上支板及储料下支板为载体，两者之间竖直连接有储料侧板，储料侧板与储料上支板及储料下支板的侧边之间留有间距，以便储料上支板及储料下支板两侧空闲位置插入上述滑入空间；储料侧板的内侧壁上沿竖直方向间隔开设有多条内凹的安装条槽，从而使储料箱内形成沿竖直方向多层储板结构，以便同时存储多块载板；同时，储料上支板及处理下支板上可拆卸地插设有限位柱，通过限位柱对储料箱内的载板进行限位。

本实用新型的实施例只是介绍其具体实施方式，不在于限制其保护范围。本行业的技术人员在本实施例的启发下可以作出某些修改，故凡依照本实用新型专利范围所做的等效变化或修饰，均属于本实用新型专利权利要求范围内。

Claims (8)

1.一种适用于自动化生产的晶粒存储装置，其特征在于：包括储料直线模组（21）、储料滑座（22）及储料组件，其中，

上述储料直线模组（21）竖直设置；

上述储料滑座（22）沿竖直方向可活动地设置在储料直线模组（21）上，并与储料直线模组（21）的输出端连接；

上述储料组件设置在储料滑座（22）上；

上述储料组件包括储料支架（23）及储料箱（24）；

上述储料支架（23）连接于上述储料滑座（22）的侧壁上，储料支架（23）上沿竖直方向间隔设有至少两个储存空间，储存空间的一侧为开放面；

上述储料箱（24）包括至少两个，至少两个储料箱（24）沿水平方向可滑动地经储存空间的开放面插入上述储存空间内，并经储料支架（23）导向限位及卡紧；

上述储料箱（24）内设有载板储存空间，载板储存空间沿竖直方向包括至少两层单层空间，形成多层储板结构，载板水平经单层空间滑入储板空间内。

2.根据权利要求1所述的一种适用于自动化生产的晶粒存储装置，其特征在于：所述储料支架（23）还包括储料架体（231）及储料隔板（232），其中，上述储料架体（231）为矩形架体结构，储料支架（23）的一侧及顶部为开放面；上述储料隔板（232）包括至少两块，至少两块储料隔板（232）沿竖直方向水平间隔地设置在储料架体（231）内，将储料架体（231）内空间分隔为至少两个储存空间。

3.根据权利要求1所述的一种适用于自动化生产的晶粒存储装置，其特征在于：所述储料支架（23）包括至少两组限位阻挡组件，至少两组限位阻挡组件对应设置于各储存空间内，储料箱（24）在储存空间内滑动时经限位阻挡组件限位和阻挡。

4.根据权利要求3所述的一种适用于自动化生产的晶粒存储装置，其特征在于：所述限位阻挡组件包括限位导条（234）及阻挡座（233），其中，上述限位导条（234）包括两条，分别设置于储存空间的两侧，限位导条（234）的横截面为L状结构，其顶部水平面与储料隔板（232）之间形成滑入空间（A），储料箱（24）的两侧嵌入滑入空间（A）内，经限位导条（234）导向限位。

5.根据权利要求4所述的一种适用于自动化生产的晶粒存储装置，其特征在于：所述阻挡座（233）包括两块，两阻挡座（233）对应限位导条（234）设置于远离储存空间开放面的一侧，阻挡座（233）对应滑入空间（A）的侧壁上设有内凹的阻挡槽（B），储料箱（24）滑入阻挡槽（B）内，经阻挡座（233）阻挡卡紧。

6.根据权利要求1所述的一种适用于自动化生产的晶粒存储装置，其特征在于：所述储料箱（24）包括储料下支板（241）、储料侧板（242）及储料上支板（243）及限位柱（244），其中，上述储料上支板（243）及储料下支板（241）沿竖直方向上下间隔设置；上述储料侧板（242）包括两块，两块储料侧板（242）分别竖直连接于储料上支板（243）与储料下支板（241）之间，使储料下支板（241）与储料上支板（243）之间形成两侧开放的载板储存空间。

7.根据权利要求6所述的一种适用于自动化生产的晶粒存储装置，其特征在于：所述储料侧板（242）的内侧壁上沿竖直方向间隔设有至少两个安装条槽（C），载板水插入两储料侧板（242）的安装条槽（C）内，并沿直线方向滑入或滑出。

8.根据权利要求6所述的一种适用于自动化生产的晶粒存储装置，其特征在于：所述储料箱（24）还包括限位柱（244）；上述限位柱（244）包括至少两根，限位柱（244）竖直可活动地设置在储料下支板（241）与储料上支板（243）之间，并位于载板储存空间的开放面处，以便限位载板。

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