CN212610894U - 一种双面镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种双面镀膜设备，包括第一载板支撑架以及与第一载板支撑架配套的第二载板支撑架、设于第一载板支撑架上的一个或多个第一载板以及设于第二载板支撑架上的一个或多个第二载板；第一载板、第二载板上分别设有用于放置电池片的第一电池片载片、第二电池片载片；通过将第一载板支撑架与第二载板支撑架合并，使得多个第一载板与多个第二载板交叉间隔设置，并且第一电池片载片与第二电池片载片上下正对设置并形成用于容纳电池片的第一腔体；通过将第一载板支撑架与第二载板支撑架翻转180度，使得电池片翻面。本实用新型提供的镀膜设备可以实现电池片的双面镀膜。

Description

一种双面镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及电池制备设备，尤其涉及一种双面镀膜设备。

背景技术

现有的HIT电池(Heterojunction with intrinsic Thinlayer，太阳能电池)的制备工艺的设备中，PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，增强化学的气相沉积法)设备，用于对电池片进行镀膜，也称为镀膜设备。镀膜设备根据结构的不同，一般分为板式镀膜设备和管式镀膜设备。

其中，板式镀膜设备，一般由平板组成，通过在平板上加工凹槽放置电池片，然后通过托盘将平板上的电池片传送到工艺腔室内进行镀膜。板式镀膜设备的成膜均匀性好、控制简单。管式镀膜设备，一般采用花篮的方式来放置硅片，通过在花篮的边缘位置设置卡点将电池片卡住，然后通过移动花篮将电池片的传送到工艺腔室内进行镀膜。但是，板式镀膜设备、管式镀膜设备每次都只能针对电池的一个表面进行镀膜，导致设备的产能大大降低，甚至影响电池的生产效率。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种双面镀膜设备，其能够解决现有镀膜设备的设备产能低等问题。

本实用新型的目的采用如下技术方案实现：

一种双面镀膜设备，所述双面镀膜设备包括第一载板支撑架以及与所述第一载板支撑架配套的第二载板支撑架；其中，所述第一载板支撑架上设有一个第一载板或依次层叠间隔设置的多个第一载板；所述第二载板支撑架上设有一个第二载板或依次层叠间隔设置的多个第二载板；所述第一载板上设有第一电池片载片、所述第二载板上设有第二电池片载片；所述第一电池片载片、第二电池片载片均用于放置电池片；

通过将多个第一载板与多个第二载板交叉间隔设于第一载板支撑架与第二载板支撑架之间，使得第一载板支撑架与第二载板支撑架合并；同时，当第一载板支撑架与第二载板支撑架合并时，第一载板上的第一电池片载片与对应相邻的第二载板上第二电池片载片上下正对设置，并使得第一电池片载片与第二电池片载片之间形成用于容纳电池片的第一腔体；

通过将第一载板支撑架与第二载板支撑架翻转180度，使得位于所述第一腔体内的电池片翻面。

进一步地，所述第一载板上设有多个第一电池片载片时，所述第二载板上设有多个第二电池片载片，并且多个第一电池片载片与多个第二电池片载片的数量、尺寸以及排列位置均相同。

进一步地，相邻第一电池片载片之间设有一个或多个电池边部挡柱；通过一个或多个电池边部挡柱阻挡对应第一腔体内的电池片从对应第一腔体中移出。

进一步地，相邻第二电池片载片之间设有与所述一个或多个电池边部挡柱对应的一个或多个电池边部档孔，通过将一个或多个电池边部挡柱安装于对应的一个或多个电池边部档孔内，使得第一载板与对应相邻的第二载板合并。

进一步地，每个第一电池片载片的四个角设有一个或多个倒角边档块，通过一个或多个倒角边档块阻挡第一电池片载片上的电池片的移动。

进一步地，每个第二电池片载片的四个角均设有与所述一个或多个倒角边档块对应的一个或多个倒角边档槽，通过将一个或多个倒角边档块安装于对应的一个或多个倒角边档槽内，使得第一载板与对应相邻的第二载板合并。

进一步地，第一载板与对应相邻的第二载板合并时，每个第一电池片载片与对应第二电池片载片形成第二腔体，所述第二腔体的大小与所述电池片的大小适配。

进一步地，当第一载板有多个时，多个第一载板间隔均匀设于所述第一载板支撑架上；当第二载板有多个时，多个第二载板间隔均匀设于所述第二载板支撑架上。

相比现有技术，本实用新型的有益效果在于：

本实用新型通过设置第一载板支撑架、第二载板支撑架，并且在第一载板支撑架上设置第一载板、第二载板支撑架上设置第二载板；然后将第一载板支撑架与第二载板支撑架合并后使得第一载板与第二载板形成放置电池的腔体；通过合并后的第一载板支撑架与第二载板支撑架翻转180度后，使得放置于腔体内的电池片翻面。本实用新型通过第一载板支撑架与第二载板支撑架翻转180度，可使得电池片翻面，实现电池片的双面镀膜，大大提高了电池片的镀膜效率，提高了镀膜设备的产能，进而提高了电池的生产效率。

附图说明

图1为本实用新型提供的双面镀膜设备的分离的结构示意图；

图2为图1中的A的放大图；

图3为图1中的双面镀膜设备合并示意图；

图4为图1中的双面镀膜设备合并的结构示意图；

图5为本实用新型提供的电池片的双面镀膜方法流程图；

图6为图5中的步骤S4的流程图。

图中：1、第一载板支撑架；2、第二载板支撑架；11、第一载板；12、第二载板；121、第二电池片载片；13、电池边部挡柱。

具体实施方式

下面，结合附图以及具体实施方式，对本实用新型做进一步描述，需要说明的是，在不相冲突的前提下，以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例。

实施例一

基于现有的镀膜设备每次只能针对电池片的单面进行镀膜导致电池片的生产效率低下等问题，本实用新型提供了一种双面镀膜设备，该设备通过采用多层结构的设计，可同时对多个电池片进行镀膜，同时还能够借助控制设备使得电池片翻面，实现对电池片的两个表面进行镀膜，大大提高了设备的产能，提高了电池的生产效率。

如图1-4所示，本实用新型提供了一优选的实施例，一种双面镀膜设备，包括第一载板支撑架1和第二载板支撑架2。

第一载板支撑架1上设有一个或多个第一载板11；当第一载板11有多个时，多个第一载板11层叠间隔设于第一载板支撑架1上。

第二载板支撑架2上设有一个或多个第二载板12；当第二载板12有多个时，多个第二载板12层叠间隔设于第二载板支撑架2上。其中，当双面镀膜设备处于分离状态时，第一载板支撑架1与第二载板支撑架2分离。

当双面镀膜设备处于合并状态时，也即将第一载板支撑架1与第二载板支撑架2合并，使得一个或多个第一载板11与一个或多个第二载板12依次交叉设于第一载板支撑架1与第二载板支撑架2之间。同时，第一载板11与对应相邻第二载板12上下正对设置，并交替设于第一载板支撑架1与第二载板支撑架2之间，如图3和4所示。

优选地，当第一载板11有多个、第二载板12有多个时，多个第一载板11间隔均匀设于第一载板支撑架1上；多个第二载板12间隔均匀设于第二载板支撑架2上。

当双面镀膜设备处于合并状态时，每个第一载板11的一端均固定于第一载板支撑架1上、另一端向第二载板支撑架2延伸；每个第二载板12的一端均固定于第二载板支撑架2、另一端向第二载板支撑架2延伸，使得第一载板11与相邻第二载板12上下正对设置，并且多个第一载板11与多个第二载板12依次交叉设置。

优选地，第一载板11上设有一个或多个第一电池片载片、第二载板12上设有一个或多个第二电池片载片121。第一电池片载片、第二电池片载片121用于放置电池片。

当双面镀膜设备处于合并状态时，第一载板支撑架1与第二载板支撑架2合并，则第一载板11上的第一电池片载片与对应相邻的第二载板12上的第二电池片载片121正对设置并形成第一腔体。其中，第一腔体用于容纳电池片。也即是，当双面镀膜设备处于合并状态时，放置于第一电池片载片上的电池片或第二电池片载片121上的电池片置于第一腔体中。

优选地，第一电池片载片与第二电池片载片121的数量、尺寸以及分布位置均相同。当双面镀膜设备处于合并状态时，第一载板11上的每个第一电池片载片均与对应相邻第二载板12上的对应第二电池片载片121正对设置并形成对应第一腔体。每个第一腔体均用于容纳一个电池片。

优选地，本实用新型设定第一载板11、第二载板12均设有N个。从第一载板支撑架1的顶部到底部依次设置的第一载板11记为第i个第一载板。i的取值范围为[1，N]。

同理，从第二载板支撑架2的顶部到底部依次设置的第二载板12记为第j个第二载板。j的取值范围为[1，N]。

其中，当双面镀膜设备处于合并状态，也即是第一载板支撑架1与第二载板支撑架2合并时，N个第一载板11与N个第二载板12依次交叉设置。

也即是，第1个第一载板、第1个第二载板、第2个第一载板、第2个第二载板、第3个第一载板、第3个第二载板、…、第i个第一载板、第j个第二载板、…、第N个第一载板、第N个第二载板依次交叉设置，如图3-4所示。

或者，将第1个第二载板、第1个第一载板、第2个第二载板、第2个第一载板、第3个第二载板、第3个第一载板、…、第i个第二载板、第j个第一载板、…、第N个第二载板、第N个第一载板依次交叉设置。

每个第一载板11上设有一个或多个第一电池片载片、每个第二载板12上设有一个或多个第二电池片载片121。当双面镀膜设备处于合并状态时，每个第一载板11的第一电池片载片与对应相邻的第二载板12的对应第二电池片载片121正对设置并形成第一腔体。

本实用新型提供的双面镀膜设备在对电池片进行镀膜时具体包括：

(1)通过将电池片放置于第一电池片载片或第二电池片载片121上。

(2)将双面镀膜设备合并，然后将双面镀膜设备送入工艺腔室，通过第一载板11与第二载板12之间形成的缝隙对处于第一腔体内的电池片的一个表面进行镀膜。

(3)当镀膜完成后，再将合并后的双面镀膜设备翻转180度，也即将第一腔体内的电池片翻面。

(4)将翻转后的双面镀膜设备送入工艺腔室，对第一腔体内的电池片的另一个表面进行镀膜，从而实现电池片的双面镀膜。

通过本实用新型提供的双面镀膜设备，可大大提高了设备的产能、电池片的镀膜效率；同时，由于电池片在翻面过程中，不需要对电池片进行接触，避免对电池片进行玷污。

优选地，本实用新型还可提供一种翻转设备，该翻转设备用于将本实用新型提供的双面镀膜设备的翻转180度，从而实现电池片的翻面。

在镀膜过程中，一个第一腔体内的电池片只有一个。也即是：在镀膜开始前，电池片要么放置在第一电池片载片上，要么放置在第二电池片载片121上，并且当双面镀膜设备处于合并状态时，该第一电池片载片与该第二电池片载片121并不是正对设置的。

优选地，在相邻第一电池片载片之间设有一个或多个电池边部挡柱13。

当双面镀膜设备处于合并状态时，通过一个或多个电池边部挡柱13可避免处于第一腔体中的电池片在第一载板11与第二载板12形成的缝隙中移动而导致两个或多个电池片重叠，影响镀膜。也即，通过电池边部挡柱13可以阻挡位于第一腔体内的电池片从第一腔体内移出。

进一步地，相邻第二电池片载片121之间设有与所述一个或多个电池边部挡柱13对应的一个或多个电池边部档孔。通过将一个或多个电池边部挡柱13安装于对应的一个或多个电池边部档孔内，使得双面镀膜设备的第一载板11与对应相邻的第二载板12合并。

优选地，每个第一电池片载片的四个角设有一个或多个倒角边档块。通过一个或多个倒角边档块可避免处于第一腔体中的电池片在第一载板11与对应相邻的第二载板12形成的缝隙中移动而导致两个或多个电池片重叠，影响镀膜。也即，通过电池边部挡柱13可以阻挡位于第一腔体内的电池片从第一腔体内移出。

进一步地，每个第二电池片载片121的四个角均设有与所述一个或多个倒角边档块对应的一个或多个倒角边档槽。通过将一个或多个倒角边档块安装于对应的个或多个倒角边档槽内，使得双面镀膜设备的第一载板11与对应相邻的第二载板12合并。

优选地，当第一载板11与对应相邻的第二载板12合并时，每个第一电池片载片与对应第二电池片载片121形成第二腔体。其中，第二腔体的大小与电池片的大小适配，从而使得电池片固定于第二腔体内。

通过将电池片固定于第二腔体内，可使得双面镀膜设备在翻转过程中，保证电池片的稳定性，避免电池片在第一电池片载片与第一电池片载片所形成的腔体内转动影响电池片翻面。

进一步地，通过控制设备将第一载板支撑架1上下移动或将第二载板支撑架2上下移动，使得第一载板11与对应相邻的第二载板12合并，使得第一电池片载片与第二电池片载片121之间形成与电池片适配的第二腔体。通过将电池片固定于第二腔体内，可避免电池片在翻转过程中转动影响电池片翻面。

优选地，本实施例中的电池边部挡柱13、倒角边档块设于第一载板11上，倒角边档块、倒角边档槽设于第二载板上。优选地，在实际的应用需求中，可将电池边部挡柱13、倒角边档块、倒角边档块、倒角边档槽可分设于第一载板11或第二载板12上，具体根据实际的情况进行设定。优选地，本实用新型中的电池边部挡柱13、倒角边档块、倒角边档块、倒角边档槽并不仅仅限于本实施例给出的形状，其还可以时任意的凸起或凹槽，并且所述凸起或凹槽均可以实现上述功能即可。

实施例二

基于实施例一提供的双面镀膜设备，本实用新型还提供一种电池片的双面镀膜方法，如图5所示，包括以下步骤：

步骤S1、将一个或多个电池片分设于双面镀膜设备的第一载板的第一电池片载片上或双面镀膜设备的第二载板的第二电池片载片上。

步骤S2、将双面镀膜设备的第一载板支撑架与第二载板支撑架合并，使得第一载板的第一电池片载片与对应相邻的第二载板的第二电池片载片上下正对设置并形成第一腔体。第一腔体内设有一个电池片。

步骤S3、将双面镀膜设备送入工艺腔室，按照镀膜工艺对第一腔体内的电池片的一个表面进行镀膜。

步骤S4、当镀膜完成后，将双面镀膜设备传送到翻转位置，并将第一载板支撑架与第二载板支撑架翻转180度，从而使得第一腔体内的电池片翻面。

步骤S5、将翻转之后的双面镀膜设备传送至工艺腔室，对第一腔体内的电池片的另一个表面进行镀膜。

优选地，如图6所示，步骤S4包括：

步骤S41、将双面镀膜设备传送至翻转位置。

步骤S42、通过移动第一载板支撑架或第二载板支撑架，使得第一载板与对应相邻的第二载板合并，进而使得第一电池片载片与第二电池片载片之间形成第二腔体；第二腔体的大小与电池片的大小适配，并且电池片固定于第二腔体内。

步骤S43、将第一载板支撑架与第二载板支撑架翻转180度，从而使得第二腔体内的电池片翻面。

步骤S44、通过移动第二载板支撑架或第一载板支撑架，使得第一载板与对应相邻的第二载板分离，进而使得第一电池片载片与第二电池片载片之间形成第一腔体。

其中，将相邻第一电池片载片之间的一个或多个电池边部挡柱对应安装于相邻第二电池片载片之间的一个或多个电池边部档孔内。

其中，将每个第一电池片载片四个角的一个或多个倒角边档块对应安装于每个第二电池片载片四个角的一个或多个倒角边档槽内。

本实用新型通过双面镀膜设备可实现将电池片翻转，从而实现电池片的双面镀膜，此过程中不需要对电池片有任何的接触，避免了硅片被沾污或划伤的可能。

同时，本实用新型对于双面镀膜设备的翻转以及传送均采用自动化设备，不需要人工过多操作，大大提高了电池镀膜的效率，提高了设备的产能，提高了电池的生产效率。

上述实施方式仅为本实用新型的优选实施方式，不能以此来限定本实用新型保护的范围，本领域的技术人员在本实用新型的基础上所做的任何非实质性的变化及替换均属于本实用新型所要求保护的范围。

Claims (8)

1.一种双面镀膜设备，其特征在于，所述双面镀膜设备包括第一载板支撑架以及与所述第一载板支撑架配套的第二载板支撑架；其中，所述第一载板支撑架上设有一个第一载板或依次层叠间隔设置的多个第一载板；所述第二载板支撑架上设有一个第二载板或依次层叠间隔设置的多个第二载板；所述第一载板上设有第一电池片载片、所述第二载板上设有第二电池片载片；所述第一电池片载片、第二电池片载片均用于放置电池片；

通过将多个第一载板与多个第二载板交叉间隔设于第一载板支撑架与第二载板支撑架之间，使得第一载板支撑架与第二载板支撑架合并；同时，当第一载板支撑架与第二载板支撑架合并时，第一载板上的第一电池片载片与对应相邻的第二载板上第二电池片载片上下正对设置，并使得第一电池片载片与第二电池片载片之间形成用于容纳电池片的第一腔体；

通过将第一载板支撑架与第二载板支撑架翻转180度，使得位于所述第一腔体内的电池片翻面。

2.根据权利要求1所述一种双面镀膜设备，其特征在于，所述第一载板上设有多个第一电池片载片时，所述第二载板上设有多个第二电池片载片，并且多个第一电池片载片与多个第二电池片载片的数量、尺寸以及排列位置均相同。

3.根据权利要求2所述一种双面镀膜设备，其特征在于，相邻第一电池片载片之间设有一个或多个电池边部挡柱；通过一个或多个电池边部挡柱阻挡对应第一腔体内的电池片从对应第一腔体中移出。

4.根据权利要求3所述一种双面镀膜设备，其特征在于，相邻第二电池片载片之间设有与所述一个或多个电池边部挡柱对应的一个或多个电池边部档孔，通过将一个或多个电池边部挡柱安装于对应的一个或多个电池边部档孔内，使得第一载板与对应相邻的第二载板合并。

5.根据权利要求2所述一种双面镀膜设备，其特征在于，每个第一电池片载片的四个角设有一个或多个倒角边档块，通过一个或多个倒角边档块阻挡第一电池片载片上的电池片的移动。

6.根据权利要求5所述一种双面镀膜设备，其特征在于，每个第二电池片载片的四个角均设有与所述一个或多个倒角边档块对应的一个或多个倒角边档槽，通过将一个或多个倒角边档块安装于对应的一个或多个倒角边档槽内，使得第一载板与对应相邻的第二载板合并。

7.根据权利要求4或6所述一种双面镀膜设备，其特征在于，第一载板与对应相邻的第二载板合并时，每个第一电池片载片与对应第二电池片载片形成第二腔体，所述第二腔体的大小与所述电池片的大小适配。

8.根据权利要求1所述一种双面镀膜设备，其特征在于，当第一载板有多个时，多个第一载板间隔均匀设于所述第一载板支撑架上；当第二载板有多个时，多个第二载板间隔均匀设于所述第二载板支撑架上。

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