CN212392256U - 一种反应炉腔内载片结构 - Google Patents
一种反应炉腔内载片结构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN212392256U CN212392256U CN202021080254.6U CN202021080254U CN212392256U CN 212392256 U CN212392256 U CN 212392256U CN 202021080254 U CN202021080254 U CN 202021080254U CN 212392256 U CN212392256 U CN 212392256U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- boat
- support
- length direction
- vertical
- baffle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
一种反应炉腔内载片结构，包括舟托、舟；所述舟托上设置有至少一个舟，舟的长度方向与舟托的长度方向垂直或近似垂直；硅片设置于舟，硅片与舟的长度方向垂直或近似垂直；本实用新型通过多个舟分别载硅片并设置于舟托或桨上，同时舟与舟托或桨垂直设置，硅片与舟的长度方向垂直，硅片与舟托或桨的长度方向平行，上述舟与舟托或桨的结合方式，对于炉管直径方向上的空间利用更充分，提高炉内空间利用率。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体制造和太阳能光伏电池制造领域，特别是涉及一种反应炉腔内载片结构。
背景技术
随着半导体以及太阳能技术的不断推广，相应的制造产业也快速发展。其中在制造工艺中包括低压硼扩散、低压磷扩散、低压退火、低压氧化、低压化学气相沉积等工艺，上述工艺均需要在炉管内进行。目前在上述工艺中，制造的产品，比如硅片，都是沿着炉管长度的方向排列，此时硅片与炉管的轴线接近垂直。在上述工艺的特定过程中还需要对炉管进行通风处理，主要包含两种通气形式，一种是气流方向与炉管的轴线平行，另一种是将吹气管伸入炉管内，并且吹气管产生的气流方向垂直于炉管的轴线。在上述两种通气形式中气流都难以得到有效的利用，其中第一种通气形式，气流容易被硅片阻挡，极大部分气流从硅片外围流走，只有少部分气流能够覆盖硅片，并且容易在相邻的硅片之间形成湍流，影响生产效率。
同时在上述工艺过程中，现有技术往往将硅片设置于一个舟体，然后将舟体置于炉管内。随着需求的提高、产能的上升，炉管的长度也随之增长，相应的要求舟体也增长。硅片在舟体上往往通过舟齿进行固定，但是随着舟体的边长，靠近舟体中部的舟齿的形变被放大，舟齿的间距也随之变化，容易影响到舟体中部硅片的质量，同时对舟体以及舟齿的精度要求较高。
发明内容
本实用新型的目的是解决现有技术的不足，提供一种反应炉腔内载片结构，结构简单，使用方便。
一种反应炉腔内载片结构，包括舟托、舟；所述舟托上设置有至少一个舟，舟的长度方向与舟托的长度方向垂直或近似垂直；当硅片设置于舟时，硅片与舟的长度方向垂直或近似垂直。
进一步的，所述舟托包括支撑杆以及连接座，支撑杆的两端设置有连接座；支撑杆设置于连接座的两条侧边缘上。
进一步的，所述支撑杆上设置有隔板，隔板位于相邻的舟之间。
一种反应炉腔内载片结构，包括桨、舟；所述桨上设置有至少一个舟；舟的长度方向与桨的长度方向垂直或近似垂直；当硅片设置于舟时，硅片与舟的长度方向垂直或近似垂直。
进一步的，所述桨设置于舟的侧面和/或设置于舟的底部。
进一步的，所述舟包括挡板、支撑柱以及挂件；所述挡板设置于支撑柱的两端；所述挂件设置于挡板。
进一步的，所述支撑柱分为两组，两组支撑柱分别设置于挡板的上边缘以及挡板的下边缘，每组至少包括一根支撑柱。
进一步的，所述挂件分别设置于两块挡板上，挂件与支撑柱分别位于挡板的两侧。
进一步的，所述支撑柱上设置有舟齿。
进一步的，所述支撑柱设置于挡板的两条侧边缘以及下边缘上。
本实用新型的有益效果为：
本实用新型通过多个舟分别载硅片并设置于舟托或桨上，同时舟与舟托或桨垂直设置，硅片与舟的长度方向垂直，硅片与舟托或桨的长度方向平行，上述舟与舟托或桨的结合方式，对于炉管直径方向上的空间利用更充分，提高炉内空间利用率；
通过设置硅片与炉管轴线平行，使炉管轴线方向上的气流能够更好地与硅片接触，也使气流更地流通；
通过设置挂件与桨或支撑杆配合，以及支撑柱与桨配合，实现对舟的固定。
附图说明
图1为本实用新型实施例一在炉腔内示意图；
图2为本实用新型实施例一的结构示意图；
图3为本实用新型实施例一中舟的结构示意图；
图4为本实用新型实施例二的结构示意图；
图5为本实用新型实施例二的舟的结构示意图；
图6为本实用新型实施例三中一种舟与侧面的桨配合的示意图；
图7为本实用新型实施例三中一种舟与底部的桨配合的示意图；
图8为本实用新型实施例三中另一种舟与侧面的桨配合的示意图；
图9为本实用新型实施例三中另一种舟与底部的桨配合的示意图。
附图标记说明：舟托1、支撑杆11、连接座12、隔板13、舟2、挡板21、支撑柱22、挂件23、硅片3、炉管4、桨5。
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。
需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
实施例一：
如图1-3所示，一种反应炉腔内载片结构，包括舟托1、舟2。所述舟托1 上设置有至少一个舟2，舟2的长度方向与舟托1的长度方向垂直；舟托1设置于炉管4内部时，舟托1与炉管4的轴线平行；当硅片3设置于舟2时，硅片3 与舟托1的长度方向平行，与舟2的长度方向垂直，在本实施例中硅片3竖直设置。其中舟的长度方向为y方向，舟托的长度方向为x方向；由于舟以及硅片在摆放时，会产生角度的偏差，因此在实施的过程中垂直的位置关系可能实际为近似垂直。
所述舟2包括挡板21、支撑柱22以及挂件23。所述挡板21共两块，两块挡板21平行设置于支撑柱22的两端。所述支撑柱22分为两组，两组支撑柱22 分别设置于挡板21的上边缘以及挡板21的下边缘，在本实施例中一组支撑柱包括两根支撑柱22。其中硅片3从舟2的侧面放入上下两组支撑柱22之间；在一些其他实施例中，挡板21其中一条侧边缘也能够设置支撑柱22，限制硅片3在水平方向上的位移。所述支撑柱22上设置有舟齿，四根支撑柱22相互配合，限制硅片3在垂直硅片3方向上的位移。所述挂件23设置于挡板21，挂件23共两块，分别设置于两块挡板21上，其中挂件23与支撑柱22分别位于挡板21 的两侧；挂件23能够使舟2支撑设置于支撑杆11上方。挂件23可以为块状或者带凹槽的块状，其中凹槽与舟托1上的支撑杆11或桨5相匹配，能够使挂件 23嵌于支撑杆11上，更好地固定舟2。
所述舟托1包括支撑杆11以及连接座12，其中支撑杆11的两端设置有连接座12。所述连接座12共两块，两块连接座12对称设置，连接座12用于固定支撑杆11，使舟托1的结构稳定。在本实施例中支撑杆11共两根，两根支撑杆 11相互平行设置于两块连接座12之间，其中两根支撑杆11分别设置于连接座 12的两条侧边缘上。支撑杆11配合挡板21上设置的挂件23能够稳固支撑舟2。为了进一步限制舟2在舟托1上的移动空间，能够在相邻的舟2之间设置隔板 13，其中隔板13固定设置于支撑杆11上，在本实施例中仅在支撑杆11长度方向上的中间位置设置有一块隔板13。
所述连接座12的中间部位可以设置镂空，便于实现舟托1内部硅片3的通风。
在实施过程中，先将硅片3从舟2的侧面置入舟2中，由挡板21上边缘的支撑柱22以及下边缘的支撑柱22实现固定，其中硅片3可以单片放置，也可以两片紧贴背靠背放置，通常采用背靠背放置；然后将多个舟2置于舟托1，并将舟托1送入炉管4。本实用新型更好的利用了炉管4的空间。
实施例二：
如图4-5所示，本实施例是基于实施例一进行改进，其中舟2包括挡板21、支撑柱22以及挂件23。所述支撑柱22设置于挡板21的两条侧边缘以及下边缘上，其中每条侧边缘设置一根支撑柱22，下边缘设置两根支撑柱22。
在实施过程中，硅片3从舟2的上方置入舟2中，硅片3可以单片放置，也可以两片紧贴背靠背放置。
实施例三
如图6-9所示，本实施例是基于实施例一、二进行改进。一种反应炉腔内载片结构，包括桨5、舟2。所述桨5上设置有至少一个舟2，舟2的长度方向与桨5的长度方向垂直；硅片3设置于舟2，硅片3与桨5的长度方向平行，与舟 2的长度方向垂直，在本实施例中硅片3竖直设置。桨5设置于舟2的侧面和/ 或设置于舟2的底部，其中舟2侧面的桨5能够与挂件23配合，舟2的底部的桨5能够与挡板21下边缘上设置的支撑柱22配合。
以上描述仅是本实用新型的一个具体实例，不构成对本实用新型的任何限制。显然对于本领域的专业人员来说，在了解了本实用新型内容和原理后，都可能在不背离本实用新型原理、结构的情况下，进行形式和细节上的各种修改和改变，但是这些基于本实用新型思想的修正和改变仍在本实用新型的权利要求保护范围之内。
Claims (10)
1.一种反应炉腔内载片结构，其特征在于，包括舟托、舟；所述舟托上设置有至少一个舟，舟的长度方向与舟托的长度方向垂直或近似垂直；当硅片设置于舟时，硅片与舟的长度方向垂直或近似垂直。
2.根据权利要求1所述的一种反应炉腔内载片结构，其特征在于，所述舟托包括支撑杆以及连接座，支撑杆的两端设置有连接座；支撑杆设置于连接座的两条侧边缘上。
3.根据权利要求2所述的一种反应炉腔内载片结构，其特征在于，所述支撑杆上设置有隔板，隔板位于相邻的舟之间。
4.一种反应炉腔内载片结构，其特征在于，包括桨、舟；所述桨上设置有至少一个舟；舟的长度方向与桨的长度方向垂直或近似垂直；当硅片设置于舟时，硅片与舟的长度方向垂直或近似垂直。
5.根据权利要求4所述的一种反应炉腔内载片结构，其特征在于，所述桨设置于舟的侧面和/或设置于舟的底部。
6.根据权利要求1或4所述的一种反应炉腔内载片结构，其特征在于，所述舟包括挡板、支撑柱以及挂件；所述挡板设置于支撑柱的两端；所述挂件设置于挡板。
7.根据权利要求6所述的一种反应炉腔内载片结构，其特征在于，所述支撑柱分为两组，两组支撑柱分别设置于挡板的上边缘以及挡板的下边缘，每组至少包括一根支撑柱。
8.根据权利要求6所述的一种反应炉腔内载片结构，其特征在于，所述挂件分别设置于两块挡板上，挂件与支撑柱分别位于挡板的两侧。
9.根据权利要求6所述的一种反应炉腔内载片结构，其特征在于，所述支撑柱上设置有舟齿。
10.根据权利要求6所述的一种反应炉腔内载片结构，其特征在于，所述支撑柱设置于挡板的两条侧边缘以及下边缘上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202021080254.6U CN212392256U (zh) | 2020-06-12 | 2020-06-12 | 一种反应炉腔内载片结构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202021080254.6U CN212392256U (zh) | 2020-06-12 | 2020-06-12 | 一种反应炉腔内载片结构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN212392256U true CN212392256U (zh) | 2021-01-22 |
Family
ID=74254832
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202021080254.6U Active CN212392256U (zh) | 2020-06-12 | 2020-06-12 | 一种反应炉腔内载片结构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN212392256U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116536649A (zh) * | 2023-06-27 | 2023-08-04 | 江苏微导纳米科技股份有限公司 | 组合舟、单舟、处理设备、载片方法及处理方法 |
| CN117096074A (zh) * | 2023-10-17 | 2023-11-21 | 江苏微导纳米科技股份有限公司 | 载片舟、扩散设备以及扩散工艺方法 |
-
2020
- 2020-06-12 CN CN202021080254.6U patent/CN212392256U/zh active Active
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116536649A (zh) * | 2023-06-27 | 2023-08-04 | 江苏微导纳米科技股份有限公司 | 组合舟、单舟、处理设备、载片方法及处理方法 |
| CN116536649B (zh) * | 2023-06-27 | 2023-10-17 | 江苏微导纳米科技股份有限公司 | 组合舟、单舟、处理设备、载片方法及处理方法 |
| CN117096074A (zh) * | 2023-10-17 | 2023-11-21 | 江苏微导纳米科技股份有限公司 | 载片舟、扩散设备以及扩散工艺方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN212392256U (zh) | 一种反应炉腔内载片结构 | |
| CN219303623U (zh) | 一种新型硼扩石英舟及承载石英舟的舟托 | |
| CN103998699B (zh) | 具有混杂的定向和非定向空气通路的通道地板嵌板 | |
| CN218975409U (zh) | 石英舟及扩散炉 | |
| CN211929454U (zh) | 光伏电池工艺炉内的载片舟 | |
| CN114171377A (zh) | 一种新型扩散方法 | |
| CN208715833U (zh) | 一种水平多层载具 | |
| CN211700221U (zh) | 一种新颖的载舟装置 | |
| CN211700220U (zh) | 一种水平放片舟结构 | |
| CN216129504U (zh) | 玻璃钢化架 | |
| CN220284291U (zh) | 扩散炉 | |
| CN210458300U (zh) | 一种用于齿轮热处理的防碰撞组合式料架 | |
| CN211700222U (zh) | 一种可兼容多尺寸硅片舟结构 | |
| CN212412021U (zh) | 一种舟缓存结构 | |
| CN216288341U (zh) | 半导体制造装置用隔离件 | |
| CN109732889B (zh) | 一种双向拉伸膜横拉机的均匀加热装置 | |
| CN210625149U (zh) | 一种金刚线切割硅片清洗的烘干装置 | |
| CN217973497U (zh) | 一种工艺炉管 | |
| CN201906612U (zh) | 可拆式微量滴定板结构 | |
| CN111477576A (zh) | 一种改进型承载盘及承载装置 | |
| CN112382596B (zh) | 承载装置及半导体工艺腔室 | |
| CN110993543B (zh) | 方舟结构 | |
| CN217730527U (zh) | 汽车头枕放置装置 | |
| CN221379319U (zh) | 一种电池片石英舟 | |
| CN221508121U (zh) | 一种太阳能电池生产用的硅片载架 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: No.1, Jikang Road, Kengzi street, Pingshan District, Shenzhen City, Guangdong Province Patentee after: Laplace New Energy Technology Co.,Ltd. Address before: No.1, Jikang Road, Kengzi street, Pingshan District, Shenzhen City, Guangdong Province Patentee before: SHENZHEN LAPLACE ENERGY TECHNOLOGY Co.,Ltd. |