CN210625149U - 一种金刚线切割硅片清洗的烘干装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了硅片清洗领域内的一种金刚线切割硅片清洗的烘干装置，包括从前到后依次排列设置的第一鼓泡漂洗槽、第二药剂漂洗槽、第三药剂漂洗槽、第四药剂漂洗槽、第五超声漂洗槽、第六溢流漂洗槽、第七溢流漂洗槽和第八溢流漂洗槽，烘干槽包括水平底板，烘干空腔内靠近左侧板、右侧板处均设置有加热组件，所述前侧板和后侧板上均开设有若干侧风孔，烘干槽的前侧和后侧均设置有风箱，侧鼓风机的风口对应侧风孔设置，所述底板上也开设有若干下风孔，位于底板下方设置有若干下鼓风机，下鼓风机的风口对应下风孔设置；底板上设置有至少1组支撑组件，支撑组件上定位放置有由机械臂控制移动的硅片托架。本实用新型能够快速对硅片进行烘干。
Description
技术领域
本实用新型属于硅片清洗领域，特别涉及一种金刚线切割硅片清洗的烘干装置。
背景技术
现有技术中，采用金刚线切割工艺对晶棒进行切割，使得晶棒被切成若干多晶硅片，切割成形后的多晶硅片表面会存在脏污和杂质，需要对硅片进行清洗。目前多晶清洗普遍使用的是先药剂洗、再漂洗，最后烘干的工艺。然而随着光伏行业提速增效的大势所向，清洗工艺提速势在必行，而烘干时间缩短后，容易产生水渍污片及湿片，易引起硅片的品质不良，目前行业内普遍采用的是提高烘干温度，增加烘干时间来减少此类情况的发生，但是提高烘干温度还是无法确保热量均匀分布，且烘干时间增加后会影响清洗工艺提速。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种金刚线切割硅片清洗的烘干装置，能够通过促进烘干槽内气体流动，使得热量分布更加均匀，快速对硅片进行烘干，减少烘干时间，同时避免因水渍残留导致污染硅片。
本实用新型的目的是这样实现的：一种金刚线切割硅片清洗的烘干装置，包括从前到后依次排列设置的第一鼓泡漂洗槽、第二药剂漂洗槽、第三药剂漂洗槽、第四药剂漂洗槽、第五超声漂洗槽、第六溢流漂洗槽、第七溢流漂洗槽和第八溢流漂洗槽，所述第八溢流漂洗槽后方设置有至少1个烘干槽，所述烘干槽包括水平底板，底板上方设置有互相平行的前侧板和后侧板， 前侧板和后侧板之间设置有互相平行的左侧板和右侧板，前侧板、后侧板、左侧板和右侧板围成烘干空腔，所述烘干空腔内靠近左侧板、右侧板处均设置有加热组件，所述前侧板和后侧板上均开设有若干侧风孔，所述烘干槽的前侧和后侧均设置有风箱，所述风箱呈长方体状，风箱内部沿烘干槽长度方向依次排列设置有若干侧鼓风机，侧鼓风机的风口对应侧风孔设置，所述底板上也开设有若干下风孔，位于底板下方设置有若干下鼓风机，下鼓风机的风口对应下风孔设置；所述底板上设置有至少1组支撑组件，所述支撑组件上定位放置有由机械臂控制移动的硅片托架。
本实用新型工作时，硅片托架内放置多晶硅片，机械臂先将硅片放在第一鼓泡漂洗槽内用清水鼓泡漂洗，然后分别进入第二药剂漂洗槽、第三药剂漂洗槽、第四药剂漂洗槽内进行药剂漂洗，第五超声漂洗槽对药洗后的硅片用清水超声漂洗，然后再用第六溢流漂洗槽、第七溢流漂洗槽和第八溢流漂洗槽进行漂洗；烘干槽对漂洗后的硅片进行烘干。与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：烘干槽前后两侧均设有鼓风机，烘干槽左右两侧均设有加热组件，鼓风机可通过调节风速大小来增加热对流，加热组件可提高烘干加热温度，来缩短烘干时间；感应器感应到硅片进入烘干槽底部，通过前后两侧的鼓风机、底部鼓风机对烘箱内进行均匀吹动，使得加热组件的热量加速流动做到对硅片快速烘干。
作为本实用新型的进一步改进，所述加热组件包括若干沿烘干槽宽度方向等间隔设置的电热管，电热管为直管或U形管。
作为本实用新型的进一步改进，所述侧风孔为腰形孔，腰形孔的长度为2~4cm，腰形孔的宽度为0.5~1cm；下风孔为圆孔，下风孔的直径为1~1.5cm。
作为本实用新型的进一步改进，所述支撑组件设置有2组，2组支撑组件沿烘干槽长度方向间隔分布，所述支撑组件包括2块左右对称设置的倾斜支撑板，支撑板上沿烘干槽宽度方向间隔开设有2个定位孔。硅片托架放置在2块支撑板上。
作为本实用新型的进一步改进，所述硅片托架包括2块左右对应设置的挡板，挡板包括竖直部和水平部，2块挡板竖直部之间设置有2组前后对称的侧挡组件，侧挡组件包括上挡杆、中间挡杆和下挡杆，两块托板水平部之间水平设置有2根平行的托杆；2块挡板分别位于对应支撑板的外侧，2根托杆分别卡入对应定位孔内。硅片底部支撑在托杆上，硅片两侧由上挡杆、中间挡杆和下挡杆进行定位。
作为本实用新型的进一步改进，所述烘干槽设置有2个，烘干槽包括前侧烘干槽和后侧烘干槽，前侧烘干槽与第八溢流漂洗槽之间设置有预脱水槽。预脱水槽可以对漂洗后的硅片通过慢提拉进行脱水，2个烘干槽先后对硅片烘干。
附图说明
图1为本实用新型的立体结构图。
图2为硅片托架的横向剖视图。
图3为硅片托架的纵向剖视图。
图4为前侧板的正视图。
图5为底板的俯视图。
图6为烘干装置的结构示意图。
其中，1第一鼓泡漂洗槽，2第二药剂漂洗槽，3第三药剂漂洗槽，4第四药剂漂洗槽，5第五超声漂洗槽，6第六溢流漂洗槽，7第七溢流漂洗槽，8第八溢流漂洗槽，9预脱水槽，10前侧烘干槽，11后侧烘干槽，12底板，12a下风孔，13前侧板，14右侧板，15电热管，16侧风孔，17硅片托架，17a挡板，17a1竖直部，17a2水平部，17b上挡杆，17c中间挡杆，17d下挡杆，17e托杆，18支撑板，18a定位孔，19风箱。
具体实施方式
如图1-6所示，为一种金刚线切割硅片清洗的烘干装置，包括从前到后依次排列设置的第一鼓泡漂洗槽1、第二药剂漂洗槽2、第三药剂漂洗槽3、第四药剂漂洗槽4、第五超声漂洗槽5、第六溢流漂洗槽6、第七溢流漂洗槽7和第八溢流漂洗槽8，第八溢流漂洗槽8后方设置有至少1个烘干槽，所述烘干槽包括水平底板12，底板12上方设置有互相平行的前侧板13和后侧板， 前侧板13和后侧板之间设置有互相平行的左侧板和右侧板14，前侧板13、后侧板、左侧板和右侧板14围成烘干空腔，所述烘干空腔内靠近左侧板、右侧板14处均设置有加热组件，前侧板13和后侧板上均开设有若干侧风孔16，所述烘干槽的前侧和后侧均设置有风箱19，风箱19呈长方体状，风箱19内部沿烘干槽长度方向依次排列设置有若干侧鼓风机，侧鼓风机的风口对应侧风孔16设置，底板12上也开设有若干下风孔12a，位于底板12下方设置有若干下鼓风机，下鼓风机的风口对应下风孔12a设置；底板12上设置有至少1组支撑组件，所述支撑组件上定位放置有由机械臂控制移动的硅片托架17。所述加热组件包括若干沿烘干槽宽度方向等间隔设置的电热管15，电热管15为直管或U形管。侧风孔16为腰形孔，腰形孔的长度为2~4cm，腰形孔的宽度为0.5~1cm；下风孔12a为圆孔，下风孔12a的直径为1~1.5cm。所述支撑组件设置有2组，2组支撑组件沿烘干槽长度方向间隔分布，所述支撑组件包括2块左右对称设置的倾斜支撑板18，支撑板18上沿烘干槽宽度方向间隔开设有2个定位孔18a。硅片托架17包括2块左右对应设置的挡板17a，挡板17a包括竖直部17a1和水平部17a2，2块挡板17a竖直部17a1之间设置有2组前后对称的侧挡组件，侧挡组件包括上挡杆17b、中间挡杆17c和下挡杆17d，两块托板水平部17a2之间水平设置有2根平行的托杆17e；2块挡板17a分别位于对应支撑板18的外侧，2根托杆17e分别卡入对应定位孔18a内。所述烘干槽设置有2个，烘干槽包括前侧烘干槽10和后侧烘干槽11，前侧烘干槽10与第八溢流漂洗槽8之间设置有预脱水槽9。
本实用新型工作时，硅片托架17内放置多晶硅片，机械臂先将硅片放在第一鼓泡漂洗槽1内用清水鼓泡漂洗，然后分别进入第二药剂漂洗槽2、第三药剂漂洗槽3、第四药剂漂洗槽4内进行药剂漂洗，第五超声漂洗槽5对药洗后的硅片用清水超声漂洗，然后再用第六溢流漂洗槽6、第七溢流漂洗槽7和第八溢流漂洗槽8进行漂洗；烘干槽对漂洗后的硅片进行烘干。本实用新型的有益效果在于：烘干槽前后两侧均设有鼓风机，烘干槽左右两侧均设有加热组件，鼓风机可通过调节风速大小来增加热对流，加热组件可提高烘干加热温度，来缩短烘干时间；感应器感应到硅片进入烘干槽底部，通过前后两侧的鼓风机、底部鼓风机对烘箱内进行均匀吹动，使得加热组件的热量加速流动做到对硅片快速烘干。
本实用新型并不局限于上述实施例，在本实用新型公开的技术方案的基础上，本领域的技术人员根据所公开的技术内容，不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一些替换和变形，这些替换和变形均在本实用新型的保护范围内。
Claims (6)
1.一种金刚线切割硅片清洗的烘干装置，包括从前到后依次排列设置的第一鼓泡漂洗槽、第二药剂漂洗槽、第三药剂漂洗槽、第四药剂漂洗槽、第五超声漂洗槽、第六溢流漂洗槽、第七溢流漂洗槽和第八溢流漂洗槽，其特征在于，所述第八溢流漂洗槽后方设置有至少1个烘干槽，所述烘干槽包括水平底板，底板上方设置有互相平行的前侧板和后侧板， 前侧板和后侧板之间设置有互相平行的左侧板和右侧板，前侧板、后侧板、左侧板和右侧板围成烘干空腔，所述烘干空腔内靠近左侧板、右侧板处均设置有加热组件，所述前侧板和后侧板上均开设有若干侧风孔，所述烘干槽的前侧和后侧均设置有风箱，所述风箱呈长方体状，风箱内部沿烘干槽长度方向依次排列设置有若干侧鼓风机，侧鼓风机的风口对应侧风孔设置，所述底板上也开设有若干下风孔，位于底板下方设置有若干下鼓风机，下鼓风机的风口对应下风孔设置；所述底板上设置有至少1组支撑组件，所述支撑组件上定位放置有由机械臂控制移动的硅片托架。
2.根据权利要求1所述的一种金刚线切割硅片清洗的烘干装置，其特征在于，所述加热组件包括若干沿烘干槽宽度方向等间隔设置的电热管，电热管为直管或U形管。
3.根据权利要求1或2所述的一种金刚线切割硅片清洗的烘干装置，其特征在于，所述侧风孔为腰形孔，腰形孔的长度为2~4cm，腰形孔的宽度为0.5~1cm；下风孔为圆孔，下风孔的直径为1~1.5cm。
4.根据权利要求1或2所述的一种金刚线切割硅片清洗的烘干装置，其特征在于，所述支撑组件设置有2组，2组支撑组件沿烘干槽长度方向间隔分布，所述支撑组件包括2块左右对称设置的倾斜支撑板，支撑板上沿烘干槽宽度方向间隔开设有2个定位孔。
5.根据权利要求4所述的一种金刚线切割硅片清洗的烘干装置，其特征在于，所述硅片托架包括2块左右对应设置的挡板，挡板包括竖直部和水平部，2块挡板竖直部之间设置有2组前后对称的侧挡组件，侧挡组件包括上挡杆、中间挡杆和下挡杆，两块托板水平部之间水平设置有2根平行的托杆；2块挡板分别位于对应支撑板的外侧，2根托杆分别卡入对应定位孔内。
6.根据权利要求1或2所述的一种金刚线切割硅片清洗的烘干装置，其特征在于，所述烘干槽设置有2个，烘干槽包括前侧烘干槽和后侧烘干槽，前侧烘干槽与第八溢流漂洗槽之间设置有预脱水槽。
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112775089A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-05-11 | 四川永祥硅材料有限公司 | 一种硅片清洗废水处理系统 |
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