CN212412021U

CN212412021U - 一种舟缓存结构

Info

Publication number: CN212412021U
Application number: CN202020624557.3U
Authority: CN
Inventors: 林佳继; 庞爱锁; 刘群; 张武; 林依婷
Original assignee: Shenzhen Laplace Energy Technology Co Ltd
Current assignee: Laplace New Energy Technology Co ltd
Priority date: 2020-04-23
Filing date: 2020-04-23
Publication date: 2021-01-26
Anticipated expiration: 2030-04-23

Abstract

一种舟缓存结构，包括支撑柱、存储底座以及托盘，所述存储底座设置于支撑柱与托盘之间；所述托盘设置于存储底座，托盘包括风扇以及水冷层；本实用新型通过在存储底座中设置限位块以及在托盘上设置隔离槽实现对舟定位，保证舟在工艺过程中不会产生偏移。

Description

一种舟缓存结构

技术领域

本实用新型涉及太阳能光伏电池制造领域，特别是涉及一种舟缓存结构。

背景技术

半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过加工处理才能够应用到产品上，CVD技术、扩散工艺或氧化工艺是其中的一种处理方式，其中CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外还有扩散工艺包括磷扩散、硼扩散等。目前在等离子增强化学气相沉积(PECVD)设备在太阳能光伏电池工艺流程中的作用主要是薄膜生长，可以用于氮化硅、氧化铝、本征硅、掺杂非晶硅等薄膜生长。但是在PECVD工艺时间相对于扩散等工艺，PECVD工艺的时间很短，而且PECVD设备的缓存结构使用的频次较高，因此对于缓存的稳定性、可靠性的要求更高。目前用于PECVD工艺的缓存不够稳定，降温、散热效率不够高。

发明内容

本实用新型的目的是解决现有技术的不足，提供一种舟缓存结构，结构简单，使用方便。

一种舟缓存结构，包括支撑柱、存储底座以及托盘；所述托盘通过存储底座与支撑柱连接；托盘包括风扇以及水冷层。

进一步的，所述支撑柱共两根，两根支撑柱对称设置，在两根支撑柱相对的一面上设置有与存储底座的连接结构；两根支撑柱之间至少设置有一个托盘。

进一步的，所述存储底座包括限位块、舟载板、支撑板以及连接块；所述限位块设置于支撑板；所述舟载板设置于限位块；所述连接块设置于支撑板以及支撑柱之间。

进一步的，所述连接块包括底块、顶块、上侧块、下侧块、左侧块以及右侧块；上侧块、下侧块、左侧块以及右侧块设置于顶块以及底块之间；上侧块和下侧块上下对称设置；左侧块和右侧块左右对称设置。

进一步的，所述底块的边缘设置有镂空，镂空部位用于设置左侧块和右侧块；左侧块和右侧块的一端还设置有凸起，凸起与顶块连接。

进一步的，所述支撑板包括限位杆、固定块以及连接板；在连接板和固定块紧贴的面上设置柱形通孔，柱形通孔用于设置限位杆；所述限位杆共两根。

进一步的，所述限位块设置于限位杆；限位块上设置有柱形贯通孔用于连接限位杆，限位块上的柱形贯通孔的侧面设置有开口，开口部位设置有螺纹孔。

进一步的，所述托盘设置于两根支撑柱上的存储底座之间，托盘包括风扇、风扇罩以及水冷层，所述风扇设置于水冷层以及风扇罩之间；所述风扇与风扇罩可拆式连接；水冷层上方设置有隔离槽，隔离槽的两端设置开口，风扇罩的相应位置也设置开口。

进一步的，所述存储底座上设置有舟传感器。

进一步的，所述限位块包括舟X方向限位块以及舟Y方向限位块；舟X方向限位块设置于舟Y方向限位块以及支撑板之间；所述舟Y方向限位块包括连接部位二和限位部位二，所述连接部位二与限位杆连接；所述限位部位二的侧面设置斜切面二，斜切面二与限位杆的轴向平行；设置于同一存储装置的两根限位杆上的舟Y方向限位块的朝向相反；所述舟X方向限位块包括连接部位一与限位部位一，所述连接部位一与限位杆连接；限位部位一的侧面设置斜切面一，斜切面一与限位杆的轴向垂直；设置于同一存储底座的两根限位杆上的舟X方向限位块的朝向一致，设置于两根支撑柱上的舟X方向限位块的朝向相反；所述舟载板设置于同一个存储底座的两根限位杆上的舟X方向限位块之间。

本实用新型的有益效果为：

通过在存储底座中设置限位块以及在托盘上设置隔离槽实现对舟定位，保证舟在工艺过程中不会产生偏移；

本实用新型通过风冷结合水冷的散热方式，实现对舟的高效散热；

通过在支撑柱上设置一组或多组存储底座，实现同时对一个或多个舟的散热，并且在多个舟同时散热时，通过托盘的作用，避免了上下层舟之间的干扰；

通过设置舟传感器，实现对舟的检测，提高装置的自动化程度。

附图说明

图1为本实用新型连接结构示意图；

图2为本实用新型俯视图；

图3为本实用新型托盘的风扇罩打开示意图；

图4为本实用新型存储底座示意图；

图5为本实用新型存储底座拆解图；

图6为本实用新型连接块拆解图；

图7为本实用新型舟X方向限位块示意图；

图8为本实用新型舟Y方向限位块示意图；

图9为本实用新型舟和本装置结合原理图；

图10为本实用新型多组存储底座示意图；

图11为本实用新型舟和本装置结合示意图；

图12为本实用新型舟和本装置结合正视图。

附图标记说明：支撑柱1、稳固板11、存储底座2、舟X方向限位块21、连接部位一211、限位部位一212、斜切面一213、舟Y方向限位块22、连接部位二221、限位部位二222、斜切面二223、舟载板23、舟传感器231、支撑板24、限位杆241、固定块242、连接板243、连接块25、底块251、顶块252、上侧块253、下侧块254、左侧块255、右侧块256、托盘3、风扇31、风扇罩32、水冷层33、进出水口34、分区隔块35、隔离槽36、舟4、舟脚41、卡脚42。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。

需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

实施例一：

如图1-3所示，一种舟缓存结构，包括支撑柱1、存储底座2以及托盘3，所述存储底座2设置于支撑柱1与托盘3之间；所述托盘3包括风扇31以及水冷层33。

所述支撑柱1可以设置于地面或者其他装置上方，在本实施例中支撑柱1的水平截面为正四边形。支撑柱1共两根，两根支撑柱1对称设置，在支撑柱1相对的一面上设置有与存储底座2的连接结构，在本实施例中为螺纹孔；一根支撑柱1上设置有至少一个存储底座2。同一根支撑柱1上的存储底座2等间距设置；两根支撑柱1上的存储底座2对称设置。

如图4-6所示，两根支撑柱1上的存储底座2的结构以及连接方式一致，以一根支撑柱1上的存储底座2为例。所述存储底座2包括限位块、舟载板23、支撑板24以及连接块25。所述限位块设置于支撑板24；所述舟载板23设置于限位块；所述连接块25设置于支撑板24以及支撑柱1之间。连接块25与支撑柱1之间通过螺纹连接。

所述连接块25包括底块251、顶块252、上侧块253、下侧块254、左侧块255以及右侧块256。在本实施例中上侧块253和下侧块254上下对称设置，且结构一致；左侧块255和右侧块256左右对称设置，且结构一致。上侧块253、下侧块254、左侧块255以及右侧块256设置于底块251和顶块252之间。其中底块251的边缘设置有镂空，镂空部位用于设置左侧块255和右侧块256。底块251边缘设置的镂空没有贯穿底块251，因此底块251整体从正面看呈“工”字形，从背面看呈矩形。所述左侧块255和右侧块256对称设置于底块251边缘的镂空部位，左侧块255和右侧块256与底块251之间通过螺纹连接。左侧块255和右侧块256的一端还设置有矩形凸起，矩形凸起与顶块252连接。所述上侧块253以及下侧块254对称设置于左侧块255和右侧块256之间，其中左侧块255分别与上侧块253以及下侧块254通过螺纹连接；同样的，右侧块256分别与上侧块253和下侧块254通过螺纹连接。所述顶块252与底块251对称设置于上下侧块254以及左右侧块256的两端。为了稳定连接块25的连接结构，在顶块252连接上侧块253和下侧块254的边缘部位设置有镂空；顶块252连接左侧块255和右侧块256的边缘部位设置有镂空。其中顶块252分别与左侧块255以及右侧块256通过螺纹连接。为了减轻连接块25的质量，同时不影响连接块25的负荷能力，在底块251、顶块252、上侧块253、下侧块254、左侧块255以及右侧块256的中间部位或靠近中间部位设置有镂空。

所述支撑板24与顶块252连接，可以选用螺纹连接。支撑板24包括限位杆241、固定块242以及连接板243。固定块242与连接板243组成矩形板状。所述固定块242与连接板243一体制成；在固定块242和连接板243紧贴的面上设置柱形通孔，柱形通孔用于设置限位杆241。柱形通孔的一侧设置开口，开口部位设置螺纹；通过开口部位设置的螺纹能够缩小固定块242与连接板243的间距，进而实现夹紧限位杆241的目的。在一些其他实施例中固定块242与连接板不是一体制成，在连接板243的上表面的边缘设置有与固定块242相匹配的凹槽，连接板243与固定块242可拆式连接，可以选用螺纹连接。在本实施例中固定块242与连接板243之间设置两根限位杆241，两根限位杆241相互平行。

如图5-9所示，所述限位块设置于限位杆241，限位块上设置有柱形贯通孔用于连接限位杆241，限位块上的柱形贯通孔的侧面设置有开口，并且在开口部位设置有螺纹孔，通过拧紧螺丝，能够实现开口的缩小，进而实现限位块在限位杆241上的固定。限位块包括舟X方向限位块21以及舟Y方向限位块22，舟X方向限位块21设置于舟Y方向限位块22以及支撑板24之间，舟Y方向限位块22包括连接部位二221和限位部位二222，连接部位二221与限位部位二222一体制成。所述连接部位二221与限位杆241连接；所述限位部位二222的侧面设置斜切面二223，载舟时斜切面二223与舟4底部的舟脚41贴合，斜切面二223与限位杆241的轴向平行。设置于同一存储装置的两根限位杆241上的舟Y方向限位块22的朝向相反，两块舟Y方向限位块22实现对舟4在Y方向上的限位，防止舟4在Y方向上晃动。舟X方向限位块21包括连接部位一211与限位部位一212，其中连接部位一211与限位部位一212一体制成。所述连接部位一211与限位杆241连接；限位部位一212的侧面设置斜切面一213，斜切面一213与限位杆241的轴向垂直，载舟时斜切面一213与舟4底部的舟脚41贴合。设置于同一存储底座2的两根限位杆241上的舟X方向限位块21的朝向一致；设置于两根支撑柱1上的舟X方向限位块21的朝向相反，两根支撑柱1上的舟X方向限位块21相互配合实现对舟4在X方向上的限位。所述舟载板23设置于同一个存储底座2的两根限位杆241上的舟X方向限位块21之间，由于连接部位一211的上表面低于限位部位一212的上表面，实现对舟载板23在X方向上的限位。其中连接部位二221的上表面高于连接部位一211的上表面，但是连接部位二221的上表面低于限位部位一212的上表面，在舟载板23的下表面上还设置有凸起，卡于连接部位二221以及连接部位一211形成的高度差以及支撑板24之间，实现对舟载板23在Y方向上的限位。为了保证舟载板23位置的稳定，还可以在舟载板23与限位块之间设置螺纹连接，本实施例中在限位块上用于与舟载板23连接的螺纹，与限位块上缩紧贯通孔开口的螺纹为同一处螺纹。

如图2-4、9所示，所述托盘3设置于两根支撑柱1上的存储底座2之间，托盘3包括风扇31、风扇罩32以及水冷层33，所述风扇31设置于水冷层33以及风扇罩32之间。托盘3的两侧与存储底座2的支撑板24连接，可以为螺纹连接。所述水冷层33为翅片式水冷散热器，气流能够穿过水冷层33，水冷层33设置有进出水口34，所述进出水口34设置于水冷层33的侧面。所述风扇31与风扇罩32可拆式连接，可以采用螺纹连接，风扇罩32在连接风扇31的部位设置有通孔，便于风扇31实现对舟4的散热。在本实施例中风扇31共六组，每组风扇31共两个，两个风扇31在Y方向上前后设置。六组风扇31平行等间距设置，每组风扇31之间设置有分区隔块35，其中在第三组和第四组风扇31之间，也就是中间的两组风扇31之间设置有隔离槽36。所述隔离槽36的两端设置开口，同时在风扇罩32的相应位置也设置开口，目的是使舟4底部的卡脚42能够穿过风扇罩32卡于隔离槽36的开口部位。

如图4、9所示，为了检测存储底座2以及托盘3上是否负载有舟4，在存储底座2上设置舟传感器231，可以为接触传感器。在舟载板23上设置有贯通孔，舟传感器231穿过贯通孔设置于舟载板23，其中舟传感器231的触点高于舟载板23的上表面，目的是当存储底座2负载舟4的时候舟传感器231能够第一时间检测。在一些其他实施方式中，舟传感器231也可以为光电传感器。

如图10-12所示，为了稳固两根支撑柱1的位置关系，在两根支撑柱1之间设置有稳固板11。所述稳固板11设置于两根支撑柱1之间，在支撑柱1的上端以及下端都设置有稳固板11，稳固板11与支撑柱1垂直设置。

在实施过程中，两根支撑柱1上至少一组对称设置的存储底座2以及设置于存储底座2上的托盘3，实现在两根支撑柱1之间同时设置一个或多个舟4；舟4的舟脚41配合限位块实现对舟4的定位，舟4的卡脚42配合隔离槽36以及风扇罩32上的开口实现对舟4的进一步定位，防止舟4产生偏转，保证舟4稳定放置于存储底座2以及托盘3上；风冷结合水冷的散热方式实现对舟4的高效散热；水冷层33以及风扇罩32的设置能够承接工艺过程中掉落的碎片，有效保护风扇31以及避免上下层舟4之间的干扰。

以上描述仅是本实用新型的一个具体实例，不构成对本实用新型的任何限制。显然对于本领域的专业人员来说，在了解了本实用新型内容和原理后，都可能在不背离本实用新型原理、结构的情况下，进行形式和细节上的各种修改和改变，但是这些基于本实用新型思想的修正和改变仍在本实用新型的权利要求保护范围之内。

Claims

1.一种舟缓存结构，其特征在于，包括支撑柱、存储底座以及托盘；所述托盘通过存储底座与支撑柱连接；托盘包括风扇以及水冷层。

2.根据权利要求1所述的一种舟缓存结构，其特征在于，所述支撑柱共两根，两根支撑柱对称设置，在两根支撑柱相对的一面上设置有与存储底座的连接结构；两根支撑柱之间至少设置有一个托盘。

3.根据权利要求1所述的一种舟缓存结构，其特征在于，所述存储底座包括限位块、舟载板、支撑板以及连接块；所述限位块设置于支撑板；所述舟载板设置于限位块；所述连接块设置于支撑板以及支撑柱之间。

4.根据权利要求3所述的一种舟缓存结构，其特征在于，所述连接块包括底块、顶块、上侧块、下侧块、左侧块以及右侧块；上侧块、下侧块、左侧块以及右侧块设置于顶块以及底块之间；上侧块和下侧块上下对称设置；左侧块和右侧块左右对称设置。

5.根据权利要求4所述的一种舟缓存结构，其特征在于，所述底块的边缘设置有镂空，镂空部位用于设置左侧块和右侧块；左侧块和右侧块的一端还设置有凸起，凸起与顶块连接。

6.根据权利要求3所述的一种舟缓存结构，其特征在于，所述支撑板包括限位杆、固定块以及连接板；在连接板和固定块紧贴的面上设置柱形通孔，柱形通孔用于设置限位杆；所述限位杆共两根。

7.根据权利要求6所述的一种舟缓存结构，其特征在于，所述限位块设置于限位杆；限位块上设置有柱形贯通孔用于连接限位杆，限位块上的柱形贯通孔的侧面设置有开口，开口部位设置有螺纹孔。

8.根据权利要求2所述的一种舟缓存结构，其特征在于，所述托盘设置于两根支撑柱上的存储底座之间，托盘包括风扇、风扇罩以及水冷层，所述风扇设置于水冷层以及风扇罩之间；所述风扇与风扇罩可拆式连接；水冷层上方设置有隔离槽，隔离槽的两端设置开口，风扇罩的相应位置也设置开口。

9.根据权利要求1所述的一种舟缓存结构，其特征在于，所述存储底座上设置有舟传感器。

10.根据权利要求7所述的一种舟缓存结构，其特征在于，所述限位块包括舟X方向限位块以及舟Y方向限位块；舟X方向限位块设置于舟Y方向限位块以及支撑板之间；所述舟Y方向限位块包括连接部位二和限位部位二，所述连接部位二与限位杆连接；所述限位部位二的侧面设置斜切面二，斜切面二与限位杆的轴向平行；设置于同一存储装置的两根限位杆上的舟Y方向限位块的朝向相反；所述舟X方向限位块包括连接部位一与限位部位一，所述连接部位一与限位杆连接；限位部位一的侧面设置斜切面一，斜切面一与限位杆的轴向垂直；设置于同一存储底座的两根限位杆上的舟X方向限位块的朝向一致，设置于两根支撑柱上的舟X方向限位块的朝向相反；所述舟载板设置于同一个存储底座的两根限位杆上的舟X方向限位块之间。