CN211700222U

CN211700222U - 一种可兼容多尺寸硅片舟结构

Info

Publication number: CN211700222U
Application number: CN202020151856.XU
Authority: CN
Inventors: 刘群; 庞爱锁; 林佳继; 朱太荣; 林依婷
Original assignee: Shenzhen Laplace Energy Technology Co Ltd
Current assignee: Laplace New Energy Technology Co ltd
Priority date: 2020-02-04
Filing date: 2020-02-04
Publication date: 2020-10-16
Anticipated expiration: 2030-02-04

Abstract

一种可兼容多尺寸硅片舟结构，包括顶板、底板、卡槽柱以及支撑柱；所述卡槽柱以及支撑柱设置于顶板以及底板之间；所述卡槽柱至少为三个，卡槽柱与底板垂直设置，卡槽柱设置与底板相邻的两条底边上；本实用新型通过对常规的硅片载具，也就是对舟进行改经，使得载具能够适应设定尺寸范围内的硅片，满足目前的硅片生产的尺寸要求。

Description

一种可兼容多尺寸硅片舟结构

技术领域

本实用新型涉及半导体和太阳能电池制造领域，特别是涉及一种可兼容多尺寸硅片舟结构。

背景技术

在半导体和太阳能电池的制造领域中，离不开扩散炉、氧化炉、退火炉等等高温设备。随着对性能、性价比的考量，硅片的尺寸多种多样，同时硅片的尺寸也会随着厂家的安排逐渐更替，其中硅片在运输和扩散等过程中往往放置于舟上对应的槽位中。但是目前的舟一般将卡槽柱设置于底板相互平行的两条边上，这类舟只能够适应单一尺寸的硅片，也就是说现有的舟往往对应相应尺寸的硅片，虽然允许硅片在舟设计的公差范围存在少许变化，但是不能进行较大尺寸的变化，要适应尺寸相差较大的硅片只能够通过更换不同尺寸的舟。

发明内容

本实用新型的目的是解决现有技术的不足，提供，结构简单，使用方便。

一种可兼容多尺寸硅片舟结构，包括顶板、底板、卡槽柱以及支撑柱；所述卡槽柱以及支撑柱设置于顶板以及底板之间；所述卡槽柱至少为三个，卡槽柱与底板垂直设置，卡槽柱设置与底板相邻的两条底边上。

进一步的，所述卡槽柱为四个，以两个卡槽柱为一组，四个卡槽柱分为两组，分别设置于底板两条相邻的底边上。

进一步的，所述顶板以及底板整体呈矩形，顶板和底板的中间可以设置镂空；顶板和底板平行设置。

进一步的，所述支撑柱设置于底板；支撑柱设置于靠近底板边缘的中部，支撑柱与卡槽柱分别设置于底板的三条边上。

进一步的，所述卡槽柱包括卡齿以及柱体，所述卡齿在柱体上平行等间距设置，卡齿可以水平或与水平保持设定角度，卡齿的方向朝向底板的内侧。

进一步的，所述舟结构还包括挂耳，所述挂耳设置于支撑柱、卡槽柱或者位于底部同一底边的卡槽柱之间。

进一步的，所述支撑柱为直杆，支撑柱的截面包括矩形、圆形。

进一步的，所述底板包括底边一、底边二、底边三以及底边四，底边一和底边三对称设置，底边二和底边四对称设置；其中底边四为插入硅片的一边；卡槽柱设置于底板的底边二和底边三上。

进一步的，所述卡齿倾斜设置，使被放置的硅片倾斜设置，硅片与水平呈设定角度。

进一步的，所述设置于底边二上的卡槽柱的卡齿的下表面与硅片的上表面接触；设置于底边三上的卡槽柱的卡齿的上表面与硅片的下表面接触。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型通过对常规的硅片载具，也就是对舟进行改经，使得载具能够适应设定尺寸范围内的硅片，满足目前的硅片生产的尺寸要求。

在生产不同尺寸的硅片时，不需要更换舟的载具，具有更好的兼容性，节约成本，同时简化工序。

附图说明

图1为本实用新型的立体图；

图2为本实用新型的仰视图；

图3为本实用新型的卡槽柱的卡齿和柱体结构图；

图4为本实用新型的卡齿为水平状态的硅片摆放示意图；

图5为本实用新型的卡齿于水平保持设定角度的硅片摆放示意图；

图6为本实用新型实施例一的示意图；

图7为本实用新型实施例一的仰视图。

附图标识说明：顶板1、底板2、底边一21、底边二22、底边三23、底边四24、卡槽柱3、卡齿31、柱体32、支撑柱4、挂耳5、硅片6、硅片7、硅片8、硅片9。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。

需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

实施例一：

如图1所示，一种可兼容多尺寸硅片舟结构，包括顶板1、底板2、卡槽柱3以及支撑柱4。所述卡槽柱3以及支撑柱4设置于顶板1以及底板2之间。

所述顶板1以及底板2整体呈矩形，顶板1和底板2的中间可以设置镂空。顶板1和底板2平行设置。所述底板包括底边，在本实施例中有底边一21、底边二22、底边三23以及底边四24，底边一21和底边三23对称设置，底边二22和底边四24对称设置。其中底边四24为插入硅片的一边，底板可以仅由底边一21、底边二22、底边三23构成。需要说明的是底边一21、底边二22、底边三23以及底边四24仅为名称，不对本装置构成限制。

如图2所示，所述卡槽柱3至少为三个，卡槽柱分别设置于底板的相邻的底边上。在本实施例中为四个卡槽柱3，卡槽柱3与底板2垂直设置，卡槽柱3位于底板2的同一侧。以两个卡槽柱3为一组，四个卡槽柱3分为两组，分别设置于底板2的底边二22和底边三23上，同一组的两个卡槽柱3与底板边缘的最小距离一致，即同一组的两个卡槽柱3在水平方向上的连线与设置该组卡槽柱的底板底边平行。卡槽柱3包括卡齿31以及柱体32。

如图3所示，所述卡齿31在柱体32上平行等间距设置。卡齿31可以水平或与水平保持设定角度。若卡齿31水平设置，则卡齿31的上表面或下表面与硅片接触，此时硅片呈水平状态。

如图2-5所示，若卡齿31与水平成设定角度，则硅片设置于舟内时，硅片远离底边二22的一端向上倾斜设定角度，硅片靠近底边二22的一端向下倾斜设定角度；此时设置于底边二22的卡槽柱上的卡齿31在远离柱体32的一端向上倾斜设定角度，相应的，设置于底边三23的卡槽柱3上的卡齿31在靠近底边二22的一侧向下倾斜设定角度。卡齿31倾斜设置的目的是当舟水平设置时，使被放置的硅片也倾斜设置，硅片与水平呈设定角度，使硅片远离底边二22的一端向上倾斜设定角度，硅片靠近底边二22的一端向下倾斜设定角度，使硅片受重力作用，能够更为牢固的卡于卡齿31内，不易滑动。卡齿31的方向朝向底板2的内侧。

在本实施例中，设置于底边二22上的卡槽柱3的卡齿的下表面与硅片的上表面接触；设置于底边三23上的卡槽柱3的卡齿3的上表面与硅片的下表面接触，目的是使硅片能够卡在卡槽柱上。

所述支撑柱4设置于底板2，支撑柱4与卡槽柱3位于底板2的同一侧，支撑柱4设置于靠近底板底边的中部，同时支撑柱4与卡槽柱3设置于底板的不同底边上，支撑柱4与卡槽柱3分别设置于底板2的三条边上，在本实施例中支撑柱4设置于底板的底边一21上。支撑柱4为直杆，支撑柱4的截面可以为矩形、圆形等。支撑柱4所在的平面与底板2垂直

所述舟结构还包括挂耳5，所述挂耳5设置于支撑柱4、卡槽柱3或者位于底部同一边缘上的卡槽柱3之间。在本实施例中挂耳5共两个，两个挂耳5分别设置于底边一21上的支撑柱4的中部以及底边三23上的两个卡槽柱3之间。其中设置挂耳的底边相互平行。

如图3、4所示，在本实施例实施的过程中，以底部没有设置卡槽柱3或者支撑柱4的一侧作为硅片的插入口。假设位于同一组的卡槽柱3在底面上的连线的延长线交于点O，以每组卡槽柱3来看，底边二22上较远的卡槽柱到点O的距离为X，底边三23上较远的卡槽柱到点O的距离为Y；底边三23上两个卡槽柱3的连线到支撑柱4的垂直距离为Z。本实施例能够适应多种规格的硅片，其中硅片的长度大于等于X，同时小于Z；硅片的宽度大于等于Y，小于设定值；由于一般硅片为正方形，因此可以设置X＝Y，此时适用硅片尺寸为边长大于等于X，同时小于Z。如图3、4所示，硅片6、硅片7、硅片8、硅片9为满足上述条件的不同尺寸的硅片。

以上描述仅是本实用新型的一个具体实例，不构成对本实用新型的任何限制。显然对于本领域的专业人员来说，在了解了本实用新型内容和原理后，都可能在不背离本实用新型原理、结构的情况下，进行形式和细节上的各种修改和改变，但是这些基于本实用新型思想的修正和改变仍在本实用新型的权利要求保护范围之内。

Claims

1.一种可兼容多尺寸硅片舟结构，其特征在于，包括顶板、底板、卡槽柱以及支撑柱；所述卡槽柱以及支撑柱设置于顶板以及底板之间；所述卡槽柱至少为三个，卡槽柱与底板垂直设置，卡槽柱设置与底板相邻的两条底边上。

2.根据权利要求1所述的一种可兼容多尺寸硅片舟结构，其特征在于，所述卡槽柱为四个，以两个卡槽柱为一组，四个卡槽柱分为两组，分别设置于底板两条相邻的底边上。

3.根据权利要求1所述的一种可兼容多尺寸硅片舟结构，其特征在于，所述顶板以及底板整体呈矩形，顶板和底板的中间可以设置镂空；顶板和底板平行设置。

4.根据权利要求1所述的一种可兼容多尺寸硅片舟结构，其特征在于，所述支撑柱设置于底板；支撑柱设置于靠近底板边缘的中部，支撑柱与卡槽柱分别设置于底板的三条边上。

5.根据权利要求1所述的一种可兼容多尺寸硅片舟结构，其特征在于，所述卡槽柱包括卡齿以及柱体，所述卡齿在柱体上平行等间距设置，卡齿可以水平或与水平保持设定角度，卡齿的方向朝向底板的内侧。

6.根据权利要求1所述的一种可兼容多尺寸硅片舟结构，其特征在于，所述舟结构还包括挂耳，所述挂耳设置于支撑柱、卡槽柱或者位于底部同一底边的卡槽柱之间。

7.根据权利要求1所述的一种可兼容多尺寸硅片舟结构，其特征在于，所述支撑柱为直杆，支撑柱的截面包括矩形、圆形。

8.根据权利要求5所述的一种可兼容多尺寸硅片舟结构，其特征在于，所述底板包括底边一、底边二、底边三以及底边四，底边一和底边三对称设置，底边二和底边四对称设置；其中底边四为插入硅片的一边；卡槽柱设置于底板的底边二和底边三上。

9.根据权利要求8所述的一种可兼容多尺寸硅片舟结构，其特征在于，所述卡齿倾斜设置，使被放置的硅片倾斜设置，硅片与水平呈设定角度。

10.根据权利要求9所述的一种可兼容多尺寸硅片舟结构，其特征在于，所述设置于底边二上的卡槽柱的卡齿的下表面与硅片的上表面接触；设置于底边三上的卡槽柱的卡齿的上表面与硅片的下表面接触。