CN219998167U - 一种承载组件及用于放置承载件的托架 - Google Patents

一种承载组件及用于放置承载件的托架 Download PDF

Info

Publication number
CN219998167U
CN219998167U CN202321429395.8U CN202321429395U CN219998167U CN 219998167 U CN219998167 U CN 219998167U CN 202321429395 U CN202321429395 U CN 202321429395U CN 219998167 U CN219998167 U CN 219998167U
Authority
CN
China
Prior art keywords
carrier
supporting
support
bearing
bracket
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202321429395.8U
Other languages
English (en)
Inventor
严大
盛玉长
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jiangsu Leadmicro Nano Technology Co Ltd
Original Assignee
Jiangsu Leadmicro Nano Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jiangsu Leadmicro Nano Technology Co Ltd filed Critical Jiangsu Leadmicro Nano Technology Co Ltd
Priority to CN202321429395.8U priority Critical patent/CN219998167U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN219998167U publication Critical patent/CN219998167U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Abstract

本申请公开了一种承载组件及用于放置承载件的托架,承载组件包括承载件和用于放置承载件的托架,本申请中放置承载件的托架设置有第二支撑部,在承载件放置于托架上的同时,承载件上的片材可支撑于第二支撑部,这样托架能够分担片材所有或者部分重量,进而承载件可以完全不承受或者仅承受部分片材的压力,即片材的承载可以部分或者全部由承载件转移至托架,在托架负载保持不变的情况下,降低承载件的承载,延缓承载件、特别是硅材质承载件在高温工艺条件下的蠕变形变时间,提高承载件的使用寿命以及降低设备维护成本。另外,增加第二支撑部也可以增加托架的强度。

Description

一种承载组件及用于放置承载件的托架
技术领域
本申请涉及光伏设备技术领域,具体涉及一种承载组件及用于放置承载件的托架。
背景技术
太阳能电池的制备过程中,硅基片材,如硅片需要依次经过制绒、扩散、刻蚀、镀膜以及印刷等工序。高温扩散工艺是太阳能电池制备过程中的一个核心工序,即将制绒后的硅片放入扩散炉中,在一定温度下向扩散炉内通入氮气、氧气和扩散源,以使硅片的表面扩散沉积PN结。随着太阳能发电的普及,相关的光伏产品需求量越来越大,相应地,对于扩散工艺设备的主要零配件要求和结构也越来越高。
请参考图1,图1为现有技术中石英材质的承载件、即装载硅片的石英舟和舟托组装形成承载组件的横断面局部示意图。
在扩散工艺中,硅片3’通常承放于承载组件中,承载组件包括石英舟2’和舟托1’,若干硅片3’直接支撑定位在石英舟2’的内部,从图1中可以看出硅片3’支撑于石英舟2’的限位杆21’上,若干个装载有硅片3’的石英舟2’放置于一个舟托1’中,最后再将石英舟2’和舟托1’形成的组件托送入扩散炉内部。高温条件下,当前石英舟2’在使用过程中会出现变形现象,影响使用寿命,一旦变形到达一定程度会导致硅片3’卡片、翘曲、甚至碎裂,而且也会造成自动化插、卸片装置插片时发生偏移、发生卡片碎片现象,或者无法进行插片、卸片操作,极大的影响了生产效率、降低了产能,并增加了生产和维护成本。
因此,如何克服现有技术的上述缺陷,是本领域内技术人员亟待解决的技术问题。
实用新型内容
本申请的目的是提供一种减缓承载件使用变形的承载组件及用于放置承载件的托架。
本申请提供一种承载组件,包括承载件,还包括用于放置承载件的托架,所述托架包括承载主体,所述承载主体设置有至少一个承载件放置工位,所述承载主体上还包括以下部件:
第一支撑部,用于支撑所述承载件;
第二支撑部,当所述承载件置于所述承载件放置工位时,所述第二支撑部能够支撑位于所述承载件上的片材。
与现有技术在高温扩散工艺中片材,如硅片仅直接支撑于承载件上相比,本申请中放置承载件的托架设置有第二支撑部,在承载件放置于托架时,承载件可支撑于第一支撑部,同时承载件上的片材直接支撑于第二支撑部,这样托架能够分担片材所有或者部分重量,进而承载件可以完全不承受或者仅承受部分片材的压力,即片材的承载可以部分或者全部由承载件转移至托架,在托架负载保持不变的情况下,降低承载件的承载,延缓承载件、特别是石英材质的承载件在高温扩散工艺中的蠕变形变时间,提高承载件的使用寿命以及降低设备维护成本。另外,增加第二支撑部也可以增加托架的强度。
可选地,所述第二支撑部为支撑杆,每一所述承载件放置工位设置有至少两个所述支撑杆,所述支撑杆的轴向沿所述承载件上片材排列方向。
可选地,所述承载件上设置有开口朝上的第一插入槽,所述第一插入槽的槽内部具有抵接部,当所述承载件处于所述承载件放置工位时,所述第二支撑部的支撑面高于或者等于所述第一插入槽的所述抵接部。
可选地,当所述承载件处于所述承载件放置工位时,所述第二支撑部的支撑面低于所述第一插入槽的槽口。
可选地,所述承载件还设置有开口朝下的第二插入槽,所述第二插入槽与所述第一插入槽一一对应,开口相对的所述第一插入槽与所述第二插入槽围成一个所述片材的容纳空间。
可选地,所述承载件包括本体,所述本体上设置有上下布置的两排限位杆,上排限位杆设置有所述第二插入槽,下排限位杆设置有所述第一插入槽,并且所述本体包括避让所述支撑杆的避让结构。
可选地,所述承载主体包括围成空腔的周向侧板,所述承载件至少部分位于所述空腔,所述周向侧板之间连接有至少一个加强筋,所述加强筋沿所有所述承载件的排列方向延伸,所述第一支撑部包括所述加强筋,所有所述承载件支撑于所述加强筋。
可选地,还包括至少一个隔板,所述隔板延伸方向垂直于所述加强筋,所述隔板的两端固定连接所述周向侧板的相对侧壁,所述加强筋穿过并连接所述隔板。
可选地,所述周向侧板的四角设置有第一支撑腿,沿所述承载主体长度方向的两所述第一支撑腿之间还布置有至少一个第二支撑腿,所述第一支撑腿和所述第二支撑腿二者用于共同支撑所述托架。
可选地,所述承载件为石英舟,所述片材为硅基片材,如硅片。
另外,本申请还提供了一种用于放置承载件的托架,包括承载主体,所述承载主体设置有至少一个承载件放置工位,所述承载主体上还包括以下部件:
第一支撑部,用于支撑承载件;
第二支撑部,当所述承载件置于所述承载件放置工位时,所述第二支撑部能够支撑位于所述承载件上的片材。
可选地,所述第二支撑部为支撑杆,每一所述承载件放置工位设置有至少两个所述支撑杆,所述支撑杆的轴向沿所述承载件上片材排列方向;所述支撑杆的支撑面高于所述承载件上用于向上支撑所述片材的插槽内部的抵接部,并且低于该插槽的槽口。
附图说明
图1为现有技术中石英舟和舟托组装形成承载组件的横断面局部示意图;
图2为本申请所提供一种实施例中承载组件的结构示意图;
图3为图2所示承载组件中用于放置承载件的托架的结构示意图;
图4为图2所示承载组件的横截面局部示意图;
图5为图4中B处局部放大示意图。
图1-图5中的附图标记说明如下:
1’舟托;2’石英舟;21’限位杆;3’硅片;
1托架;10承载主体;101纵向立壁;102横向立壁;103第一支撑腿;1011窗口;11支撑杆;12加强筋;13第一连接板;131第一中间支撑腿;14第二连接板;141第二中间支撑腿;15托把;111支撑面;2承载件;20本体;201连接板;21第一限位杆;211槽底壁;22第二限位杆;23凸台,24槽口;25凹槽;3硅基片材。
具体实施方式
针对背景技术中提及的承载件变形的技术问题,本申请进行了研究,研究发现:当前承载件在高温工艺下有蠕变变形的趋势,在生产工况下,连续的高温扩散工艺会加剧这种变形。本申请进行了深入探索,探索发现承载件、特别是石英材质的承载件在高温下承载片材、特别是硅基片材,如硅片的数量越多、重量越大,其越容易发生变形,在该发现的基础上,本申请提出了一种解决上述技术问题的技术方案,本申请所提供的技术方案能够缓解承载件高温工艺下的变形。
本申请的技术方案虽然是在研究硅基片材扩散工艺变形的背景下提出,但是其不局限于应用于硅基片材的扩散工艺,还可以应用于其他技术领域,以获得与本申请相似或相同的技术效果。本申请主要以承载组件应用于太阳能电池制备的扩散工艺、并作为片材为硅基片材、如硅片的承载设备为例详细介绍技术方案和技术效果。当然,本申请中的片材除了硅基片材之外,还可以为其他材质的片材,根据具体应用环境而定。
为了使本领域的技术人员更好地理解本申请的技术方案,下面结合附图和具体实施例对本申请作进一步的详细说明。
本申请中所述“若干”是指数量不确定的多个,通常为两个以上;且当采用“若干”表示某几个部件的数量时,并不表示这些部件在数量上的相互关系。
本申请中所述“第一”、“第二”等词,仅是为了便于描述结构和/或功能相同或者相类似的两个以上的结构或者部件,并不表示对于顺序和/或重要性的某种特殊限定。
请参考图2-图5,图2为本申请所提供一种实施例中承载组件的结构示意图;图3为图2所示承载组件中用于放置承载件的托架的结构示意图;图4为图2所示承载组件的横截面局部示意图;图5为图4中B处局部放大示意图。
本申请提供了一种承载组件,可以应用于太阳能电池制备的高温扩散工艺中,作为承载硅基片材的设备。承载组件包括承载件2和用于放置承载件的托架1,托架1的功能相当于背景技术中所提及的舟托。在扩散工艺中,承载件2上具有若干插槽,一个或者一组插槽能够定位一个硅基片材3,也就是说,硅基片材部分插装于承载件2的插槽中并能够定位于承载件2上。承载件2的材质可以为石英,当然在其他应用环境下,承载件2还可以为其他材质。承载件2沿其长度方向(图2中S2方向)具有若干插槽,分别定位若干硅基片材,即若干硅基片材3沿S2方向可以间隔布置。进行扩展工艺时,先将承载件2和托架1分离,将硅基片材3一一插入插槽中,此时硅基片材3能够支撑定位于承载件2上,插装好硅基片材3的承载件2整体放置到托架1上。
具体地,托架1包括承载主体10,承载主体10设置有至少一个承载件放置工位,一个承载件放置工位能够容纳一个承载件2,也就是说,一个承载主体10上可以放置一个或者两个或者更多个承载件2。请参见图2,通过承载主体10沿其长度方向(图2中S1方向)可以放置一排承载件2,图2中示出了一个承载主体10能够放置6个承载件2的具体示例,当然承载主体10上放置承载件2的数量不局限于本申请所示数量,可以为其他数量。
本申请的承载主体10上还包括第一支撑部和第二支撑部。其中,第一支撑部用于支撑承载件2,也就是说,承载件2支撑于承载主体10的第一支撑部。在一种示例中,承载件2包括本体20,本体20的相对侧壁外侧设置有外伸的凸台23,两凸台可以支撑于承载主体10,两凸台23同时还可以作为手柄以方便取放承载件2。
本申请中,当承载件2置于承载件放置工位时,第二支撑部能够支撑位于承载件2上的硅基片材3。也就是说,第二支撑部能够起到单独支撑或者与承载件2共同支撑硅基片材3的作用。
与现有技术在扩散工艺中硅片仅直接支撑于石英舟2’上相比,本申请中放置承载件2的托架设置有第二支撑部,在承载件2放置于托架上时,承载件直接支撑于第一支撑部,同时,承载件2上的片材、如硅基片材3直接支撑于第二支撑部,这样片材的重量由承载件2自动转移至托架1上,托架1能够分担片材所有或者部分重量,进而承载件2可以完全不承受或者仅承受部分片材的压力,即片材的承载可以部分或者全部由承载件2转移至托架1,在托架1负载保持不变的情况下,降低承载件2的承载,延缓承载件在高温扩散工艺中的蠕变形变时间,提高承载件2的使用寿命以及降低设备维护成本。另外,增加第二支撑部也可以增加托架1的强度。
实现上述功能的第二支撑部可以有多种结构,例如板状或者杆状,第二支撑部可以可拆卸安装于托架1,例如卡接等方式,这样第二支撑部可以进行单独更换,装卸便捷、降低维护成本。第二支撑部也可以固定安装于托架1,例如第二支撑部与托架焊接固定,或者第二支撑部与承载主体10的其他部件一体成型,可提高延缓作用的可靠性和托架的稳固性。下文给出了第二支撑部的一种具体的实施方式。
在一种具体实施方式中,第二支撑部可以为支撑杆11,每一承载件放置工位设置有至少两个支撑杆11,支撑杆11的轴向沿承载件2上硅基片材3排列方向、即支撑杆11的轴向沿S2方向。两支撑杆11沿承载件2排布方向(即S1方向)间隔布置,两支撑杆11通常相对硅基片材3的竖直中心面对称布置,这样能够对硅基片材起到稳定的支撑作用。
上述实施例中,第二支撑部为支撑杆11、即杆件,杆件与硅基片材3的支撑面积可以尽量小,所占空间小,提高硅基片材3在扩散工艺中的成型质量。
支撑杆11优先为圆柱杆,圆柱杆与硅基片材3接触面小,尽量降低对扩散工艺的影响。当然,在不影响硅基片材3扩散工艺的前提下,支撑杆11也可以为横截面为矩形或者其他形式的杆体。
承载件2沿S2方向通常布置有若干硅基片材3,硅基片材3通过插槽定位,也就是说,承载件2上设置有若干插槽以对硅基片材3进行可靠定位。承载件2上插槽的类型可以有多种形式,本申请给出了插槽包括第一插入槽和第二插入槽的一种具体结构。
在一种具体实施方式中,承载件2上设置有开口朝上的第一插入槽(图中未标注出,但是并不妨碍本领域内技术人员的理解),当硅基片材3插入承载件2上后,硅基片材3与第一插入槽的槽底壁接触并被支撑。当承载件2处于承载件放置工位时,第二支撑部的支撑面111高于或者等于第一插入槽的槽底壁。当第二支撑部的支撑面111与第一插入槽的槽底壁处于同一水平面时,第二支撑部与第一插入槽的槽底壁共同起到对承载件2上的硅基片材3支撑的作用,此时承载件2和承载主体10共同承载硅基片材3的重力,并且该状态下,硅基片材3还有部分处于第一插入槽内部,第一插入槽仍然能够对硅基片材3起到定位的作用。当第二支撑部的支撑面111高于第一插入槽的槽底壁211时,如图5所示,硅基片材3与第一插入槽的槽底壁211分离,仅第二支撑部、即支撑杆11对硅基片材3起到支撑作用,此时硅基片材3的重力完全由承载主体10承受,如图4所示。
以上主要针对第一插入槽为矩形槽为例进行的技术方案介绍,矩形槽的槽底壁211为平面,加工比较简单。当然第一插入槽并不局限于矩形槽,还可以V型槽等。总而言之,第一插入槽的槽内部具有抵接部,如上述实施例中的槽底壁211即为抵接部,当承载件2未置于托架1时,硅基片材3能够支撑于抵接部,抵接部与硅基片材3可以点接触,也可以为线或者面接触。当承载件处于承载件放置工位时,第二支撑部的支撑面111等于或者高于第一插入槽的抵接部,此时第二支撑部与抵接部共同支撑硅基片材3,或者硅基片材3脱离抵接部,仅支撑于第二支撑部上。
进一步地,当承载件2处于承载件放置工位时,第二支撑部的支撑面111低于第一插入槽顶端处的槽口24,如图5所示。该实施例中,第二支撑部既能够起到对硅基片材3的支撑作用,第一插入槽同时又能对硅基片材3起到沿S2方向的定位作用,硅基片材3定位稳定性比较高,还可防止硅基片材3受高温膨胀时空间受限造成挤压而发生碎片或翘曲,保证产品质量和生产安全。
在一种具体示例中,承载件2还设置有开口朝下的第二插入槽(图中未标示出,但是并不妨碍本领域内技术人员的理解),第二插入槽与第一插入槽一一对应,开口相对的第一插入槽与第二插入槽围成一个硅基片材3的容纳空间。第二插入槽与第一插入槽上下布置,能够对硅基片材3的上部和下部同时起到定位作用,稳定性比较高。
当然,第一插入槽的槽底壁211和第二插入槽的槽底壁之间的距离通常大于硅基片材3的高度,以对硅基片材3进行限位的同时给予硅基片材3受热膨胀的空间,因此,支撑面111位于槽底壁211与槽口24之间,更优选的,支撑面111位于第一插入槽的槽深中部与抵接部之间,以使托架1可分担承载件2的承重,同时不妨碍硅基片材的受热膨胀,延长石英材质的承载件使用寿命并保证扩散工艺的质量。
为了尽量降低承载件2对空间的占据,承载件2包括本体20,本体20上设置有上下布置的两排限位杆,上排限位杆设置有第二插入槽,下排限位杆设置有第一插入槽,为了描述技术方案的简洁,本申请将下排限位杆定义为第一限位杆21,上排限位杆定义为第二限位杆22,第一限位杆21和第二限位杆22的数量可以均为两个,当然,也可以选择其他数量,只要能够起到对硅基片材的稳定定位即可。
并且本体20包括避让支撑杆11的避让结构,例如,本体20沿S2方向的两端可以设置连接板201,各排限位杆的两端分别固定于连接板201,连接板201的相应位置设置有避让结构,以避让承载主体10的支撑杆11,如图2和图5所示。
如图3所示,在一种具体实施例中,承载主体10包括围成空腔的周向侧板,承载件2至少部分位于空腔。周向侧板可以围成不同形状的空腔,例如矩形、圆形等等,本申请以周向侧板围成空间利用率比较高的矩形为例继续介绍技术方案和技术效果。
周向侧板包括两个纵向立壁101和两个横向立壁102,其中两个纵向立壁101平行,两横向立壁102平行,两横向立壁102连接于两纵向立壁101之间,四者形成框型结构。各立壁可以为板状,板状立壁支撑强度比较高。周向侧板之间连接有加强筋12,从图中可以看出加强筋12沿S1方向布置,即加强筋12沿所有承载件2的排列方向延伸。加强筋12为杆体。第一支撑部包括加强筋12,所有承载件2支撑于加强筋12。
上述实施例中,所有承载件2均支撑于加强筋12,可以相对简化承载主体的结构,减轻整体重量。
当然加强筋还包括沿其他方向设置。
为了进一步提高加强筋12对承载件2的支撑稳定性,承载主体10还可以进一步包括至少一个隔板,隔板延伸方向垂直于加强筋12的延伸方向,隔板的两端固定连接周向侧板的相对立壁,隔板连接于两个纵向立壁101之间。加强筋12穿过并连接隔板。这样加强筋12的中间位置进一步通过隔板支撑,可以提高加强筋12中间位置的支撑性能,另外,隔板也进一步提高了承载主体10整体强度。
根据形状、结构的不同,不同位置的隔板可以并非完全结构一致。本申请中的隔板包括第一连接板13和第二连接板14。即本实施例中,加强筋12平行S1方向延伸,隔板平行S2方向延伸。当然,加强筋的布置方式不局限于本申请描述,只要能够不影响承载件2和硅基片材3的安装、扩散工艺等条件,均可以合理设置加强筋的位置和形状。加强筋可以起到进一步提高托架1使用强度的作用。
其中,为了扩散炉中气流流动需要,承载主体10的周向侧板还可以设置有窗口,如图3中仅标注出了纵向立壁101上设置的窗口1011,窗口的大小和个数可以根据具体产品而定。当然,承载主体10上的窗口1011在满足扩散炉中气体流动的前提下,还能够进一步降低承载主体10的整体重量。
同理,各隔板上也可以设置通孔,满足扩散工艺所需。
在一种具体实施例中,第一支撑部包括周向侧板的顶面,承载件2设置有凸台23,周向侧板的顶面设有与凸台23配合的凹槽25,承载件2置于承载件放置工位时,凸台23与凹槽25卡合,使承载件2支撑于周向侧板的顶面,取放均比较方便,还可使承载件支撑于加强筋12和/或周向侧板的顶面,增加承载件的稳定性以及托架分担负重的效果,进一步提高承载件的使用寿命、保证扩散工艺的质量。
周向侧板还可以开设有通孔,以降低整体重量。
上述各实施例中,周向侧板的四角设置有第一支撑腿,沿承载主体10长度方向的两第一支撑腿103之间还布置有至少一个第二支撑腿,第一支撑腿和第二支撑腿二者用于共同支撑托架1。第二支撑腿可以设置于隔板上,例如第一连接板13设置有第一中间支撑腿131,第二连接板14设置有第二中间支撑腿141,位于托架1内的第一中间支撑腿131、第二中间支撑腿141还可套设于加强筋12,多个支撑腿可以增加托架和石英管腔体的接触点,从而分散负载重量,减轻对S i C桨杆和石英管腔体的压力,增强托架的支撑效果,同时能够增强托架的强度,延缓蠕变形变。
在上述组件的基础上,本申请还提供了一种用于放置承载件的托架,包括承载主体10,承载主体10设置有至少一个承载件放置工位,承载主体10上还包括以下部件:
第一支撑部,用于支撑承载件2;
第二支撑部,当承载件2置于承载件放置工位时,第二支撑部能够支撑位于承载件2上的片材,如硅基片材3。
如上文所述,第二支撑部为支撑杆11,每一承载件放置工位设置有至少两个支撑杆11,支撑杆11的轴向沿承载件2上片材排列方向;支撑杆11的支撑面高于承载件2上用于支撑片材的插槽内部的抵接部,并且低于该插槽的槽口。
当然,为了托架1的装卸方便,承载主体10相对侧壁外部还设置有托把15。
该用于放置承载件2的托架1即为应用于上述承载组件的部件,故其也具有上文所述技术效果,在此不做赘述。
此外,本申请的使用方法为:
S1、将片材放置于承载件2;
当片材为硅基片材3时,将各硅基片材3插入承载件2上设置的插槽内部;
S2、将片材和承载件组装后的整体放置于托架的承载件放置工位,以使承载件支撑于所述第一支撑部,片材支撑于第二支撑部。片材可以全部重量或者部分重量支撑于第二支撑部,也就是说,当片材和承载件2组装后的整体放置于托架的承载件放置工位后,片材的重量由完全支撑于承载件2,自动转换为片材的至少部分重量能够直接支撑于第二支撑部,从而降低了片材对承载件2的压力,有效延缓承载件、特别是石英材质的承载件因高温及压力发生蠕变变形的时间,提高承载件、即如太阳能电池生产制造中所使用承载硅片的石英舟的使用寿命,降低生产、维护成本。
以上仅是本申请的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本申请原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

Claims (12)

1.一种承载组件,包括承载件,其特征在于,还包括用于放置所述承载件的托架,所述托架包括承载主体,所述承载主体设置有至少一个承载件放置工位,所述承载主体上还包括以下部件:
第一支撑部,用于支撑所述承载件;
第二支撑部,当所述承载件置于所述承载件放置工位时,所述第二支撑部能够支撑位于所述承载件上的片材。
2.根据权利要求1所述的承载组件,其特征在于,所述第二支撑部为支撑杆,每一所述承载件放置工位设置有至少两个所述支撑杆,所述支撑杆的轴向沿所述承载件上所述片材排列方向。
3.根据权利要求2所述的承载组件,其特征在于,所述承载件上设置有开口朝上的第一插入槽,所述第一插入槽的槽内部具有抵接部,当所述承载件处于所述承载件放置工位时,所述第二支撑部的支撑面高于或者等于所述第一插入槽的所述抵接部。
4.根据权利要求3所述的承载组件,其特征在于,当所述承载件处于所述承载件放置工位时,所述第二支撑部的支撑面低于所述第一插入槽的槽口。
5.根据权利要求3或4所述的承载组件,其特征在于,所述承载件还设置有开口朝下的第二插入槽,所述第二插入槽与所述第一插入槽一一对应,开口相对的所述第一插入槽与所述第二插入槽围成一个所述片材的容纳空间。
6.根据权利要求5所述的承载组件,其特征在于,所述承载件包括本体,所述本体上设置有上下布置的两排限位杆,上排限位杆设置有所述第二插入槽,下排限位杆设置有所述第一插入槽,并且所述本体包括避让所述支撑杆的避让结构。
7.根据权利要求1至4任一项所述的承载组件,其特征在于,所述承载主体包括围成空腔的周向侧板,所述承载件至少部分位于所述空腔,所述周向侧板之间连接有至少一个加强筋,所述加强筋沿所有所述承载件的排列方向延伸,所述第一支撑部包括所述加强筋,所述承载件支撑于所述加强筋。
8.根据权利要求7所述的承载组件,其特征在于,还包括至少一个隔板,所述隔板延伸方向垂直于所述加强筋,所述隔板的两端固定连接所述周向侧板的相对侧壁,所述加强筋穿过并连接所述隔板。
9.根据权利要求7所述的承载组件,其特征在于,所述周向侧板的四角设置有第一支撑腿,沿所述承载主体长度方向的两所述第一支撑腿之间还布置有至少一个第二支撑腿,所述第一支撑腿和所述第二支撑腿二者用于共同支撑所述托架。
10.根据权利要求1至4任一项所述的承载组件,其特征在于,所述承载件为石英舟,所述片材为硅基片材。
11.一种用于放置承载件的托架,其特征在于,包括承载主体,所述承载主体设置有至少一个承载件放置工位,所述承载主体上还包括以下部件:
第一支撑部,用于支撑承载件;
第二支撑部,当所述承载件置于所述承载件放置工位时,所述第二支撑部能够支撑位于所述承载件上的片材。
12.如权利要求11所述的用于放置承载件的托架,其特征在于,所述第二支撑部为支撑杆,每一所述承载件放置工位设置有至少两个所述支撑杆,所述支撑杆的轴向沿所述承载件上片材排列方向;所述支撑杆的支撑面高于所述承载件上用于向上支撑所述片材的插槽内部的抵接部,并且低于该插槽的槽口。
CN202321429395.8U 2023-06-06 2023-06-06 一种承载组件及用于放置承载件的托架 Active CN219998167U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202321429395.8U CN219998167U (zh) 2023-06-06 2023-06-06 一种承载组件及用于放置承载件的托架

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202321429395.8U CN219998167U (zh) 2023-06-06 2023-06-06 一种承载组件及用于放置承载件的托架

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN219998167U true CN219998167U (zh) 2023-11-10

Family

ID=88606899

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202321429395.8U Active CN219998167U (zh) 2023-06-06 2023-06-06 一种承载组件及用于放置承载件的托架

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN219998167U (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN218975409U (zh) 石英舟及扩散炉
CN202721112U (zh) 一种纵向放片的石英舟
CN218585937U (zh) 一种石英舟套件
CN219998167U (zh) 一种承载组件及用于放置承载件的托架
CN116142401A (zh) 咬合连接漂浮式光伏组件支架系统
WO2023093541A1 (zh) 一种舟结构
US11562920B2 (en) Semi-conductor wafers longer than industry standard square
CN216213309U (zh) 工艺炉内支承机构
KR20130121377A (ko) 태양전지 제조용 사각 기판 탑재 보트
CN212136407U (zh) 一种改进型承载盘及承载装置
CN216871915U (zh) 一种用于装载晶片的承载框
CN212136406U (zh) 一种改进型硅片承载装置
CN112885768B (zh) 刻蚀烘烤设备的外延片载具
CN210040159U (zh) 用于承载硅片的石墨框
CN111477576A (zh) 一种改进型承载盘及承载装置
CN214588766U (zh) 一种石墨载盘装置
CN209947812U (zh) 硅片承载用石英舟
CN101413114A (zh) 基片承载装置和等离子体加工设备
CN210110729U (zh) 设有承载边框的硅片花篮
CN212676229U (zh) 一种适用于光伏超大硅片的石墨舟
CN210607207U (zh) 一种扩散石英舟
CN216563042U (zh) 一种石英舟
CN210337234U (zh) 一种制备mwt电池的印刷台面
CN221747202U (zh) 一种碳化硅悬臂桨板
KR101204786B1 (ko) 태양전지 제조용 기판 안착 보트

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CP03 Change of name, title or address

Address after: No. 27 Changjiang South Road, Xinwu District, Wuxi City, Jiangsu Province, China

Patentee after: Jiangsu micro nano technology Co.,Ltd.

Address before: 214000 9-6-2 Xinshuo Road, Xinwu District, Wuxi City, Jiangsu Province

Patentee before: Jiangsu micro nano technology Co.,Ltd.

CP03 Change of name, title or address