CN218585937U - 一种石英舟套件 - Google Patents

Abstract

本实用新型提出了一种石英舟套件，包括石英舟托和石英舟，石英舟托包括固定座和支撑架，支撑架成对平行设置，固定座垂直的固定在支撑架长度方向的两端，支撑架与固定座中间构成存放石英舟的腔体，支撑架上均匀间隔的开设有卡槽；石英舟包括舟固定板、固定杆和固定耳，舟固定板固定在固定杆长度方向的两端，固定杆成组相对平行设置，与两端的舟固定板构成矩形框舟体结构，固定杆朝向矩形框内部的一侧上规则的设置有卡齿，固定耳相对的设置在固定杆的外部两侧，石英舟从石英舟托的上方插入支撑架之间的腔体中，固定耳卡扣在支撑架的卡槽内。使用该石英舟套件，不仅能改善硅片扩散均匀性，还能避免高温造成的硅片微变形。

Description

一种石英舟套件

技术领域

本实用新型涉及光伏电池制造技术领域，尤其涉及一种石英舟套件。

背景技术

扩散作为太阳能电池制造过程中重要一环，它的核心作用便是产生PN结，当形成PN结后，其空间电荷区中的自建电场便可将光生载流子分离开，使得电子和空穴在流动后不再回到原处，形成光生电流，实现光电转换。扩散时石英舟放置在舟托上送入扩散炉内，目前通常使用的舟托和石墨舟的情况为石英舟略短于舟托的长度，石英舟直接放置在舟托上方，硅片垂直插入石英舟内，此时硅片的插入方向垂直于舟托的长度方向，而进舟方向与舟托长度方向平行，这样就会使得硅片的扩散面与气流方向是垂直的，那么在低压高温扩散下，硅片的间距较小时气流在硅片之间的气体分布会不均匀，会导致背靠背两片扩散方阻差异较大，外观颜色有色差，与此同时，中心方阻会显著高于边缘方阻，使得扩散均匀性较差，更进一步来看，由于硼扩散是在磷扩散基础上，更加高温高压的工艺环境，垂直插片的话，由于自生硅片重量集中在下端舟齿处，加之高温环境，硅片底部接触石英舟舟齿处容易崩边脱晶，且接触位置微变形导致出现石英舟印，影响硅片质量。同时一个舟托上只能承载一个石墨舟，效率上来说也是较低。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种石英舟套件，使用该石英舟套件，不仅能改善硅片扩散均匀性，降低STD，还能避免高温造成的硅片微变形，稳定整舟硅片的电池效率，提高产能。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种石英舟套件，包括石英舟托和石英舟，其特征在于，所述石英舟托包括固定座和支撑架，支撑架成对平行设置，固定座垂直的固定在支撑架长度方向的两端，支撑架与固定座中间构成存放石英舟的腔体，所述支撑架上均匀间隔的开设有卡槽；所述石英舟包括舟固定板、固定杆和固定耳，舟固定板固定在固定杆长度方向的两端，固定杆成组相对平行设置，与两端的舟固定板构成矩形框舟体结构，固定杆朝向矩形框内部的一侧上规则的设置有卡齿，待扩散的硅片水平的插入石英舟内放置在卡齿上，硅片沿支撑架的长度方向水平排放，固定耳相对的设置在固定杆的外部两侧，石英舟从石英舟托的上方插入支撑架之间的腔体中，固定耳卡扣在支撑架的卡槽内，每个石英舟托上可排列安装若干个石英舟。

进一步，所述石英舟托的腔体内设置有加强肋，加强肋间隔的固定在支撑架上。

进一步，所述支撑架为长板状，其侧面规则的开设有扩散窗口一。

进一步，所述卡槽为双层结构，下层为矩形槽口，矩形槽口上层为倒八形槽口，倒八形槽口斜边角度为60°。

进一步，所述固定座外侧还设置有抓耳，便于机械手搬运石英舟托整体。

进一步，所述固定座中间开设有扩散窗口二。

本实用新型的石英舟套件，通过对石英舟托和石英舟配套结构的优化，将石英舟垂直插入石英舟托内，硅片水平插入石英舟内，这样硅片就与进舟方向及扩散气流向方向平行，此设计可以显著改善单片内扩散后方阻均匀性，减小STD, 保证同一个石英小舟内多个硅片扩散后表面无色差。而且硅片水平插入石英舟内，可以均匀分散硅片受力点，避免如垂直插片产生的硅片微变形。另外石英舟改变直接放置在舟托上方的配合形式，而是如本申请中的将石英舟缩小垂直插入石英舟托内，这样一个石英舟托可以承载多个石英舟，不仅优化了石英舟和石英舟托的空间配置，还能增加每次扩散的数量，提高产能，石英舟损坏时也可单独更换维修，不用替换整套石英套件，省时省力，还能降低生产成本。

本实用新型附加的方面和优点将在下面的描述中进一步给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1为本实用新型硼扩散石英舟套件的示意图；

图2为本实用新型硼扩散石英舟套件的石英舟托结构示意图；

图3为本实用新型石英舟托上卡槽的放大示意图；

图4为本实用新型硼扩散石英舟套件的石英舟结构示意图；

图5为本实用新型石英舟卡齿的放大示意图；

图6为与石英舟卡齿的接触示意图；

其中：1-石英舟托，2-石英舟，3-硅片，11-固定座，12-支撑架，13-腔体，14-卡槽，15-加强肋，16-扩散窗口一，17-抓耳，18-扩散窗口二，21-舟固定板，22-固定杆，23-固定耳，24-卡齿，141-矩形槽口，142-倒八形槽口。

具体实施方式

本实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本发明的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述。

参照图1-图3，本实施例的一种石英舟套件，包括石英舟托1和石英舟2，石英舟托1包括固定座11和支撑架12，支撑架12成对平行设置，固定座11垂直的固定在支撑架12长度方向的两端，支撑架12与固定座11中间构成存放石英舟的腔体13，优选的，石英舟托1的腔体13内设置有加强肋15，加强肋15间隔的固定在支撑架12上，对石英舟托1起加强固定作用，支撑架12为长板状，其侧面规则的开设有扩散窗口一16，固定座11中间也开设有扩散窗口二18，便于气体更全面的扩散。另外支撑架12上均匀间隔的开设有卡槽14，卡槽14为双层结构，下层为矩形槽口141，矩形槽口141上层为倒八形槽口142，倒八形槽口142斜边角度为60°，用于石英舟2的固定。石英舟托1主要作用是承接石英舟2，然后放置在浆托上面进入扩散炉，进舟时气流方向与石英舟托1平行，即气流方向与支撑架12长度方向平行。

优选的参照图4-6，石英舟2包括舟固定板21、固定杆22和固定耳23，舟固定板21固定在固定杆22长度方向的两端，固定杆22成组相对平行设置，在本实施例中，优选的石英舟2内固定杆22为四根，与两端的舟固定板21构成矩形框舟体结构，固定杆22朝向矩形框内部的一侧上规则的设置有卡齿24，齿深4.3±0.05mm，待扩散的硅片3水平的插入石英舟2内放置在卡齿24上，硅片3沿支撑架12的长度方向水平排放，水平插方硅片，使硅片插片方向与扩散气流向方向平行，可显著改善单片内扩散后方阻均匀性，减小STD, 保证同一个石英舟内多个硅片扩散后表面无色差，水平插片，均匀分散硅片受力点，如图6，可以有效避免如垂直插片产生的硅片微变形。

优选的，石英舟2的固定耳23相对的设置在固定杆22的外部两侧，石英舟2从石英舟托1的上方插入支撑架12之间的腔体13中，如图1，固定耳23卡扣在两个支撑架12相对的卡槽14内，每个石英舟托1上可排列安装若干个石英舟2，石英舟2的尺寸可以根据放置的硅片尺寸具体设定，同时可以更据机台需求，增加石英舟托1的长度，设置更多石英舟卡槽，放置匹配卡槽相应数量的石英舟2，提高产能。

另外，固定座11外侧还设置有抓耳17，便于机械手搬运石英舟托1整体。

尽管参照本实用新型的示意性实施例对本实用新型的具体实施方式进行了详细的描述，但是必须理解，本领域技术人员可以设计出多种其他的改进和实施例，这些改进和实施例将落在本发明原理的精神和范围之内。具体而言，在前述公开、附图以及权利要求的范围之内，可以在零部件和/或者从属组合布局的布置方面作出合理的变型和改进，而不会脱离本发明的精神。除了零部件和/或布局方面的变型和改进，其范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种石英舟套件，包括石英舟托和石英舟，其特征在于，所述石英舟托包括固定座和支撑架，支撑架成对平行设置，固定座垂直的固定在支撑架长度方向的两端，支撑架与固定座中间构成存放石英舟的腔体，所述支撑架上均匀间隔的开设有卡槽；所述石英舟包括舟固定板、固定杆和固定耳，舟固定板固定在固定杆长度方向的两端，固定杆成组相对平行设置，与两端的舟固定板构成矩形框舟体结构，固定杆朝向矩形框内部的一侧上规则的设置有卡齿，固定耳相对的设置在固定杆的外部两侧，石英舟从石英舟托的上方插入支撑架之间的腔体中，固定耳卡扣在支撑架的卡槽内，每个石英舟托上可排列安装若干个石英舟。

2.根据权利要求1所述的石英舟套件，其特征在于，所述石英舟托的腔体内设置有加强肋，加强肋间隔的固定在支撑架上。

3.根据权利要求1所述的石英舟套件，其特征在于，所述支撑架为长板状，其侧面规则的开设有扩散窗口一。

4.根据权利要求1所述的石英舟套件，其特征在于，所述卡槽为双层结构，下层为矩形槽口，矩形槽口上层为倒八形槽口，倒八形槽口斜边角度为60°。

5.根据权利要求1所述的石英舟套件，其特征在于，所述固定座外侧还设置有抓耳。

6.根据权利要求1所述的石英舟套件，其特征在于，所述固定座中间开设有扩散窗口二。

Images