CN210113648U - 一种硅片取放料装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种硅片取放料装置，包括龙门架运动机构和吸盘组件，龙门架运动机构水平设置，龙门架运动机构包括作为纵梁的X轴直线电机和作为横梁的Y轴直线电机，X轴直线电机连接于Y轴直线电机的两端，Y轴直线电机由X轴直线电机驱动沿X轴方向平移，吸盘组件通过Z轴气缸组件连接于Y轴直线电机，吸盘组件包括若干吸盘组，通过直线电机和气缸实现X、Y和Z轴的移动，且不限于吸盘组的数量，相较于机械臂成本显著降低。
Description
技术领域
本实用新型涉及移动模组技术领域，具体涉及一种硅片取放料装置。
背景技术
目前在使用太阳能硅片制绒、刻蚀、扩散等对太阳能硅片进行处理的过程中，上下料台往往需要通过人工进行，导致产能低的同时，人工操作过程中容易损坏硅片以及对硅片造成污染。而现有的上料导片机及下料导片机通常是机械手操作，可以将吸盘固定在一个六轴机械手上，六轴机械手行程方式复杂，且六轴机械手量程有限，因此一个六轴机械手一般可以同时运载两到三个硅片运载轨道上的硅片，效率较低。若要增加轨道数量，则需要增加六轴机械手的量程，成本增加。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够一次性拾取多片硅片，并能够实现硅片多轴移动的硅片取放料装置，结构简单成本低。
为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种硅片取放料装置，包括龙门架运动机构和吸盘组件，所述龙门架运动机构水平设置，所述龙门架运动机构包括作为纵梁的X轴直线电机和作为横梁的Y轴直线电机，所述X轴直线电机连接于所述Y轴直线电机的两端，所述Y轴直线电机由所述X轴直线电机驱动沿X轴方向平移，所述吸盘组件通过Z轴气缸组件连接于所述Y轴直线电机，所述吸盘组件包括若干吸盘组。
进一步的，所述Y轴直线电机安装于U型支撑板上，所述支撑板的两端与所述X轴直线电机的动子座相连。
进一步的，所述Z轴气缸组件包括与所述Y轴直线电机相连的气缸连接板，Z轴气缸沿Z轴方向安装于所述气缸连接板上，所述Z轴气缸的推杆连接所述吸盘组件。
进一步的，所述气缸连接板为Z型结构，所述气缸连接板的顶面连接所述Y轴电机的动子，所述Z轴气缸支撑于气缸连接板的底面上，所述气缸连接板的侧面安装有滑轨，所述吸盘组件与所述滑轨的滑块固定连接。
进一步的，多个所述吸盘组通过连接板与所述Z轴气缸组件相连，所述吸盘组包括旋转电机、连接头和吸盘，所述旋转电机固定于所述连接板下表面，所述连接头连接所述旋转电机的转轴，所述吸盘中心与所述连接头固定连接。
进一步的，所述吸盘的侧边设置有传感器，一对所述传感器通过安装座安装于两个吸盘组之间。
进一步的，所述吸盘组件的侧边设置有离子风棒。
本实用新型的一种硅片取放料装置与现有技术相比的有益效果是，能够一次性拾取多片硅片，并能够实现硅片多轴移动的硅片取放料装置，结构简单成本低。
附图说明
图1是本实用新型的整体结构示意图；
图2是本实用新型的Z轴气缸组件结构示意图；
图3是本实用新型的实施例一吸盘组件结构示意图；
图4是本实用新型的实施例二吸盘组件结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。
参照图1所示，为本实用新型的一种硅片取放料装置的实施例，包括龙门架运动机构10和吸盘组件20，吸盘组件20由龙门架运动机构10带动移动，实现XYZ轴三个方向的运动，由于龙门架运动机构10范围较大，因此能够实现大范围多硅片40的输送。本实施例中，所述龙门架运动机构10水平设置，所述龙门架运动机构10包括作为纵梁的X轴直线电机11和作为横梁的Y轴直线电机12，所述X轴直线电机11连接于所述Y轴直线电机12的两端，所述Y轴直线电机12由所述X轴直线电机11驱动沿X轴方向平移，所述吸盘组件20通过Z轴气缸组件30连接于所述Y轴直线电机12，实现吸盘组件20在Z轴方向上的上下移动，可以使吸盘组件20的高度低于X轴直线电机11所在的平面，保证X轴直线电机11在带动Y轴直线电机12移动时，吸盘组件20在移动过程中不会与两侧的X轴直线电机11产生干涉。所述吸盘组件20包括若干吸盘组21，每个吸盘组21均能吸取一片硅片40，可以根据需要设置吸盘组21的数量，实现高效输送。本实施例中直线电机的成本小于机械手，且吸盘组件20能够设置有多个，因此能够提高工作效率，节约成本。进一步的，本实施例中，为保证Y轴直线电机12与两侧的X轴直线电机11连接的稳固，同时保证Y轴直线电机12在带动吸盘组件20沿X轴移动时，吸盘组件20不会与X轴直线电机11产生干涉，所述Y轴直线电机12安装于U型支撑板13上，所述U型支撑板13的两端与所述X轴直线电机11的动子座相连，利用U型支撑板13使得Y轴直线电机12的高度小于X轴直线电机11，更方便吸盘组21的设置，结构简单稳定。
参照图2所示，为本实用新型Z轴气缸组件30的结构示意图，所述Z轴气缸组件30包括与所述Y轴直线电机12相连的气缸连接板31，Z轴气缸32沿Z轴方向安装于所述气缸连接板31上，所述Z轴气缸32的推杆连接所述吸盘组件20，随着Z轴气缸32推杆的伸缩，带动吸盘组件20沿Z轴方向上下移动，从而实现吸盘组件20的X、Y、Z轴的三轴移动。本实施例中，所述气缸连接板31为Z型结构，所述气缸连接板31的顶面连接所述Y轴电机的动子，所述Z轴气缸32支撑于气缸连接板31的底面上，此时Z轴气缸32的推杆指向上方，由于吸盘组件20仅通过Z轴气缸32与Y轴直线电机12相连，因此此方向下吸盘组件20对Z轴气缸32有向下的压力，气缸连接板31能够从下方对Z轴气缸32进行支撑，提高装置的稳定性，进一步的，所述气缸连接板31的侧面还安装有滑轨33，所述吸盘组件20与所述滑轨33的滑块34固定连接，由于吸盘组件20重量较大，仅通过Z轴气缸32支撑不易保证吸盘组件20的平衡，通过滑轨33的设置能够提高吸盘组件20与Z轴气缸32连接的稳定性。
参照图3所示，为本实用新型吸盘组件20结构示意图，多个所述吸盘组21通过连接板22与所述Z轴气缸组件30相连，吸盘组21的数量和排列根据实际需要设置，本实施例中吸盘组21设置有4个，4个吸盘组21沿Y轴方向设置为一排，可以一次性拾取四片硅片40。所述吸盘组21包括旋转电机211、连接头212和吸盘213，所述旋转电机211固定于所述连接板22下表面，所述连接头212连接所述旋转电机211的转轴，所述吸盘213中心与所述连接头212固定连接，通过设置旋转电机211能够实现硅片40角度的调整，吸盘213吸取硅片40后，若检测到硅片40不处于正位，则旋转电机211带动吸盘213旋转调整硅片40的角度，使硅片40处于正位，即实现硅片40的4轴调整。为检测吸盘213是否有吸取硅片40，在所述吸盘213的侧边还设置有传感器23，通过传感器23判断硅片40是否被吸起以及硅片40是否掉落。本实施例中，为方便安装，一对所述传感器23通过安装座24安装于两个吸盘组21之间，这样仅需要一个安装座24即可安装两个传感器23，实现对相邻两个吸盘213的检测。
参照图4所示，由于硅片40表面容易形成静电，为消除静电同时实现对硅片40的降温，本实施例中所述吸盘组件20的侧边还设置有离子风棒25。
本实用新型在工作时，Z轴气缸下降，多个吸盘组接触硅片并分别吸取一片硅片，而后Z轴气缸上升，带动硅片移动，若存在硅片角度非正位，则旋转电机转动调整硅片的角度，而后吸盘组件沿Y轴和X轴直线电机移动，将多个硅片输送至指定的位置，完成多个硅片的四轴调整，输送硅片数量多，结构简单，成本低。
以上所述实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例，本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换，均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。
Claims (7)
1.一种硅片取放料装置，其特征在于，包括龙门架运动机构和吸盘组件，所述龙门架运动机构水平设置，所述龙门架运动机构包括作为纵梁的X轴直线电机和作为横梁的Y轴直线电机，两个所述X轴直线电机分别连接于所述Y轴直线电机的两端，所述Y轴直线电机由所述X轴直线电机驱动沿X轴方向平移，所述吸盘组件通过Z轴气缸组件连接于所述Y轴直线电机，所述吸盘组件包括若干吸盘组。
2.如权利要求1所述的一种硅片取放料装置，其特征在于，所述Y轴直线电机安装于U型支撑板上，所述支撑板的两端与所述X轴直线电机的动子座相连。
3.如权利要求1所述的一种硅片取放料装置，其特征在于，所述Z轴气缸组件包括与所述Y轴直线电机相连的气缸连接板，Z轴气缸沿Z轴方向安装于所述气缸连接板上，所述Z轴气缸的推杆连接所述吸盘组件。
4.如权利要求3所述的一种硅片取放料装置，其特征在于，所述气缸连接板为Z型结构，所述气缸连接板的顶面连接所述Y轴电机的动子，所述Z轴气缸支撑于气缸连接板的底面上，所述气缸连接板的侧面安装有滑轨，所述吸盘组件与所述滑轨的滑块固定连接。
5.如权利要求1所述的一种硅片取放料装置，其特征在于，多个所述吸盘组通过连接板与所述Z轴气缸组件相连，所述吸盘组包括旋转电机、连接头和吸盘，所述旋转电机固定于所述连接板下表面，所述连接头连接所述旋转电机的转轴，所述吸盘中心与所述连接头固定连接。
6.如权利要求5所述的一种硅片取放料装置，其特征在于，所述吸盘的侧边设置有传感器，一对所述传感器通过安装座安装于两个吸盘组之间。
7.如权利要求1所述的一种硅片取放料装置，其特征在于，所述吸盘组件的侧边设置有离子风棒。
Priority Applications (1)
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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Family Applications (1)
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| CN201921164718.9U Active CN210113648U (zh) | 2019-07-23 | 2019-07-23 | 一种硅片取放料装置 |
Country Status (1)
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2019
- 2019-07-23 CN CN201921164718.9U patent/CN210113648U/zh active Active
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