CN210030958U - 一种单晶硅炉退火装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于退火装置领域，尤其是一种单晶硅炉退火装置，针对现有的退火装置加热不均匀，退火效率低的问题，现提出如下方案，其包括退火炉主体，所述退火炉主体内壁固定安装有安装板，所述退火炉主体上端固定安装有电机，所述电机输出轴连接有连接轴，所述连接轴下端依次穿过退火炉主体以及安装板，且连接轴底端固定安装有支撑板，所述安装板下端安装有两个加热器，且两个所述加热器对称设置于连接轴两侧，所述退火炉主体内部设置有通风管道，所述通风管道上端口与支撑板底部相连接，所述退火炉主体两端对称开设有两个进风口。本实用新型加热均匀，退火效率高，速率快，且操作简单方便，实用性高。

Description

一种单晶硅炉退火装置

技术领域

本实用新型涉及退火装置领域，尤其涉及一种单晶硅炉退火装置。

背景技术

退火是一种金属热处理工艺，指的是将金属缓慢加热到一定温度，保持足够时间，然后以适宜速度冷却。目的是降低硬度，改善切削加工性；消除残余应力，稳定尺寸，减少变形与裂纹倾向；细化晶粒，调整组织，消除组织缺陷。现有的单晶硅炉退火装置中单晶硅为固定不变，从而导致单晶硅在加热时受热不均匀，并且现有的退火炉内部残余温度过高难以对单晶硅进行快速降温，退火效率低的问题，现提出一种单晶硅炉退火装置。

实用新型内容

本实用新型提出的一种单晶硅炉退火装置，解决了现有的退火装置加热不均匀，退火效率低的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种单晶硅炉退火装置，包括退火炉主体，所述退火炉主体内壁固定安装有安装板，所述退火炉主体上端固定安装有电机，所述电机输出轴连接有连接轴，所述连接轴下端依次穿过退火炉主体以及安装板，且连接轴底端固定安装有支撑板，所述安装板下端安装有两个加热器，且两个所述加热器对称设置于连接轴两侧，所述退火炉主体内部设置有通风管道，所述通风管道上端口与支撑板底部相连接，所述退火炉主体两端对称开设有两个进风口，且两个所述进风口处均通过安装架固定安装有鼓风机，所述通风管道内壁固定安装有导风板，两个所述进风口均与通风管道相连通，所述退火炉主体下端对称固定有多个支撑腿，所述退火炉主体一端开设有放料口，且放料口处铰接有门板，所述退火炉主体上安装有充电插头，且充电插头与电机、鼓风机以及加热器电性连接。

优选的，所述连接轴通过轴承与安装板转动连接。

优选的，所述加热器包括安装棒以及加热片，所述安装棒设有两个，两个所述安装棒顶端均与安装板固定连接，且对称设置于连接轴两侧，两个所述安装棒上沿竖直方向等距固定安装有多个加热片，多个所述加热片内部均设置有电热丝。

优选的，所述支撑板上开设有多个通气孔，且多个所述通气孔均位于通风管道正上方。

优选的，两个所述进风口处均设置有防尘罩。

本实用新型的有益效果是：通过连接轴、电机、安装板、加热器以及支撑板相互配合使用，从而实现对单晶硅进行充分加热处理，解决了现有退火装置对单晶硅升温加热不均匀的弊端；通过通风管道、鼓风机、导风板以及防尘罩相互配合使用，从而实现对单晶硅进行降温处理，解决了现有的退火炉内部残余温度过高难以对单晶硅进行快速降温的弊端。

本实用新型加热均匀，退火效率高，速率快，且操作简单方便，实用性高。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种单晶硅炉退火装置的结构示意图。

图2为本实用新型提出的一种单晶硅炉退火装置中支撑板的结构示意图。

图3为本实用新型提出的一种单晶硅炉退火装置中加热器的结构示意图。

图中标号：1连接轴、2电机、3退火炉主体、4安装板、5加热器、6放料口、7门板、8支撑板、9通风管道、10进风口、11防尘罩、12鼓风机、13安装架、14导风板、15支撑腿、51安装棒、52加热片。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-3，一种单晶硅炉退火装置，包括退火炉主体3，退火炉主体3内壁固定安装有安装板4，退火炉主体3上端固定安装有电机2，电机2输出轴连接有连接轴1，连接轴1下端依次穿过退火炉主体3以及安装板4，且连接轴1底端固定安装有支撑板8，安装板4下端安装有两个加热器5，且两个加热器5对称设置于连接轴1两侧，退火炉主体3内部设置有通风管道9，通风管道9上端口与支撑板8底部相连接，退火炉主体3两端对称开设有两个进风口10，且两个进风口10处均通过安装架13固定安装有鼓风机12，通风管道9内壁固定安装有导风板14，两个进风口10均与通风管道9相连通，退火炉主体3下端对称固定有多个支撑腿15，退火炉主体3一端开设有放料口6，且放料口6处铰接有门板7，退火炉主体3上安装有充电插头，且充电插头与电机2、鼓风机12以及加热器5电性连接。

本实施例中，连接轴1通过轴承与安装板4转动连接，加热器5包括安装棒51以及加热片52，安装棒51设有两个，两个安装棒51顶端均与安装板4固定连接，且对称设置于连接轴1两侧，两个安装棒51上沿竖直方向等距固定安装有多个加热片52，多个加热片52内部均设置有电热丝，支撑板8上开设有多个通气孔，且多个通气孔均位于通风管道9正上方，两个进风口10处均设置有防尘罩11。

实施例：工作人员将充电插头插入到外接插座上，进而实现对电机2、加热器5以及鼓风机12进行充电，首先工作人员打开门板7，可将单晶硅放于支撑板8上端，然后关上门板7，工作人员启动电机2以及加热器5，电机2工作可通过连接轴1带动支撑板8转动，进而带动单晶硅进行转动，加热器5工作，此时加热片52内的电热丝通电后可将电能转化为热能，进而实现对转动的单晶硅进行充分加热处理，加热到适宜温度后，工作人员关闭加热器5，加热器5停止对单晶硅进行加热，此时工作人员启动鼓风机12，鼓风机12工作可产生风流，风流通过通风管道9吹入到单晶硅上，实现对单晶硅进行降温处理。通过连接轴1、电机2、安装板4、加热器5以及支撑板8相互配合使用，从而实现对单晶硅进行充分加热处理，解决了现有退火装置对单晶硅升温加热不均匀的弊端；通过通风管道9、鼓风机12、导风板14以及防尘罩11相互配合使用，从而实现对单晶硅进行降温处理，解决了现有的退火炉内部残余温度过高难以对单晶硅进行快速降温的弊端。本实用新型加热均匀，退火效率高，速率快，且操作简单方便，实用性高。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种单晶硅炉退火装置，包括退火炉主体(3)，其特征在于，所述退火炉主体(3)内壁固定安装有安装板(4)，所述退火炉主体(3)上端固定安装有电机(2)，所述电机(2)输出轴连接有连接轴(1)，所述连接轴(1)下端依次穿过退火炉主体(3)以及安装板(4)，且连接轴(1)底端固定安装有支撑板(8)，所述安装板(4)下端安装有两个加热器(5)，且两个所述加热器(5)对称设置于连接轴(1)两侧，所述退火炉主体(3)内部设置有通风管道(9)，所述通风管道(9)上端口与支撑板(8)底部相连接，所述退火炉主体(3)两端对称开设有两个进风口(10)，且两个所述进风口(10)处均通过安装架(13)固定安装有鼓风机(12)，所述通风管道(9)内壁固定安装有导风板(14)，两个所述进风口(10)均与通风管道(9)相连通，所述退火炉主体(3)下端对称固定有多个支撑腿(15)，所述退火炉主体(3)一端开设有放料口(6)，且放料口(6)处铰接有门板(7)，所述退火炉主体(3)上安装有充电插头，且充电插头与电机(2)、鼓风机(12)以及加热器(5)电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅炉退火装置，其特征在于，所述连接轴(1)通过轴承与安装板(4)转动连接。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅炉退火装置，其特征在于，所述加热器(5)包括安装棒(51)以及加热片(52)，所述安装棒(51)设有两个，两个所述安装棒(51)顶端均与安装板(4)固定连接，且对称设置于连接轴(1)两侧，两个所述安装棒(51)上沿竖直方向等距固定安装有多个加热片(52)，多个所述加热片(52)内部均设置有电热丝。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅炉退火装置，其特征在于，所述支撑板(8)上开设有多个通气孔，且多个所述通气孔均位于通风管道(9)正上方。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅炉退火装置，其特征在于，两个所述进风口(10)处均设置有防尘罩(11)。

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