CN206550839U - 一种海绵研磨垫 - Google Patents

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Abstract

本实用新型提供了一种用于液晶玻璃、玻璃圆盘、光掩模、硅晶圆级、CCD保护玻璃等的电子部件用表面精密研磨的海绵研磨垫,一种海绵研磨垫,包括,研磨层;还包括热熔胶层及海绵层,所述海绵层通过所述热熔胶层与所述研磨层连接,使海绵研磨垫呈多层结构。还包括,胶层,所述胶层设置于所述海绵层的安装面。本实用新型有益效果为:通过增加海绵层,使得研磨层可随带研磨面变形,从而达到曲面、波浪面等各种异形面时,凹凸位置处可同步研磨,减少异形面在研磨抛光过程中,出现分层导致镜面效果差的技术问题。

Description

一种海绵研磨垫
技术领域
本实用新型涉及一种液晶玻璃抛光打磨器材技术领域,尤其是一种海绵研磨垫。
背景技术
目前,研磨垫广泛运用于液晶玻璃、玻璃圆盘、光掩模、硅晶圆级、CCD保护玻璃等的电子部件用表面精密研磨。近年来,随精密研磨面的测定仪器的发展,用于对于品质的要求变高,使得研磨精度要求越来越高。现有研磨垫在对于液晶玻璃时,现有研磨垫对于曲面凹陷处或精度要求高的液晶玻璃无法进行研磨,导致凹面处研磨强度明显小于凸起部位,因此造成凹陷处镜面效果差。为解决上述技术问题,本领域人员通常采用改变研磨垫角度,从而将凹陷处进行单独研磨。但是上述方式增加曲面玻璃研磨工序,且曲面玻璃各处易出现分层效果。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种海绵研磨垫,解决曲面玻璃及液晶玻璃在研磨抛光过程中,凹陷处与凸起处研磨研磨效果不同,使得镜面效果差的技术问题。
为了达到上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种海绵研磨垫,包括,研磨层;还包括热熔胶层及海绵层,所述海绵层通过所述热熔胶层与所述研磨层连接,使海绵研磨垫呈多层结构。
其中,还包括,胶层,所述胶层设置于所述海绵层的安装面。
其中,所述海绵层材质为:氨基甲酸乙酯。
其中,所述海绵层的硬度为SHORE C:10~50,密度0.10~1.0g/m2,压缩率5~70%,还原率70~99%。
其中,所述研磨层为氨基甲酸乙酯。
其中,所述研磨层的硬度为SHORE A:60~99,密度为0.30~1.0g/m2,压缩率0.1~3.0%,还原率30~80%。
其中,还包括环形研磨片,所述环形研磨片贴合于所述研磨层的研磨面。所述环形研磨片由平均单纤维直径10μm~15μm以下的极细纤维束形成的无纺布中含浸聚氨酯类弹性体得到的。
其中,所述环形研磨片表面开设直径为100~150μm的研磨孔。
其中,所述环形研磨片的压缩弹性模量为0.50~0.75MPa。
本实用新型有益效果为:通过增加海绵层,使得研磨层可随带研磨面变形,从而达到曲面、波浪面等各种异形面时,凹凸位置处可同步研磨,减少异形面在研磨抛光过程中,出现分层导致镜面效果差的技术问题。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型的层状结构示意图;
图2是本实用新型一种实施例中结构示意图;
图3是本实用新型使用时的结构示意图;
图4是现有技术中使用时的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型的附图,对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
根据图1所示,说明本实用新型的海绵研磨垫,具有多层结构,依次为胶粘层1、海绵层2、热熔胶层3及研磨层4,胶粘层1选用双面胶带,双面胶带的一面粘贴于海绵层2一面,双面胶带的另一面设置隔离纸,撕下隔离纸即可将海绵研磨垫粘贴于待固定位置处。海绵层2材质为氨基甲酸乙酯。研磨层4通过热熔胶层3与海绵层2的另一面连接至一体。海绵层2的硬度为SHORE C:10~50,密度0.10~1.0g/m2,压缩率5~70%,还原率70~99%。研磨层4的材质为氨基甲酸乙酯,硬度为SHORE A:60~99,密度为0.30~1.0g/m2,压缩率0.1~3.0%,还原率30~80%。
氨基甲酸乙酯的英文名称为:Urethane。
优选的,海绵层2的硬度为SHORE C:30,密度0.5g/m2,压缩率37%,还原率85%。研磨层4的硬度为SHORE A:80,密度为0.65g/m2,压缩率0.2%,还原率55%
在一种可选的实施例中,如图2所示,还包括环形研磨片5,环形研磨片5同心贴合于研磨层4的表面,即研磨层的研磨面。环形研磨片5由平均单纤维直径10μm~15μm以下的极细纤维束形成的无纺布中含浸聚氨酯类弹性体获得。在环形研磨片表面开设直径为100~150μm的研磨孔。开设方式通过现有纳米级开孔设备即可实现。环形研磨片5的压缩弹性模量为0.50~0.75MPa。极细纤维束可为用聚酯、聚酰胺等材质,如尼龙12。通过环形研磨片5的设置,可对玻璃面进行进一步研磨减少划痕以及颗粒等缺陷。
使用时,将海绵研磨垫压紧于带研磨玻璃6表面,如图3所示,当待研磨表面为曲面时,通过施加压力,海绵层被压缩,使得研磨层形成适应于曲面的形状,进行研磨。使得曲面的凹凸位置均同时进行研磨,避免研磨出现断层现象,导致玻璃表面的镜面效果差的问题。进一步的,由于海绵层具有微孔,微孔起到吸附作用,在打磨过程中将研磨下的微小颗粒进行吸附,提高作业空间安全。更进一步的,可通过海绵层添加研磨液,在研磨过程中,使得海绵层吸附足够的研磨液,随压力释放研磨液,提高研磨效率。因此海绵层的增加使研磨垫更加适应于多种研磨方式,且具有多种有益功能,提高研磨效率以及研磨质量。与现有技术相比,现有技术中仅有胶粘层及研磨层,当接触到曲面玻璃时,如图4所示,凹陷处无法进行研磨。导致凹陷处光滑度低于凸起处,从而降低研磨效果。因此需要增加工序,倾斜研磨垫达到研磨侧边及凹陷处,但是由于倾斜导致研磨层相对于玻璃表面的接触面发生变化,使得倾斜所研磨的玻璃表面与正常研磨的玻璃表面光滑度不同,造成分层现象。
以上所述,仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。

Claims (9)

1.一种海绵研磨垫,包括,研磨层;其特征在于,还包括热熔胶层及海绵层,所述海绵层通过所述热熔胶层与所述研磨层连接,使海绵研磨垫呈多层结构。
2.根据权利要求1所述的一种海绵研磨垫,其特征在于:还包括,胶层,所述胶层设置于所述海绵层的安装面。
3.根据权利要求1所述的一种海绵研磨垫,其特征在于:所述海绵层材质为:氨基甲酸乙酯。
4.根据权利要求3所述的一种海绵研磨垫,其特征在于:所述海绵层的硬度为SHORE C:10~50,密度0.10~1.0g/m2,压缩率5~70%,还原率70~99%。
5.根据权利要求1-4任一项所述的一种海绵研磨垫,其特征在于:所述研磨层材质为:氨基甲酸乙酯。
6.根据权利要求5所述的一种海绵研磨垫,其特征在于:所述研磨层的硬度为SHORE A:60~99,密度为0.30~1.0g/m2,压缩率0.1~3.0%,还原率30~80%。
7.根据权利要求6所述的一种海绵研磨垫,其特征在于:还包括环形研磨片,所述环形研磨片贴合于所述研磨层的研磨面。
8.根据权利要求7所述的一种海绵研磨垫,其特征在于:所述环形研磨片表面开设直径为100~150μm的研磨孔。
9.根据权利要求8所述的一种海绵研磨垫,其特征在于:所述环形研磨片的压缩弹性模量为0.50~0.75MPa。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111331506A (zh) * 2018-12-18 2020-06-26 夏泰鑫半导体(青岛)有限公司 晶圆修整模块和系统
CN111941155A (zh) * 2020-08-13 2020-11-17 蚌埠中光电科技有限公司 一种消除玻璃面研磨痕迹的研磨垫处理方法
CN112677034A (zh) * 2020-12-29 2021-04-20 领镒精密五金制造(无锡)有限公司 一种湿式研磨系统

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