CN205966323U - 石英坩埚喷涂箱及其喷枪 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种石英坩埚喷涂箱及其喷枪，旨在提供一种具有喷涂均匀、喷涂效果良好的优点的喷涂枪，其技术方案要点是，喷涂枪的喷枪架内滑动连接有与走液管连通的喷管，喷管上设有驱动喷管上下往复运动的驱动气缸，喷管上还设有分别用于为石英坩埚外侧面和内侧面喷涂氢氧化钡结晶水的第一喷头和第二喷头，第一喷头和第二喷头可以随着喷管进行上下往复运动，以此改变喷头的位置、高度，将走液管以及喷管中的结晶水喷洒到石英坩埚的内外表面上，从而将石英坩埚表面喷洒均匀，增加喷涂的效果，可以使石英坩埚的耐高温、抗腐蚀性能大大增强，进而延长石英坩埚的使用寿命，保证石英坩埚的质量稳定性。

Description

石英坩埚喷涂箱及其喷枪

技术领域

本实用新型涉及喷涂设备领域，特别涉及一种石英坩埚喷涂箱及其喷枪。

背景技术

石英坩埚是用高纯石英砂经过高温熔化形成的一种玻璃态器皿，在生产单晶硅的过程中是不可替代的容器，其具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，在现代工业中应用越来越广泛。

石英坩埚最高可以在1450°的环境下使用，而高温状态下生产单晶硅的过程中，液态硅会与石英坩埚反应，容易导致坩埚破裂、损坏，为了隔离液态硅和石英坩埚，一般是在石英坩埚表面喷涂隔离层。

通常的做法是将石英坩埚壁涂上一层含有结晶水的氢氧化钡，这层氢氧化钡会与空气中的二氧化碳反应形成碳酸钡。而当这种石英坩埚在单晶炉上被加热时，碳酸钡会分解形成氧化钡，随着氧化钡与石英坩埚反应形成硅酸钡，使得石英坩埚壁上形成一层致密微小的方石英结晶。

这种微小的方石英结晶很难被溶液渗入而剥落，即使剥落也很快被溶液溶解掉，因此可以大幅度的改善石英坩埚的使用寿命及长晶良率。另外在石英坩埚外壁形成一层方石英结晶的好处，是它可以增加石英坩埚的强度，减少高温软化现象。

目前，公开号为CN204933799U的中国专利公开了一种用于石英坩埚的喷涂设备，它包括机台，该机台具有用于容纳石英坩埚的喷涂仓，在喷涂仓的底壁上设有坩埚旋座，在机台外壁上设有高压喷涂装置，所述的高压喷涂装置包括自吸喷枪、与高压气体相通的高压气管、与涂层液源相通的涂层液管，高压气管的出气端与自吸喷枪的进气口接通，涂层液管的出液端与自吸喷枪的进液口接通，在喷涂仓下方架设有驱动电机，在坩埚旋座的底面上连接一旋轴，旋轴穿过喷涂仓的底壁与驱动电机相连。

这种用于石英坩埚的喷涂设备虽然操作简单，降低了人工操作，但是由于喷头相对于石英坩埚的角度固定，氢氧化钡结晶水喷涂的角度相对固定，难免造成喷涂不均匀，降低喷涂效果，缩短石英坩埚的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型的一目的是提供一种喷涂枪，其具有喷涂均匀、喷涂效果良好的优点。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种喷涂枪，包括喷枪架和设于喷枪架内的走液管，所述喷枪架内滑动连接有与走液管连通的喷管，喷管上设有驱动喷管上下往复运动的驱动气缸，喷管上还设有分别用于为石英坩埚外侧面和内侧面喷涂氢氧化钡结晶水的第一喷头和第二喷头。

如此设置，进行氢氧化钡结晶水喷涂时，结晶水在走液管中流动，喷管与走液管连通，第一喷头和第二喷头可以将走液管以及喷管中的结晶水喷洒到石英坩埚的内外表面上，并且通过驱动气缸，第一喷头、第二喷头可以随着喷管进行上下往复运动，从而改变喷头的位置、高度，能够对石英坩埚表面的不同位置进行喷洒，从而将石英坩埚表面喷洒均匀，增加喷涂的效果，从而延长石英坩埚的使用寿命。

进一步设置：所述喷管包括平行于走液管的连通部和垂直于走液管的喷洒部，第一喷头位于喷洒部上靠近喷枪架一端，第二喷头位于喷洒部上远离喷枪架一端。

如此设置，喷管的连通部平行于走液管设置可以方便对喷管进行固定，并且方便调节喷管的高度，同时可以很容易地将喷管与走液管连通，垂直于走液管的喷洒部可以将喷管的喷洒距离延长，从而使喷涂更加均匀，第一喷头靠近喷枪架，可以用来喷涂石英坩埚的外侧表面，第二喷头远离喷枪架，则可以用来喷涂石英坩埚的内侧表面，进一步达到喷涂均匀的目的。

进一步设置：所述喷管与喷枪架之间设有用于辅助驱动喷管运动的弹性件。

如此设置，当驱动气缸推动喷管进行上下往复运动时，在重力的作用下，喷管上行的速度自然较之下行的速度更低，这样容易造成石英坩埚表面喷洒不均匀，在喷管和喷枪架之间设置弹性件可以辅助驱动气缸在上行时拉动喷管，提高上行时的速度，降低上行、下行之间速度的差异性，从而进一步达到优化喷涂效果的目的。

进一步设置：所述喷枪架内穿设有滑动杆，滑动杆上套设有滑块，喷管固定在滑块上。

如此设置，喷管可以随着滑动杆或者滑块的上下运动达到上下往复运动的目的，并且滑块或者滑动杆的滑动大体上是竖直平稳的，因此可以使喷管活动更加平稳，从而达到更好的喷涂效果。

进一步设置：所述驱动气缸的输出轴与滑动杆连接。

如此设置，驱动气缸的输出轴可以带动滑动杆上下滑动，固定在滑动杆上的滑块和固定在滑块上的喷管就能够随着驱动气缸的输出轴活动，达到上述目的。

进一步设置：所述驱动气缸的输出轴穿设在喷枪架内并与滑块固定连接。

如此设置，驱动气缸的输出轴可以带动滑块在滑动杆上活动，固定在滑块上的喷管就能随之活动，从而达到上述目的。

本实用新型的另一目的是提供一种石英坩埚喷涂箱，其具有喷涂效果好，延长石英坩埚的使用寿命优点。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种石英坩埚喷涂箱，包括箱体，还带有上述喷涂枪。

进一步设置：所述箱体包括底板与支架，支架上转动连接有玻璃箱门，箱体除底板外的其余面均通过玻璃板密封。

如此设置，箱体和玻璃箱门的设置可以使喷涂过程在箱体内的密闭空间完成，从而减小氢氧化钡结晶水对操作人员身体健康的影响，使用玻璃板将箱体周围密封可以让操作人员较为容易地观察到箱体内部的情况，从而即时进行下一步操作。

进一步设置：所述箱体中间位置设有转盘，转盘通过底部的转轴穿透底板与设于外界的旋转机构连接。

如此设置，转盘用于放置石英坩埚，旋转机构旋转，带动转轴旋转没从而使转盘和转盘上的石英坩埚旋转，从而使喷头对石英坩埚表面进行均匀的喷涂，增强喷涂效果，延长石英坩埚的使用寿命。

作为优选，所述箱体内设有抽气机构，抽气机构通过穿透箱体的气管与外界连通。

如此设置，由于喷洒结晶水后，箱体内会充满气态的结晶水，此时会对打开玻璃箱门会对操作人员的身体健康产生影响，抽气机构可以将气态的结晶水抽吸并且通过气管排出箱体，一方面减小了对操作人员产生的影响，另一方面可以回收多于的结晶水，从而减少浪费。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

第一喷头和第二喷头可以随着喷管进行上下往复运动，以此改变喷头的位置、高度，将走液管以及喷管中的结晶水喷洒到石英坩埚的内外表面上，从而将石英坩埚表面喷洒均匀，增加喷涂的效果，可以使石英坩埚的耐高温、抗腐蚀性能大大增强，进而延长石英坩埚的使用寿命，保证石英坩埚的质量稳定性。

附图说明

图1是实施例1的示意图；

图2是实施例2的示意图。

图中，1、喷枪架；2、走液管；3、喷管；31、连通部；32、喷洒部；33、第一喷头；34、第二喷头；4、驱动气缸；41、支撑杆；5、弹性件；6、滑块；7、固定块；8、玻璃箱门；9、玻璃板；10、支架；11、底板；12、转盘；13、旋转机构；14、抽气机构；15、气管。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

实施例1：一种喷涂枪，如图1所示，最底部是喷枪架1，喷枪架1整体为直角三角形，其中一条直角边向上设置，喷枪架1的右侧是驱动气缸4，驱动气缸4的输出轴向上设置，并且位于驱动气缸4上表面的中央。

参见图1，驱动气缸4整体为方形，其上表面的四个角上都设有支撑杆41，支撑杆41最上方是固定块7，用来限制支撑架的位置，并且加大其稳固程度，支撑杆41的中间设有一个方形的滑块6，滑块6套设在四根支撑杆41上。

如图1所示，滑块6前段设有走液管2，走液管2上设有喷管3，喷管3与走液管2连通，喷管3固定在滑块6内，喷管3右侧是连通部31，左侧是喷洒部32，连通部31与喷洒部32之间构成120°夹角，喷洒部32平行于水平面设置。

参见图1，喷洒部32右侧设有第一喷头33，左端设有第二喷头34，第一喷头33和第二喷头34均向下延伸，第一喷头33的位置比第二喷头34的位置低，第一喷头33的喷嘴方向朝向左侧，第二喷头34的喷嘴方向朝向右侧。

如图1所示，喷洒部32的右端上设有弹性件5，弹性件5向左侧倾斜，可以辅助驱动气缸4的输出轴将滑块6上拉，以克服滑块6和喷洒部32的重力，达到更加均匀的喷洒速度和更为良好的喷洒效果。

当喷涂枪运作时，结晶水从走液管2中进入喷管3，通过喷洒部32上的第一喷头33和第二喷头34对石英坩埚进行喷涂，与此同时，在气缸作用下，滑块6上下滑动，喷管3和喷头随之上下移动，从而达到更加均匀的喷涂过程和更为良好的喷洒效果。

实施例2：一种石英坩埚喷涂箱，如图2所示，方形的支架10内设有转盘12，转盘12与下方穿过底板11的转动机构连接，支架10的四周都是玻璃板9，支架10右侧转动连接由方形的玻璃箱门8，支架10内顶部设有抽气机构14，抽气机构14穿透支架10上板并且与外界的气管15连通，进行排气。

上述的实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

Claims (10)

1.一种喷涂枪，包括喷枪架（1）和设于喷枪架（1）内的走液管（2），其特征在于：所述喷枪架（1）内滑动连接有与走液管（2）连通的喷管（3），喷管（3）上设有驱动喷管（3）上下往复运动的驱动气缸（4），喷管（3）上还设有分别用于为石英坩埚外侧面和内侧面喷涂氢氧化钡结晶水的第一喷头（33）和第二喷头（34）。

2.根据权利要求1所述的喷涂枪，其特征在于：所述喷管（3）包括平行于走液管（2）的连通部（31）和垂直于走液管（2）的喷洒部（32），第一喷头（33）位于喷洒部（32）上靠近喷枪架（1）一端，第二喷头（34）位于喷洒部（32）上远离喷枪架（1）一端。

3.根据权利要求2所述的喷涂枪，其特征在于：所述喷管（3）与喷枪架（1）之间设有用于辅助驱动喷管（3）运动的弹性件（5）。

4.根据权利要求1所述的喷涂枪，其特征在于：所述喷枪架（1）内穿设有滑动杆，滑动杆上套设有滑块（6），喷管（3）固定在滑块（6）上。

5.根据权利要求4所述的喷涂枪，其特征在于：所述驱动气缸（4）的输出轴与滑动杆连接。

6.根据权利要求4所述的喷涂枪，其特征在于：所述驱动气缸（4）的输出轴穿设在喷枪架（1）内并与滑块（6）固定连接。

7.一种石英坩埚喷涂箱，包括箱体，其特征在于：带有如权利要求1～6任意一项所述的喷涂枪。

8.根据权利要求7所述的石英坩埚喷涂箱，其特征在于：所述箱体包括底板（11）与支架（10），支架（10）上转动连接有玻璃箱门（8），箱体除底板（11）外的其余面均通过玻璃板（9）密封。

9.根据权利要求8所述的石英坩埚喷涂箱，其特征在于：所述箱体中间位置设有转盘（12），转盘（12）通过底部的转轴穿透底板（11）与设于外界的旋转机构（13）连接。

10.根据权利要求9所述的石英坩埚喷涂箱，其特征在于：所述箱体内设有抽气机构（14），抽气机构（14）通过穿透箱体的气管（15）与外界连通。