CN204933799U - 一种用于石英坩埚的喷涂设备 - Google Patents
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Abstract
一种用于石英坩埚的喷涂设备，包括机台，该机台具有用于容纳石英坩埚的喷涂仓，在喷涂仓的底壁上设有坩埚旋座，在机台外壁上设有高压喷涂装置，所述的高压喷涂装置包括自吸喷枪、与高压气体相通的高压气管、与涂层液源相通的涂层液管，高压气管的出气端与自吸喷枪的进气口接通，涂层液管的出液端与自吸喷枪的进液口接通，在喷涂仓下方架设有驱动电机，在坩埚旋座的底面上连接一旋轴，旋轴穿过喷涂仓的底壁与驱动电机相连。使用转台带动坩埚旋转，保证了喷涂均匀度，提高了工作效率，间接降低了对操作工人的身体的损伤，旋台配合自吸喷头，简化了操作步骤，降低操作工人的劳动强度，整体设备机构连接合理，一体化程度较高，便于使用。
Description
技术领域
本实用新型涉及石英坩埚设备领域，尤其涉及一种用于石英坩埚的喷涂设备。
背景技术
石英坩埚为制作硅棒时硅料的容器，在硅棒拉制过程中石英坩埚易崩裂影响硅棒的制作，当硅棒残渣碰撞硅棒时会影响硅棒的同心度使得硅棒产生大量同心圆，严重影响硅片性能，一般为增强石英坩埚抗裂性都会在石英坩埚壁上涂覆一层氢氧化钡，但在现有工序中一般都是人工涂覆，如此一来就对操作人员的操作水平要求较高，使得其涂覆必须均匀，且氢氧化钡易于二氧化碳反应，易对操作人员的身体造成伤害。
实用新型内容
针对上述所提及现有的石英坩埚在涂覆保护层的过程中工作量大且易对操作人员身体造成损伤的问题而提供了一种用于石英坩埚的喷涂设备。
针对上述问题提供了如下技术方案：
一种用于石英坩埚的喷涂设备，其包括机台，该机台具有用于容纳石英坩埚的喷涂仓，在喷涂仓的底壁上设有坩埚旋座，在机台外壁上设有高压喷涂装置，所述的高压喷涂装置包括自吸喷枪、与高压气体相通的高压气管、与涂层液源相通的涂层液管，高压气管的出气端与自吸喷枪的进气口接通，涂层液管的出液端与自吸喷枪的进液口接通。
进一步的，还包括驱动电机，驱动电机架设在喷涂仓下方，在坩埚旋座的底面上连接一旋轴，旋轴穿过喷涂仓的底壁与驱动电机相连。
进一步的，所述的高压喷涂装置还包括容液瓶、与氮气源相连的惰气管，在容液瓶内设有氢氧化钠溶液，所述的惰气管插入到容液瓶内，惰气管的出气端位于氢氧化钠溶液液面上方，所述涂层液管插入到容液瓶内，涂层液管的进液端位于氢氧化钡溶液内。
进一步的，所述的坩埚旋座由旋盘、在旋盘顶面上环形均等设置的夹块组成。
进一步的，所述的夹块为楔形块，楔形块的指向向外呈扩散状。
进一步的，所述的机台的喷涂仓的口面上铰接有舱门，舱门上开有矩形开口。
有益效果
使用转台带动坩埚旋转，保证了喷涂均匀度，提高了工作效率，间接降低了对操作工人的身体的损伤。
旋台配合自吸喷头，简化了操作步骤，降低操作工人的劳动强度。
整体设备机构连接合理，一体化程度较高，便于使用。
附图说明
图1为本实用新型正视结构示意图；
图2为本实用新型高压喷涂装置结构示意图；
图中的附图标记为：机台—1、驱动电机—2、坩埚旋座—3、高压气管—4、惰气管—5、涂层液管—6、自吸喷枪—7；
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型做进一步详细说明：
提供了一种用于石英坩埚的喷涂设备，其包括，机台1，该机台1具有用于容纳石英坩埚的喷涂仓，所述的机台1的喷涂仓的口面上铰接有舱门，舱门上开有矩形开口，在喷涂仓的底壁上设有坩埚旋座3，所述的坩埚旋座3由旋盘、在旋盘顶面上环形均等设置的四个夹块组成，所述的夹块为楔形块，各个楔形块的斜面相对且斜面由上向下逐渐靠近旋盘顶面中央，在喷涂仓下方架设有驱动电机2，在坩埚旋座3的底面中央处连接一旋轴，旋轴穿过喷涂仓的底壁与驱动电机2的主轴相连，在机台1外壁上设有高压喷涂装置，所述的高压喷涂装置包括自吸喷枪7、与高压二氧化碳气源相通的高压气管4、与氢氧化钡溶液相通的涂层液管6、容液瓶、与氮气源相连的惰气管5、在容液瓶内设有氢氧化钡溶液，所述的惰气管5插入到容液瓶内，惰气管5的出气端位于氢氧化钠溶液液面上方，所述涂层液管6插入到容液瓶内，涂层液管6的进液端浸入氢氧化钡溶液内，涂层液管6的出液端与自吸喷枪7的进液口接通，高压气管4的出气端与自吸喷枪7的进气口接通。
根据图1、2对本实用新型的使用机理进行说明。
在使用中首先将石英坩埚安置在坩埚旋座3并卡合在四个之间，启动驱动电机2，驱动电机2带动坩埚旋座3和石英坩埚开始旋转，操作人员将自吸喷枪7探入喷涂仓内，启动自吸喷枪7高压二氧化碳气体带动氢氧化钡溶液进入喷枪，将氢氧化钡溶液喷涂在石英坩埚外壁上完成操作。
Claims (7)
1.一种用于石英坩埚的喷涂设备，其特征在于：包括机台(1)，该机台(1)具有用于容纳石英坩埚的喷涂仓，在喷涂仓的底壁上设有坩埚旋座(3)，在机台(1)外壁上设有高压喷涂装置，所述的高压喷涂装置包括自吸喷枪(7)、与高压气体相通的高压气管(4)、与涂层液源相通的涂层液管(6)，高压气管(4)的出气端与自吸喷枪(7)的进气口接通，涂层液管(6)的出液端与自吸喷枪(7)的进液口接通。
2.根据权利要求1所述的一种用于石英坩埚的喷涂设备，其特征在于：还包括驱动电机(2)，驱动电机(2)架设在喷涂仓下方，在坩埚旋座(3)的底面上连接一旋轴，旋轴穿过喷涂仓的底壁与驱动电机(2)相连。
3.根据权利要求1所述的一种用于石英坩埚的喷涂设备，其特征在于：所述的高压喷涂装置还包括容液瓶、与氮气源相连的惰气管(5)，在容液瓶内设有氢氧化钡溶液，所述的惰气管(5)插入到容液瓶内，惰气管(5)的出气端位于氢氧化钡溶液液面上方，所述涂层液管(6)插入到容液瓶内，涂层液管(6)的进液端位于氢氧化钡溶液内。
4.根据权利要求1所述的一种用于石英坩埚的喷涂设备，其特征在于：所述的坩埚旋座(3)由旋盘、在旋盘顶面上环形均等设置的夹块组成。
5.根据权利要求4所述的一种用于石英坩埚的喷涂设备，其特征在于：所述的夹块为楔形块，楔形块的指向向外呈扩散状。
6.根据权利要求1所述的一种用于石英坩埚的喷涂设备，其特征在于：所述的机台(1)的喷涂仓的口面上铰接有舱门，舱门上开有矩形开口。
7.根据权利要求1所述的一种用于石英坩埚的喷涂设备，其特征在于：所述的高压气管(4)内通入二氧化碳气体。
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| CN201520632183.9U CN204933799U (zh) | 2015-08-21 | 2015-08-21 | 一种用于石英坩埚的喷涂设备 |
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Publications (1)
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109608052A (zh) * | 2018-12-25 | 2019-04-12 | 宁波宝斯达坩埚保温制品有限公司 | 一种石英坩埚表面涂覆装置 |
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2015
- 2015-08-21 CN CN201520632183.9U patent/CN204933799U/zh active Active
Cited By (2)
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| CN109608052A (zh) * | 2018-12-25 | 2019-04-12 | 宁波宝斯达坩埚保温制品有限公司 | 一种石英坩埚表面涂覆装置 |
| CN109608052B (zh) * | 2018-12-25 | 2021-12-03 | 宁波宝斯达坩埚保温制品有限公司 | 一种石英坩埚表面涂覆装置 |
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