CN205887233U - 一种用于石英坩埚的喷涂设备及其喷头 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于石英坩埚的喷涂设备及其喷头，旨在提供一种方便调节喷涂功率的喷头，其技术方案要点是包括喷涂管和输送管道，喷涂管内设有包括通液区和阻液区的网片，输送管内设有与阻液区形状一致的挡片，当需调节喷头的喷涂效率时，转动喷液管，喷液管的转动带动喷液管上网片的转动，网片的转动使网片与挡片产生相对运动，因而挡片遮住通液区的面积产生变化，当遮住的面积增大时，整个通液区的面积逐渐变小，喷头的喷涂效率降低；当遮住的面积减小时，整个通液区的面积逐渐增大，喷头的喷涂效率增加。从而使得喷头具有方便调节喷涂功率的优点。

Description

一种用于石英坩埚的喷涂设备及其喷头

技术领域

本实用新型涉及喷涂设备领域，特别涉及一种用于石英坩埚的喷涂设备及其喷头。

背景技术

石英坩埚是用高纯石英砂经过高温熔化形成的一种玻璃态器皿，在生产单晶硅的过程中是不可替代的容器，其具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，在现代工业中应用越来越广泛。

石英坩埚最高可以在1450°的环境下使用，而高温状态下生产单晶硅的过程中，液态硅会与石英坩埚反应，容易导致坩埚破裂、损坏，为了隔离液态硅和石英坩埚，一般是在石英坩埚表面喷涂隔离层。

通常的做法是将石英坩埚壁涂上一层含有结晶水的氢氧化钡，这层氢氧化钡会与空气中的二氧化碳反应形成碳酸钡。而当这种石英坩埚在单晶炉上被加热时，碳酸钡会分解形成氧化钡，随着氧化钡与石英坩埚反应形成硅酸钡，使得石英坩埚壁上形成一层致密微小的方石英结晶。

这种微小的方石英结晶很难被溶液渗入而剥落，即使剥落也很快被溶液溶解掉，因此可以大幅度的改善石英坩埚的使用寿命及长晶良率。另外在石英坩埚外壁形成一层方石英结晶的好处，是它可以增加石英坩埚的强度，减少高温软化现象。

目前，公开号为CN204933799U的中国专利公开了一种用于石英坩埚的喷涂设备，包括机台，该机台具有用于容纳石英坩埚的喷涂仓，在喷涂仓的地壁上设有坩埚底座，在机台外壁上设有高压喷涂装置，所述的高压喷涂装置包括自吸喷枪、与高压气体相通的高压气管、与涂层液源相通的涂层液管，高压气管的出气端与自吸喷枪的进气口接通，涂层液管的出液端与自吸喷枪的进液口接通，在喷涂仓下方架设有驱动电机，在坩埚旋座的底面上连接有一旋轴，旋轴穿过喷涂仓的底壁与驱动电机相连，使用转台带动坩埚旋转。

这种用于石英坩埚的喷涂设备虽然提高了工作效率，间接降低了对操作工人的身体的损伤，但是该自动喷枪的结构固定，导致喷涂的功率固定，当对较小规格的石英坩埚进行喷涂时，自动喷枪还是保持固定的喷涂量，从而造成喷涂液的浪费。

实用新型内容

本实用新型的一目的是提供一种喷头，其具有方便调节喷涂功率的优点。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种喷头，包括用于输送涂层液的输送管道、连接于输送管道且与输送管道同心同轴的喷液管，喷液管内设有出液管道，喷液管密封转动连接于输送管道，输送管道内靠喷液管一侧固定有与自身同轴的挡片，喷液管的一端固定有与自身同轴且与挡片相抵触的网片，网片包括沿自身圆周方向间隔设置的阻液区和通液区，通液区包括若干设于网片上的通液孔，挡片与阻液区的形状相一致。

如此设置，当需调节喷头的喷涂效率时，转动喷液管，喷液管的转动带动喷液管上网片的转动，网片的转动使网片与挡片产生相对运动，因而挡片遮住通液区的面积产生变化，当遮住的面积增大时，整个通液区的面积逐渐变小，喷头的喷涂效率降低；当遮住的面积减小时，整个通液区的面积逐渐增大，喷头的喷涂效率增加。从而使得喷头具有方便调节喷涂功率的优点。

进一步设置：通液区面积大于阻液区。

如此设置，有效地保证了喷液管内的流通，当通液区面积较小时，涂层液在喷液管内进行流通时流量很小，从而使得整个用于石英坩埚的喷涂装置的喷涂效率大大下降，所以通液区面积大于阻液区的设置使得喷液管的喷涂效率大大得到提升。

进一步设置：阻液区形状为沿网片轴线对称的两扇形。

如此设置，使得通液区和阻液区之间相互间隔开来，从而使得通液区的通液和阻液区的阻液相互之间不受影响，当涂层液接触到阻液区时，由于阻液区不设有通孔，涂层液有效得被阻止。

进一步设置：通液孔等间距均匀设置于通液区。

如此设置，在涂层液在喷涂管内流动时，均匀的通过通液孔进行流通，从而使得涂层液的流动更加顺畅，保证了喷头的喷涂效果，也保证了整个用于石英坩埚的喷涂设备的喷涂效果。

进一步设置：输送管道的内壁靠喷液管一侧沿自身圆周方向设有环状凹槽，喷液管的外壁靠输送管道一侧设有与环状凹槽相抵触的环状凸起。

如此设置，使得喷涂管安装至输送管道内既可以保证喷涂管与输送管道之间的连接密封性，还可以使得喷涂管简单方便的沿自身的轴线进行转动，从而使得喷涂管上的网片的转动更加简单方便，有效地保证了喷涂管对于喷涂效率的控制。

进一步设置：环状凹槽沿输送管道长度方向设有三个。

如此设置，使得喷涂管与输送管道之间的连接密封性能更加有效，也使得喷涂管在输送管道内沿自身轴线的转动更加有效，同时在喷涂管长期使用后，使得喷涂管不易与输送管道脱落，保证了喷涂管的可靠性。

进一步设置：环状凹槽沿输送管道长度方向等间距设置。

如此设置，进一步使得喷涂管紧密地与输送管道连接在一起，使得喷涂管在进行喷涂时更加稳定，也使得整个用于石英坩埚的喷涂设备的喷头效果更加稳定，大大增加了用于石英坩埚的喷涂设备的使用寿命。

进一步设置：网片为不锈钢网片。

如此设置，由于不锈钢自身的特性，使得网片具有优秀的耐腐蚀性能、耐高温性能以及更高的强度，从而使得网片的结构强度更加优秀，保证了整个用于石英坩埚的喷涂设备的工作性能。

本实用新型的另一目的是提供一种用于石英坩埚的喷涂设备，其具有方便调节喷头喷涂功率的优点。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种用于石英坩埚的喷涂设备，带有上述喷头。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：阻液区形状为沿网片轴线对称的两扇形，这样设置不仅使得通液区和阻液区之间相互间隔开来，从而使得通液区的通液和阻液区的阻液相互之间不受影响，当涂层液接触到阻液区时，由于阻液区不设有通孔，涂层液有效得被阻止。而且由于阻液区与挡片的形状一样，使得挡片在使用时，只需通过转动就可以方便的挡住同样也是扇形的通液区，更加易于对通液区面积的控制，从而更加易于对用于石英坩埚的喷涂设备的喷涂效率进行有效地控制。从而使得喷涂在石英坩埚表面的氢氧化钡与二氧化碳形成碳酸钡对石英坩埚自身进行保护，使得石英坩埚具有优秀的耐高温和抗腐蚀性，且在石英坩埚在单晶炉上被加热时，石英坩埚壁上形成一层致密微小的方石英结晶，从而使得石英坩埚具有更加优秀的强度，极大的降低了高温软化额现象。

附图说明

图1是实施例1喷头的结构示意图；

图2是实施例1喷头的爆炸示意图；

图3是实施例1输送管道的结构示意图；

图4是实施例1喷液管的结构示意图。

图中，1、输送管道；2、喷液管；3、网片；31、阻液区；32、通液区；321、通液孔；4、挡片；5、环状凹槽；6、环状凸起。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

实施例1：一种喷头，如图1至图3所示，包括与装有涂层液的储液箱相连接的输送管道1，输送管道1的内壁靠喷液管2的位置处设置有与自身同心同轴的挡片4，挡片4的形状为沿网片3轴线对称的两扇形，输送管道1的内壁靠喷液管2一侧沿自身圆周方向设有环状凹槽5，环状凹槽5沿输送管道1长度方向等间距设置为三个。

如图4所示，喷液管2的外壁靠输送管道1一侧沿自身圆周方向设有环状凸起6，黄庄凸起沿喷液管2长度方向等间距设置为三个，且环状凸起6与环状凹槽5相抵触且两者的形状相互匹配。

输送管道1密封转动连接有与自身同心同轴的喷液管2，喷液管2靠输送管道1的一端固定有与自身同心同轴的网片3，网片3设置为不锈钢网片3，网片3沿自身圆周方向间隔分为阻液区31和通液区32，且通液区32的面积大于阻液区31的面积，阻液区31的形状与挡片4形状一致，都为沿网片3轴线对陈的两扇形，通液区32包括若干设于网片3上的通液孔321，且通液孔321等间距均匀设置于网片3上。

对喷头进行安装时，将喷液管2上的环状凸起6依次卡至输送管道1内壁上的环状凹槽5内，当三个环状凸起6都卡至对应的环状凹槽5内时，喷液管2上的网片3与输送管道1内的挡片4相抵触。

当进行喷涂时，涂层液从储液箱中通过气压被送至输送管道1内，在输送管道1内与挡片4和网片3相接触，与通液区32相接触时，涂层液通过通液区32上的通液孔321喷出，与阻液区31相接触时，由于阻液区31上没有通孔，所以涂层液不能通过。

当需调节喷头的喷涂效率时，转动喷液管2，喷液管2的转动带动喷液管2上网片3的转动，网片3的转动使网片3与挡片4产生相对运动，因而挡片4遮住通液区32的面积产生变化，当遮住的面积增大时，整个通液区32的面积逐渐变小，喷头的喷涂效率降低；当遮住的面积减小时，整个通液区32的面积逐渐增大，喷头的喷涂效率增加。

实施例2：一种用于石英坩埚的喷涂设备,包括实施例1。

上述的实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

Claims (9)

1.一种喷头，包括用于输送涂层液的输送管道（1）、连接于输送管道（1）且与输送管道（1）同心同轴的喷液管（2），喷液管（2）内设有出液管道，其特征在于：所述的喷液管（2）密封转动连接于输送管道（1），输送管道（1）内靠喷液管（2）一侧固定有与自身同轴的挡片（4），喷液管（2）的一端固定有与自身同轴且与挡片（4）相抵触的网片（3），网片（3）包括沿自身圆周方向间隔设置的阻液区（31）和通液区（32），通液区（32）包括若干设于网片（3）上的通液孔（321），挡片（4）与阻液区（31）的形状相一致。

2.根据权利要求1所述的喷头，其特征在于：所述的通液区（32）面积大于阻液区（31）。

3.根据权利要求2所述的喷头，其特征在于：所述的阻液区（31）形状为沿网片（3）轴线对称的两扇形。

4.根据权利要求1所述的喷头，其特征在于：所述的通液孔（321）等间距均匀设置于通液区（32）。

5.根据权利要求1所述的喷头，其特征在于：所述的输送管道（1）的内壁靠喷液管（2）一侧沿自身圆周方向设有环状凹槽（5），喷液管（2）的外壁靠输送管道（1）一侧设有与环状凹槽（5）相抵触的环状凸起（6）。

6.根据权利要求5所述的喷头，其特征在于：所述的环状凹槽（5）沿输送管道（1）长度方向设有三个。

7.根据权利要求6所述的喷头，其特征在于：所述的环状凹槽（5）沿输送管道（1）长度方向等间距设置。

8.根据权利要求3所述的喷头，其特征在于：所述的网片（3）为不锈钢网片（3）。

9.一种用于石英坩埚的喷涂设备，其特征在于：带有如权利要求1～8任意一项所述的喷头。