CN205115288U - 石英坩埚内表面喷涂设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种石英坩埚内表面喷涂设备，包括机架，其特征在于：所述机架底部固定有旋转支撑架，所述旋转支撑架上方利用回转支撑安装有环形转盘，所述旋转支撑架侧面设有驱动电机，所述驱动电机的输出轴与回转支撑之间设有齿轮传动机构，所述机架一侧固定有气缸，所述气缸的缸杆顶端固定有支架，所述支架经过旋转支撑架由环形转盘的环腔中穿出，所述支架上设有药管且药管末端安装有喷嘴，所述喷嘴位于支架顶端，所述机架外侧固定有面向机架内侧的红外测温仪和控制箱，所述控制箱的面板上设有数显表，所述控制箱的顶部设有报警器。使用可靠，避免了喷涂过程中产生药点，保证了坩埚质量的稳定性。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种石英坩埚拉晶前对坩埚内表面进行处理的石英坩埚内表面喷涂设备。
背景技术
石英坩埚是用高纯石英砂经过高温熔化形成的一种玻璃态器皿，在生产单晶硅的过程中是不可替代的容器。随着太阳能行业的快速发展，对坩埚质量要求也越来越高，尤其是对坩埚质量的稳定性要求。传统生产过程中石英坩埚不经过任何处理，直接投入生产，这就对坩埚质量要求特别严格，当坩埚表面存在缺陷时只能当废品处理。目前，通常采用在石英坩埚内表面进行涂层处理的方式，提高坩埚质量和成品率，同时也提高拉晶合格率，但现有喷涂设备都存在如下问题：涂层过程中温度无检测，涂层药量一定但喷涂时间无控制，喷涂过程中易产生喷涂药点，对于坩埚质量稳定性存在很大影响。
发明内容
本实用新型的目的是为了提供一种解决上述问题的使用可靠的石英坩埚内表面喷涂设备，避免喷涂过程中产生药点，保证坩埚质量的稳定性。
本实用新型的技术方案是：
一种石英坩埚内表面喷涂设备，包括机架，其特征在于：所述机架底部固定有旋转支撑架，所述旋转支撑架上方利用回转支撑安装有环形转盘，所述旋转支撑架侧面设有驱动电机，所述驱动电机的输出轴与回转支撑之间设有齿轮传动机构，所述机架一侧固定有气缸，所述气缸的缸杆顶端固定有支架，所述支架经过旋转支撑架由环形转盘的环腔中穿出，所述支架上设有药管且药管末端安装有喷嘴，所述喷嘴位于支架顶端，所述机架外侧固定有面向机架内侧的红外测温仪和控制箱，所述控制箱的面板上设有数显表，所述控制箱的顶部设有报警器。
上述的石英坩埚内表面喷涂设备，所述机架一侧设有喷涂机门。
上述的石英坩埚内表面喷涂设备，所述支架由水平支杆和垂直支杆组成。
本实用新型的有益效果是：环形转盘带动倒置于其上的坩埚旋转过程中，喷嘴对坩埚内表面进行喷涂作业，在此过程中，红外测温仪一直进行红外测温，同时数显表对喷涂时间进行记录，达到设定时间后停止喷涂，在喷涂过程中同一只坩埚出现温度差异较大时或喷涂时间超过规定时间时报警器报警，避免了坩埚在喷涂过程中因温度和喷涂均匀度差异对坩埚造成质量波动，避免了喷涂过程中喷涂药点的产生，从而保证了坩埚内表面质量，间接提高了拉晶合格率，降低了生产成本。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是图1的左视图；
图3是图1的俯视图。
图中：1.机架、2.旋转支撑架、3.驱动电机、4.齿轮传动机构、5.红外测温仪、6.控制箱、7.数显表、8.报警器、9.坩埚、10.环形转盘、11.回转支撑、12.喷涂机门、13.喷嘴、14.支架、15.药管、16.气缸。
具体实施方式
如图所示，该石英坩埚内表面喷涂设备，包括机架1，所述机架1底部固定有旋转支撑架2，所述旋转支撑架2上方利用回转支撑11安装有环形转盘10，所述旋转支撑架2侧面设有驱动电机3，所述驱动电机3的输出轴与回转支撑11之间设有齿轮传动机构4。所述机架1一侧固定有气缸16，所述气缸16的缸杆顶端固定有支架14，所述支架14由水平支杆和垂直支杆组成，所述支架14的垂直支杆经过旋转支撑架2由环形转盘10的环腔中穿出。所述支架14上设有药管15且药管15末端安装有喷嘴13，所述喷嘴16位于支架14顶端。所述机架1外侧固定有面向机架1内侧的红外测温仪5和控制箱6，所述控制箱6的面板上设有数显表7，所述控制箱6的顶部设有报警器8。所述机架1一侧设有喷涂机门12。
工作时，坩埚9倒放在环形转盘10上，红外测温仪5开始对坩埚9一点进行测温当温度达到规定温度，驱动电机3得电转动，驱动电机3通过齿轮传动机构4带动回转支撑11转动，回转支撑11带动环形转盘10转动，气缸16的缸杆匀速带动支架14及喷嘴13上升下降，隔膜泵启动药液通过药管15，到达喷嘴13对坩埚9内表面进行喷涂，同时数显表进行计时，当喷涂时间超过规定时间2秒，报警器8报警，整个喷涂过程中红外测温仪5一直进行红外测温，当温差超过20℃报警器8报警，正常情况下记录喷涂温度。
Claims (3)
1.一种石英坩埚内表面喷涂设备，包括机架，其特征在于：所述机架底部固定有旋转支撑架，所述旋转支撑架上方利用回转支撑安装有环形转盘，所述旋转支撑架侧面设有驱动电机，所述驱动电机的输出轴与回转支撑之间设有齿轮传动机构，所述机架一侧固定有气缸，所述气缸的缸杆顶端固定有支架，所述支架经过旋转支撑架由环形转盘的环腔中穿出，所述支架上设有药管且药管末端安装有喷嘴，所述喷嘴位于支架顶端，所述机架外侧固定有面向机架内侧的红外测温仪和控制箱，所述控制箱的面板上设有数显表，所述控制箱的顶部设有报警器。
2.根据权利要求1所述的石英坩埚内表面喷涂设备，其特征在于：所述机架一侧设有喷涂机门。
3.根据权利要求1所述的石英坩埚内表面喷涂设备，其特征在于：所述支架由水平支杆和垂直支杆组成。
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| CN201520951265.XU CN205115288U (zh) | 2015-11-25 | 2015-11-25 | 石英坩埚内表面喷涂设备 |
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Publications (1)
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| CN205115288U true CN205115288U (zh) | 2016-03-30 |
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Family Applications (1)
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| CN (1) | CN205115288U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109608052A (zh) * | 2018-12-25 | 2019-04-12 | 宁波宝斯达坩埚保温制品有限公司 | 一种石英坩埚表面涂覆装置 |
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2015
- 2015-11-25 CN CN201520951265.XU patent/CN205115288U/zh active Active
Cited By (2)
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| CN109608052A (zh) * | 2018-12-25 | 2019-04-12 | 宁波宝斯达坩埚保温制品有限公司 | 一种石英坩埚表面涂覆装置 |
| CN109608052B (zh) * | 2018-12-25 | 2021-12-03 | 宁波宝斯达坩埚保温制品有限公司 | 一种石英坩埚表面涂覆装置 |
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