CN203214332U - 无齿轮爪型泵 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于真空技术领域，特别涉及一种无齿轮爪型泵，包括上端盖和下端盖，上端盖和下端盖之间设有泵体，下端盖底部设置油箱，油箱内设置隔油套，隔油套安装在转子轴上，隔油套顶部设置压片，压片与其上部的轴套安装在转子轴上，转子轴底端通过联轴器连接伺服电机输出轴，伺服电机安装在电机支架上。压片、轴套、电机支架及油箱的设置使本实用新型结构简单紧凑，使用方便，伺服电机的使用能保证各级转子精确啮合与高速旋转，进而保证抽真空效果。

Description

无齿轮爪型泵

技术领域

本实用新型涉及一种无齿轮爪型泵，属于真空技术领域。

背景技术

爪型泵是一种变容积干式真空泵，在抽气过程中泵腔内不含油类等液体介质，清洁抽空，对被抽容器以及工作环境无污染，所以在半导体、电子、化工和制药行业得到了广泛的应用。爪型泵在加工过程中，除了要保证各级泵腔及转子的加工精度外，还要保证传动齿轮有较高的啮合精度，并且传动同步，才能保证各级转子的精确啮合及反向高速旋转。

现有爪型泵一般由三级或四级转子串联在转子轴上，每级的两个转子与泵体之间形成泵腔的抽气容积，由转子在旋转过程中自动开闭，并控制容积由大到小、由小到大不断变化，来达到抽真空的目的。由于爪型泵同级转子相互啮合，上下级转子采用正反爪结构，爪型泵转速很高，一般在3000r/min左右，转子之间及转子与泵腔之间不相接触，留有很小的间隙，而齿轮在传动中有侧隙，传动不同步，不能保证转子的精确啮合与高速旋转。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种结构简单紧凑，可保证转子精确啮合与高速旋转的无齿轮爪型泵。

本实用新型所述的无齿轮爪型泵，包括上端盖和下端盖，上端盖和下端盖之间设有泵体，下端盖底部设置油箱，油箱内设置隔油套，隔油套安装在转子轴上，隔油套顶部设置压片，压片与其上部的轴套安装在转子轴上，转子轴底端通过联轴器连接伺服电机输出轴，伺服电机安装在电机支架上。

通过伺服电机直接驱动转子轴转动，解决了齿轮传动本身有侧隙，且无法精确高速运转的问题，伺服电机自带编码器反馈，形成半闭环架构，不会失步与堵转，可精确控制转子轴转速，并且转速高，能保证各级转子精确啮合与高速旋转，伺服电机过载能力强，转矩恒定，且不管是高速运转还是低速运转，噪音都比较低；电机支架起到支撑伺服电机的作用；泵体内通常为三级或四级转子串联在转子轴上，当泵体内有三级转子时，分别构成一级泵体、二级泵体及三级泵体。

所述的电机支架置于油箱底部，并通过螺栓与油箱连接。电机支架直接支撑油箱，使结构更加紧凑，节约空间。

本实用新型的有益效果是：

压片、轴套、电机支架及油箱的设置使本实用新型结构简单紧凑，使用方便，伺服电机的使用能保证各级转子精确啮合与高速旋转，进而保证抽真空效果。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图中：1、上端盖2、一级泵体3、二级泵体4、三级泵体5、下端盖6、轴套7、压片8、油箱9、电机支架10、联轴器11、伺服电机12、转子轴13、隔油套。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步描述：

如图1所示，本实用新型所述的无齿轮爪型泵，包括上端盖1和下端盖5，上端盖1和下端盖5之间依次设有一级泵体2、二级泵体3和三级泵体4，下端盖5底部设置油箱8，油箱8内设置隔油套13，隔油套13安装在转子轴12上，隔油套13顶部设置压片7，压片7与轴套6安装在转子轴12上，转子轴12底端通过联轴器10连接伺服电机11输出轴，伺服电机11安装在电机支架9上。电机支架9置于油箱8底部，并通过螺栓与油箱8连接。

工作时，启动伺服电机11，伺服电机11输出轴带动转子轴12转动，转子轴12带动各级泵体内各级转子转动进行抽真空，可保证各级转子精确啮合与高速旋转。

Claims (2)

1.一种无齿轮爪型泵，包括上端盖（1）和下端盖（5），上端盖（1）和下端盖（5）之间设有泵体，下端盖（5）底部设置油箱（8），油箱（8）内设置隔油套（13），其特征在于：隔油套（13）安装在转子轴（12）上，隔油套（13）顶部设置压片（7），压片（7）与其上部的轴套（6）安装在转子轴（12）上，转子轴（12）底端通过联轴器（10）连接伺服电机（11）输出轴，伺服电机（11）安装在电机支架（9）上。

2.根据权利要求1所述的无齿轮爪型泵，其特征在于：电机支架（9）置于油箱（8）底部，并通过螺栓与油箱（8）连接。

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