CN202830220U - 一种提拉法晶体生长用热场装置 - Google Patents
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Abstract
一种提拉法晶体生长用热场装置，包括坩埚，坩埚置于热场中央，坩埚与外保温坩埚之间填满保温粉，外保温坩埚外同心设置感应线圈，坩埚口上方同心设置圆筒状蓝宝石晶体内衬，圆筒状蓝宝石晶体内衬上端口设有圆片状蓝宝石晶体内衬盖，圆筒状蓝宝石晶体内衬同心设有带观察孔的保温层，圆片状内衬盖上设有带籽晶杆孔的外围保温层。具有热场稳定、寿命长，使用时不容易污染原料、制作简单、操作方便、节约成本的优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种提拉法晶体生长用热场装置，属于晶体生长技术领域。
背景技术
许多光学晶体如铌酸锂、钽酸锂晶体采用提拉法生长。这些晶体在生长过程中会有Li蒸发腐蚀晶体生长热场材料，造成热场内衬掉渣，开裂，导致长出的晶体被污染着色、散射、外形突变而成为次品。
提拉法生长晶体设备系统中，热场装置至关重要，它是构建晶体生长需要的温度场。现有常用内衬材料有氧化铝瓷、刚玉件或氧化锆陶瓷制品，但他们有许多缺点，如抗震性差、高温抗腐蚀性低、热辐射效果差，另外锆制品和刚玉制品在使用过程中易掉屑，污染生长原料。
实用新型内容
本实用新型为了克服以上缺陷而提供一种提拉法晶体生长用热场装置，具有抗震性强、高温抗腐性高、热辐射效果好，且不污染生长原料，具有制作简单、操作方便、节约成本的优点。
针对现有技术的不足，本实用新型的目的是提出一种提拉法晶体生长用热场装置，包括坩埚，坩埚置于热场中央，坩埚与外保温坩埚之间填满保温粉，外保温坩埚外同心设置感应线圈，坩埚口上方同心设置圆筒状蓝宝石晶体内衬，圆筒状蓝宝石晶体内衬上端口设有圆片状蓝宝石晶体内衬盖，圆筒状蓝宝石晶体内衬同心设有带观察孔的保温层，圆片状内衬盖上设有带籽晶杆孔的外围保温层。
本实用新型与现有技术相比，其优点在于，蓝宝石内衬热辐射高容易构建小温梯，圆筒状内衬和圆片状内衬盖高温抗腐蚀性强、机械强度高，因此热场稳定、寿命长，使用时不容易污染原料，具有制作简单、操作方便、节约成本的特点。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
图2为本实用新型所述圆筒状蓝宝石晶体内衬外圆掏钻示意图。
图3为本发明所述圆筒状蓝宝石晶体内衬内壁圆掏钻示意图。
具体实施方式
实施例，如图1所示，包括坩埚，坩埚6置于热场中央，坩埚6与外保温坩埚13之间填满保温粉，外保温坩埚13外同心设置感应线圈7，坩埚6口上方同心设置圆筒状蓝宝石晶体内衬3，圆筒状蓝宝石晶体内衬3上端口设有圆片状蓝宝石晶体内衬盖2，圆筒状蓝宝石晶体内衬3同心设有带观察孔4的保温层，圆片状内衬盖2上设有带籽晶杆孔8的外围保温层1。
工作原理：以中频感应加热提拉法生长3″锂酸锂晶体为例：
感应加热单晶生长一般情况下生长坩埚6自身为发热体，坩埚6置于热场中央，坩埚（6）内盛有熔融生长原料，在籽晶杆的向上提拉下，生长晶体5从熔融生长原料表面开始生长，其中圆筒状蓝宝石晶体内衬3的制备过程：选用泡生法生长的正品或次品原生蓝宝石梨晶11用A金刚石掏钻9，在蓝宝石梨晶11上掏取直径Ø160-170mm、长度120-150mm的蓝宝石棒10，再用B金刚石掏钻12在蓝宝石棒10上同心掏钻出壁厚5-12mm圆筒状内衬3，用Ø22mm掏钻在圆筒状内衬3侧壁开观察孔4。
圆片状蓝宝石晶体内衬盖2的制备过程：外购厚度5-12mm，直径Ø160-170mm平板蓝宝石圆片，用直径Ø22mm的掏钻钻取籽晶杆孔8。
Claims (1)
1.一种提拉法晶体生长用热场装置，其特征在于，包括坩埚，坩埚（6）置于热场中央，坩埚（6）与外保温坩埚（13）之间填满保温粉，外保温坩埚（13）外同心设置感应线圈7，坩埚（6）口上方同心设置圆筒状蓝宝石晶体内衬（3），圆筒状蓝宝石晶体内衬（3）上端口设有圆片状蓝宝石晶体内衬盖（2），圆筒状蓝宝石晶体内衬（3）同心设有带观察孔（4）的保温层，圆片状内衬盖（2）上设有带籽晶杆孔（8）的外围保温层（1）。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103469305A (zh) * | 2013-08-23 | 2013-12-25 | 江苏中电振华晶体技术有限公司 | 蓝宝石晶体长晶方法及其专用长晶设备 |
| CN117403330A (zh) * | 2023-12-14 | 2024-01-16 | 天通控股股份有限公司 | 一种调控钽酸锂晶体退火阶段热场温度梯度的方法 |
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2012
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| CN103469305B (zh) * | 2013-08-23 | 2016-01-20 | 江苏中电振华晶体技术有限公司 | 蓝宝石晶体长晶方法及其专用长晶设备 |
| CN117403330A (zh) * | 2023-12-14 | 2024-01-16 | 天通控股股份有限公司 | 一种调控钽酸锂晶体退火阶段热场温度梯度的方法 |
| CN117403330B (zh) * | 2023-12-14 | 2024-03-01 | 天通控股股份有限公司 | 一种调控钽酸锂晶体退火阶段热场温度梯度的方法 |
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Granted publication date: 20130327 Termination date: 20130911 |