CN203420008U - 一种熔体长晶用真空炉 - Google Patents

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CN203420008U CN201320436604.1U CN201320436604U CN203420008U CN 203420008 U CN203420008 U CN 203420008U CN 201320436604 U CN201320436604 U CN 201320436604U CN 203420008 U CN203420008 U CN 203420008U
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姚泰
于永澔
韩杰才
张宇民
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Harbin Institute of Technology
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Abstract

本实用新型涉及一种熔体长晶用的真空炉，主要是为解决现有的熔体长晶用真空炉生产的产品成品率低，质量不稳定的问题而设计的。它包括炉体、大炉盖、电极、小炉盖、单晶提拉机构、单晶旋转机构、单晶提拉杆、坩埚、坩埚托盘、托盘顶柱、坩埚盖、上隔热屏、加热器、下隔热屏、侧隔热屏；在下隔热屏下面设下保温砖层，在侧隔热屏的外面设侧保温砖层，在上隔热屏上方有内保温砖盖，在侧隔热屏和侧保温砖层上面有外保温砖盖，在侧保温砖层和炉体之间设不锈钢护网，在不锈钢护网与侧保温砖层之间填充氧化铝空心球，在炉体和不锈钢护网之间填充适量的氧化铝空心球。优点是熔体长晶产品成品率高，质量稳定。

Description

一种熔体长晶用真空炉
技术领域：
本实用新型涉及一种熔体长晶用的真空炉。
背景技术：
现有的熔体长晶用的真空炉温场都采用钨片和钼片做隔热屏，缺点是价格高，隔热效果差，易变形，温度梯度大，且温场易发生变化，不易控制，增加熔体热扰动几率和晶体制备的难度，导致生产的产品成品率低，质量不稳定。
发明内容：
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种隔热屏价格低，隔热效果好，温场稳定的熔体长晶用真空炉。
上述目的是这样实现的：与现有技术相同的是它也包括设有真空系统的炉体，炉体上有大炉盖，电极装在大炉盖上，大炉盖上装有小炉盖，单晶提拉机构上装有单晶旋转机构，单晶旋转机构固定在小炉盖上，单晶旋转机构下面装有单晶提拉杆；炉体内有坩埚，坩埚置于坩埚托盘上，坩埚托盘置于托盘顶柱上，托盘顶柱立在炉底上，坩埚的上方有坩埚盖，坩埚盖上面有上隔热屏，坩埚的外面有加热器，加热器与大炉盖上的电极连接，加热器的下面和四周有用钨片或钼片制作的下隔热屏和侧隔热屏；与现有技术不同的是：在下隔热屏下面设下保温砖层，在侧隔热屏的外面设侧保温砖层，在上隔热屏上方有内保温砖盖，在侧隔热屏和侧保温砖层上面有外保温砖盖，在侧保温砖层和炉体之间设不锈钢护网，在不锈钢护网与侧保温砖层之间填充氧化铝空心球，在炉体和不锈钢护网之间填充适量的氧化铝空心球，一般填至炉体高的1/3-2/3即可。
本实用新型的优点是由于温场的隔热系统采用复合方式，内外采用不同材料进行隔热，靠近发热体的高温部分采用钨片或钼片隔热屏进行隔热，在钨片或钼片隔热屏外面的低温部分采用保温砖进行隔热，在保温砖外面填充氧化铝空心球进行隔热，不仅费用低，而且隔热效果好，温场稳定，用于熔体长晶产品成品率高，质量稳定。
附图说明：
附图是本实用新型的结构示意图，图中23为晶体，24为子晶。
具体实施方式：
参照附图，它包括设有真空系统22的炉体8，炉体上有大炉盖6，电极5装在大炉盖上，大炉盖上装有小炉盖4，单晶提拉机构1上装有单晶旋转机构2，单晶旋转机构固定在小炉盖上，单晶旋转机构下面装有单晶提拉杆3；炉体内有坩埚19，坩埚置于坩埚托盘18上，坩埚托盘置于托盘顶柱16上，托盘顶柱立在炉底上，坩埚的上方有坩埚盖20，坩埚盖上面有上隔热屏21，坩埚的外面有加热器14，加热器与大炉盖上的电极5连接，加热器的下面和四周有用钨片或钼片制作的下隔热屏15和侧隔热屏12；在下隔热屏下面设下保温砖层17，在侧隔热屏的外面设侧保温砖层11，在上隔热屏上方有内保温砖盖13，在侧隔热屏和侧保温砖层上面有外保温砖盖7，在侧保温砖层和炉体8之间设不锈钢护网9，在不锈钢护网与侧保温砖层之间填充氧化铝空心球10，在炉体和不锈钢护网之间填充适量的氧化铝空心球，一般填至炉体高的1/3-2/3即可。

Claims (1)

1.一种熔体长晶用真空炉，包括设有真空系统(22)的炉体(8)，炉体上有大炉盖(6)，电极(5)装在大炉盖上，大炉盖上装有小炉盖(4)，单晶提拉机构(1)上装有单晶旋转机构(2)，单晶旋转机构固定在小炉盖上，单晶旋转机构下面装有单晶提拉杆(3)；炉体内有坩埚(19)，坩埚置于坩埚托盘(18)上，坩埚托盘置于托盘顶柱(16)上，托盘顶柱立在炉底上，坩埚的上方有坩埚盖(20)，坩埚盖上面有上隔热屏(21)，坩埚的外面有加热器(14)，加热器与大炉盖上的电极(5)连接，加热器的下面和四周有用钨片或钼片制作的下隔热屏(15)和侧隔热屏(12)；其特征是：在下隔热屏下面设下保温砖层(17)，在侧隔热屏的外面设侧保温砖层(11)，在上隔热屏上方有内保温砖盖(13)，在侧隔热屏和侧保温砖层上面有外保温砖盖(7)，在侧保温砖层和炉体(8)之间设不锈钢护网(9)，在不锈钢护网与侧保温砖层之间填充氧化铝空心球(10)，在炉体和不锈钢护网之间填充适量的氧化铝空心球，一般填至炉体高的1/3-2/3即可。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106222747A (zh) * 2016-08-30 2016-12-14 天通银厦新材料有限公司 一种蓝宝石单晶炉
CN112176289A (zh) * 2020-09-22 2021-01-05 中国建材国际工程集团有限公司 一种碲化镉/硫化镉/硒化镉薄膜沉积用坩埚舟及其制备方法
CN113607593A (zh) * 2021-07-30 2021-11-05 成都东骏激光股份有限公司 高温材料制备过程中温场核心区域的测温方法

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