CN201276609Y - 单晶生长加热装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种单晶生长加热装置，属单晶硅制备设备技术领域；结构中包括，坩埚，坩埚上方设置导流筒，坩埚底部设置支撑坩埚的坩埚支架，包围坩埚设置筒状加热器，加热器外围设置保温筒，其特征在于：所述的导流筒结构设计为带隔热空腔的环状结构，其隔热空腔下厚上薄，本实用新型的导流筒，可在拉晶过程中有效屏蔽周围热量、提高结晶速度和质量，合理调整导流筒底部与液面的距离可使炉内热场更加适于拉晶要求，本新型设备采用四瓣埚、可使其寿命延长从而降低了成本，同时使石英埚的变形应力得到有效缓解。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种单晶生长加热装置，属单晶硅制备设备技术领域。
背景技术
随着节能技术应用的日益广泛，单晶硅的需求量日益增大，对单晶硅拉制炉的要求也日益增高，目前业内使用的单晶生长加热装置的导流筒均为空心锥形结构，其空心内腔为等厚度环腔，热屏蔽效果不够理想，从而影响拉晶质量和合格产品的产量，另外、现有大直径单晶硅生长加热装置的坩埚多采用三瓣埚，在高温环境、温度变化的环境中容易损坏，更换成本较高，同时、石英埚的热变形应力不易得到缓解，影响石英埚的使用寿命，同样提高了生产成本。
实用新型内容
本实用新型需要解决的技术问题是提供一种单晶生长加热装置，通过对其导流筒和坩埚的结构改进，提高产品的产量和质量，降低生产成本。
为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：
单晶生长加热装置，结构中包括，坩埚，坩埚上方设置导流筒，坩埚底部设置支撑坩埚的坩埚支架，包围坩埚设置筒状加热器，加热器外围设置保温筒，所述的导流筒结构设计为带隔热空腔的环状结构，其隔热空腔下厚上薄。
本实用新型的技术方案的进一步改进在于：导流筒内孔上部为锥形导流段，下部为柱形导流段，二者结合处平滑过渡。
本实用新型的技术方案的进一步改进在于：坩埚为竖直均匀分隔的四瓣结构。
由于采用了上述技术方案，本实用新型取得的技术进步是：
本实用新型的导流筒，由于导流筒底部的隔热层较厚，可在拉晶过程中可有效屏蔽周围热量、提高结晶速度和质量，合理调整导流筒底部与液面的距离可使炉内热场更加适于拉晶要求。采用四瓣埚可使其寿命延长，降低成本，同时使石英埚的变形应力得到有效缓解。
附图说明
图1是单晶生长加热装置的结构剖视示意图。
其中：1、导流筒，1-1、隔热空腔，1-2、锥形导流段，1-3、柱形导流段，2、坩埚，3、加热器，4、坩埚支架，5、保温筒。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步详细说明：
如图1所示，本实用新型结构包括，坩埚2，坩埚2为竖直均匀分隔的四瓣结构，坩埚2底部设置支撑坩埚2的坩埚支架4，包围坩埚2设置筒状加热器3，加热器3外围设置保温筒5，坩埚2上方设置导流筒1，导流筒1结构设计为带隔热空腔1-1的环状结构，其隔热空腔1-1下厚上薄，导流筒1内孔上部为锥形导流段1-2，下部为柱形导流段1-3，二者结合处平滑过渡。
Claims (3)
1、一种单晶生长加热装置，结构中包括，坩埚，坩埚上方设置导流筒，坩埚底部设置支撑坩埚的坩埚支架，包围坩埚设置筒状加热器，加热器外围设置保温筒，其特征在于：所述的导流筒结构设计为带隔热空腔的环状结构，其隔热空腔下厚上薄。
2、根据权利要求1所述的单晶生长加热装置，其特征在于所述导流筒内孔上部为锥形导流段，下部为柱形导流段，二者结合处平滑过渡。
3、根据权利要求1所述的单晶生长加热装置，其特征在于所述坩埚为竖直均匀分隔的四瓣结构。
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2008
- 2008-09-01 CN CNU2008201056875U patent/CN201276609Y/zh not_active Expired - Fee Related
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Legal Events
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| GR01 | Patent grant | ||
| EE01 | Entry into force of recordation of patent licensing contract |
Assignee: Jinglong Industry Group Co., Ltd. Assignor: Ningjin Jingxing Electronic Material Co., Ltd. Contract record no.: 2010130000043 Denomination of utility model: Single crystal growth heating device Granted publication date: 20090722 License type: Exclusive License Record date: 20100628 |
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