CN202643884U - 单晶炉水冷套结构 - Google Patents
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Abstract
单晶炉水冷套结构属于冶炼系统单晶炉冶炼装置，特别涉及单晶炉冶炼水冷套结构；水冷套由法兰、接管和外筒组焊制成，法兰制成中空腔体法兰，下平面焊接接管，接管为通管，上端连接法兰腔体，下端连接由外筒和内筒同轴心组焊成的空腔，安装在炉盖上端中心部位；有益效果：提高成棒效率，快捷、方便，降低能耗，提高产品的产率。
Description
技术领域：
本实用新型单晶炉水冷套结构属于冶炼系统单晶炉冶炼装置，特别涉及单晶炉冶炼水冷套结构。
背景技术：
冶金行业单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料，单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料；在硅单晶拉制过程中，使用水冷套，可以加速晶棒的冷却，提高晶棒的成长时间，提高拉晶效率，目前使用的水冷套一般采用焊接固定在炉盖上，结构不灵活，冷却效果差，晶棒不容易被冷却。
发明内容：
有鉴于此，有必要提供一种冷却效果好、成棒效率高的新结构单晶炉水冷套结构。
本实用新型单晶炉水冷套结构，含有籽晶绳、炉盖、晶棒、硅液、石英坩埚和石墨热场，其特征在于：水冷套由法兰、接管、外筒和内筒组成；水冷套由法兰、接管和外筒组焊制成，法兰制成中空腔体法兰，下平面焊接接管，接管为通管，上端连接法兰腔体，下端连接由外筒和内筒同轴心组焊成的空腔，安装在炉盖上端中心部位；籽晶绳上端安装在提拉装置内，下端连接晶棒顶端，晶棒在水冷套内降温，炉盖为水冷焊接件；晶棒为拉制过程中产生；硅液为高温硅熔体，盛在石英坩埚内；石英坩埚放在石墨热场内；籽晶绳由耐高温抗拉强度大的钨丝制成，炉盖由不锈钢材料组焊制成。
作业时，提拉装置带动籽晶绳上升，在籽晶绳的带动下，晶棒上升，晶棒的下端与硅液因温度差的缘故，开始结晶，在水冷套的作用下，先进入的部分晶棒冷却加剧，可减少停炉后晶棒冷却时间。
本实用新型单晶炉水冷套结构有益效果：提高成棒效率，快捷、方便，降低能耗，提高产品的产率。
附图说明：
附图是本实用新型单晶炉水冷套结构的结构示意图。
图中：籽晶绳1、炉盖3、晶棒4、硅液5、石英坩埚6、石墨热场10、法兰2、接管7、外筒8、内筒9。
具体实施方式：
本实用新型单晶炉水冷套结构，含有籽晶绳1、炉盖3、晶棒4、硅液5、石英坩埚6和石墨热场10，其特征在于：水冷套由法兰2、接管7、外筒8和内筒9组成；水冷套由法兰2、接管7、外筒8和内筒9组焊制成，法兰2制成中空腔体法兰，下平面焊接接管7，接管7为通管，上端连接法兰7腔体，下端连接由外筒8和内筒9同轴心组焊成的空腔，安装在炉盖3上端中心部位；籽晶绳1上端安装在提拉装置内，下端连接晶棒4顶端，晶棒4在水冷套内降温，炉盖3为水冷焊接件；晶棒4为拉制过程中产生；硅液5为高温硅熔体，盛在石英坩埚6内；石英坩埚6放在石墨热场10内；籽晶绳1由耐高温抗拉强度大的钨丝制成，炉盖3由不锈钢材料组焊制成。
Claims (3)
1.单晶炉水冷套结构,含有籽晶绳（1）、炉盖（3）、晶棒（4）、硅液（5）、石英坩埚（6）和石墨热场（10），其特征在于：水冷套由法兰（2）、接管（7）、外筒（8）和内筒（9）组成；水冷套由法兰（2）、接管（7）、外筒（8）和内筒（9）组焊制成，法兰（2）制成中空腔体法兰，下平面焊接接管（7），接管（7）为通管，上端连接法兰（2）腔体，下端连接由外筒（8）和内筒（9）同轴心组焊成的空腔，安装在炉盖（3）上端中心部位；籽晶绳（1）上端安装在提拉装置内，下端连接晶棒（4）顶端，晶棒(4)在水冷套内降温，炉盖（3）为水冷焊接件；晶棒（4）为拉制过程中产生；硅液（5）为高温硅熔体，盛在石英坩埚（6）内；石英坩埚（6）放在石墨热场（10）内。
2.根据权利要求1所述单晶炉水冷套结构，其特征在于：籽晶绳（1）由耐高温抗拉强度大的钨丝制成。
3.根据权利要求1所述单晶炉水冷套结构，其特征在于：炉盖（3）由不锈钢材料组焊制成。
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| CN2012200620759U Withdrawn - After Issue CN202643884U (zh) | 2012-02-24 | 2012-02-24 | 单晶炉水冷套结构 |
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN105603520A (zh) * | 2016-01-20 | 2016-05-25 | 西安交通大学 | 一种高速单晶生长装置及方法 |
| CN108950678A (zh) * | 2017-05-19 | 2018-12-07 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 一种带有水冷套的热屏组件及单晶提拉炉热场结构 |
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| CN103290467B (zh) * | 2012-02-24 | 2016-04-13 | 宁夏盈谷实业股份有限公司 | 单晶炉水冷套结构 |
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| CN105603520B (zh) * | 2016-01-20 | 2018-10-30 | 西安交通大学 | 一种高速单晶生长装置及方法 |
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| GR01 | Patent grant | ||
| C56 | Change in the name or address of the patentee |
Owner name: NINGXIA YINGGU INDUSTRIAL CO., LTD. Free format text: FORMER NAME: NINGXIA RIJING NEW ENERGY EQUIPMENT CO., LTD. |
|
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: Sheng Road Economic Development Zone Shizuishan city the Ningxia Hui Autonomous Region Xin 753000 Patentee after: Ningxia Rijing New Energy Euipment Co., Ltd. Address before: Sheng Road Economic Development Zone Shizuishan city the Ningxia Hui Autonomous Region Xin 753000 Patentee before: Ningxia Rijing New Energy Euipment Co., Ltd. |
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| AV01 | Patent right actively abandoned |
Granted publication date: 20130102 Effective date of abandoning: 20160413 |
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| C25 | Abandonment of patent right or utility model to avoid double patenting |