CN202225311U - 一种晶棒加工装卸专用机械手 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶棒加工装卸专用机械手，用于硅棒搬运、反头等操作，其关键在于：包括底座、抓取机构、旋转机构、升降机构和移动机构；所述抓取机构包括钳形指爪、液压缸和箱体，所述旋转机构包括转动主轴、主轴减速机和主轴电机，所述升降机构包括导轨、丝杠、升降支架、升降减速机和升降电机，所述移动机构包括定向轮和万向轮；通过控制箱可以控制机械手的抓取与放松、左右旋转、上升下降以及前后移动。本实用新型具有设计合理、性价比高、结构简单，使用方便、工作效率高、可靠性好的特点。

Description

一种晶棒加工装卸专用机械手

技术领域

本实用新型涉及一种机械手，尤其是一种晶棒加工装卸专用机械手, 用于硅棒搬运、反头等操作，尤其适用于12英寸以上单晶硅上下机床。

背景技术

单晶硅为脆性贵重材料,以往小直径单晶硅棒生产中都是靠人力小心搬运，大直径单晶硅棒加工时都是用小型吊车和绳索装卸工位,这样因绳索悬吊,硅棒不稳,一人不便操作,尤其在硅棒仅可以在水平平面内转动方向,不能在竖直方向旋转的时候,这样不但生产效率低下,而且存在产品磕碰的危险。

实用新型内容

本实用新型提供一种能够方便地使晶棒在各个方向安全可靠调整的机械手。

为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是：一种晶棒加工装卸专用机械手，其关键在于：包括底座、抓取机构、旋转机构、升降机构和移动机构；所述抓取机构包括一对指爪、与一对指爪的尾端连接的一对液压缸；所述一对指爪为钳形，所述一对液压缸装在箱体内部；所述旋转机构包括转动主轴、主轴减速机和主轴电机；所述主轴电机通过主轴减速机与转动主轴的一端连接，转动主轴的另一端固定在箱体上；所述升降机构包括导轨、丝杠、升降支架、升降减速机和升降电机；所述导轨固定在底座上，所述升降支架套装在导轨上；所述升降电机通过升降减速机与丝杠的上端连接，所述丝杠的下端与升降支架连接；所述升降支架套在转动主轴上；所述移动机构包括两个定向轮和两个万向轮；所述两个定向轮安装在底座的底部前端，所述两个万向轮安装在底座的底部后端。

所述一对指爪上抓取晶棒的部位镶有塑条。

所述一个液压缸为双作用单杆油缸。

所述箱体上并且在指爪的一侧设置有滑槽，所述液压缸的活塞杆上固定有可在所述滑槽内滑动的调节板，调节板的一端与指爪的尾部铰接。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：本实用新型具有设计合理、性价比高、结构简单，使用方便、工作效率高、可靠性好的特点。

附图说明

图1是本实用新型的主视图；

图2是图1的俯视图；

图中，1、底座，2、指爪，3、液压缸，4、箱体，5、转动主轴，6、主轴减速机，7、主轴电机，8、导轨，9、丝杠，10、升降支架，11、升降减速机，12、升降电机，13、定向轮，14、万向轮，15、塑条，16、调节板，17、油箱，18、液压电磁阀，19、液压泵电机，20、液压油管，21、钢条，22、配重，23、控制箱，24、支撑杠。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

如图1、2所示的一种晶棒加工装卸专用机械手，其关键在于：包括底座1、抓取机构、旋转机构、升降机构和移动机构；所述抓取机构包括一对指爪2、与一对指爪2的尾端连接的一对液压缸3；所述一对指爪2为钳形，所述一对液压缸3装在箱体4的内部；所述旋转机构包括转动主轴5、主轴减速机6和主轴电机7；所述主轴电机7通过主轴减速机6与转动主轴5的一端连接，转动主轴5的另一端固定在箱体4上；所述升降机构包括导轨8、丝杠9、升降支架10、升降减速机11和升降电机12；所述导轨8固定在底座1上，所述升降支架10套装在导轨8上；所述升降电机12通过升降减速机11与丝杠9的上端连接，所述丝杠9的下端与升降支架10连接；所述升降支架10套在转动主轴5上；所述移动机构包括两个定向轮13和两个万向轮14；所述两个定向轮13安装在底座1的底部前端，所述两个万向轮14安装在底座1的底部后端。

所述一对指爪2上抓取晶棒的部位镶有多对塑条15。

所述一个液压缸3为双作用单杆油缸。

所述箱体4上并且在指爪2的一侧设置有滑槽，所述液压缸3的活塞杆上固定有可在所述滑槽内滑动的调节板16，调节板16的一端与指爪2的尾部铰接。所述底座1上还固定有油箱17、液压电磁阀18和液压泵电机19，通过液压油管20可驱动液压缸3，控制指爪2的开合，抓取晶棒。调节板16还做成位于箱体4内部的L形弯板形状，L形弯板的一个板面上固定有一个可以在滑槽内滑动的钢条21，钢条21的一端与指爪2的尾端铰接。

所述底座1上还设置有配重22，配重22安装在底座1与油箱17之间。

所述机械手还包括控制箱23；控制箱23安装在起固定作用的连接导轨8和底座1的倾斜的支撑杠24上，控制箱23的输出端分别接液压泵电机2、主轴电机7和升降电机9的输入端；控制箱23的表面上设置有多个控制机械手的抓取与放松、左右旋转、上升下降和前后移动的按钮。

Claims (4)

1.一种晶棒加工装卸专用机械手，其特征在于：包括底座（1）、抓取机构、旋转机构、升降机构和移动机构；所述抓取机构包括一对指爪（2）、与一对指爪（2）的尾端连接的一对液压缸（3）；所述一对指爪（2）为钳形，所述一对液压缸（3）装在箱体（4）内部；所述旋转机构包括转动主轴（5）、主轴减速机（6）和主轴电机（7）；所述主轴电机（7）通过主轴减速机（6）与转动主轴（5）的一端连接，转动主轴（5）的另一端固定在箱体（4）上；所述升降机构包括导轨（8）、丝杠（9）、升降支架（10）、升降减速机（11）和升降电机（12）；所述导轨（8）固定在底座（1）上，所述升降支架（10）套装在导轨（8）上；所述升降电机（12）通过升降减速机（11）与丝杠（9）的上端连接，所述丝杠（9）的下端与升降支架（10）连接；所述升降支架（10）套在转动主轴（5）上；所述移动机构包括两个定向轮（13）和两个万向轮（14）；所述两个定向轮（13）安装在底座（1）的底部前端，所述两个万向轮（14）安装在底座（1）的底部后端。

2.根据权利要求1所述的一种晶棒加工装卸专用机械手，其特征在于：所述一对指爪（2）上抓取晶棒的部位镶有塑条（15）。

3.根据权利要求1所述的一种晶棒加工装卸专用机械手，其特征在于：所述一个液压缸（3）为双作用单杆油缸。

4.根据权利要求1所述的一种晶棒加工装卸专用机械手，其特征在于：所述箱体（4）上且在指爪（2）的一侧设置有滑槽，所述液压缸（3）的活塞杆上固定有可在所述滑槽内滑动的调节板（16），调节板（16）的一端与指爪（2）的尾部铰接。

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