CN201574206U - 带有屏蔽板的电镀槽 - Google Patents

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陆金龙
钱国辉
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Abstract

本实用新型公开了一种带有屏蔽板的电镀槽，包括槽体，槽体内设置有平行的两个阳极网，其特征在于，所述的槽体内安装有屏蔽板，所述的屏蔽板位于平行的两个阳极网之间，所述的屏蔽板上开设有贯通孔。本实用新型中的带有屏蔽板的电镀槽，在电镀槽内增加屏蔽板，利用在屏蔽板上开设通孔来调节电镀液中的电力线分布，使电力线分布更均匀。可提高镀层厚度的精确度，减小厚度误差，提高电子元件的电镀合格率。而且本实用新型中的电镀槽，结构简单，成本低，使用方便。

Description

带有屏蔽板的电镀槽
技术领域
本实用新型涉及一种带有屏蔽板的电镀槽。
背景技术
半导体行业中，需要对电子元件进行表面电镀处理。集成电路中往往包含几十万甚至上百万个电子元件，因此，对电子元件的精度要求非常高。电子元件之间的连接是靠其表面的电镀层实现的，因此，对电子元件的电镀层的精度要求也很高。体积越小的电子元件，对镀层厚度要求越精确。
在电镀时，利用电镀液中的电流实现电镀。现有技术中，在电镀槽内放置两个平行设置的阳极网，阳极网一般采用钛篮。电子元件与阴极连接，放置于平行的两个阳极网之间。通电后，金属离子聚集在元件表面从而实现电镀。但现有技术中的电镀槽，电力线分布并不均匀，即电流的密度分布不均匀。电流密度大的地方，镀层厚；电流密度小的地方，镀层薄。电力线分布不均匀造成电子元件表面的镀层也不均匀，影响了电子元件的质量。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种可保证电力线分布均匀的带有屏蔽板的电镀槽。
为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案实现：
带有屏蔽板的电镀槽，包括槽体，槽体内设置有平行的两个阳极网，其特征在于，所述的槽体内安装有屏蔽板，所述的屏蔽板位于平行的两个阳极网之间，所述的屏蔽板上开设有贯通孔。
优选地是，所述的屏蔽板为两块，平行设置。
优选地是，所述槽体位置相对的两块槽壁内侧，分别设置有位置相对的夹槽，每块屏蔽板两端分别插入一个夹槽内。
优选地是，所述的贯通孔形状为规则的圆形、椭圆形或多边形中的一种或几种、或者为不规则形状。
优选地是，所述的贯通孔数目为两个以上。
本实用新型中的带有屏蔽板的电镀槽，在电镀槽内增加屏蔽板，利用在屏蔽板上开设通孔来调节电镀液中的电力线分布，使电力线分布更均匀。可提高镀层厚度的精确度，减小厚度误差，提高电子元件的电镀合格率。而且本实用新型中的电镀槽，结构简单，成本低，使用方便。
附图说明
图1为本实用新型俯视图；
图2为图1中的A-A剖视图；
图3为屏蔽板结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型进行详细的描述：
如图1和图2所示，带有屏蔽板的电镀槽，包括槽体1，槽体1为四块槽壁(11、12、13、14)与一个槽底15围成。
槽体1内设置有相互平行的两个钛篮2，分别靠近位置相对的两块槽壁(11、13)。使用时，钛篮2与电源电连接。
位置相对的两个槽壁(12、14)内侧分别设置有夹槽。槽壁12内侧设置有夹槽121和夹槽122。槽壁142内侧设置有夹槽141和夹槽142。
屏蔽板41两端分别插入夹槽121内和夹槽141内，夹槽121和夹槽141将屏蔽板41固定。屏蔽板42两端分别插入夹槽122内和夹槽142内，夹槽122和夹槽142将屏蔽板42固定。
如图3所示，屏蔽板41开设有圆形贯通孔43、矩形贯通孔45，椭圆形贯通孔46。贯通孔形状还可以是不规则形状。
贯通孔的数目和形状根据电镀液中的电流密度确定。首先测定屏蔽板上方各处的电流密度，如屏蔽板上方某处区域内电流密度小于其它区域或小于设定的标准值，则在该处开设贯通孔，贯通孔的形状与该区域相同，以减小屏蔽板对电子的阻碍，以使该区域的电流密度与其它区域或标准值相同。
本实用新型中的屏蔽板(41、42)采用绝缘的耐腐蚀材料如PVC材料制成。
使用时，使被电镀的工件作为阴极，放置于两块屏蔽板之间。屏蔽板可遮挡部分电力线，使电力线分布更均匀。
本实用新型中的实施例仅用于对本实用新型进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本实用新型保护范围内。

Claims (5)

1.带有屏蔽板的电镀槽，包括槽体，槽体内设置有平行的两个阳极网，其特征在于，所述的槽体内安装有屏蔽板，所述的屏蔽板位于平行的两个阳极网之间，所述的屏蔽板上开设有贯通孔。
2.根据权利要求1所述的带有屏蔽板的电镀槽，其特征在于，所述的屏蔽板为两块，平行设置。
3.根据权利要求2所述的带有屏蔽板的电镀槽，其特征在于，所述槽体位置相对的两块槽壁内侧，分别设置有位置相对的夹槽，每块屏蔽板两端分别插入一个夹槽内。
4.根据权利要求1所述的带有屏蔽板的电镀槽，其特征在于，所述的贯通孔形状为规则的圆形、椭圆形或多边形中的一种或几种、或者为不规则形状。
5.根据权利要求1或4所述的带有屏蔽板的电镀槽，其特征在于，所述的贯通孔数目为两个以上。
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