CN202509147U - 一种电镀槽 - Google Patents
一种电镀槽 Download PDFInfo
- Publication number
- CN202509147U CN202509147U CN2011205388706U CN201120538870U CN202509147U CN 202509147 U CN202509147 U CN 202509147U CN 2011205388706 U CN2011205388706 U CN 2011205388706U CN 201120538870 U CN201120538870 U CN 201120538870U CN 202509147 U CN202509147 U CN 202509147U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- electroplating
- cell body
- overflow
- bath
- transverse wall
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种电镀槽，包括槽体，槽体的底部连接有上液管，特点是槽体内设置有横隔板，横隔板上设置有多个孔栅，横隔板的上方搁置有阳极板，阳极板上连接有导线，槽体的两侧设置有溢流调节机构，溢流调节机构位于横隔板的上方；优点是通过孔栅的散布作用，将液流压力均匀化，使横隔板上部的电镀液压力基本一致，流速稳定，从而提高引线框架的电镀质量；而且由于槽体的两侧设置有溢流调节机构，通过调节挡板的高度，使高于挡板的电镀液溢流出去，从而获得精确的电镀区域，使需要电镀的部分浸入在电镀液中，避免挂钩和引线框架的边筋被电镀，减少了材料浪费，也节省了挂钩和边筋部分的后处理工艺，既节省了成本，又提高了效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种电镀槽。
背景技术
电子元件被广泛应用于集成电路等半导体技术中，而电子元件本体所在的功能区501和引脚502的体积往往较小，如图1所示。为了适应工业规模化生产的需要，通常将多个电子元件本体上的引脚502同时与边筋503连接，并在边筋503上开设通孔504，边筋503、电子元件本体所在的功能区501和引脚502合称为引线框架5，然后用挂钩穿过通孔504将多套需电镀的引线框架5成批进行电镀，当电镀封装完成后，边筋503需要切掉。而目前对引线框架5的电镀都是在电镀槽中完成，电镀时，为保证电镀效果，将挂钩和引线框架5全部都浸入到电镀槽内，由于边筋503部分和挂钩都是由导电材料制成，因此，在电镀过程中，边筋503和挂钩上也会电镀一层金属。而在实际使用时，边筋503部分需要切除，这样，对边筋503部分和挂钩进行电镀就造成了电镀材料的浪费，增加了材料成本，而且对边筋503部分电镀后的处理也成为了棘手问题，若直接丢弃将会造成环境污染，如果进行处理，则需要相应的工艺，增加了处理环节，也再次增加成本；而被电镀的挂钩如要循环使用，也需要对挂钩进行褪镀处理，除去其表面镀上的金属材料，使得整个工艺时间延长，效率降低。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是一种容易控制电镀区域，以避免挂钩和引线框架的边筋被电镀的电镀槽。
本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种电镀槽，包括槽体，所述的槽体的底部连接有上液管，所述的槽体内设置有横隔板，所述的横隔板上设置有多个孔栅，所述的横隔板的上方搁置有阳极板，所述的阳极板上连接有导线，所述的槽体的两侧设置有溢流调节机构，所述的溢流调节机构位于所述的横隔板的上方。
所述的溢流调节机构包括挡板，所述的槽体上设置有溢流开槽，所述的溢流开槽的两侧设置有调节长孔，所述的挡板上连接有固定螺栓，所述的固定螺栓穿过所述的调节长孔与所述的槽体固定连接。
所述的溢流开槽上套有软胶套，当在对引线框架进行电镀时，可防止引线框架被溢流开槽刮伤。
所述的孔栅均匀分布在所述的横隔板上。
所述的阳极板为金属网板，使位于阴阳极的狭小空间内的电镀液能充分对流、扩散，新鲜电镀液能保证不断补充更换，避免了浓差极化，也避免了电镀过程中的边缘效应和尖端放电的弊端。
与现有技术相比，本实用新型的优点是由于槽体内设置有横隔板，且横隔板上设置有多个孔栅，通过孔栅的散布作用，将液流压力均匀化，使横隔板上部的电镀液压力基本一致，流速稳定，从而提高引线框架的电镀质量；而且由于槽体的两侧设置有溢流调节机构，通过调节挡板的高度，使高于挡板的电镀液溢流出去，从而获得精确的电镀区域，使需要电镀的部分浸入在电镀液中，避免挂钩和引线框架的边筋被电镀，减少了材料浪费，也节省了挂钩和边筋部分的后处理工艺，既节省了成本，又提高了效率。
附图说明
图1为引线框架的结构示意图；
图2为本实用新型的阳极板的结构示意图；
图3为本实用新型的电镀槽的正面剖视图；
图4为图3的侧视图；
图5为图4中A处的放大示意图；
图6为图3的俯视图。
具体实施方式
以下结合附图实施例对本实用新型作进一步详细描述。
如图所示，一种电镀槽，包括槽体1，槽体1的底部连接有上液管2，槽体1内设置有横隔板3，横隔板3上设置有多个均匀分布的孔栅31，横隔板3的上方搁置有作为阳极板的金属网板4，金属网板4上连接有导线41，槽体1的两侧设置有溢流调节机构，溢流调节机构位于横隔板3的上方，溢流调节机构包括挡板6，槽体1上设置有溢流开槽11，溢流开槽11上套有软胶套12，溢流开槽11的两侧设置有调节长孔7，挡板6上连接有固定螺栓8，固定螺栓8穿过调节长孔7与槽体1固定连接。
Claims (5)
1.一种电镀槽，包括槽体，所述的槽体的底部连接有上液管，其特征在于所述的槽体内设置有横隔板，所述的横隔板上设置有多个孔栅，所述的横隔板的上方搁置有阳极板，所述的阳极板上连接有导线，所述的槽体的两侧设置有溢流调节机构，所述的溢流调节机构位于所述的横隔板的上方。
2.如权利要求1所述的一种电镀槽，其特征在于所述的溢流调节机构包括挡板，所述的槽体上设置有溢流开槽，所述的溢流开槽的两侧设置有调节长孔，所述的挡板上连接有固定螺栓，所述的固定螺栓穿过所述的调节长孔与所述的槽体固定连接。
3.如权利要求2所述的一种电镀槽，其特征在于所述的溢流开槽上套有软胶套。
4.如权利要求1所述的一种电镀槽，其特征在于所述的孔栅均匀分布在所述的横隔板上。
5.如权利要求1所述的一种电镀槽，其特征在于所述的阳极板为金属网板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011205388706U CN202509147U (zh) | 2011-12-21 | 2011-12-21 | 一种电镀槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011205388706U CN202509147U (zh) | 2011-12-21 | 2011-12-21 | 一种电镀槽 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202509147U true CN202509147U (zh) | 2012-10-31 |
Family
ID=47061644
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2011205388706U Expired - Fee Related CN202509147U (zh) | 2011-12-21 | 2011-12-21 | 一种电镀槽 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202509147U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103469289A (zh) * | 2013-09-27 | 2013-12-25 | 铜陵丰山三佳微电子有限公司 | 集成电路引线框架片式电镀夹具 |
| CN109518245A (zh) * | 2018-12-27 | 2019-03-26 | 中国电子科技集团公司第二研究所 | 可削弱镀层边缘效应的晶圆镀铜工艺槽 |
| CN110344100A (zh) * | 2019-07-23 | 2019-10-18 | 江苏欧姆圣智能装备股份有限公司 | 镀槽溢流装置 |
-
2011
- 2011-12-21 CN CN2011205388706U patent/CN202509147U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103469289A (zh) * | 2013-09-27 | 2013-12-25 | 铜陵丰山三佳微电子有限公司 | 集成电路引线框架片式电镀夹具 |
| CN109518245A (zh) * | 2018-12-27 | 2019-03-26 | 中国电子科技集团公司第二研究所 | 可削弱镀层边缘效应的晶圆镀铜工艺槽 |
| CN110344100A (zh) * | 2019-07-23 | 2019-10-18 | 江苏欧姆圣智能装备股份有限公司 | 镀槽溢流装置 |
| CN110344100B (zh) * | 2019-07-23 | 2024-05-28 | 江苏欧姆圣智能装备股份有限公司 | 镀槽溢流装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105088323B (zh) | 板式电镀挂具 | |
| CN202499923U (zh) | 电镀槽铜球自动添加装置 | |
| CN106167913B (zh) | 电镀槽装置 | |
| CN104005077A (zh) | 优化温度场分布的电镀装置及其电镀方法 | |
| CN104862767A (zh) | 镀铜槽 | |
| CN202509147U (zh) | 一种电镀槽 | |
| CN201924097U (zh) | 电镀装置 | |
| CN101550574B (zh) | 选择性电镀装置 | |
| CN101760770B (zh) | 硅太阳能电池片电极电镀设备 | |
| CN107090589B (zh) | Pcb电镀装置及电镀厚度控制方法 | |
| CN109023458B (zh) | 一种pcb电路板的电镀装置和方法 | |
| CN217895775U (zh) | 一种连续电镀的区域遮蔽式浸镀装置 | |
| CN202786489U (zh) | 电镀锡液除铅装置 | |
| CN203007456U (zh) | 不溶性阳极电镀铜锡镀槽 | |
| CN200985363Y (zh) | 电镀液容器 | |
| CN205616970U (zh) | 一种管件的电镀装置 | |
| CN201116312Y (zh) | 预镀铜导电极保护装置 | |
| CN201713591U (zh) | 硅太阳能电池片电极电镀设备 | |
| CN111058080B (zh) | 一种用于pcb水平电镀的双层钛网阳极 | |
| CN211689284U (zh) | 一种用于pcb水平电镀的双层钛网阳极 | |
| CN202323064U (zh) | 一种去除镀铬溶液中金属杂质的设备 | |
| CN201439545U (zh) | 局部电镀装置 | |
| CN101220499B (zh) | 预镀铜导电极保护装置 | |
| CN206157243U (zh) | 一种匀速直线往复搅拌装置 | |
| CN201424515Y (zh) | 选择性电镀工艺槽装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20121031 Termination date: 20151221 |
|
| EXPY | Termination of patent right or utility model |