CN201567379U - 带有屏蔽装置的电镀槽 - Google Patents

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王振荣
吕海波
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Shanghai Xinyang Semiconductor Material Co Ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种带有屏蔽装置的电镀槽，包括槽体，槽体内设置有阳极网，阳极网与引出电极电连接，其特征在于，所述的槽体内安装有屏蔽板，所述的屏蔽板位于阳极网上方，所述的屏蔽板上开设有贯通孔。本实用新型中的带有屏蔽装置的电镀槽，在电镀槽内增加屏蔽板，利用在屏蔽板上开设通孔来调节电镀液中的电流密度。可提高电镀的质量，提高电子元件的电镀合格率。而且本实用新型中的电镀槽，结构简单，成本低，使用方便。

Description

带有屏蔽装置的电镀槽
技术领域
本实用新型涉及一种带有屏蔽装置的电镀槽。
背景技术
半导体行业中，需要对电子元件进行表面电镀处理。集成电路中往往包含几十万甚至上百万个电子元件，因此，对电子元件的精度要求非常高。电子元件之间的连接是靠其表面的电镀层实现的，因此，对电子元件的电镀层的纯度要求也很高。
在电镀时，利用电镀液中的电流实现电镀。在电镀槽内放置一个阳极网，电子元件作为阴极，通电后，金属离子聚集在元件表面从而实现电镀。但现有技术中，电流分布并不均匀，因此而造成电子元件表面的镀层也不均匀，影响了电子元件的质量。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种可保证电流分别均匀的带有屏蔽装置的电镀槽。
为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案实现：
带有屏蔽装置的电镀槽，包括槽体，槽体内设置有阳极网，阳极网与引出电极电连接，其特征在于，所述的槽体内安装有屏蔽板，所述的屏蔽板位于阳极网上方，所述的屏蔽板上开设有贯通孔。
其中，所述的贯通孔形状为规则的圆形、椭圆形或多边形中的一种或几种、或者为不规则形状。
其中，所述的贯通孔数目为两个以上。
其中，所述的屏蔽板活动安装在槽体内。
其中，槽体内安装有两个基座，基座上开设内螺纹孔，屏蔽板两端分别设置一个U形通孔，螺栓的螺杆插入所述U形通孔内，螺栓的螺杆上设置有限位片，屏蔽板夹于螺栓的螺帽和限位片之间，螺杆拧入内螺纹孔内。
其中，所述的槽体内安装有搅拌管，搅拌管的管壁上开设多个通孔，搅拌管通过管座固定安装于槽体内。
本实用新型中的带有屏蔽装置的电镀槽，在电镀槽内增加屏蔽板，利用在屏蔽板上开设通孔来调节电镀液中的电流密度。可提高电镀的质量，提高电子元件的电镀合格率。而且本实用新型中的电镀槽，结构简单，成本低，使用方便
附图说明
图1为本实用新型俯视图；
图2为图1中的B-B剖视图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型进行详细的描述：
如图1和图2所示，带有屏蔽装置的电镀槽，包括槽体1，槽体1内设置有阳极网2，阳极网2与引出电极3通过导电螺栓21电连接，阳极网2位于槽体1内的底部。
槽体1内安装有屏蔽板4，屏蔽板4两端分别设置一个U形通孔47，屏蔽板4上开设有矩形贯通孔45，椭圆形贯通孔46。贯通孔形状还可以是不规则形状。
贯通孔的数目和形状根据电镀液中的电流密度确定。首先测定屏蔽板上方各处的电流密度，如屏蔽板上方某处区域内电流密度小于其它区域或小于设定的标准值，则在该处开设贯通孔，贯通孔的形状与该区域相同，以减小屏蔽板对电子的阻碍，以使该区域的电流密度与其它区域或标准值相同。
槽体1内安装有两个基座44，基座44上开设内螺纹孔(图中未示出)，螺栓的螺杆43穿过所述U形通孔47，螺栓的螺杆43上设置有限位片42，屏蔽板2夹于螺栓的螺帽41和限位片42之间，螺杆43拧入内螺纹孔内。
将屏蔽板4夹在螺帽41和限位片42之间，随着螺杆43在内螺纹孔内拧入或拧出时，可将屏蔽板4向上或向下移动。屏蔽板4的上下移动，也可以调节屏蔽板4上方的电流密度。
屏蔽板4位于阳极网2上方，也就是屏蔽板位于阳极网与待镀电子元件之间。
本实用新型中的屏蔽板4采用绝缘的耐腐蚀材料制成。
槽体1内安装有搅拌管5，搅拌管5的管壁上开设多个通孔52，搅拌管5穿过管座51，管座51固定安装于槽体1内。
可使用输送泵向搅拌管5内注入电镀液，电镀液从通孔52内流入槽体1内，以引起槽体1内的电镀液流动，实现搅拌目的。
本实用新型中的实施例仅用于对本实用新型进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本实用新型保护范围内。

Claims (6)

1.带有屏蔽装置的电镀槽，包括槽体，槽体内设置有阳极网，阳极网与引出电极电连接，其特征在于，所述的槽体内安装有屏蔽板，所述的屏蔽板位于阳极网上方，所述的屏蔽板上开设有贯通孔。
2.根据权利要求1所述的带有屏蔽装置的电镀槽，其特征在于，所述的贯通孔形状为规则的圆形、椭圆形或多边形中的一种或几种、或者为不规则形状。
3.根据权利要求1或2所述的带有屏蔽装置的电镀槽，其特征在于，所述的贯通孔数目为两个以上。
4.根据权利要求1所述的带有屏蔽装置的电镀槽，其特征在于，所述的屏蔽板活动安装在槽体内。
5.根据权利要求1所述的带有屏蔽装置的电镀槽，其特征在于，槽体内安装有两个基座，基座上开设内螺纹孔，屏蔽板两端分别设置一个U形通孔，螺栓的螺杆插入所述U形通孔内，螺栓的螺杆上设置有限位片，屏蔽板夹于螺栓的螺帽和限位片之间，螺杆拧入内螺纹孔内。
6.根据权利要求1所述的带有屏蔽装置的电镀槽，其特征在于，所述的槽体内安装有搅拌管，搅拌管的管壁上开设多个通孔，搅拌管通过管座固定安装于槽体内。
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