CN201102246Y - 传送手臂 - Google Patents

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CN201102246Y
CN201102246Y CNU2007200159422U CN200720015942U CN201102246Y CN 201102246 Y CN201102246 Y CN 201102246Y CN U2007200159422 U CNU2007200159422 U CN U2007200159422U CN 200720015942 U CN200720015942 U CN 200720015942U CN 201102246 Y CN201102246 Y CN 201102246Y
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Inventor
王绍勇
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Shenyang Xinyuan Microelectronics Equipment Co Ltd
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Shenyang Xinyuan Microelectronics Equipment Co Ltd
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Abstract

本实用新型涉及半导体设备上用于传送、运载晶片的手臂装置，尤其能安全传送运载带有翘曲变型的晶片的机械传送手臂，在传送手臂本体上设有吸盘，在传送手臂本体内部设有与吸盘相通的真空通道。本实用新型可以解决现有机器人上的传送手臂不能传送有翘曲变型的晶片等问题，这种手臂不仅可以传送标准的晶圆，也可以紧紧的吸附住带有翘曲变型的晶片，使之在传送过程中不会发生偏移和掉片。

Description

传送手臂
所属技术领域
本实用新型涉及半导体设备上用于传送、运载晶片的手臂装置，尤其能安全传送运载带有翘曲变型的晶片的机械传送手臂。
背景技术
目前，半导体设备的传送机器人上安装的传送手臂有用真空吸附式的，但制品在制作过程中有时会发生翘曲，翘曲有时为上，有时向下，不固定。这时，普通的传送手臂在传送过程中，由于制品的翘曲，手臂不能完全吸住制品，制品会造成位置偏移造成不良品，甚至会发生掉片，造成不必要的损失。
实用新型内容
为了克服现有机器人上的传送手臂不能传送有翘曲变型的晶片的不足，本实用新型提供一种新型的传送手臂，这种手臂不仅可以传送标准的晶圆，也可以紧紧的吸附住带有翘曲变型的晶片，使之在传送过程中不会发生偏移和掉片。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种传送手臂，在传送手臂本体上设有吸盘，在传送手臂本体内部设有与吸盘相通的真空通道。
所述传送手臂本体为双叉形结构。
所述吸盘在传送手臂本体上均布，与其传送的晶片相对应。
本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型在手臂与晶片真空吸附处安装柔软的微型吸盘，吸盘的最上表面要保持在一个平面上，且与手臂的基面保持平行。
2、无论机器人传送的晶片是不是有翘曲变型，本实用新型都可以安全装载传送，不掉片，结构简单。
附图说明
图1是本实用新型结构示意图。
图中，1、传送手臂本体；2、真空通道；3、吸盘。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
如图1所示，本实用新型传送手臂，在传送手臂本体1上设有吸盘3，在传送手臂本体1内部设有与吸盘3相通的真空通道2，传送手臂本体1为双叉形结构，吸盘3在传送手臂本体1上均布，与所传送的晶片相对应。本实用新型吸盘的材料可以为硅橡胶。
当为没有变形的标准晶片装载传送时，晶片底面和吸盘3完全吸附上，和普通传送手臂相同；当带有翘曲变型的晶片装载时，由于重力的作用，吸盘3会随着晶片翘曲变型的方向发生变型，使吸盘的上圈完全和变型的晶片重合。当真空通过传送手臂内部的真空通道2开启后，由于变型的吸盘3和变型晶片完全封闭形成负压就会和传送手臂本体1牢牢吸附在一起，即使在急速运行中也不会掉下，当运行到指定位置后，真空阀关闭，卸载晶片。

Claims (3)

1、一种传送手臂，其特征在于：在传送手臂本体上设有吸盘，在传送手臂本体内部设有与吸盘相通的真空通道。
2、按照权利要求1所述的传送手臂，其特征在于：传送手臂本体为双叉形结构。
3、按照权利要求1所述的传送手臂，其特征在于：吸盘在传送手臂本体上均布，与其传送的晶片相对应。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105113318A (zh) * 2015-08-28 2015-12-02 重庆三好纸业有限公司 宣纸晾晒装置
CN105374721A (zh) * 2014-08-14 2016-03-02 株式会社迪思科 搬运装置
CN105556654A (zh) * 2013-09-26 2016-05-04 应用材料公司 用于传送基板的气动终端受动器装置、基板传送系统与方法
CN111267131A (zh) * 2020-02-26 2020-06-12 恒新增材制造研究中心(佛山)有限公司 一种用于柔性生产的气动柔性夹具

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