CN1977174A - 夹具特性测定装置、方法、程序、记录介质以及网络分析器、半导体试验装置 - Google Patents

夹具特性测定装置、方法、程序、记录介质以及网络分析器、半导体试验装置 Download PDF

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Abstract

本发明涉及在运算测量被测定物的电路参数时使用的夹具的特性的测定。一种用于测定具有连接DUT2和网络分析器1的信号线3a、3b、3c、3d的夹具3的夹具特性(亦即信号线3a、3b、3c、3d的反射特性、传输S参数等)的夹具特性测定装置，在DUT2不连接在信号线3a、3b、3c、3d上的开路状态下，测定信号线3a、3b、3c、3d的反射系数，在信号线3a、3b、3c、3d全部接地的短路状态下，测定信号线3a、3b、3c、3d的反射系数，根据这些测定结果，导出夹具3的夹具特性。

Description

夹具特性测定装置、方法、程序、记录介质以及网络分析器、半导体试验装置
技术领域
本发明涉及在运算测量被测定物的电路参数时所使用的夹具的特性的测定。
背景技术
传统上，都要进行被测定物(DUT：Device Under Test)的电路参数(例如S参数)的测定(例如参照专利文献1(特开平11-38054号公报))。
具体说，从信号源通过DUT向接收部发送信号。该信号由接收部接收。通过测定由接收部接收的信号，就能够取得DUT的S参数或频率特性。
此时，由于信号源等测定系统和DUT的不匹配等在测定中产生测定系统误差。该测定系统误差，例如有Ed：由桥的方向性引起的误差，Er：由频率跟踪引起的误差，Es：由源匹配引起的误差。
在这种场合，例如可以如专利文献1中记载的那样修正误差。这样的修正称为校准。现对于校准加以概述。把信号源连接到校正工具上，实现开路、短路、加载(标准负荷Z0)三种状态。通过桥取得此时从校正工具反射的信号，求与三种状态对应的三种S参数。从三种S参数求三种变量Ed、Er、Es。
另外，也可以在夹具上固定DUT，通过夹具把DUT连接到测定系统(例如网络分析器)上来进行。在这一场合，可以如上述那样来修正测定系统(例如网络分析器)中的误差。另外，在夹具的传送线路特性良好的场合，从测定系统给予夹具的信号，由夹具仅引起相位变化。因此，可以与夹具的传送线路的长度相吻合地校正相位。
但是，在把高频信号给予DUT的场合，传送线路特性良好的夹具的制造困难。因此，从测定系统给予夹具的信号，通过夹具产生损失。在这一场合，如仅进行相位的校正，则测定精度恶化。因此，理想的是测定夹具的特性，更正确地进行校正。
因此，本发明的课题是测定在运算测量被测定物的电路参数时使用的夹具的特性。
发明内容
本发明的夹具特性测定装置，是用于测定夹具的夹具特性，所述夹具具有连接被测定物和用于测定被测定物的特性的测定装置的信号线，所述夹具特性测定装置，被构成为：具有：在被测定物不连接在信号线的开路状态下、测定信号线的反射系数的第一反射系数测定单元；在信号线全部接地的短路状态下，测定信号线的反射系数的第二反射系数测定单元；根据第一反射系数测定单元的测定结果和第二反射系数测定单元的测定结果导出夹具特性的夹具特性导出单元。
根据如上述构成的夹具特性测定装置，可以提供用于测定夹具的夹具特性的夹具特性测定装置，所述夹具具有用于连接被测定物和用于测定被测定物的特性的测定装置的信号线。
第一反射系数测定单元，在被测定物未被连接在信号线上的状态下，测定信号线的反射系数。第二反射系数测定单元，在信号线全部接地的短路状态下测定信号线的反射系数。夹具特性导出单元，根据第一反射系数测定单元的测定结果和第二反射系数测定单元的测定结果导出夹具特性。
另外，在本发明的夹具特性测定装置中，夹具也可以具有在表面配置被测定物以及信号线、而在背面配置接地电位部的基板，和在表面开口、而连接接地电位部的通孔。
另外，在本发明的夹具特性测定装置中，开路状态，也可以是未将被测定物配置在夹具上的状态。
另外，在本发明的夹具特性测定装置中，短路状态，也可以是在表面上配置信号线以及在通孔上连接的金属化部的状态。
另外，在本发明的夹具特性测定装置中，夹具特性导出单元，也可以把第一反射系数测定单元的测定结果和第二反射系数测定单元的测定结果的乘积的绝对值的平方根作为夹具特性。
另外，在本发明的夹具特性测定装置中，夹具特性导出单元，也可以把第一反射系数测定单元的测定结果和第二反射系数测定单元的测定结果的乘积的绝对值的四次方根作为夹具特性。
另外，本发明，也可以是具有上述那样的夹具特性测定装置的、根据通过夹具特性测定装置导出的夹具特性校正被测定物的测定结果的网络分析器。
另外，本发明，也可以是具有上述那样的夹具特性测定装置的、根据通过夹具特性测定装置导出的夹具特性校正被测定物的测定结果的半导体试验装置。
本发明的夹具特性测定方法，是用于测定夹具的夹具特性的夹具特性测定方法，所述夹具具有连接被测定物和用于测定被测定物的特性的测定装置的信号线，所述夹具特性测定方法被构成为，具有：在被测定物不连接在信号线的开路状态下，测定信号线的反射系数的第一反射系数测定步骤；在信号线全部接地的短路状态下，测定信号线的反射系数的第二反射系数测定步骤；根据第一反射系数测定步骤的测定结果和第二反射系数测定步骤的测定结果，导出夹具特性的夹具特性导出步骤。
本发明的程序，是使计算机执行用于测定夹具的夹具特性的夹具特性测定处理的程序，所述夹具具有连接被测定物和用于测定被测定物的特性的测定装置的信号线，所述程序是使计算机执行下述处理的程序：在被测定物不连接在信号线的开路状态下，测定信号线的反射系数的第一反射系数测定处理；在信号线全部接地的短路状态下，测定信号线的反射系数的第二反射系数测定处理；根据第一反射系数测定处理的测定结果和第二反射系数测定处理的测定结果导出夹具特性的夹具特性导出处理。
本发明的记录介质，是记录使计算机执行用于测定夹具的夹具特性的夹具特性测定处理的程序的计算机可读记录介质，所述夹具具有连接被测定物和用于测定被测定物的特性的测定装置的信号线，所述存储介质是记录使计算机执行下述处理的程序的计算机可读记录介质：在被测定物不连接在信号线的开路状态下，测定信号线的反射系数的第一反射系数测定处理；在信号线全部接地的短路状态下，测定信号线的反射系数的第二反射系数测定处理；根据第一反射系数测定处理的测定结果和第二反射系数测定处理的测定结果导出夹具特性的夹具特性导出处理。
附图说明
图1是表示通过具有涉及本发明的实施形态的夹具特性测定装置的网络分析器1测定固定在夹具3上的DUT2的特性时网络分析器1和DUT2的连接关系的图。
图2是夹具3的平面图(图2(a))、截面图(图2(b))。
图3是表示开路状态的夹具3的平面图。
图4是表示短路状态的夹具3的平面图(图4(a))、截面图(图4(b))。
图5是表示网络分析器1的结构的框图。
图6是表示夹具特性测定装置60的结构的框图。
图7是表示信号线3a的反射特性的真值以及信号线3a的反射系数SAAopen、SAAshort的关系的图。
图8是信号线3a的信号流图。
图9是表示本发明的实施形态的动作的流程图。
具体实施方式
下面参照附图说明本发明的实施形态。
图1是表示通过具有涉及本发明的实施形态的夹具特性测定装置的网络分析器1测定固定在夹具3上的DUT2的特性时网络分析器1和DUT2的连接关系的图。网络分析器1是用于测定DUT2的特性的测定装置。
DUT2是被测定物(device Under Test)。DUT2安装在夹具3的表面。在夹具3的表面上，配置信号线3a、3b、3c、3d，与DUT2连接。网络分析器1具有端口A、B、C、D。端口A、B、C、D是用于收发信号的端口。端口A连接电缆6a。端口B连接电缆6b。端口C连接电缆6c。端口D连接电缆6d。电缆6a通过接线器8a连接信号线3a。电缆6b通过接线器8b连接信号线3b。电缆6c通过接线器8c连接信号线3c。电缆6d通过接线器8d连接信号线3d。这样，信号线3a、3b、3c、3d与DUT2和网络分析器1连接。
图2是夹具3的平面图(图2(a))、截面图(图2(b))。此外，在图2(a)中，虚线表示应该配置DUT2的位置。夹具3具有基板32以及通孔3H。
在夹具3的基板32的表面32a(参照图2(b))上，配置DUT2以及信号线3a、3b、3e、3d，开口通孔3H(参照图2(a))。把信号线3a的接线器8a侧的端部称为1，把DUT2侧的端部称为2。把信号线3b的接线器8b侧的端部称为3，把DUT2侧的端部称为4。把信号线3c的接线器8c侧的端部称为5，把DUT2侧的端部称为6。把信号线3d的接线器8d侧的端部称为7，把DUT2侧的端部称为8。DUT2具有与端部2、4、6、8对应的4个端口。通孔3H，参照图2(b)，在基板32的表面32a上开口，贯通基板32，与在基板32的背面32b上配置的接地电位部3G连接。接地电位部3G相当于所谓的GND，保持接地时的电位。
返回图1，网络分析器1从端口A、B、C、D的任何一个(例如端口A)输出测定用信号。测定用信号通过电缆6a，经由接线器8a，给予信号线3a。进而，测定用信号通过信号线3a给予DUT2。DUT2接收测定用信号，输出应答信号。应答信号通过信号线3a、3b、3c、3d的任何一条(例如信号线3b)输出。进而，应答信号经由接线器8b，通过电缆6b给予端口B。给予端口B的应答信号，通过网络分析器1测定。这样，通过网络分析器1测定DUT2的特性。
这里，在通过网络分析器1测定从DUT2给予的信号的数据中，包含(1)由于网络分析器1以及电缆6a、6b、6c、6d产生的误差(称为“测定位置误差”)、(2)由信号线3a、3b、3c、3d产生的误差(称为“夹具特性”)。这里，测定位置误差，可以根据现有周知的校正方法进行测定。在本实施形态中，其特征是如何测定夹具特性。
为测定夹具特性，需要在夹具3中实现开路状态(参照图3)以及短路状态(参照图4)、测定各状态下的信号线3a、3b、3c、3d的反射系数。
图3是表示开路状态的夹具3的平面图。开路状态是不在信号线3a、3b、3c、3d连接DUT2的状态。亦即信号线3a的DUT2侧的端部2、信号线3b的DUT2侧的端部4、信号线3c的DUT2侧的端部6、信号线3d的DUT2侧的端部8任何一个都处于不连接的状态。开路状态，因为是在夹具3的基板32的表面32a上不配置DUT2的状态，所以例如如果把DUT2从夹具3中取出则可以实现。
图4是表示短路状态的夹具3的平面图(图4(a))、截面图(图4(b))。短路状态是信号线3a、3b、3c、3d全部接地的状态。参照图4(a)，金属化部3S是和DUT2相同大小(面积)的金属板。金属化部3S在表面32a上配置，与信号线3a、3b、3c、3d连接。而且，金属化部3S覆盖通孔3H，连接通孔3H(参照图4(b))。因为通孔3H连接接地电位部3G，所以金属化部3S接地。信号线3a、3b、3c、3d全部接地。
图5是表示网络分析器1的结构的框图。不过图中省略了夹具特性测定装置。网络分析器1，在省略了图示的夹具特性测定装置之外，具有信号输出部12、桥13、开关14、内部混合器16、接收器(Rch)18、桥23、内部混合器26、接收器(Ach)28、桥33、内部混合器36、接收器(Bch)38、桥123、内部混合器126、接收器(Dch)128、桥133、内部混合器136、接收器(Cch)138。
信号输出部12输出测定用信号。桥13把从信号输出部12输出的测定用信号供给内部混合器16以及开关14。开关14具有端子14a、14b、14c、14d、14e。端子14e连接桥13，从桥13接收信号。端子14e连接端子14a、14b、14c、14d中的某一个。内部混合器16把从桥给予的测定用信号与内部本地信号混合后输出。接收器(Rch)18测定内部混合器16输出的信号。例如测定信号的功率。
桥23连接端子14a，朝向端口A输出从信号输出部12经由桥13以及开关14给予的测定用信号。进而，经由端口A接收反射回来的测定用信号以及从DUT2输出的应答信号，供给内部混合器26。内部混合器26，在把从桥23给予的信号和内部本地信号混合后输出。接收器(Ach)28测定内部混合器26输出的信号。例如测定信号的功率。
桥33连接端子14b，朝向端口B输出从信号输出部12经由桥13以及开关14给予的测定用信号。进而，经由端口B接收反射回来的测定用信号以及从DUT2输出的应答信号，供给内部混合器36。内部混合器36，在把从桥33给予的信号和内部本地信号混合后输出。接收器(Bch)38测定内部混合器36输出的信号。例如测定信号的功率。
桥133连接端子14c，朝向端口C输出从信号输出部12经由桥13以及开关14给予的测定用信号。进而，经由端口C接收反射回来的测定用信号以及从DUT2输出的应答信号，供给内部混合器136。内部混合器136，在把从桥133给予的信号和内部本地信号混合后输出。接收器(Cch)138测定内部混合器136输出的信号。例如测定信号的功率。
桥123连接端子14d，朝向端口D输出从信号输出部12经由桥13以及开关14给予的测定用信号。进而，经由端口D接收反射回来的测定用信号以及从DUT2输出的应答信号，供给内部混合器126。内部混合器126，在把从桥123给予的信号和内部本地信号混合后输出。接收器(Dch)128测定内部混合器126输出的信号。例如测定信号的功率。
接收器(Rch)18、接收器(Ach)28、接收器(Bch)38、接收器(Cch)138以及接收器(Dch)128的测定结果，向省略了图示的夹具特性测定装置发送。
图6是表示夹具特性测定装置60的结构的框图。夹具特性测定装置60，具有第一反射系数测定部42a、44a、46a、48a、第二反射系数测定部42b、44b、46b、48b、夹具特性导出部50a、50b、50c、50d。
第一反射系数测定部42a，在开路状态(参照图3)下，接收接收器(Rch)18以及接收器(Ach)28的测定结果，根据这些测定结果，求信号线3a的反射系数(SAAopen)。
第二反射系数测定部42b，在短路状态(参照图4)下，接收接收器(Rch)18以及接收器(Ach)28的测定结果，根据这些测定结果，求信号线3a的反射系数(SAAshort)。
夹具特性导出部50a，接收信号线3a的反射系数SAAopen以及SAAshort，根据这些，导出信号线3a的特性(夹具特性)。信号线3a的特性(夹具特性)，在不连接DUT2时，入射信号线3a的接线器8a侧的端部1的信号，是通过DUT2侧的端部2在端部1上反射的比例(反射特性)。
图7是表示信号线3a的反射特性的真值以及信号线3a的反射系数SAAopen、SAAshort的关系的图。在把低频信号给予信号线3a时，通过反射引起的损失几乎没有。因此，因为给予信号线3a的信号的功率与通过信号线3a反射的信号的功率几乎相等，反射特性几乎成为0[dB]。但是，当把高频信号给予信号线3a时，通过反射的损失变大。于是，与给予信号线3a的信号的功率相比，通过信号线3a反射的信号的功率变小。因此，随着频率升高，反射特性变得比0[dB]更小。亦即随着频率升高，反射特性的真值降低。
这里，信号线3a的反射系数SAAopen以及SAAshort，一边重复变得比反射特性的真值大或小，一边随频率升高而降低。SAAopen的相位，成为与SAAshort的相位反转的相位。于是有，信号线3a的特性(反射特性)＝(SAAopen×(-SAAshort))1/2(亦即(SAAopen×(-SAAshort))的平方根)。此外，在SAAshort上乘以负号，是因为通过相位反转，把成为和SAAopen异符号改成同符号。于是，SAAopen×(-SAAshort)是SAAopen×SAAshort的绝对值。
图8是信号线3a的信号流图。假定信号线3a的反射S参数是理想的、亦即S11＝S22＝0。另外，假定信号线3a的传输S参数S21以及S12相等。作为信号线3a的特性(夹具特性)，夹具特性导出部也可以导出这样假定时的信号线3a的传输S参数S21以及S12。因为S21×S12＝信号线3a的特性(反射特性)，所以有S21＝S12＝信号线3a的特性(反射特性)1/2＝(SAAopen×(-SAAshort)1/4(亦即(SAAopen×(-SAAshort))的四次方根)。
此外，夹具特性导出部50a，也可以导出信号线3a的特性(反射特性)，进而根据信号线3a的特性(反射特性)导出信号线3a的传输S参数S21以及S12。
同样，第一反射系数测定部44a，在开路状态(参照图3)下，接收接收器(Rch)18以及接收器(Bch)38的测定结果，根据这些测定结果，求信号线3b的反射系数(SBBopen)。第二反射系数测定部44b，在短路状态(参照图4)下，接收接收器(Rch)18以及接收器(Bch)38的测定结果，根据这些测定结果，求信号线3b的反射系数(SBBshort)。夹具特性导出部50b，接收信号线3b的反射系数SBBopen以及SBBshort，根据这些，导出信号线3b的特性(夹具特性)。信号线3b的特性(夹具特性)，是信号线3b的反射特性以及信号线3b的传输S参数S43、S34的某一个之上。
同样，第一反射系数测定部46a，在开路状态(参照图3)下，接收接收器(Rch)18以及接收器(Cch)138的测定结果，根据这些测定结果，求信号线3c的反射系数(SCCopen)。第二反射系数测定部46b，在短路状态(参照图4)下，接收接收器(Rch)18以及接收器(Cch)138的测定结果，根据这些测定结果，求信号线3c的反射系数(SCCshort)。夹具特性导出部50c，接收信号线3c的反射系数SCCopen以及SCCshort，根据这些，导出信号线3c的特性(夹具特性)。信号线3c的特性(夹具特性)，是信号线3c的反射特性以及信号线3c的传输S参数S65、S56的某一个之上。
同样，第一反射系数测定部48a，在开路状态(参照图3)下，接收接收器(Rch)18以及接收器(Dch)128的测定结果，根据这些测定结果，求信号线3d的反射系数(SDDopen)。第二反射系数测定部48b，在短路状态(参照图4)下，接收接收器(Rch)18以及接收器(Dch)128的测定结果，根据这些测定结果，求信号线3d的反射系数(SDDshort)。夹具特性导出部50d，接收信号线3d的反射系数SDDopen以及SDDshort，根据这些，导出信号线3d的特性(夹具特性)。信号线3d的特性(夹具特性)，是信号线3d的反射特性以及信号线3d的传输S参数S87、S78的某一个之上。
下面参照图9的流程图说明本发明的实施形态的动作。
首先实现开路状态(参照图3)，第一反射系数测定部42a、44a、46a、48a测定此时的信号线3a、3b、3c、3d的反射系数SAAopen、SBBopen、SCCopen、SDDopen(S12)。
接着实现短路状态(参照图4)，第二反射系数测定部42b、44b、46b、48b测定此时的信号线3a、3b、3c、3d的反射系数SAAshort、SBBshort、SCCshort、SDDshort(S14)。
然后，夹具特性导出部50a、50b、50c、50d根据反射系数SAAopen、SBBopen、SCCopen、SDDopen以及反射系数SAAshort、SBBshort、SCCshort、SDDshort导出信号线3a、3b、3c、3d的特性(夹具特性)(S16)。例如，可以导出信号线3a、3b、3c、3d的反射特性，也可以导出信号线3a、3b、3c、3d的传输S参数S21、S12、S43。S34、S65、S56、S87、S78。
最后，把DUT3安装在夹具3上，测定DUT2的特性(S22)。具体说，网络分析器1从端口A、B、C、D的某一个输出测定用信号，通过夹具3给予DUT2。DUT2接收测定用信号，输出应答信号。网络分析器1通过端口A、B、C、D的某一个以上接收应答信号，测定应答信号。例如测定应答信号的功率。
这里，在应答信号的测定结果中可能包含(1)测定装置误差、(2)夹具特性。这里，测定装置误差，可以通过周知的校正方法测定。因为是众所周知，所以不特别进行校正方法的说明。另外，夹具特性可以如上进行测定。因此，从应答信号的测定结果，要除去测定的(1)测定装置误差、以及(2)夹具特性。亦即要进行测定结果的校正。
此外，在本发明的实施形态中，关于DUT2是4端口的场合进行了说明，但是不管DUT2的端口数的大小都可以实现本发明的实施形态。另外，关于网络分析器1具有夹具特性测定装置60的例子进行了说明，但是代替网络分析器1在半导体试验装置具有夹具特性测定装置60的场合同样也可以实现。
根据本发明的实施形态，能够测定在运算测量DUT2的电路参数时使用的夹具3的夹具特性。例如，能够测定信号线3a、3b、3c、3d的反射特性。或者能够测定信号线3a、3b、3c、3d的传输S参数S21、S12、S43。S34、S65、S56、S87、S78。
另外，根据本发明的实施形态，在测定夹具3的夹具特性时，夹具3的状态，可以实现开路状态(参照图3)、以及短路状态(参照图4)两种。这点在与下述的比较例比较的场合，意味着减轻为实现夹具3的状态的劳力。
比较例，使DUT2成为开路状态此点不变。不同点是，代替DUT2，无电阻直接连接(直通：Thru)任何两条信号线。通过直接连接，可以用每一网络分析器测定由两条信号线引起的误差。根据比较例，因为无电阻直接连接两条信号线，所以如图1所示在DUT2有4个端口的场合，状态可以有4×3/2＝6种。于是，因为开路状态是一种，直接连接状态是6种，所以如果不实现合计7种状态，则不能测定由信号线引起的误差。这点，与如本发明的实施形态只要实现夹具3的两种状态即可相比，劳力大。
另外，上述的实施形态，可以如下实现。使具有CPU、硬盘、介质(软(注册商标)盘、CD-ROM等)读取装置的计算机的介质读取装置，读取记录了实现上述各部分(例如夹具特性测定装置60)的程序的介质，而后安装在硬盘上。用这样的方法中也能实现上述的功能。

Claims (11)

1.一种夹具特性测定装置，用于测定夹具的夹具特性，所述夹具具有连接被测定物和用于测定所述被测定物的特性的测定装置的信号线，
具有下述单元：
在所述被测定物不连接在所述信号线的开路状态下，测定所述信号线的反射系数的第一反射系数测定单元；
在所述信号线全部接地的短路状态下，测定所述信号线的反射系数的第二反射系数测定单元；和
根据所述第一反射系数测定单元的测定结果和所述第二反射系数测定单元的测定结果，导出所述夹具特性的夹具特性导出单元。
2.根据权利要求1所述的夹具特性测定装置，其中，
所述夹具，具有：
在表面配置所述被测定物以及所述信号线、并在背面配置接地电位部的基板；和
在所述表面上开口、并连接到所述接地电位部的通孔。
3.根据权利要求2所述的夹具特性测定装置，其中，
所述开路状态是所述被测定物不配置在所述夹具上的状态。
4.根据权利要求2所述的夹具特性测定装置，其中，
所述短路状态是在所述表面上配置所述信号线以及在所述通孔上连接的金属化部的状态。
5.根据权利要求1所述的夹具特性测定装置，其中，
所述夹具特性导出单元，把所述第一反射系数测定单元的测定结果和所述第二反射系数测定单元的测定结果的乘积的绝对值的平方根作为夹具特性。
6.根据权利要求1所述的夹具特性测定装置，其中，
所述夹具特性导出单元，把所述第一反射系数测定单元的测定结果和所述第二反射系数测定单元的测定结果的乘积的绝对值的四次方根作为夹具特性。
7.一种网络分析器，其具有权利要求1到6中任何一项所述的夹具特性测定装置；根据通过所述夹具特性测定装置导出的所述夹具特性，校正所述被测定物的测定结果。
8.一种半导体试验装置，其具有权利要求1到6中任何一项所述的夹具特性测定装置；根据通过所述夹具特性测定装置导出的所述夹具特性，校正所述被测定物的测定结果。
9.一种夹具特性测定方法，用于测定夹具的夹具特性，所述夹具具有连接被测定物和用于测定所述被测定物的特性的测定装置的信号线，
所述夹具特性测定方法，包括下述步骤：
在所述被测定物不连接在所述信号线的开路状态下，测定所述信号线的反射系数的第一反射系数测定步骤；
在所述信号线全部接地的短路状态下，测定所述信号线的反射系数的第二反射系数测定步骤；和
根据所述第一反射系数测定步骤的测定结果和所述第二反射系数测定步骤的测定结果，导出所述夹具特性的夹具特性导出步骤。
10.一种程序，其用来使计算机执行用于测定夹具的夹具特性的夹具特性测定处理，所述夹具具有连接被测定物和用于测定所述被测定物的特性的测定装置的信号线，
所述程序用来使计算机执行下述处理：
在所述被测定物不连接在所述信号线的开路状态下，测定所述信号线的反射系数的第一反射系数测定处理；
在所述信号线全部接地的短路状态下，测定所述信号线的反射系数的第二反射系数测定处理；和
根据所述第一反射系数测定处理的测定结果和所述第二反射系数测定处理的测定结果导出所述夹具特性的夹具特性导出处理。
11.一种计算机可读记录介质，其是记录了用来使计算机执行用于测定夹具的夹具特性的夹具特性测定处理的程序的、计算机可读的记录介质，所述夹具具有连接被测定物和用于测定所述被测定物的特性的测定装置的信号线，
所述计算机可读记录介质记录了使计算机执行下述处理的程序：
在所述被测定物不连接在所述信号线的开路状态下，测定所述信号线的反射系数的第一反射系数测定处理；
在所述信号线全部接地的短路状态下，测定所述信号线的反射系数的第二反射系数测定处理；和
根据所述第一反射系数测定处理的测定结果和所述第二反射系数测定处理的测定结果，导出所述夹具特性的夹具特性导出处理。
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