CN1939644A - 激光加工方法以及激光加工装置 - Google Patents
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Claims (12)
Applications Claiming Priority (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005288973 | 2005-09-30 | ||
JP2005288973 | 2005-09-30 | ||
JP2005-288973 | 2005-09-30 | ||
JP2006246020 | 2006-09-11 | ||
JP2006246020A JP5030512B2 (ja) | 2005-09-30 | 2006-09-11 | レーザ加工方法 |
JP2006-246020 | 2006-09-11 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1939644A true CN1939644A (zh) | 2007-04-04 |
CN1939644B CN1939644B (zh) | 2012-10-17 |
Family
ID=37958312
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2006101523806A Active CN1939644B (zh) | 2005-09-30 | 2006-09-28 | 激光加工方法以及激光加工装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011101904A (zh) |
CN (1) | CN1939644B (zh) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101687280B (zh) * | 2007-06-27 | 2013-08-07 | 通快机床两合公司 | 用于检测激光束在物体的棱边上的接触点的方法和激光加工机 |
CN104411447A (zh) * | 2012-06-27 | 2015-03-11 | 三菱电机株式会社 | 激光加工方法 |
CN105397284A (zh) * | 2014-09-04 | 2016-03-16 | 株式会社迪思科 | 激光加工装置 |
CN115070200A (zh) * | 2022-04-26 | 2022-09-20 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种用于异质材料的激光打孔光路系统及打孔方法 |
CN115502585A (zh) * | 2022-09-02 | 2022-12-23 | 广州添利电子科技有限公司 | 一种大孔径镭射孔的加工方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7404043B2 (ja) * | 2019-03-22 | 2023-12-25 | ビアメカニクス株式会社 | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2779566B2 (ja) * | 1992-07-17 | 1998-07-23 | 株式会社小松製作所 | エキシマレーザ装置の制御装置 |
JPH09107168A (ja) * | 1995-08-07 | 1997-04-22 | Mitsubishi Electric Corp | 配線基板のレーザ加工方法、配線基板のレーザ加工装置及び配線基板加工用の炭酸ガスレーザ発振器 |
JP3691221B2 (ja) * | 1997-09-24 | 2005-09-07 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工方法 |
JP2003136270A (ja) * | 2001-11-02 | 2003-05-14 | Hitachi Via Mechanics Ltd | レーザ加工装置 |
JP3822188B2 (ja) * | 2002-12-26 | 2006-09-13 | 日立ビアメカニクス株式会社 | 多重ビームレーザ穴あけ加工装置 |
JP3720034B2 (ja) * | 2003-05-26 | 2005-11-24 | 住友重機械工業株式会社 | 穴あけ加工方法 |
-
2006
- 2006-09-28 CN CN2006101523806A patent/CN1939644B/zh active Active
-
2011
- 2011-02-14 JP JP2011029124A patent/JP2011101904A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN105397284A (zh) * | 2014-09-04 | 2016-03-16 | 株式会社迪思科 | 激光加工装置 |
CN115070200A (zh) * | 2022-04-26 | 2022-09-20 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种用于异质材料的激光打孔光路系统及打孔方法 |
CN115502585A (zh) * | 2022-09-02 | 2022-12-23 | 广州添利电子科技有限公司 | 一种大孔径镭射孔的加工方法 |
CN115502585B (zh) * | 2022-09-02 | 2023-05-09 | 广州添利电子科技有限公司 | 一种大孔径镭射孔的加工方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011101904A (ja) | 2011-05-26 |
CN1939644B (zh) | 2012-10-17 |
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Date | Code | Title | Description |
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C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
REG | Reference to a national code |
Ref country code: HK Ref legal event code: DE Ref document number: 1098415 Country of ref document: HK |
|
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
ASS | Succession or assignment of patent right |
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TR01 | Transfer of patent right |
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