CN1925903A - 气体净化装置 - Google Patents

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Abstract

气体净化装置(Z)具有空气通道(Q)。在空气通道(Q)内配设有：吸附除去装置(B)，其具有可再生的吸附部件(9)，该吸附部件(9)吸附非清洁空气(W′)中的化学污染物质，并且，使通过再生处理所吸附的污染物质脱离；以及气体净化单元(A)，其经由多孔质膜进行气液接触，由此将非清洁空气(W′)中的污染物质分离到液体中而除去。水溶性的污染物质在气体净化单元中被分离除去，化学污染物质在吸附除去装置(B)中被吸附除去。

Description

气体净化装置
技术领域
本发明涉及气体净化装置，更具体地，涉及用于得到供给净化室的清洁空气的气体净化装置。
背景技术
可以在清洁空气中对LCD基板和半导体晶片等那样的基板施加液体处理和热处理。因此，在气体净化装置中将净化室内的空气清洁化，然后回流到净化室中。
气体净化装置一般具备吸附氨成份等污染物质的化学过滤器。但是，随着时间的经过，污染物质被积存在化学过滤器中。因此，化学过滤器除去该污染物质的能力降低，所以一般使用寿命较短。由此，在气体净化装置中需要更换化学过滤器，导致运转费用高涨。此外，还存在以下不便之处：在更换化学过滤器时，必须使整个系统停止。
为了应对上述不便之处，日本特开2001-230196号公报公开了可连续使用的气体净化装置，其经由多孔质膜使气液接触，由此，将气体中的水溶性污染物质分离到液体(例如纯水)中而除去。可是，虽然该气液接触型的气体净化装置是可连续使用的，但不能除去非水溶性的有机污染物质。并且，在该装置中，纯水经由多孔质膜气化，从而湿度上升。
此外，日本特开2002-93688号公报公开了使用由疏水性沸石形成的蜂窝状转子的气体净化装置。该气体净化装置可以有效地除去化学物质，但是，为了吸附部件的再生，需要高温(例如，大于等于150℃)的清洁气体，需要大于等于必要限度的能量，在经济方面不利。
发明内容
本发明的目的在于提供一种气体净化装置，其可以实现提高节能效果和污染物质除去效率。
为了达到上述目的，本发明的气体净化装置用于对含有污染物质的气体进行净化，其特征在于，在空气通道内配设有：吸附除去装置，其具有可再生的吸附部件，该吸附部件吸附非清洁空气中的污染物质，并且使通过再生处理所吸附的污染物质脱离；以及气体净化单元，其经由多孔质膜进行气液接触，由此将非清洁空气中的污染物质分离到液体中而除去。
通过这样构成，在气体净化单元中，非清洁空气中的污染物质被分离到通过多孔质膜进行气液接触的液体中而除去，并且，在吸附除去装置中，空气中的有机污染物质被吸附部件吸附而成为清洁空气。因此，水溶性的污染物质在气体净化单元中被分离除去，并且，有机污染物质在吸附除去装置中被吸附除去，从而显著地提高空气的清洁化效率。此外，气体净化单元和吸附除去装置都可以连续使用，因此，不需要更换，操作性也提高。
此外，可以将气体净化单元在该吸附除去装置的上游侧与该吸附除去装置串联地配置。通过这样构成，在气体净化单元中，非清洁空气中的污染物质被分离通过多孔质膜进行气液接触的液体中而除去，此后，在吸附除去装置中，通过气体净化单元后的空气中的污染物质被吸附部件吸附而成为清洁空气。因此，水溶性的污染物质在气体净化单元中被分离除去，通过气体净化单元后的污染物质在吸附除去装置中被吸附除去，从而显著地提高空气的清洁化效率，并且，在吸附除去装置B中的污染物质的吸附量大幅度地减少，因此，可以节减再生所需要的能量。此外，气体净化单元和吸附除去装置都可以连续使用，因此，不需要更换，操作性也提高。
此外，可以将气体净化单元在该吸附除去装置的下游侧与该吸附除去装置串联地配置。通过这样构成，在非清洁空气通过吸附除去装置的过程中，空气中的有机污染物质被吸附部件吸附，此后，在气体净化单元中，通过吸附除去装置后的空气中的污染物质被分离到通过多孔质膜进行气液接触的液体中而除去，成为清洁空气。因此，有机污染物质在吸附除去装置中被吸附除去，通过吸附除去装置后的水溶性的污染物质在气体净化单元中被分离除去，从而显著地提高空气的清洁化效率。并且，气体净化单元和吸附除去装置都可以连续使用，因此，不需要更换，操作性也提高。此外，特别是在高效地除去极性有机污染物质的情况下，不会因气体净化单元的加湿功能而有损除去装置B的除去效率。
附图说明
图1是表示本发明的第1实施方式所涉及的气体净化装置的概略结构的剖面图。
图2是将本发明的第1实施方式所涉及的气体净化装置中的气体净化单元的局部剖开后的立体图。
图3是本发明的第1实施方式所涉及的气体净化装置中的气体净化单元的说明图。
图4是表示本发明的第1实施方式所涉及的气体净化装置中的气体净化单元的另一例的剖面图。
图5是表示本发明的第1实施方式所涉及的气体净化装置中的吸附除去装置的图。
图6是表示本发明的第2实施方式所涉及的气体净化装置的概略结构的剖面图。
图7是表示本发明的第3实施方式所涉及的气体净化装置的概略结构的剖面图。
图8是表示本发明的第4实施方式所涉及的气体净化装置的概略结构的图。
图9是表示本发明的第4实施方式所涉及的气体净化装置中的气体净化单元的排水控制的内容的流程图。
图10是表示本发明的第4实施方式所涉及的气体净化装置中的吸附除去装置的排气控制的内容的流程图。
图11是表示构成本发明的第4实施方式所涉及的气体净化装置中的吸附除去装置的蜂窝状转子的概略结构的正视图。
图12是用于说明本发明的第4实施方式所涉及的气体净化装置中的温度湿度控制的形态的特性图。
图13是表示本发明的第5实施方式所涉及的气体净化装置的概略结构的剖面图。
图14是将本发明的第5实施方式所涉及的气体净化装置中的气体净化单元的局部剖开后的立体图。
图15是表示本发明的第5实施方式所涉及的气体净化装置中的气体净化单元的另一例的剖面图。
图16是表示本发明的第6实施方式所涉及的气体净化装置的概略结构的剖面图。
图17是表示本发明的第7实施方式所涉及的气体净化装置的概略结构的剖面图。
图18是表示本发明的第8实施方式所涉及的气体净化装置的概略结构的剖面图。
具体实施方式
下面，一边参照附图，一边对将本发明具体化的第1～第8实施方式进行说明。另外，在第2～第8实施方式中，仅对与第1实施方式的不同点进行说明，对相同或相当的部件赋予相同的标号并省略说明。
首先，参照图1～图5对第1实施方式进行说明。
如图1所示，气体净化装置Z附设在半导体晶片的洗涤装置X上。从该洗涤装置X经由管道D1排出的非清洁空气W′在净化装置X中清洁化，成为再生空气W。该再生空气W经由管道D2再次供给到洗涤装置X。另外，标号F表示配设在形成向洗涤装置X供给空气的空气供给部的顶棚部的、具备有高性能过滤器的风扇过滤器单元。
所述气体净化装置Z在内部具有从管道D1到管道D2的空气通道Q。在该空气通道Q内配设有吸附除去装置B和气体净化单元A。吸附除去装置B具有可再生的吸附部件9，该吸附部件9吸附非清洁空气W′中的污染物质，并且通过再生处理使所吸附的污染物质脱离。气体净化单元A串联地配置在吸附除去装置B的前级侧，经由多孔质膜进行气液接触，由此将非清洁空气W′中的污染物质分离到液体中而除去。在本实施方式中构成为，使全部空气通过净化单元A和除去装置B。另外，标号C表示用于加压输送清洁空气W的风扇。
如图2所示，所述净化单元A由下列部分构成：贮水器1，用于贮存纯水；以及多根管2，其由架设在该贮水器1内的多孔质膜(例如PTEF多孔膜)构成。并且，非清洁空气W′被供给到所述管2内。另外，在本实施方式中，该净化单元A以管2朝着上下方向的状态配置成两层。
此外，在所述贮水器1上附设有：使纯水循环的通道3；将新的纯水供给到该循环通道3的给水通道4；以及从该循环通道3排出使用过的纯水的排水路5。另外，标号6是纯水循环用的水泵。并且，在该循环通道3的中途配设有热交换器7，该热交换器7起到控制纯水温度的机构的作用。通过控制向热交换器7供给的冷水供给量来控制纯水的温度。其结果，可以对通过气体净化单元A的空气的温度和湿度进行调整。
如图3所示，在净化单元A中，管2的微小孔8容许非清洁空气W′中含有的水溶性气体(例如氨气等)G的流出和水蒸气S的流入，但阻止水滴的通过。从而，作为非清洁空气W′中的污染物质的水溶性气体G被分离除去，可以得到清洁空气W。此外，该清洁空气W被从微小孔8导入的水蒸气加湿。
并且，所述净化单元A通过多层配置而将贮存纯水的贮水器1和由架设在该贮水器1内的多孔质膜构成的多根管2紧凑地构成，因此，可以实现低压力损失且有效的空气清洁化。
图4表示净化单元A的另一例。该净化单元A是将由多孔质膜(例如PTEF多孔膜)构成的多个膜元件29层叠起来的单元，经由这些膜元件29，纯水和非清洁空气W′气液接触。各膜元件29是将平面形状的多孔质膜32张设在由树脂材料一体形成的薄壁且长矩形形状的支承框30的开口部31中而构成的。并且，由上下层叠的一对膜元件29构成膜单元U。在各膜单元U中的膜元件29之间分别形成有：纯水通道33；以及使非清洁空气W′在与多孔质膜32正交的方向上流通的空气通道。此外，邻接的膜单元U的多孔质膜32之间通过隔板34来保持间隔，形成空间35。另外，标号36是纯水的流通口，37是纯水的入口，38是纯水的出口。
在上述净化单元A中，从下方的入口37导入的纯水在纯水通道33中从下方向上方呈Z字形流动，从上方的出口38排出。在该流通过程中，纯水经由膜元件29与在空气通道中流动的非清洁空气W′气液接触，非清洁空气W′中的污染物质被分离到纯水中而除去。(因而，纯水中的浓度分布发生改变，结果，纯水在通道33内曲折地流动。)从而，通道33的路径长度变长，因此，在纯水流动前进的同时，其流动状态渐渐地成为紊流状态。由此，仅在纯水通道33的中央部分流动的水量减少，与此对应，在构成通道33的外周部的多孔质膜32的附近流动的水量增加。
其结果，若假定每单位流量的循环水量相同，则与纯水接触的多孔质膜32的面积增加。从而，促进非清洁空气W′中的污染物质向纯水中溶解的溶解作用，进而提高净化单元A的污染物质除去效率。因此，可以得到结构紧凑且作业效率高的净化单元A。
此外，在该净化单元A的情况下，也与图2的情况同样，附设有纯水的循环路3以及连接在循环路3上的吸水路4和排水路5，还有纯水循环用的水泵6、热交换器7。
如图5所示，吸附除去装置B中的吸附部件包括蜂窝状转子9，该蜂窝状转子9由可使气体流通的多孔质结构的物质(例如疏水性沸石)形成。在蜂窝状转子9的周面和电动机10的输出轴之间架设有传动带11，从而蜂窝状转子9以轴心J为中心旋转。
在除去装置B中，与空气W、W′的流通对应地预先设定如下位置：使非清洁空气W′清洁化的清洁化处理位置P1；使吸附在蜂窝状转子9上的污染物质脱离的再生处理位置P2；以及对蜂窝状转子9进行冷却的冷却处理位置P3。蜂窝状转子9的轴心J被配置成为这三个位置P1、P2、P3的中心。蜂窝状转子9以低速连续地旋转，由此，蜂窝状转子9依次通过各位置P1、P2、P3。
这样，由电动机10旋转驱动蜂窝状转子9，由此，可以使蜂窝状转子9向清洁化处理位置P1、再生处理位置P2以及冷却处理位置P3连续地变位，因此，净化装置的操作性进一步提高。
通过浸渍水分散剂，使疏水性沸石附着在陶瓷纸等具有耐水性、耐水蒸气性的材料上，而后进行加热干燥，由此可以得到蜂窝状转子9。通过该处理，形成为多个通气孔从壁面向轴心方向平行地贯通并延伸的蜂窝形状。蜂窝状转子9的通气孔的内周壁面以疏水性沸石为主要成分，疏水性沸石可以有效地与在通气孔内流通的气流接触。沸石对氨等具有优异的吸附性能。另外，蜂窝状转子9也可以是将两种以上的吸附材料在空气流通方向上层叠为多层而构成。
从洗涤装置X经由管道D1(图1)输送的非清洁空气W′的流道L1面对清洁化处理位置P1而开口。取出流道L2在隔着蜂窝状转子9而与该流道L1对置的位置开口。通过蜂窝状转子9后的空气由设置在取出流道L2中的处理风扇12助能被输送到下游侧，空气中的尘埃被过滤器组13粗除尘。经由过滤器组13得到的清洁空气W经管道D2输送到洗涤装置X(参照图1)。此外，经由从处理风扇12和过滤器组13之间分支的引导路L3通过蜂窝状转子9后的空气的一部分作为冷却用空气而被引导到冷却处理位置P3。
此外，在隔着蜂窝状转子9而与所述引导路L3的开口对置的位置开有流道L4，该流道L4将在冷却处理位置P3流出的空气引导到再生处理位置P2。从引导路L3经蜂窝状转子9输送来的空气经由流道L4输送到加热器14。由加热器14加热的空气经流道L5向再生处理位置P2输送。
流道L6在隔着蜂窝状转子9而与流道L5的开口对置的位置开口，在流道L6中设置有排气风扇15。此外，在流道L1中流动的非清洁空气W′的一部分经由分支流道L7被输送到流道L6，从而可以顺畅地进行排气。另外，在再生处理位置P2通过蜂窝状转子9后的热风通常被排出到外部，但如图1中的假想线所示，也可以设置通道16，该通道16使再生排气的一部分或全部向所述气体净化单元A的供气部返回。这样，由于不必排出高价且高质量的空气(即清洁空气)，所以可以进一步实现节能。
在上述结构的本实施方式中，获得如下的作用和效果。
在本实施方式中，在空气流通的空气通道Q内配设有：吸附除去装置B，其具有可再生的吸附部件9，该吸附部件9吸附非清洁空气W′中的污染物质，并且，使通过再生处理所吸附的污染物质脱离；以及气体净化单元A，其经由多孔质膜进行气液接触，由此将非清洁空气W′中的污染物质分离到液体中而除去。
从而，在气体净化单元A中，非清洁空气W′中的污染物质被分离到经由多孔质膜进行气液接触的液体中而被除去，并且，在吸附除去装置B中，空气中的有机污染物质被吸附部件9吸附而成为清洁空气W。由此，水溶性的污染物质在气体净化单元A中被分离除去，并且，有机污染物质在吸附除去装置B中被吸附除去，从而显著地提高空气的清洁化效率。此外，气体净化单元A和吸附除去装置B都可以连续使用，因此，不需要更换，从而净化单元A的操作性也提高。
在本实施方式中，将净化单元A在吸附除去装置B的上游侧与该装置B串联配置。因此，从洗涤装置X经由管道D1输送来的非清洁空气W′中的污染物质通过净化单元A的由多孔质膜构成的管2被分离到纯水中而除去。此后，在除去装置B中，空气中的化学污染物质被蜂窝状转子9吸附而成为清洁空气W，被输送到洗涤装置X。从而，在上述效果的基础上，除去装置B的污染物质的吸附量大幅度地减少，因此，可以节减再生所需要的能量。
此外，在除去装置B中，使吸附部件9变位至使非清洁空气W′清洁化的位置P1和使吸附的污染物质脱离的位置P2，在位置P2，使污染物质从吸附部件9脱离。从而，通过吸附部件9的变位，可以更加顺畅地进行污染物质在吸附部件9上的吸附、污染物质从吸附部件9的脱离，从而提高操作性。另外，在本实施方式中，吸附部件包括由疏水性沸石形成的蜂窝状转子9，电动机10使该蜂窝状转子9旋转并使其变位。
此外，设置有通道16，该通道16将通过吸附部件9后得到的清洁空气W的一部分用作吸附部件9的再生处理用空气，并且，使通过该再生处理得到的再生排气的一部分或全部向所述气体净化单元A的供气部返回。从而，不必排出高价且高质量的清洁空气，可进一步实现节能。
此外，净化单元A由下列部分构成：贮存纯水的贮水器1；以及多根管2，由架设在该贮水器1内的多孔质膜构成。从而，成为多层配置的结构紧凑的净化单元A，可以实现低压力损失且有效的空气清洁化。
此外，将由多孔质膜构成的膜元件29层叠起来构成净化单元A，经由这些膜元件29使纯水和非清洁空气W接触。从而，通过经由层叠的膜元件29的气液接触，非清洁空气W′中的污染物质被分离到纯水中而除去，从而可以得到紧凑且高效的气体净化单元A。
并且，形成为附设有控制纯水温度的温度控制机构7的结构，因此，可以对通过气体净化单元A的空气的温度湿度进行调整。
下面，参照图6对第2实施方式进行说明。
在本实施方式中，设置有水通道17，该水通道17将洗涤装置X的洗涤排水供给到净化单元A的贮水器1内。在水通道17中配置有：反浸透膜组件18；以及机构19，其利用除去装置B的再生排气将由该组件18得到的浓缩水气化后排出。这样，可以将洗涤装置X的洗涤排水作为贮存在净化单元A的贮水器1内的纯水使用，从而节省资源。
下面，参照图7对第3实施方式进行说明。
在本实施方式中，与第2实施方式同样，设置有水通道17，该水通道17将洗涤装置X的洗涤排水供给到净化单元A的贮水器1内。在水通道17中配置有三通阀20，该三通阀20仅在洗涤装置X进行最终洗净时，使水通道17与贮水器1连通。这样，只有洗涤装置X的最终洗涤排水(即漂洗水)作为纯水贮存在净化单元A的贮水器1内，因此，可以节省资源。
下面，参照图8～图12对第4实施方式进行说明。
在本实施方式中，在除去装置B中，蜂窝状转子9的旋转角度(或转速)通过配置在电动机10的输出轴上的旋转角度传感器(或速度传感器)21来检测。所述蜂窝状转子9的再生排气中的有机物浓度通过有机物浓度传感器22来检测。净化单元A的纯水中的离子浓度通过离子浓度传感器23来检测。清洁空气W的温度通过温度传感器24来检测，清洁空气W的湿度通过湿度传感器25来检测。进而，控制装置26根据这些传感器21～25检测出的值进行预定的运算处理。控制装置26根据运算结果对净化单元A中的循环路3的水泵6、除去装置B中的电动机10以及向除去装置B中的冷却处理位置P3供给冷却风的挡板27进行驱动控制。另外，标号28是用于在除去装置B的出口侧对清洁空气W进行再加热的再热器。
对再生排气中的有机物浓度设定有基准值1和比其低的基准值2。所谓基准值1，是再生排气中的有机物浓度超过容许范围、必须更积极地除去有机物的临界值。当有机物浓度传感器22的检测值超过基准值1时，控制装置26使电动机10、即蜂窝状转子9以更高速旋转，在进一步促进再生排气中的有机物的吸附后，转移到再生处理或冷却处理。
另一方面，所谓基准值2，表示在再生排气用于再生处理、冷却处理之际有机物浓度接近不成为障碍的值。当有机物浓度传感器22的检测值未达到基准值2时，控制装置26使电动机10、即蜂窝状转子9的转速降低，以节能模式运转，转移到再生处理或冷却处理。
另外，当有机物浓度传感器22的检测值处于基准值1和基准值2之间时，蜂窝状转子9在维持其转速的状态下转移到再生处理或冷却处理。控制装置26按照图9所示的流程图执行排水控制。
在步骤S1中，对离子浓度传感器23检测出的检测值和设定值进行比较。当在步骤S1中判定为离子浓度≤设定值的情况下，则在步骤S2中，贮水器1内的纯水经由循环路3循环。当在步骤S1中判定为离子浓度＞设定值时，则在步骤S3中，从排水路5排出使用过的纯水，从给水路4供给新的纯水，进行纯水的再生。换言之，根据离子浓度传感器23的检测值来控制纯水的循环量和给排水量。其结果，根据纯水中的污染物质的积存度进行纯水的循环利用和给排水控制，从而可以进行有效的空气清洁化。
此外，控制装置26按照图10所示的流程图执行排气控制。
在步骤S10中，根据旋转角度传感器(转速传感器)21的检测值进行蜂窝状转子9的旋转区间(或转速)的初始设定。在步骤S12中，开始再生排气的排出。此后，在步骤S13中，比较有机物浓度传感器22的检测值和基准值1，在这里，当判定为检测值＞基准值1时，则在步骤S14中，减小蜂窝状转子9的旋转区间或增大转速。此后，在步骤S17中，在蜂窝状转子9以设定区间旋转角度θ或以设定速度旋转后，返回步骤S12。如图11所示，所述角度θ是蜂窝状转子9中的再生处理位置P2和冷却处理位置P3的形成角度。
在步骤S13中，当判定为检测值≤基准值1时，则在步骤S15中，比较检测值和基准值2。在这里，当判定为检测值＜基准值2时，则在步骤S16中，进行增大蜂窝状转子9的旋转区间或减小转速的控制，然后，进入步骤S17。
在步骤S15中，当判定为检测值≥基准值2时，则进入步骤S17。在这里，基准值1＞基准值2。
即，当有机物浓度处于基准值1和基准值2之间时，蜂窝状转子9以设定的旋转区间或转速被旋转驱动，但当超过基准值1或小于基准值2时，以与该状态对应的旋转区间或转速被驱动旋转。这样，在本实施方式中，根据检测蜂窝状转子9的旋转角度或转速的旋转角度传感器(或速度传感器)21的检测值来控制蜂窝状转子9的转速。从而，可以利用蜂窝状转子9有效地进行污染物质的吸附和污染物质的脱离。
并且，根据有机物浓度传感器22的检测值来控制蜂窝状转子9的旋转区间或转速，因此，能够以与污染物质向蜂窝状转子9的积存度对应的频率进行蜂窝状转子9的再生处理，可以进一步节能运转。
下面，参照图12对将清洁空气W的温度湿度保持为一定的控制进行说明。
通过净化单元A的空气的状态K1近似地表示湿球温度为一定的状态变化(即，朝向状态K4变化)，成为即将通过蜂窝状转子9之前的状态K2。通过蜂窝状转子9的吸附反应(吸附水分和化学物质)，温度稍微上升(TB→Tc)，湿度稍微下降(Hb→Ha)。另外，借助于再生用加热器14的热量，显热上升(Tc→Ta)，成为状态K1′。即，将净化单元A的水温控制在状态K1的空气的露点温度To～湿球温度Tr之间，以便消除蜂窝状转子9中的湿度降低部分(Hb→Ha)，利用挡板27控制冷却风量(根据情况，不进行冷却而利用再热器28进一步加热)，以便从再生加热器14获得净化单元A的冷却和蜂窝状转子9的吸附发热的差(Ta-Tc)。通过上述那样，可以使状态K1和状态K1′相同。只要适当地改变这些控制量，即可任意地控制清洁空气W的温度湿度。
即，在本实施方式中，设置风量控制机构，该风量控制机构控制对蜂窝状转子9进行冷却的冷却风的风量，从而可以对得到的清洁空气W的温度湿度进行调整。
下面，参照图13～图15对第5实施方式进行说明。
在本实施方式中，作为附设有净化装置Z的装置X，采用具备搬送半导体晶片的搬送机械手R的晶片移载机。在晶片移载机X的底部形成有排气口40，该排气口40将移载机X内被污染的非清洁空气W′的一部分排出。
该净化装置Z在内部具有从空气流通的管道D1到管道D2的空气通道Q。在空气通道Q内配设有：吸附除去装置B，其具有可再生的吸附部件9，该吸附部件9吸附非清洁空气W′中的污染物质，并且，使通过再生处理所吸附的污染物质脱离；以及净化单元A，其在除去装置B的上游侧与该装置B串联地配置，并且，经由多孔质膜将非清洁空气中的污染物质分离到液体中而除去。
在这里，在本实施方式中，所述净化单元A构成为，能够使在所述空气通道Q中流通的空气的一部分(例如，大致一半)通过。从而，可以抑制净化单元A的过度加湿，能够容易地进行温度湿度调整。另外，标号41是形成在净化装置Z的底部的供气口，C是用于加压输送清洁空气W的风扇。
此外，如图13的假想线所示，设置有通道16，该通道16使再生排气的一部分或全部向气体净化单元A的所述供气口41等返回，从而，也可以避免清洁空气的排气而实现节能。
本实施例的净化单元A是对第1实施方式的净化单元稍微变更后的单元。即，如图14、15所示，在气体净化单元A中，在纯水的循环路3中配置有由紫外线灯和反浸透膜构成的水再生机构42，以便使循环水再生。这样，不必排水即可循环利用纯水，可以实现有效利用能量。
下面，参照图16对第6实施方式进行说明。
在本实施方式中，该实施方式是对第5实施方式中的净化装置Z进行了变更。即，在空气通道Q中，将气体净化单元A在该吸附除去装置B的下游侧与该吸附除去装置串联地配置。这样，供气中含有的来自于外部的NOx、SOx、氨气等水溶性气体在上游侧的净化单元A中被处理。从而，结构紧凑且可以有效地除去污染物质。另外，净化单元A也可以构成为仅使供气通过，但也可以构成为使供气和循环空气两者都能通过。
在上述结构中，也与上述实施方式发挥同样的效果。
此外，除去装置B根据吸附部件9的组成可以有效地吸附极性物质(例如有机污染物质)，但当处理空气的湿度高时，存在优先吸附湿分而降低吸附除去效率的情况。但是，在本实施方式中，在除去装置B的下游侧配置有经由多孔质膜进行气液接触的净化单元A，因此，特别是在高效地除去极性有机污染物质的情况下，不会因净化单元A的加湿功能而有损除去装置B的除去效率。
此外，在本实施方式中，如果也与上述第5实施方式的情况同样，设置使再生排气的一部分或全部向净化单元A返回的通道16，避免清洁空气的排出，则可以实现节能。
下面，参照图17对第7实施方式进行说明。
本实施方式对第6实施方式的一部分进行了变更。即，吸附除去装置B形成为可以使在空气通道Q中流通的空气的一部分(例如，大致一半)通过。
如上所述，在通道Q中流通的空气的一部分可以通过除去装置B，因此，在非清洁空气W′中所含有的污染物质的组成中有机污染物质比水溶性气体少的情况下有效。
下面，参照图18对第8实施方式进行说明。
在本实施方式中构成为，吸附除去装置B使在空气通道Q中流通的空气的全部通过，而气体净化单元A使空气的一部分(大致一半)通过。从而，与第5实施方式同样，可以抑制净化单元A的过度加湿，容易地进行温度湿度调整。
此外，在本实施方式中，在除去装置B的下游侧也配置有净化单元A，因此，可以得到与第6实施方式相同的效果。
以上，结合实施方式对本发明进行了说明，但本发明不限于上述实施方式，也可以进行如下变更。
在上述各实施方式中，以洗涤装置或晶片移载机为例对附设有气体净化装置Z的装置X进行了说明，但并不限于此，也可以采用光刻胶涂敷显影装置等的基板处理装置和微环境设备(EFEM)等。

Claims (17)

1、一种气体净化装置，该气体净化装置用于对含有污染物质的气体进行净化，其特征在于，在空气通道(Q)内配设有：吸附除去装置(B)，其具有可再生的吸附部件(9)，该吸附部件(9)吸附非清洁空气(W′)中的污染物质，并且通过再生处理使所吸附的污染物质脱离；以及气体净化单元(A)，其经由多孔质膜进行气液接触，由此将非清洁空气(W′)中的污染物质分离到液体中而除去。
2、根据权利要求1所述的气体净化装置，其特征在于，所述气体净化单元(A)在上述吸附除去装置(B)的上游侧与该吸附除去装置串联地配置。
3、根据权利要求1所述的气体净化装置，其特征在于，所述气体净化单元(A)在上述吸附除去装置(B)的下游侧与该吸附除去装置串联地配置。
4、根据权利要求1～3中任一项所述的气体净化装置，其特征在于，所述气体净化单元(A)构成为，可以使在所述空气通道(Q)中流通的空气的一部分通过。
5、根据权利要求3所述的气体净化装置，其特征在于，所述吸附除去装置(B)构成为，可以使在所述空气通道(Q)中流通的空气的一部分通过。
6、根据权利要求1～5中任一项所述的气体净化装置，其特征在于，所述吸附除去装置(B)包括：变位装置，其使吸附部件(9)变位至使非清洁空气(W′)清洁化的清洁化处理位置(P1)和使吸附的污染物质脱离的再生处理位置(P2)；以及再生处理装置，其使污染物质在再生处理位置(P2)从吸附部件(9)脱离。
7、根据权利要求6所述的气体净化装置，其特征在于，所述吸附部件由蜂窝状转子(9)构成，该蜂窝状转子(9)由疏水性沸石形成，所述变位装置由旋转驱动该蜂窝状转子(9)的电动机(10)构成。
8、根据权利要求1～7中任一项所述的气体净化装置，其特征在于，该气体净化装置设置有通道(16)，该通道(16)将通过所述吸附部件(9)后得到的清洁空气(W)的一部分用作吸附部件(9)的再生处理用空气，并且，使通过该再生处理得到的再生排气的一部分或全部向所述气体净化单元(A)的供气部返回。
9、根据权利要求7或8所述的气体净化装置，其特征在于，该气体净化装置设置有风量控制机构，该风量控制机构控制对所述蜂窝状转子(9)进行冷却的冷却风的风量。
10、根据权利要求7～9中任一项所述的气体净化装置，其特征在于，该气体净化装置具有对所述蜂窝状转子(9)的旋转角度或转速进行检测的传感器(21)，根据该传感器(21)的检测值来控制蜂窝状转子(9)的转速。
11、根据权利要求10所述的气体净化装置，其特征在于，该气体净化装置具有对所述蜂窝状转子(9)的再生排气中的有机物浓度进行检测的有机物浓度传感器(22)，根据该有机物浓度传感器(22)的检测值来控制蜂窝状转子(9)的转速。
12、根据权利要求1～11中任一项所述的气体净化装置，其特征在于，所述气体净化单元(A)由下列部分构成：贮存纯水的贮水器(1)；以及多根管(2)，其由架设在该贮水器(1)内的多孔质膜构成。
13、根据权利要求1～11中任一项所述的气体净化装置，其特征在于，所述气体净化单元(A)是将由多孔质膜构成的膜元件(29)层叠起来而形成的，经由这些膜元件(29)，纯水和非清洁空气(W′)接触。
14、根据权利要求12或13所述的气体净化装置，其特征在于，该气体净化装置具有对所述纯水的温度进行控制的温度控制机构(7)。
15、根据权利要求12～14中任一项所述的气体净化装置，其特征在于，该气体净化装置具有水再生机构(42)，该水再生机构(42)使在所述气体净化单元(A)中循环的水再生。
16、根据权利要求12～15中任一项所述的气体净化装置，其特征在于，作为所述纯水，使用被供给了由该气体净化装置得到的清洁空气(W)的装置(X)的排水。
17、根据权利要求12～16中任一项所述的气体净化装置，其特征在于，该气体净化装置附设有：使所述纯水循环的纯水循环装置(3)；将新的纯水供给到该纯水循环装置(3)的纯水供给装置(4)；以及从该纯水循环装置(3)排出使用过的纯水的纯水排出装置(5)，并且，还附设有检测所述纯水中的离子浓度的离子浓度传感器(23)，根据该离子浓度传感器(23)的检测值来控制所述纯水的循环量和给排水量。
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