JP2006142233A - 気体浄化装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 水溶性および非水溶性汚染物質の除去効率の向上を図り得るようにする。
【解決手段】 空気が流通する空気通路Ｑ内に、多孔質膜を介して気液接触を行うことにより非清浄空気Ｗ′中の汚染物質を液体中に分離除去する気体浄化ユニットＡと、非清浄空気Ｗ′中の非水溶性汚染物質を除去するケミカルフィルタＢとを配設して、気体浄化ユニットＡにおいて、非清浄空気中の汚染物質が多孔質膜を介して気液接触する液体中に分離除去されるとともに、ケミカルフィルタＢにおいて、空気中の非水溶性汚染物質が除去されて清浄空気Ｗとなるようにしている。
【選択図】 図１

Description

本願発明は、気体浄化装置に関し、さらに詳しくはクリーンルームに供給される清浄空気を得るための気体浄化装置に関するものである。

例えば、ＬＣＤ基板や半導体ウエハ等のような基板に対して液処理や熱処理を行う場合、清浄空気中（即ち、クリーンルーム内）において行うこととなっており、クリーンルーム内の空気を気体浄化装置で清浄化した後クリーンルームに還流させることとなっている。

上記した気体浄化装置としては、ケミカルフィルタを備えたものが従来から使用されているが、ケミカルフィルタは、酸性汚染物質、塩基性汚染物質、有機汚染物質に対応させるために使い分けが必要となるとともに、時間が経過するにしたがって吸着した汚染物質（例えば、アンモニア成分）が内部に蓄積することとなり、除去能力が低下してしまい寿命が２年程度と短いところから、交換が必要であるとともに高価であり、ランニングコストの高騰を招くという不具合があった。また、ケミカルフィルタの交換時には、システム全体を停止させねばならないという不具合もあった。

上記のような不具合に対処するために、多孔質膜を介して気液を接触させることにより、気体中の水溶性汚染物質を液体（例えば、純水）中に分離除去するようにした連続使用可能な気体浄化装置が提案されている（特許文献１参照）。

特開２００１−２３０１９６号公報。

ところが、特許文献１に開示されている気液接触型の気体浄化装置の場合、連続使用は可能であるが、非水溶性の有機汚染物質の除去ができないという不具合や、多孔質膜を介して純水が気化し、湿度が上昇してしまうという不具合が存する。

本願発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、水溶性および非水溶性汚染物質の除去効率の向上を図り得るようにすることを目的としている。

本願発明では、上記課題を解決するための第１の手段として、空気が流通する空気通路Ｑ内に、多孔質膜を介して気液接触を行うことにより非清浄空気Ｗ′中の汚染物質を液体中に分離除去する気体浄化ユニットＡと、非清浄空気Ｗ′中の汚染物質を除去するケミカルフィルタＢとを配設している。

上記のように構成したことにより、気体浄化ユニットＡにおいて、非清浄空気中の汚染物質が多孔質膜を介して気液接触する液体中に分離除去されるとともに、ケミカルフィルタＢにおいて、空気中の汚染物質が除去されて清浄空気Ｗとなる。従って、水溶性の汚染物質は気体浄化ユニットＡにおいて分離除去されるとともに、他の汚染物質はケミカルフィルタＢにおいて除去される（換言すれば、あらゆる汚染ガスが除去される）こととなり、空気の清浄化効率が著しく向上する。

本願発明では、さらに、上記課題を解決するための第２の手段として、上記第１の手段を備えた気体浄化装置において、前記気体浄化ユニットＡを上流側に、前記ケミカルフィルタＢを下流側に位置するように直列に配置することもでき、そのように構成した場合、水溶性の汚染物質は気体浄化ユニットＡにおいて分離除去され、気体浄化ユニットＡを通過した非水溶性汚染物質はケミカルフィルタＢにおいて除去されることとなり、空気の清浄化効率が著しく向上し、且つケミカルフィルタＢでの汚染物質の吸着量が大幅に減少するため、ケミカルフィルタＢの耐用期間が長くなる。

本願発明では、さらに、上記課題を解決するための第３の手段として、上記第１の手段を備えた気体浄化装置において、前記ケミカルフィルタＢを上流側に、前記気体浄化ユニットＡを下流側に位置するように直列に配置することもでき、そのように構成した場合、非清浄空気Ｗ′中の汚染物質は、ケミカルフィルタＢにおいて除去され、ケミカルフィルタＢを通過した水溶性汚染物質は気体浄化ユニットＡにおいて分離除去されることとなり、空気の清浄化効率が著しく向上し、且つ気体浄化ユニットＡの加湿機能がケミカルフィルタＢの除去効率を損なうということがなくなる。

本願発明では、さらに、上記課題を解決するための第４の手段として、上記第２又は第３の手段を備えた気体浄化装置において、前記気体浄化ユニットＡを、前記空気通路Ｑ内を流通する空気の一部が通過し得るように構成することもでき、そのように構成した場合、気体浄化ユニットＡの加湿機能を抑制することができることとなり、温湿度調整が容易に行える。

本願発明では、さらに、上記課題を解決するための第５の手段として、上記第第２又は第３の手段を備えた気体浄化装置において、前記ケミカルフィルタＢを、前記空気通路Ｑ内を流通する空気の一部が通過し得るように構成することもでき、そのように構成した場合、非清浄空気Ｗ′中に含まれる汚染物質の組成が有機汚染物質＜水溶性ガスであるものに有効となる。

本願発明では、さらに、上記課題を解決するための第６の手段として、上記第１の手段を備えた気体浄化装置において、前記気体浄化ユニットＡと前記ケミカルフィルタＢとを並列に配置することもでき、そのように構成した場合、非清浄空気Ｗ′中の汚染物質のうち水溶性汚染物質は気体浄化ユニットＡにおいて分離除去され且つ非水溶性汚染物質はケミカルフィルタＢにおいて除去されることとなり、空気の清浄化効率が著しく向上する。

本願発明では、さらに、上記課題を解決するための第７の手段として、上記第１、第２、第３、第４、第５又は第６の手段を備えた気体浄化装置において、前記ケミカルフィルタＢを、非水溶性汚染物質を除去できるように特化することもでき、そのように構成した場合、ケミカルフィルタＢの種類を減らすことができることとなり、省資源化を図ることができる。

本願発明では、さらに、上記課題を解決するための第８の手段として、上記第１、第２、第３、第４、第５、第６又は第７の手段を備えた気体浄化装置において、前記気体浄化ユニットＡを、純水を貯留するタンク１と、該タンク１内に架設された多孔質膜からなる多数のパイプ２，２・・とにより構成することもでき、そのように構成した場合、コンパクトで低圧損な気体浄化ユニットＡとなり、多段配置による効率的な空気清浄化を図ることができる。

本願発明では、さらに、上記課題を解決するための第９の手段として、上記第１、第２、第３、第４、第５、第６又は第７の手段を備えた気体浄化装置において、前記気体浄化ユニットＡを、多孔質膜からなる膜エレメント２９，２９・・を積層してなり、これらの膜エレメント２９，２９・・を介して純水と非清浄空気Ｗ′とが接触するように構成することもでき、そのように構成した場合、積層された膜エレメント２９，２９・・を介しての気液接触により非清浄空気Ｗ′中の汚染物質が純水中に分離除去されることとなり、コンパクトで高効率な気体浄化ユニットＡが得られる。

本願発明では、さらに、上記課題を解決するための第１０の手段として、上記第８又は第９の手段を備えた気体浄化装置において、前記純水の温度を制御する温度制御機構６を付設することもでき、そのように構成した場合、気体浄化ユニットＡを通過する空気の温湿度調整を行うことができる。

本願発明では、さらに、上記課題を解決するための第１１の手段として、上記第８、第９又は第１０の手段を備えた気体浄化装置において、前記気体浄化ユニットＡを循環する水を再生する水再生機構７を付設することもでき、そのように構成した場合、純水を排水せずに循環利用できることとなり、効率的な空気清浄化を行うことができる。

本願発明では、さらに、上記課題を解決するための第１２の手段として、上記第８、第９、第１０又は第１１の手段を備えた気体浄化装置において、前記純水として、この気体浄化装置で得られた清浄空気Ｗが供給される装置Ｘの排水を使用することもでき、そのように構成した場合、装置Ｘの排水（例えば、リンス水）を有効に利用することができ、省資源化を図ることができる。

本願発明の第１の手段によれば、空気が流通する空気通路Ｑ内に、多孔質膜を介して気液接触を行うことにより非清浄空気Ｗ′中の汚染物質を液体中に分離除去する気体浄化ユニットＡと、非清浄空気Ｗ′中の汚染物質を除去するケミカルフィルタＢとを配設して、気体浄化ユニットＡにおいて、非清浄空気中の汚染物質が多孔質膜を介して気液接触する液体中に分離除去されるとともに、ケミカルフィルタＢにおいて、空気中の他の汚染物質が除去されて清浄空気Ｗとなるようにしたので、水溶性の汚染物質は気体浄化ユニットＡにおいて分離除去されるとともに、他の汚染物質はケミカルフィルタＢにおいて除去される（換言すれば、あらゆる汚染ガスが除去される）こととなり、空気の清浄化効率が著しく向上するという効果がある。

本願発明の第２の手段におけるように、上記第１の手段を備えた気体浄化装置において、前記気体浄化ユニットＡを上流側に、前記ケミカルフィルタＢを下流側に位置するように直列に配置することもでき、そのように構成した場合、水溶性の汚染物質は気体浄化ユニットＡにおいて分離除去され、気体浄化ユニットＡを通過した他の汚染物質はケミカルフィルタＢにおいて除去されることとなり、空気の清浄化効率が著しく向上し、且つケミカルフィルタＢでの汚染物質の吸着量が大幅に減少するため、ケミカルフィルタＢの耐用期間が長くなる。

本願発明の第３の手段におけるように、上記第１の手段を備えた気体浄化装置において、前記ケミカルフィルタＢを上流側に、前記気体浄化ユニットＡを下流側に位置するように直列に配置することもでき、そのように構成した場合、非清浄空気Ｗ′中の汚染物質は、ケミカルフィルタＢにおいて除去され、ケミカルフィルタＢを通過した水溶性汚染物質は気体浄化ユニットＡにおいて分離除去されることとなり、空気の清浄化効率が著しく向上し、且つ気体浄化ユニットＡの加湿機能がケミカルフィルタＢの除去効率を損なうということがなくなる。

本願発明の第４の手段におけるように、上記第２又は第３の手段を備えた気体浄化装置において、前記気体浄化ユニットＡを、前記空気通路Ｑ内を流通する空気の一部が通過し得るように構成することもでき、そのように構成した場合、気体浄化ユニットＡの加湿機能を抑制することができることとなり、温湿度調整が容易に行える。

本願発明の第５の手段におけるように、上記第第２又は第３の手段を備えた気体浄化装置において、前記ケミカルフィルタＢを、前記空気通路Ｑ内を流通する空気の一部が通過し得るように構成することもでき、そのように構成した場合、非清浄空気Ｗ′中に含まれる汚染物質の組成が有機汚染物質＜水溶性ガスであるものに有効となる。

本願発明の第６の手段におけるように、上記第１の手段を備えた気体浄化装置において、前記気体浄化ユニットＡと前記ケミカルフィルタＢとを並列に配置することもでき、そのように構成した場合、非清浄空気Ｗ′中の汚染物質のうち水溶性汚染物質は気体浄化ユニットＡにおいて分離除去され且つ非水溶性汚染物質はケミカルフィルタＢにおいて除去されることとなり、空気の清浄化効率が著しく向上する。

本願発明の第７の手段におけるように、上記第１、第２、第３、第４、第５又は第６の手段を備えた気体浄化装置において、前記ケミカルフィルタＢを、非水溶性汚染物質を除去できるように特化することもでき、そのように構成した場合、ケミカルフィルタＢの種類を減らすことができることとなり、省資源化を図ることができる。

本願発明の第８の手段におけるように、上記第１、第２、第３、第４、第５、第６又は第７の手段を備えた気体浄化装置において、前記気体浄化ユニットＡを、純水を貯留するタンク１と、該タンク１内に架設された多孔質膜からなる多数のパイプ２，２・・とにより構成することもでき、そのように構成した場合、コンパクトで低圧損な気体浄化ユニットＡとなり、多段配置による効率的な空気清浄化を図ることができる。

本願発明の第９の手段におけるように、上記第１、第２、第３、第４、第５、第６又は第７の手段を備えた気体浄化装置において、前記気体浄化ユニットＡを、多孔質膜からなる膜エレメント２９，２９・・を積層してなり、これらの膜エレメント２９，２９・・を介して純水と非清浄空気Ｗ′とが接触するように構成することもでき、そのように構成した場合、積層された膜エレメント２９，２９・・を介しての気液接触により非清浄空気Ｗ′中の汚染物質が純水中に分離除去されることとなり、コンパクトで高効率な気体浄化ユニットＡが得られる。

本願発明の第１０の手段におけるように、上記第８又は第９の手段を備えた気体浄化装置において、前記純水の温度を制御する温度制御機構６を付設することもでき、そのように構成した場合、気体浄化ユニットＡを通過する空気の温湿度調整を行うことができる。

本願発明の第１１の手段におけるように、上記第８、第９又は第１０の手段を備えた気体浄化装置において、前記気体浄化ユニットＡを循環する水を再生する水再生機構７を付設することもでき、そのように構成した場合、純水を排水せずに循環利用できることとなり、効率的な空気清浄化を行うことができる。

本願発明の第１２の手段におけるように、上記第８、第９、第１０又は第１１の手段を備えた気体浄化装置において、前記純水として、この気体浄化装置で得られた清浄空気Ｗが供給される装置Ｘの排水を使用することもでき、そのように構成した場合、装置Ｘの排水（例えば、リンス水）を有効に利用することができ、省資源化を図ることができる。

以下、添付の図面を参照して、本願発明の幾つかの好適な実施の形態について説明する。

第１の実施の形態
図１ないし図５には、本願発明の第１の実施の形態にかかる気体浄化装置が示されている。

この気体浄化装置Ｚは、図１に示すように、半導体ウエーハを搬送する搬送ロボットＲを具備したウエーハ移載機Ｘに付設されるものであり、該ウエーハ移載機ＸからダクトＤ₁を介して排出された非清浄空気Ｗ′を清浄化して得られた清浄空気ＷをダクトＤ₂を介して再びウエーハ移載機Ｘへ供給し得るように構成されている。符号Ｆはウエーハ移載機Ｘへの空気供給部となる天井部に配設された高性能フィルタを備えたファンフィルタユニットである。

前記気体浄化装置Ｚは、内部にダクトＤ₁からダクトＤ₂に至る空気通路Ｑを有しており、該空気通路Ｑ内には、多孔質膜を介して気液接触を行うことにより非清浄空気Ｗ′中の水溶性汚染物質を液体中に分離除去する気体浄化ユニットＡが上流側に、非水溶性を除去するケミカルフィルタＢが下流側に位置するように直列に配置されている。該ケミカルフィルタＢは、非水溶性汚染物質を除去できるように特化するのが望ましい。そのようにした場合、ケミカルフィルタＢの種類を減らすことができることとなり、省資源化を図ることができる。この場合、気体浄化ユニットＡおよびケミカルフィルタＢを全部の空気が通過するように構成されている。符号Ｃは清浄空気Ｗを圧送するためのファンである。

前記気体浄化ユニットＡは、図２に示すように、純水を貯留するタンク１と、該タンク１内に架設された多孔質膜（例えば、ＰＴＥＦ多孔膜）からなる多数のパイプ２，２・・とにより構成されており、前記パイプ２，２・・内に非清浄空気Ｗ′に供給されることとなっている。本実施の形態においては、この気体浄化ユニットＡは、パイプ２，２・・を上下方向に向けた状態で２段に配置される。

また、前記タンク１には、純水を循環させる純水循環手段３と、該純水循環手段３に新たな純水を給水する純水供給手段４とが付設されている。符号５は純水循環用のポンプである。そして、この純水循環手段３の途中には、純水の温度を制御するための温度制御機構として作用する熱交換器６と循環水を再生する水再生機構７とが付設されている。前記熱交換器６への冷水供給量を制御することにより純水の温度制御ができるとともに、循環水が水再生機構７により純水に再生されるようになっている。その結果、気体浄化ユニットＡを通過する空気の温湿度調整を行うことができるとともに、純水を排水せずに循環利用できるようになっている。

この気体浄化ユニットＡにおいては、図３に示すように、多孔膜の微小孔８，８・・を通じて非清浄空気Ｗ′に含まれる水溶性ガス（例えば、アンモニア等）Ｇと水蒸気Ｓとが出入りし、水滴は通過しない。従って、非清浄空気Ｗ′中の汚染物質である水溶性ガスＧが分離除去されて清浄空気Ｗとなるとともに、加湿されることとなるのである。また、前記気体浄化ユニットＡを、純水を貯留するタンク１と、該タンク１内に架設された多孔質膜からなる多数のパイプ２，２・・とにより構成したことにより、コンパクトで低圧損な気体浄化ユニットが得られることとなり、多段配置による効率的な空気清浄化を図ることができる。

ところで、前記気体浄化ユニットＡとしては、図４に示すように、多孔質膜（例えば、ＰＴＥＦ多孔膜）からなる膜エレメント２９，２９・・を積層してなり、これらの膜エレメント２９，２９・・を介して純水と非清浄空気Ｗ′とが気液接触するように構成したものを採用することもできる。前記各膜エレメント２９は、例えば、樹脂材で一体形成された薄肉で且つ長矩形形状の枠状部材がなる支持枠３０と、該支持枠３０の中央部に形成された開口部３１に張設された平面形状の多孔質膜３２とからなっており、一対の膜エレメント２９，２９により膜ユニットＵが構成されることとなっている。そして、この膜ユニットＵにおける膜エレメント２９，２９間には、純水通路３３が形成される一方、前記多孔質膜３２と直交する方向に非清浄空気Ｗ′が流通する空気通路が形成されることとなっている。また、前記膜ユニットＵ，Ｕ間において多孔質膜３２が張設されている部分には、スペーサ３４，３４・・により間隔保持された空間３５が形成されることとなっている。符号３６は純水の流通口、３７は純水入口、３８は純水出口である。

上記構成の気体浄化ユニットＡにおいては、下方の純水入口３７から導入された純水は、膜ユニットＵにより構成される純水通路３３を下方から上方に向かってジグザグに流れ、上方の純水出口３８から排出されるが、その過程において空気通路を流れる非清浄空気Ｗ′と膜エレメント２９，２９・・を介して気液接触し、非清浄空気Ｗ′中の水溶性汚染物質が純水中に分離除去される。この時、純水通路３３の経路長さが長くなるため、純水の流れの進行とともにその流れ状態が次第に乱れて乱流状態となり、該純水通路３３の中央部分のみを流れる水量が減少するのに対応して、多孔質膜３２の近傍を流れる水量が増加する。その結果、単位流量当たりの循環水量が同じとすると、純水と接触する多孔質膜３２の面積が増加することとなり、それだけ非清浄空気Ｗ′中の水溶性汚染物質の純水への溶解作用が促進され、汚染物質除去効率が向上する。

なお、この気体浄化ユニットＡの場合にも、図２の場合と同様に、純水を循環させる純水循環手段３と、該純水循環手段３に新たな純水を給水する純水供給手段４とが付設されている。符号６は純水循環用のポンプである。そして、この純水循環手段３の途中には、純水の温度を制御するための温度制御機構として作用する熱交換器６と循環水を再生する水再生機構７とが付設されている。前記熱交換器６への冷水供給量を制御することにより純水の温度制御ができるとともに、循環水が水再生機構７により純水に再生されるようになっている。その結果、気体浄化ユニットＡを通過する空気の温湿度調整を行うことができるとともに、純水を排水せずに循環利用できるようになっている。

前記水再生機構７は、図２に示すように、純水循環手段３の途中（例えば、熱交換器６の下流側）に設けられた貯水部７ａと該貯水部７ａに貯められた水に紫外線を照射する紫外線ランプ７ｂとによって構成されている。この場合、紫外線の照射により、水が純水に再生されることとなる。なお、この水再生機構７は、図５に示すように、純水循環手段３の途中（例えば、熱交換器６の下流側）に設けられた貯水部７ａと、該貯水部７ａ内を区画する逆浸透膜７ｃとによって構成される場合もある。符号９は逆浸透膜７ｃにより分離された非清浄水を排出する排出手段である。

上記のように構成したことにより、ウエーハ移載機ＸからダクトＤ₁を介して送られた非清浄空気Ｗ′中の水溶性汚染物質が、気体浄化ユニットＡを構成する多孔質膜からなるパイプ２，２・・を介して気液接触する純水中に分離除去され、その後ケミカルフィルタＢにおいて、空気中の非水溶性汚染物質が除去されて清浄空気Ｗとなり、ウエーハ移載機Ｘに送られることとなる。従って、水溶性汚染物質は気体浄化ユニットＡにおいて分離除去され、非水溶性汚染物質はケミカルフィルタＢにおいて除去されることとなり、空気の清浄化効率が著しく向上し、且つケミカルフィルタＢでの汚染物質の吸着量が大幅に減少するため、ケミカルフィルタＢの耐用期間が長くなる。

図６には、本実施の形態にかかる気体浄化装置における気体浄化ユニットＡの変形例が示されている。

この場合、二つの気体浄化ユニットＡ₁，Ａ₂を上流側から下流側に直列に配置しており、下流側の気体浄化ユニットＡ₂の循環水の一部を上流側の気体浄化ユニットＡ₁の循環水に合流させるようにしている。このようにすると、循環水を有効に利用できる。符号９は排水手段である。

ところで、装置Ｘとして洗浄装置を採用した場合、洗浄装置Ｘの洗浄排水を気体浄化ユニットＡの純水供給手段４に供給する水通路１０を設け、該水通路１０の途中に、最終洗浄時にのみ前記水通路１０を連通する三方弁１１を介設している。このようにすると、洗浄装置Ｘの最終洗浄排水（即ち、リンス水）を使用することが可能となり、省資源化を図ることができる。

第２の実施の形態
図７には、本願発明の第２の実施の形態にかかる気体浄化装置が示されている。

この場合、空気通路Ｑには、ケミカルフィルタＢが上流側に、気体浄化ユニットＡが下流側に位置するように直列に配置されている。このようにすると、非清浄空気Ｗ′中の汚染物質のうち非水溶性の汚染物質は、ケミカルフィルタＢにおいて除去され、ケミカルフィルタＢを通過した水溶性汚染物質は気体浄化ユニットＡにおいて分離除去されることとなり、空気の清浄化効率が著しく向上し、且つ気体浄化ユニットＡの加湿機能がケミカルフィルタＢの除去効率を損なうということがなくなる。

その他の構成および作用効果は、第１の実施の形態におけると同様なので説明を省略する。

第３の実施の形態
図８には、本願発明の第３の実施の形態にかかる気体浄化装置が示されている。

この場合、空気通路Ｑには、気体浄化ユニットＡと前記ケミカルフィルタＢとが並列に配置されている。このようにすると、非清浄空気Ｗ′中の汚染物質のうち水溶性汚染物質は気体浄化ユニットＡにおいて分離除去され且つ非水溶性汚染物質はケミカルフィルタＢにおいて除去されることとなり、空気の清浄化効率が著しく向上する。

その他の構成および作用効果は、第１の実施の形態におけると同様なので説明を省略する。

第４の実施の形態
図９には、本願発明の第４の実施の形態にかかる気体浄化装置が示されている。

この場合、気体浄化ユニットＡは、空気通路Ｑを流通する空気の一部（例えば、略半分）が通過し得るように構成されている。このようにすると、気体浄化ユニットＡの加湿機能を抑制することができることとなり、温湿度調整が容易に行える。符号１２は気体浄化装置Ｚの底部に形成された給気口である。

その他の構成および作用効果は、第１の実施の形態におけると同様なので説明を省略する。

第５の実施の形態
図１０には、本願発明の第５の実施の形態にかかる気体浄化装置が示されている。

この場合、第２の実施の形態（図７参照）におけるケミカルフィルタＢを、空気通路Ｑを流通する空気の一部（例えば、略半分）が通過し得るように構成している。このようにすると、非清浄空気Ｗ′中に含まれる汚染物質の組成が有機汚染物質＜水溶性ガスであるものに有効となる。符号１２は気体浄化装置Ｚの底部に形成された給気口である。

その他の構成および作用効果は、第１および第２の実施の形態におけると同様なので説明を省略する。

第６の実施の形態
図１１には、本願発明の第６の実施の形態にかかる気体浄化装置が示されている。

この場合、第２の実施の形態（図７参照）における気体浄化ユニットＡを、空気通路Ｑを流通する空気の一部（例えば、略半分）が通過し得るように構成している。このようにすると、気体浄化ユニットＡの加湿機能を抑制することができることとなり、温湿度調整が容易に行える。

その他の構成および作用効果は、第１および第２の実施の形態におけると同様なので説明を省略する。

上記各実施の形態においては、気体浄化装置Ｚが付設される装置Ｘをウエーハ移載機としているが、該装置Ｘは、ウエーハ移載機に限らず、洗浄装置あるいはフォトレジスト塗布現像装置等の基板処理装置やミニエンバイロメント（ＥＦＥＭ）などとすることができる。

本願発明の第１の実施の形態にかかる気体浄化装置の概略構成を示す断面図である。 本願発明の第１の実施の形態にかかる気体浄化装置における気体浄化ユニットの一部を断面とした斜視図である。 本願発明の第１の実施の形態にかかる気体浄化装置における気体浄化ユニットの作用を説明するための説明図である。 本願発明の第１の実施の形態にかかる気体浄化装置における気体浄化ユニットの他の例を示す断面図である。 本願発明の第１の実施の形態にかかる気体浄化装置における気体浄化ユニットの他の例を示す図である。 本願発明の第１の実施の形態にかかる気体浄化装置における気体浄化ユニットの他の例を示す図である。 本願発明の第２の実施の形態にかかる気体浄化装置の概略構成を示す断面図である。 本願発明の第３の実施の形態にかかる気体浄化装置の概略構成を示す断面図である。 本願発明の第４の実施の形態にかかる気体浄化装置の概略構成を示す断面図である。 本願発明の第５の実施の形態にかかる気体浄化装置の概略構成を示す断面図である。 本願発明の第６の実施の形態にかかる気体浄化装置の概略構成を示す断面図である。

符号の説明

１はタンク
２はパイプ
３は純水循環手段
４は純水供給手段
６は温度制御機構（熱交換器）
７は水再生機構
１０は水通路
２９は膜エレメント
Ａは気体浄化ユニット
Ｂは吸着除去装置
Ｑは空気通路
Ｗは清浄空気
Ｗ′は非清浄空気
Ｘは装置（ウエーハ移載機）
Ｚは気体浄化装置

Claims (12)

1. 空気が流通する空気通路（Ｑ）内には、多孔質膜を介して気液接触を行うことにより非清浄空気（Ｗ′）中の汚染物質を液体中に分離除去する気体浄化ユニット（Ａ）と、非清浄空気（Ｗ′）中の汚染物質を除去するケミカルフィルタ（Ｂ）とを配設したことを特徴とする気体浄化装置。
2. 前記気体浄化ユニット（Ａ）を上流側に、前記ケミカルフィルタ（Ｂ）を下流側に位置するように直列に配置したことを特徴とする請求項１記載の気体浄化装置。
3. 前記ケミカルフィルタ（Ｂ）を上流側に、前記気体浄化ユニット（Ａ）を下流側に位置するように直列に配置したことを特徴とする請求項１記載の気体浄化装置。
4. 前記気体浄化ユニット（Ａ）を、前記空気通路（Ｑ）内を流通する空気の一部が通過し得るように構成したことを特徴とする請求項２および３のいずれか一項記載の気体浄化装置。
5. 前記ケミカルフィルタ（Ｂ）を、前記空気通路（Ｑ）内を流通する空気の一部が通過し得るように構成したことを特徴とする請求項２および３のいずれか一項記載の気体浄化装置。
6. 前記気体浄化ユニット（Ａ）と前記ケミカルフィルタ（Ｂ）とを並列に配置したことを特徴とする請求項１記載の気体浄化装置。
7. 前記ケミカルフィルタ（Ｂ）を、非水溶性汚染物質を除去できるように特化したことを特徴とする請求項１、２、３、４、５および６のいずれか一項記載の気体浄化装置。
8. 前記気体浄化ユニット（Ａ）を、純水を貯留するタンク（１）と、該タンク（１）内に架設された多孔質膜からなる多数のパイプ（２），（２）・・とにより構成したことを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６よび７のいずれか一項記載の気体浄化装置。
9. 前記気体浄化ユニット（Ａ）を、多孔質膜からなる膜エレメント（２９），（２９）・・を積層してなり、これらの膜エレメント（２９），（２９）・・を介して純水と非清浄空気（Ｗ′）とが接触するように構成したことを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６および７のいずれか一項記載の気体浄化装置。
10. 前記純水の温度を制御する温度制御機構（６）を付設したことを特徴とする請求項８および９のいずれか一項記載の気体浄化装置。
11. 前記気体浄化ユニット（Ａ）を循環する水を再生する水再生機構（７）を付設したことを特徴とする請求項８、９および１０のいずれか一項記載の気体浄化装置。
12. 前記純水として、この気体浄化装置で得られた清浄空気（Ｗ）が供給される装置（Ｘ）の排水を使用したことを特徴とする請求項８、９、１０および１１のいずれか一項記載の気体浄化装置。
    

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