JP2019125801A - Efem装置 - Google Patents
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Abstract
Description
7によって除去して、内部を清浄な状態に保つことが可能となっている。また、N2ガスはほとんど水分を含まない乾燥ガスであることから、内部の水分を少なくしてウエハW表面の腐食を防ぐこともできる。
そのため、LFC99によって水の流量を調整することで与える水分量を決定することができ、噴霧器96によって水を微小な霧状にしてN2ガスに含ませることができる。そして噴霧器96の下流側には、コイル状に形成された配管と、この配管を加熱するためのヒータ97aとから構成される気化器97が設けられている。ヒータ97aはヒータコントローラ97bにより電力を供給されることで、配管を流れるガスを加熱して、内部に含まれる水粒子を気化させることができる。さらに、噴霧器96より、気化器97を介してガス供給口91に至るまでのガス供給ラインGSを構成する配管には、配管保温材と保温用ヒータからなる保温手段HIが設けられており、一旦気化した水分が結露し、水滴となってケミカルフィルタボックス3B内に流入することがないようにしている。
2…搬送ロボット
5…制御手段
6…処理装置
7…ケミカルフィルタユニット(ケミカルフィルタ)
96…噴霧器
97…気化器
99…LFC(流量制御部)
CL…循環路
GE…ガス排出ライン
GS…ガス供給ライン
HS…水分供給手段
HG1,HG2…湿度検出器(湿度検出手段)
HI…保温手段
NS…ガス供給手段
W…ウエハ(被搬送物)
Claims (9)
- 筐体の内部に設けられた搬送ロボットを用いて処理装置側との間で被搬送物の受け渡しを行うためのEFEM装置であって、
前記筐体は、前記搬送ロボットを収容する搬送空間と、ガス処理装置を収容するガス処理空間と、前記搬送空間から前記ガス処理空間に気体を帰還可能なガス帰還空間とを有し、
前記搬送空間と前記ガス処理空間と前記ガス帰還空間とが連通することで1つの密閉空間を形成し、前記密閉空間にはガス供給部から供給ガスが供給され、
前記供給ガスが、前記搬送空間にダウンフローを形成するファンフィルタユニットにより下方に向かって進み、前記搬送空間の下方に設けられた吸引口を通って前記ガス帰還空間に入り、前記ガス帰還空間を上方に進み前記ガス処理空間に入り、前記ガス処理装置を通過して、前記搬送空間に戻るように循環路が形成され、
前記ガス処理装置はケミカルフィルタであり、前記ケミカルフィルタに供給される前記供給ガスに加湿を行う加湿装置が備えられる、
ことを特徴とするEFEM装置。 - 前記筐体内部の湿度を検出する湿度検出装置を有し、前記湿度検出装置の湿度検出値に基づいて前記加湿装置を動作させることを特徴とする請求項1に記載のEFEM装置。
- 前記ケミカルフィルタが、前記循環路を循環する前記供給ガスに含まれるケミカル成分を除去する機能を維持するよう、前記湿度検出値に基づき前記加湿装置を動作させる、請求項2に記載のEFEM装置。
- 前記筐体は、前記搬送空間を形成する本体ボックスと、前記ガス処理空間を形成するガス処理ボックスとを有し、前記ガス処理ボックス内にて、前記循環路を循環する前記供給ガスに加湿を行う請求項1から3のいずれかに記載のEFEM装置。
- 前記ガス処理ボックスに、前記ガス供給部が備えられ、
前記加湿装置による前記循環路を循環する供給ガスへの加湿は、前記ガス供給部を介して行われる、請求項4に記載のEFEM装置。 - 前記加湿装置は、前記ガス処理ボックス内にて、前記循環路を循環する前記供給ガスに水分を供給する、請求項4に記載のEFEM装置。
- 前記筐体は、前記ガス処理ボックスの上方に設けられる制御ボックスを有し、
前記制御ボックスの内部に設けられるコントローラユニットにより、前記加湿装置を制御する請求項4から6のいずれかに記載のEFEM装置。 - 前記ケミカルフィルタの下部に設けられるファンにより前記ファンフィルタユニットに前記供給ガスを送出する、請求項1から7のいずれかに記載のEFEM装置。
- 前記筐体内部の気体を排出するガス排出部をさらに有し、
前記筐体内部の圧力を検出する圧力検出装置の圧力検出値に基づいて前記ガス供給部および前記ガス排出部を動作させ前記筐体内部を陽圧に維持する、請求項1から8のいずれかに記載のEFEM装置。
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