CN1871562B - 载物台装置 - Google Patents

Abstract

一种载物台装置，具备：导引部件(2、3)，用来在基盘(1)上对2个移动体(4、5)分别进行导引；横梁(6)，与导引部件(2、3)正交地横架在2个移动体(4、5)之间，与2个移动体(4、5)一起移动；分别使2个移动体(4、5)移动，使横梁(6)相对与一轴方向垂直的偏转旋转轴旋转。

Description

载物台装置 

技术领域

本发明涉及载物台装置。本发明特别适用于包含可使2个移动体分别向一轴方向移动的2个线性马达、对2个移动体的至少一个进行导引的导引部件、和横架在2个移动体之间与2个移动体一起移动的横梁的载物台装置。 

背景技术

参照图1(a)、图1(b)说明这种载物台装置的一例。在图1(a)、图1(b)中，在基盘1上隔开规定的间隔相互平行地配设有2根导轨2及3。导轨2及3在图1(a)所示的Y轴方向上延伸。在导轨2及3上分别配置有移动体4及5。这里说明导轨2及移动体4，如图1(b)所示，在移动体4上具备静压轴瓦12。静压轴瓦12处于导轨2和移动体4之间。在移动体4上还具备静压轴瓦13。静压轴瓦13处于基盘1与移动体4之间。由此，移动体4能够沿着导轨2在Y轴方向上移动。 

同样，在移动体5上也具备静压轴瓦12及13。移动体5能够沿着导轨3在Y轴方向上移动。 

在移动体4和移动体5之间横架着横梁6。横梁6在图1(a)所示的X轴方向上延伸。横梁6的一端与移动体4刚性固定，另一端通过板弹簧构造8与移动体5连结。移动体4与横梁6的一端的固定例如是使用螺钉进行的。由此，横梁6能够与移动体4、5一起沿Y轴方向移动。 

在横梁6上配置有移动体(可动部)14。移动体14可以以横梁6为导引件沿X轴方向移动。在基盘1与移动体14之间配置有静压轴瓦14a～14c。静压轴瓦14a～14c安装在移动体14上。由此，移动体14利用静压轴瓦14a～14c相对于基盘1在Z轴方向被导引，能够沿X轴方向移动。 

另外，在图1(a)中，以除去了其一部分的状态表示移动体4，以除去了其上部的状态表示移动体14。 

在横梁6的中央部的下面上安装有静压轴瓦15。静压轴瓦15处于基盘1与横梁6之间。由此，横梁6被静压轴瓦15支撑。即，静压轴瓦15不妨碍移动体14的移动而在X轴方向及Y轴方向的整个行程上与横梁6一起移动并支撑横梁6的自重，支撑着横梁6以使过大的负荷不会作用在横梁6和移动体5的连结部等上。这样的载物台装置例如在日本特开2000-356693号公报(以下称作文献1)中公开。 

此外，作为移动体4、5、14的驱动源，通常采用线性马达。例如在导轨2与横梁6之间、在导轨3与横梁6之间分别构成线性马达，以使移动体4、5成为可动部。此外，在横梁6与移动体14之间构成线性马达，以使移动体14成为可动部。 

在采用可动线圈型马达作为线性马达的情况下，例如对于在导轨2与横梁6之间构成的线性马达说明如下。沿着导轨2以定间隔排列多个永久磁铁。将这些多个永久磁铁排列为，使多个永久磁铁隔开间隙地异磁极对置。接着，将连结在移动体4上的可动线圈可与移动体4一起移动地配置在间隙中。 

在这样的载物台装置中，除了上述结构以外，为了进行移动体4、5、14的位置控制而在各线性马达中具备由线性标尺与线性传感器的组合构成的位置传感器。并且，对于移动体4、5用的线性马达进行同步控制。这样的载物台装置在例如日本特开2000-155186号公报(以下称作文献2)中公开。 

在这样的载物台装置中，在移动体14上搭载有用来载置被加工部件等的工作台，执行以高精度将被加工部件定位那样的驱动控制。 

此外，在这样的载物台装置中，为了高精度地将被加工部件定位而需要使横梁6与导轨2、3正交。这是因为，要利用基盘1上的X坐标、Y坐标进行被加工部件的定位指定。在此前的载物台装置中，以仿效横梁6处于某个基准位置(基准坐标)、例如靠导轨2、3的一个端部上设定的原点位置时的机械精度的正交度为基准。以后，在移动体4、5发生位置偏移的情况下，通过分别对移动体4、5进行位置控制，将仿效上述机械精度的正交度维持在规定范围内。 

但是，这种载物台装置如果进行连续运转，则有时会因线性马达的发热作用使各部件、特别是横梁6及其周边的部件变形。结果，有时横梁6相对于导轨2、3的正交度会偏离上述规定范围。即，在此前的载物台装置中，如果连续运转则会在载物台装置中的各部件发生以发热为起因的温度上升。如果由此使横梁6的正交度变化，则存在不能将横梁6相对于导轨2、3的正交度维持在规定范围内、从而不能进行高精度的定位的问题。 

发明内容

所以，本发明的技术问题是提供一种具备即使在进行连续运转的情况下也能够将横梁相对于导轨的正交度维持在所设定的规定范围内的功能的载物台装置。 

本发明的载物台装置，具有：基盘；2个线性马达，用来使2个移动体分别在基盘上沿一轴方向移动；导引部件，用来对2个移动体中的至少一个沿一轴方向进行导引；横梁，与导引部件正交地横架在2个移动体之间，与2个移动体一起移动。 

根据本发明的技术方案，载物台装置还具备：2个线性标尺，用来检测上述2个移动体的各自的位置；2个原点传感器，用来规定上述2个移动体的各自的原点位置，检测上述2个移动体到达原点位置的情况；控制装置，用来接收来自上述2个线性标尺、上述2个原点传感器的检测信号，控制上述2个线性马达来进行上述2个移动体的位置控制；上述控制装置具有分别控制上述2个线性马达、使上述横梁相对与上述一轴方向垂直的偏转旋转轴旋转的偏转轴旋转控制功能，上述控制装置在该载物台装置启动时，取得在上述2个原点传感器检测到上述2个移动体到达原点位置的情况时上述2个线性标尺所检测的上述2个移动体的坐标数据，基于所取得的一个移动体的坐标数据和另一个移动体的坐标数据之间的差，来设定执行偏转轴旋转控制时的上述横梁和上述导引部件之间的正交度的基准值，基于上述基准值，执行控制，使得上述横梁相对于上述导引部件的正交度维持在规定范围内。 

在本发明的优选的技术方案的载物台装置中，控制装置具有内装有用来执行偏转轴旋转控制功能的偏转轴旋转控制程序的存储装置。存储装置将偏转轴旋转控制程序的初始值数据作为目标值存储。目标值是根据在载物台装置停止的状态下所测量的横梁的正交度由控制装置决定的，并且是为了将横梁设为规定范围内的正交度所需的修正值Δy1。 

偏转轴旋转控制程序是用来执行如下步骤的：在载物台装置启动时，在横梁的正交度变化的状态下将2个移动体驱动到由2个原点传感器检测到的位置，计算此时由2个位置传感器得到的2个坐标数据的差Δy3的步骤；利用修正值Δy1和差Δy3，使横梁相对偏转旋转轴旋转(Δy1-Δy3)的量的步骤。 

在载物台装置被置于实际的状态中的状态下使移动体移动到由2个原点传感器检测到的位置时，控制装置计算由2个位置传感器得到的2个坐标数据的差Δy0，将所计算的差Δy0存储到存储装置中。控制装置还根据所计算的差Δy0来决定修正值Δy1。 

本发明的载物台装置优选为，具备为了将2个移动体分别沿一轴方向导引而相互平行地沿一轴方向延伸的2个导引部件；横梁的一端固定在2个移动体的一个上，另一端经由板弹簧构造连结在2个移动体的另一个上。 

附图说明

图1(a)是用来说明以往的载物台装置的一例的平面图。 

图1(b)是用来说明以往的载物台装置的一例的正视图。 

图2(a)是用来说明本发明的载物台装置的一例的平面图。 

图2(b)是用来说明本发明的载物台装置的一例的正视图。 

图3是用来说明本发明的载物台装置的控制系统的一例的图。 

图4是用来说明在本发明中执行的、使横梁与导轨的正交度匹配的作业的图。 

图5是用来说明在本发明中载物台装置的连续运转后进行机械复位时所执行的作业的图。 

图6是用来说明在本发明中接着图5的作业所执行的作业的图。 

图7是用来说明在本发明中使用的原点传感器采用光学式传感器时的正交度的精度的图。 

图8是用来说明在本发明中使用的原点传感器采用磁式传感器时的正交度的精度的图。 

具体实施方式

参照图2(a)、图2(b)～图8说明本发明的载物台装置的优选的实施例。 

本发明的主旨是，即使在连续运转载物台装置后再次启动时，也能够将横梁相对于导轨的正交度维持在所设定的规定范围内。因而，本发明可以适用于下述载物台装置中，所述载物台装置包括基盘、可使2个移动体分别在一轴方向上移动的2个驱动源、对2个移动体的至少一个进行导引的导引部件、和横架在2个移动体之间与2个移动体一起移动的横梁。当然，本发明也可以适用于下述结构的载物台装置中，即，2个移动体分别由相互平行地沿一轴方向延伸的2个导引部件导引。即，本发明也可以适用于文献1所公开的用图1(a)、图 1(b)所说明那样的载物台装置、及文献2所公开的载物台装置中。 

另外，在本发明中，对于正交度而成为问题的所谓的横梁的变形，是指在平行于基盘的上面的面内的变形量。 

因此，以下以下述几点为前提条件进行说明。 

图2(a)、图2(b)表示本发明的实施例的载物台装置。该载物台装置除了后述的控制装置、原点传感器以外，具有与图1(a)、图1(b)所说明的载物台装置同样的结构。所以，对于与图1(a)、图1(b)所示的结构要素相同的结构要素赋予相同的参照标号，对于载物台装置的结构简单地进行说明。 

在图2(a)、图2(b)中，在基盘1上隔开规定的间隔相互平行地配设有2根导轨2及3。导轨2及3在Y轴方向上延伸。在导轨2及3上分别配置有移动体4及5。 

说明导轨2及移动体4，在移动体4上具备静压轴瓦12。静压轴瓦12处于导轨2和移动体4之间。在移动体4上还具备静压轴瓦13。静压轴瓦13处于基盘1与移动体4之间。由此，移动体4能够沿着导轨2在Y轴方向上移动。 

同样，在移动体5上也具备静压轴瓦12及13。移动体5能够沿着导轨3在Y轴方向上移动。 

在移动体4和移动体5之间横架着横梁6。横梁6在X轴方向上延伸。横梁6的一端与移动体4刚性固定，另一端通过板弹簧构造8与移动体5连结。移动体4与横梁6的一端的固定例如是使用螺钉进行的。由此，横梁6能够与移动体4、5一起沿Y轴方向移动。 

在横梁6上配置有移动体(可动部)14。移动体14可以以横梁6为导引件沿X轴方向移动。在基盘1与移动体14之间配置有静压轴瓦14a～14c。静压轴瓦14a～14c安装在移动体14上。由此，移动体14能够沿X轴方向移动。 

在横梁6的中央部的下表面上安装有静压轴瓦15。静压轴瓦15 处于基盘1与横梁6之间。由此，横梁6被静压轴瓦15支撑。 

作为移动体4、5、14的驱动源，采用线性马达。例如将线性马达构成为，在导轨2与横梁6之间、导轨3与横梁6之间移动体4、5分别为可动部。此外，将线性马达构成为，在横梁6与移动体14之间移动体14成为可动部。 

为了进行移动体4、5、14的位置控制，在各线性马达上具备由线性标尺与线性传感器的组合构成的位置传感器。各线性马达能够由后述的控制装置分别地控制。 

在该载物台装置中，在移动体14上搭载有用来载置被加工部件等的工作台，执行以高精度将被加工部件定位那样的驱动控制。 

如图3所示，表示位置检测值的位置检测信号从移动体4侧的位置传感器21及移动体5侧的位置传感器22反馈给控制装置20。位置传感器21及22例如采用上述那样由线性标尺与线性传感器的组合构成的位置传感器。在控制装置20上连接着用来驱动移动体4侧的线性马达的Y1驱动器23、和用来驱动移动体5侧的线性马达的Y2驱动器24。控制装置20将来自位置传感器21、22的位置检测值作为反馈值使用，根据与位置指令值之间的偏差控制Y1驱动器23、Y2驱动器24，来进行移动体4、5的位置控制。 

特别地，所谓能够分别对图2(a)、图2(b)所示的移动体4、5进行位置控制，是指控制装置20能够进行横梁6的偏转轴旋转控制。所谓偏转轴旋转控制，是指用来使横梁6能够相对其中心轴旋转微小角度的控制。此外，所谓横梁6的中心轴，是指X轴或与基盘1的上面垂直的Z轴方向的中心轴。以下将该中心轴称作偏转中心轴，将以其为中心的旋转称作偏转轴旋转。2个线性马达中的2个线性标尺间的距离遍及全长为一定。 

另外，图3为了使说明变得简单而仅表示本发明的载物台装置的控制系统的基本结构。本发明的载物台装置的控制系统并不限于图3。 此外，虽然在图3中没有图示，但也将来自移动体14侧的位置传感器(未图示)的位置检测信号反馈给控制系统20。控制装置20根据移动体14用的指令值和来自移动体14侧的位置传感器的位置检测值之间的偏差，控制移动体14用的驱动器(未图示)，来进行移动体14的位置控制。 

以下将移动体4侧的线性马达称作Y1线性马达，将设置于其中的线性标尺称作Y1标尺，将移动体5侧的线性马达称作Y2线性马达，将设置于其中的线性标尺称作Y2标尺。 

在图2(a)、图2(b)中，在靠近导轨2、3的一端侧的基盘1上分别设置有用于设定、检测移动体4、5的原点位置的原点传感器OS1、OS2。将原点传感器OS1、OS2的检测信号也输入到控制装置20中，横梁6(移动体4、5)设定为在原点传感器OS1、OS2的检测位置停止。原点传感器OS1、OS2是对移动体4、5的一部分到达那里的情况进行检测、如后述那样使用光学式、磁式等传感器。在后面就会清楚，磁式传感器能够得到比光学式传感器高的检测精度。在采用光学式传感器的情况下，在各个移动体4、5上设置用来遮断原点传感器OS1、OS2的光路的遮断部件SS1、SS2。在磁式传感器的情况下，除了磁性地检测被检测部件以外，配置关系可以认为是相同的。即，设置被检测部件作为SS1、SS2被设置。 

参照图4～图6说明作为上述本发明的主旨的、用来维持正交度的控制动作。 

图4是用来说明在将应用了本发明的载物台装置出厂前进行的、用来匹配正交度的作业的图。即，在载物台装置出厂前，执行用来取得初始状态的数据的作业。当然，该作业是使用装备在载物台装置中的控制装置20来执行的。 

在图4中，用Y1标尺检测Y1线性马达侧的移动体4的位置，用Y2标尺检测Y2线性马达侧的移动体5的位置。此时，横梁6的 偏转中心轴的位置用Y轴平移坐标表示。Y轴平移坐标的值为Y1标尺的坐标数据y1与Y2标尺的坐标数据y2的平均值(y1+y2)/2。 

(1)确保了组装精度的状态下的数据取得 

这是在正交度匹配的状态、即采用直角标准原器使横梁6相对于导轨2、3机械地正交的状态下执行的。 

1-a、准备 

在载物台装置为实际的状态(使横梁6相对于导轨2、3机械地正交之前的状态)的精度下启动Y1线性马达、Y2线性马达，取得横梁6(移动体4、5)到达由原点传感器OS1、OS2检测到的位置时的Y1标尺、Y2标尺的原点的坐标数据y10、y20。接着，由控制装置20计算这些坐标数据y10、y20的差Δy0(＝y10-y20)，作为参数Δy0保存在控制装置20内的存储装置20一1中。该参数Δy0包含原点传感器OS1、OS2的设置误差。所谓设置误差，是指因连接原点传感器OS1、OS2的线段不一定与导轨2、3正交而带来的误差成分。因而，在该准备作业中，意味着取得原点位置的几何学的位置数据。 

1-b、参数Δy0的修正 

利用直角标准原器测量正交度。根据所测量的正交度求出应对Δy0加减的值，来修正参数Δy0的值。接着，将修正后的值决定为修正参数Δy1。修正参数Δy1作为在以后说明的(3)项中匹配正交度时的基准值(目标值)。此时，考虑到直角标准原器与测量精度的误差，使正交度在[(直角标准原器与测量精度的误差)±0.2度]的精度范围内。这里，由于Y1标尺与Y2标尺间的距离为一定，所以正交度的精度评价设为通过角度来进行的。上述参数Δy1以后作为初始值数据使用。 

以后的作业在载物台装置的设置现场中以实际的使用状态进行，以下所说明的偏转轴旋转控制动作是通过控制装置20执行的。为此，在控制装置20的存储装置20-1中，预先保存有偏转轴旋转控制动 作用的程序。 

(2)机械复位时的数据取得 

在载物台装置的连续运转后，在进行机械复位(启动)时，如图5所示，假设在因发热等使正交度变化的状态下开始控制。与上述同样，启动Y1线性马达、Y2线性马达，取得横梁6(移动体4、5)到达由原点传感器OS1、OS2检测到的位置时的Y1标尺、Y2标尺的原点的坐标数据y13、y23。接着，由控制装置20计算这些坐标数据y13、y23的差Δy3(＝y13-y23)。 

(3)利用偏转轴旋转控制的正交度匹配 

为了利用偏转轴旋转控制匹配正交度所需的基准值(目标值)是在上述(1)项的1-b中决定的修正参数Δy1。 

即，参照图6，差(Δy1-Δy3)是相对正交度匹配的状态的旋转方向(偏转轴旋转方向)的偏差，所以以偏转轴为中心使横梁6旋转差(Δy1-Δy3)的值的部分。当然，旋转方向是修正正交度的偏差的方向。另外，在本实施例中，设偏转轴旋转控制的旋转角度的允许限度值为11秒。这是假设了在使横梁6旋转11秒时、所需的推力为线性马达的额定推力的10％的值。 

(4)确认作业 

再次执行上述(2)的工序，求出机械复位(启动)后的原点的差Δy4。接着，确认差Δy4的与基准值(目标值)的偏差(Δy1-Δy4)的值为允许值(±0.5秒)以下。即，确认(Δy1-Δy4)≤0±0.5秒。如果可确认这一点，则意味着横梁6与规定范围内的正交度匹配。另外，Δy4＝y14-y24。此外，y14、y24分别是横梁6(移动体4、5)到达由原点传感器OS1、OS2检测的位置时的Y1标尺、Y2标尺的原点的坐标数据。 

在万一(Δy1-Δy4)的值超过允许值(±0.5秒)的情况下，重复上述(3)、(4)的工序。 

在本实施例中，特别地，如果使载物台装置驱动用的电源关闭，则横梁6自动地回到规定位置(例如导轨2、3的中央部)。规定位置是已知的值，在上述机械复位时，开始横梁6从规定位置回到由原点传感器OS1、OS2检测到的位置的原点搜索动作。接着，使横梁6从由原点传感器OS1、OS2检测到的位置高速地移动到规定距离近前的位置之前微速地移动，然后，在到达由原点传感器OS1、OS2检测到的位置。由此，提高了向原点传感器OS1、OS2的到达精度，提高了由Y1标尺、Y2标尺得到的坐标数据的精度。 

接着，对于在原点传感器OS1、OS2中采用光学式传感器、以及比其更高精度的磁式传感器时的正交度的精度进行比较说明。 

在设置2个原点传感器的情况下，偏转原点的精度、即横梁6的正交度的精度是由原点传感器的测量精度、以及连接2个原点的线段不与导轨部件正交的相对位置的偏移决定的。 

参照图7说明使用光学式传感器的情况。设光学式传感器的重复位置再现性为±1μm，设因光学式传感器动作后的线性标尺的读取时间延迟而造成的横梁6的位移量为±1μm。在这种情况下，偏转原点精度具有合计±3μm的偏移。如果设横梁6的延伸长度为1080mm，则±3μm的偏移在变换成角度时为tan^-1(3μm/1080mm)，为大约±0.57秒。这虽然稍微超过了上述规定范围内的正交度±0.5秒，但是是能够大体满足的值。 

参照图8说明使用磁式传感器的情况。设磁式传感器的重复位置再现性为±0.1μm，设因磁式传感器动作后的线性标尺的读取时间延迟而造成的横梁6的位移量为±1μm。在这种情况下，偏转原点精度具有合计±1.2μm的偏移。如果设横梁6的延伸长度为1080mm，则±1.2μm的偏移在变换成角度时为tan^-1(1.2μm/1080mm)，为大约±0.23秒。这比上述规定范围内的正交度±0.5秒低很多。 

接着说明基盘1上的温度变化时对偏转原点的精度带来的影响。对于光学式传感器而言，提供了在温度从25℃变化为55℃时、即通过30℃的温度上升使检测位置变化20μm。在此情况下，为0.67μm/1℃。但是，在2个光学式传感器的温度变化相同的情况下，上述的变化可以忽视。假设在2个光学式传感器的温度变化中有1℃的差的情况下，为tan^-1(0.67μm/1080mm)，为大约±0.12秒。 

另一方面，对于磁式传感器而言，提供了相对于温度偏差0.1μm/1℃。假设在采用这样的磁式传感器的情况下，为tan^-1(0.1μm/1080mm)，为大约±0.02秒。 

另外，在图2(a)、图2(b)中，将原点传感器OS1、OS2和遮断部件或被检测部件SS1、SS2设置在稍稍离开导引部件2、3的内侧面的位置上。但是，它们的设置位置优选为导轨2、3的外侧。这是因为，从遮断部件或被检测部件SS1、SS2的设置部位到横梁6的前端的距离越大，对于角度的分辩能力、换言之与横梁6的变形量相关的分辩能力越高。 

已经就优选的实施例对本发明进行了说明，但本发明并不限于上述实施例。在上述实施例的载物台装置中，分别由在一轴方向上延伸的2个导引部件2、3导引由横梁6连结的2个移动体4、5，在横梁6上设置另一个移动体14。但是，本发明也能够适用于不具有另一个移动体14、而分别由在一轴方向上延伸的2个导引部件导引由横梁连结的2个移动体的结构的载物台装置中。在此情况下，将用来搭载被加工部件的工作台组合到横梁6上。本发明还能够适用于具备能够在基盘上使2个移动体分别在一轴方向上滑动的2个线性马达、由在一轴方向上延伸的导引部件仅导引2个移动体中的一个的结构的载物台装置中。当然，在2个移动体之间与导引部件正交地横架横梁，从而能够与2个移动体一起移动。 

在本发明的载物台装置中，即使由于连续运转、而发生了例如因温度上升而造成的横梁等的变形，也能够将横梁相对于导引部件的正 交度总是维持在规定范围内。由此，能够以高精度将搭载在横梁上的工作台上的被加工物定位。 

工业实用性 

本发明的载物台装置可以适用于能够将搭载有被加工部件的工作台至少沿X轴及Y轴方向、根据情况还可沿Z轴方向驱动的所有载物台装置中。 

Claims (6)

1.一种载物台装置，具有：基盘；2个线性马达，用来使2个移动体分别在上述基盘上沿一轴方向移动；导引部件，用来对上述2个移动体中的至少一个沿上述一轴方向进行导引；横梁，与上述导引部件正交地横架在上述2个移动体之间，与上述2个移动体一起移动；

其特征在于，具备：

2个线性标尺，用来检测上述2个移动体的各自的位置；

2个原点传感器，用来规定上述2个移动体的各自的原点位置，检测上述2个移动体到达原点位置的情况；

控制装置，用来接收来自上述2个线性标尺、上述2个原点传感器的检测信号，控制上述2个线性马达来进行上述2个移动体的位置控制；

上述控制装置具有分别控制上述2个线性马达、使上述横梁相对与上述一轴方向垂直的偏转旋转轴旋转的偏转轴旋转控制功能，

上述控制装置在该载物台装置启动时，取得在上述2个原点传感器检测到上述2个移动体到达原点位置的情况时上述2个线性标尺所检测的上述2个移动体的坐标数据，基于所取得的一个移动体的坐标数据和另一个移动体的坐标数据之间的差，来设定执行偏转轴旋转控制时的上述横梁和上述导引部件之间的正交度的基准值，

基于上述基准值，执行控制，使得上述横梁相对于上述导引部件的正交度维持在规定范围内。

2.如权利要求1所述的载物台装置，其特征在于，

上述控制装置具有内装有用来执行上述偏转轴旋转控制功能的偏转轴旋转控制程序的存储装置；

上述存储装置将上述偏转轴旋转控制程序的初始值数据作为目标值存储，上述目标值是基于在上述载物台装置停止的状态下所测量的上述横梁的正交度由上述控制装置决定的，是将上述横梁设为上述规定范围内的正交度所需的修正值Δy1。

3.如权利要求2所述的载物台装置，其特征在于，

上述偏转轴旋转控制程序是用来执行如下步骤的：

在该载物台装置启动时，在上述横梁的正交度变化的状态下将上述2个移动体驱动到由上述2个原点传感器检测到的位置，计算此时由上述2个线性标尺获得的2个坐标数据的差Δy3的步骤；

利用上述修正值Δy1和上述差Δy3，使上述横梁相对上述偏转旋转轴旋转(Δy1-Δy3)的量的步骤。

4.如权利要求3所述的载物台装置，其特征在于，

在该载物台装置被置于实际的状态中的状态下使上述移动体移动到由上述2个原点传感器检测到的位置时，上述控制装置计算由上述2个线性标尺获得的2个坐标数据的差Δy0，将所计算的差Δy0存储到上述存储装置中，上述控制装置还基于上述所计算的差Δy0来决定上述修正值Δy1。

5.如权利要求1～4中任一项所述的载物台装置，其特征在于，

作为上述原点传感器，使用光学式传感器或磁式传感器。

6.如权利要求5所述的载物台装置，其特征在于，

具备为了将上述2个移动体分别沿上述一轴方向导引而相互平行地沿上述一轴方向延伸的2个导引部件；

上述横梁的一端固定在上述2个移动体的一个上，另一端经由板弹簧构造连结在上述2个移动体的另一个上。

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