JP2003025178A - 同期制御装置 - Google Patents

同期制御装置

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JP2003025178A
JP2003025178A JP2001210861A JP2001210861A JP2003025178A JP 2003025178 A JP2003025178 A JP 2003025178A JP 2001210861 A JP2001210861 A JP 2001210861A JP 2001210861 A JP2001210861 A JP 2001210861A JP 2003025178 A JP2003025178 A JP 2003025178A
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axis
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JP2001210861A
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Kenichi Murata
健一 村田
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Yaskawa Electric Corp
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Yaskawa Electric Corp
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  • Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 2軸のモータとボールねじによって、1つの
駆動テーブルを駆動する2軸工作機械装置の、ピッチ誤
差に基づく駆動テーブルの位置ずれを補償する。 【解決手段】 同期制御装置は、第1軸と第2軸との任
意に選択された軸のモータに、上位装置から送られる指
令を伝達する指令スイッチ手段と、駆動テーブルの姿勢
を検出する2つの姿勢検出手段と、ピッチ誤差に対する
補正値を格納するピッチ誤差補正メモリを有する。第1
の位置において駆動テーブルが所定の姿勢になったとき
には、駆動テーブルを、所定の指令値に対応する所定距
離だけ第2の姿勢検出手段の方向に移動し、その位置で
第1軸および第2軸のモータの一方または双方に指令を
与えて、駆動テーブルの位置の偏りと姿勢の偏りを補償
する。そのとき、第1軸および第2軸のモータに与えら
れた指令値に基づいて第1軸および第2軸のボールねじ
のピッチ誤差に対する補正をする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、可動部とねじのは
め合いを介して結合する複数の推進軸を個々にサーボモ
ータで同期駆動する同期制御装置に関し、特に、当該可
動部の位置調整装置に関する。
【0002】
【従来の技術】前記の技術分野における従来技術として
は、特開平9−94735号に記載のクロスレールのバ
ランス調整装置がある。以下、この技術を引用技術と記
す。
【0003】大型の工作機械の中には、門形のマシニン
グセンタや、ガントリーミラーなどのように門形の構造
をもった工作機械がある。この種の門形工作機械では、
左右のコラムの間に水平なクロスレールが懸架されてい
る。このクロスレールは、主軸ヘッドを水平移動させる
ための案内面をもっている。
【0004】クロスレールはその左右両端部に組み込ま
れたボールナットを介して、左右のボールねじによって
懸垂された構造となっている。したがって、左右のボー
ルねじにクロスレールの荷重がかかるようになってい
る。その結果、主軸ヘッドがクロスレールの左右対称の
中心から左右どちらかの側に偏位しているときには、片
寄っている側のボールねじに、より大きなスラスト荷重
がかかり、遠い方のボールねじにかかる荷重は逆に減少
する。このように、主軸ヘッドの位置の変動によって、
左右両側のボールねじに伸縮が生じる。
【0005】このようなスラスト荷重の変動によるボー
ルねじの伸縮は、主軸ヘッドの左右運動の軌跡の真直精
度に影響を及ぼす結果、加工精度を大きく左右するこの
問題を解決するために、引用技術においては、主軸ヘッ
ドの水平位置に対応するボールねじの伸縮量のデータか
ら、各々のボールねじの伸縮量を相殺するように、主軸
ヘッドの水平位置に対応するボールねじの回転位置の補
正値をNC装置の記憶装置に格納している。
【0006】この補正値を示す補正信号を、ボールねじ
の回転位置を指定するNC指令信号に重畳することによ
って、クロスレール上の主軸ヘッドの水平位置に起因し
て生じる誤差を補償することができる。以上が引用技術
の概要である。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記の引用技術におい
て解決されていない1つの問題として、2軸のボールね
じのピッチ誤差の補正という問題がある。従来、1軸の
みによって駆動される工作機械装置においては、ボール
ねじピッチの誤差が長ストローク時に発生するので、ピ
ッチ誤差量を指令に加算して絶対位置量の補正を行って
いた。
【0008】2軸のモータおよびボールねじによって、
1つの駆動テーブルとその上部に搭載されるワークを駆
動する同期制御装置においては、各軸のボールねじの1
指令(1パルス)に対するピッチが必ずしも設計された
規定値にならない。このような、実際のピッチの、規定
値からのずれを以下の記述では、ピッチ誤差と記す。
【0009】このピッチ誤差は、駆動テーブルの位置を
示す位置信号をフィードバック信号としてモータを制御
するフルクローズ制御の場合には、補正の必要はない
が、モータに取り付けられたエンコーダで検出したモー
タの回転角をフィードバック信号としてモータを制御す
るセミクローズ制御の場合には、各軸に対して、ピッチ
誤差の補正をする必要がある。
【0010】図3は、ピッチ誤差補正を行わないでセミ
クローズ制御を行ったとき駆動テーブルが傾いた状態を
誇張して示した図である。図において、モータ1,2
は、ボールねじ3、4を介して駆動テーブル5を駆動す
る。ピッチ誤差補正を行わない場合には、各々のボール
ねじと駆動テーブルとの接続部の位置がずれ、直進性が
失われので図のように駆動テーブル5が回転しながら移
動する。その結果、削りすぎや削り不足が発生する。ま
たワークを切削する際に、加工面に筋が入るなどの問題
が発生する。
【0011】図4は、駆動テーブルが傾いた状態で加工
した場合の加工物の切削軌跡を示す図で、ワークの端面
に平行に切削するように設計されているにもかかわら
ず、駆動テーブルが傾いたために切削軌跡が端面に対し
て斜めになった例を示す。図4において、図3と同一の
参照番号が附けられている構成要素は、図3の該当する
構成要素と同一の機能を有する構成要素である。
【0012】図3および図4の例のように、駆動テーブ
ル5がボールねじ3、4に対して傾斜する理由はピッチ
誤差のみではない。図4の例では、例えば、モータを取
り付ける際に、ボールねじとテーブルの端面が平行にな
っているとは限らない。また、モータ1、2とボールね
じとを連結するとき、モータ軸とボールねじのシャフト
とを結合するカップリングの締め付け時に位置ずれが生
じることもある。位置ずれが生じた場合には、モータ
1、2に同じ指令を渡すような方式では、位置ずれを生
じたまま1つの駆動テーブルを動かすことになる。その
場合、加工対象物の加工面が設計どおりに削れないこと
になる。
【0013】前掲の引用技術の方式においては、主軸ヘ
ッドの移動によってボールねじに加わるスラスト荷重の
影響を除くことはできるけれど、ボールねじのピッチ誤
差や前記カップリングとモータの締結時の位置ずれを補
償することはできない。
【0014】本発明の目的は、ピッチ誤差に基づく駆動
テーブルの位置ずれを補償することができる同期制御装
置を提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するに
ために、本発明の同期制御装置は、第1の軸と第2の軸
との任意に選択された軸のモータに、上位装置から送ら
れる指令を伝達する指令スイッチ手段と、ボールねじの
軸心の方向、すなわち、前記駆動テーブルの推進方向に
対する該駆動テーブルの姿勢を検出する2つの姿勢検出
手段と、ピッチ誤差に対する補正値を格納するピッチ誤
差補正メモリとを有する。2つの姿勢検出手段は、駆動
テーブルの推進方向に所定距離をおいて配置され、相互
に独立に駆動テーブルの姿勢を検出する。
【0016】ピッチ誤差に対する補正は次のようにして
行われる。駆動テーブルの姿勢調整時において、第1の
姿勢検出手段が、第1の位置において駆動テーブルが所
定の姿勢から偏っていることを検出したときには、該偏
りを補償するように、第1の軸と第2の軸の一方のモー
タに指令を与え、駆動テーブルが所定の姿勢になったと
きには、駆動テーブルを、前記所定距離だけ第2の姿勢
検出手段の方向に移動し、その移動後の第2の位置にお
いて駆動テーブルが所定の姿勢にあることが検出されな
かったときには、第1の軸および第2の軸のモータの一
方または双方に指令を与えて、駆動テーブルの位置の偏
り、および姿勢の偏りを補償し、前記駆動テーブルの位
置の偏りおよび姿勢の偏りを補償するために、第1の軸
および第2の軸のモータに与えられた指令値を、前記所
定距離に対応するピッチ誤差に基づく移動距離の誤差と
して、第1の軸および第2の軸のボールねじのピッチ誤
差に対する補正をする。
【0017】指令スイッチ手段の1つの実施態様は、上
位装置と第1の軸のモータとを接続する第1のスイッチ
要素と、前記上位装置と第2の軸のモータとを接続する
第2のスイッチ要素とを有し、第1のスイッチ要素と第
2のスイッチ要素とは相互に独立にオン・オフ制御され
るように構成されることができる。
【0018】前記駆動テーブルは、その進行方向に対し
て横方向の2つの側面のそれぞれに、当該駆動テーブル
の姿勢を検出するための姿勢指標手段を備え、各々の姿
勢検出手段は、駆動テーブルが姿勢検出位置にあるとき
に姿勢指標手段を検出するために前記駆動テーブルの横
方向の両側に設けられた2つのセンサ手段を有し、その
2つのセンサ手段は、駆動テーブルが姿勢検出位置にあ
るとき、該駆動テーブルが所定の基準姿勢にある場合に
おいてのみ、同時に前記姿勢指標手段を検出する。
【0019】したがって、2つのセンサ手段の中の一方
だけが駆動テーブルの姿勢指標手段を検出したときに
は、駆動テーブルは、その推進方向に対して傾いた姿勢
にあることになる。逆に、2つのセンサ手段の両方が駆
動テーブルの姿勢指標手段を検出したときには、駆動テ
ーブルは、その推進方向に対して正常(基準)姿勢にあ
ることになる。
【0020】姿勢指標手段として、駆動テーブルの側面
と、駆動テーブルの推進方向の端面とが隣接する、当該
側面の辺(鉛直方向を向く辺)を用いることができる。
【0021】
【発明の実施の形態】図1は本発明の同期制御装置の制
御対象である2軸工作機械装置の概略図である。図1に
おいて、第1軸ボールねじ3は第1軸サーボモータ1に
結合され、第2軸ボールねじ4は第2軸サーボモータ2
結合され、それぞれのボールねじの伝達力によってサー
ボモータ1および2の動力を駆動テーブル5に伝達す
る。センサ6、7およびセンサ8、9は、ボールねじ
3、4の両側に配置され、その推進方向(軸方向)に対
する駆動テーブル5の姿勢(傾斜)を検出する。
【0022】センサの種類は特に限定する必要はないけ
れど、本実施形態においては光学的なセンサを用い、セ
ンサから発射された光が駆動テーブルの側面で反射さ
れ、その反射光をセンサが検出する。
【0023】駆動テーブル5の姿勢を検出する第1の実
施例においては、駆動テーブル5は、その2つの側面の
それぞれに、当該駆動テーブルの姿勢を検出するための
姿勢指標として、鉛直方向の指標線を備え、センサ6、
7およびセンサ8、9は、駆動テーブルの両側に配置さ
れている。センサ6、7およびセンサ8、9は、駆動テ
ーブル5が姿勢検出位置にあるとき、該駆動テーブルが
所定の基準姿勢(傾いていない姿勢)にある場合におい
てのみ、同時に指標線の像を検出するように構成され
る。
【0024】そのために、各センサは、指標線の像を結
像する光学系と像の検出を電気信号に変換して通知する
電気系によって構成されている。また、その光学系の光
軸は、指標線に向けられている。また、センサ6と7の
駆動テーブルの推進方向に関する相対位置、および、セ
ンサ8と9の駆動テーブルの推進方向に関する相対位置
は、駆動テーブル5が基準姿勢にあるとき、センサ6と
7、およびセンサ8と9が同時に駆動テーブル5の両側
面にある指標線を検出するように設定されている。
【0025】以下の記述では、センサが姿勢指標を検出
したとき、センサから出力される電気信号をセンサオン
信号と記し、センサオン信号が発生している状態をセン
サオン状態と記す。また、センサが姿勢指標を検出しな
い状態においては、センサは電気信号を出力しない。こ
の状態をセンサオフ状態と記す。また、センサがセンサ
オフ状態からセンサオン状態に遷移することをターンオ
ンと記し、センサオン状態からセンサオフ状態に遷移す
ることをターンオフと記す。
【0026】このようにセンサ6および7、センサ8お
よび9を配置すると、駆動テーブル5が基準姿勢を保ち
ながらサーボモータの方向に移動してきたときには、2
つのセンサ6、7は同時にターンオンする。逆に、駆動
テーブルが基準姿勢から偏っている場合には、サーボモ
ータ方向に移動してきた駆動テーブル5の指標線からの
光によって2つのセンサ6、7の何れかが先にターンオ
ンする。そして、2つのセンサ1、2のどちらが先にタ
ーンオンしたかによって駆動テーブル5は、時計方向に
傾いているか、または反時計方向に傾いているかを識別
することができる。
【0027】図2は、本発明の同期制御装置の一実施形
態のブロック図である。図中、図1と同一の参照番号を
付されている構成要素は、図1の対応する構成要素と同
一の機能を有する要素である。
【0028】切り替えスイッチ11は、第1軸側スイッ
チ要素と第2軸側スイッチ要素とを備えている。第1軸
側スイッチ要素、第2軸側スイッチ要素は、それぞれN
C指令(位置指令)10を第1軸サーボモータ1、およ
び第2軸サーボモータ2に接続する。ピッチ誤差補正値
メモリ16、17は、それぞれ第1軸、第2軸ボールね
じのピッチ誤差補正値が格納されている。ピッチ誤差補
正値の定め方は、後述する本実施形態の動作説明のなか
で説明する。加算器18、19はそれぞれ切り替えスイ
ッチ11を介して送られたNC指令とピッチ誤差補正値
メモリ16、17から読み出されたピッチ誤差補正値と
を加算して第1軸、第2軸補正指令を生成する。エンコ
ーダ14、15は、それぞれ第1、第2軸サーボモータ
1、2の位置を検出して検出した位置を示す第1軸、第
2軸位置信号を出力する。減算器20、21は、それぞ
れ第1軸、第2軸補正指令から第1軸、第2軸位置信号
を減算し、第1軸位置偏差、第2軸位置偏差を出力す
る。第1軸制御系、第2軸制御系13は、それぞれ第1
軸位置偏差、第2軸位置偏差を補償するように、第1
軸、第2軸サーボモータを駆動する。
【0029】次に、本実施形態の同期制御装置の動作と
ピッチ誤差補正値を定める手順を説明する。
【0030】まず、駆動テーブル5が図3のように傾い
ていない状態にする。
【0031】前回のサーボモータオン時にボールねじに
捻じりの力がかかっていた状態では、サーボモータがオ
フした時に、その捻り力が解放されてテーブルが図3の
ように傾く可能性がある。また、サーボモータを初めて
ボールねじに取り付けた後にも、駆動テーブルは傾いた
状態になる。このようなときには、傾きを調整して図1
の状態にする必要がある。
【0032】この傾きの調整は、次の手順で行われる。 1)駆動テーブル5を、センサ6、7のいずれかがオン
信号を出すまでセンサ8、9側からサーボモータ側に移
動させる。この時、その移動をするための第1軸位置指
令および第2軸位置指令は、同じ値に設定する。したが
って、切り替えスイッチ11の第1軸側スイッチ要素と
第2軸側スイッチ要素は両方オン状態である。 2)駆動テーブル5を移動させた結果、センサ6および
センサ7のうちの一方からセンサオン信号が出なかった
場合には、センサオン状態になった軸側は、そのままの
状態に停止させておき、センサオン信号が出なかった軸
側のサーボモータに1パルスずつ指令を与え、センサオ
ン信号が出るまで指令を与える。そのために、センサオ
ン状態の側の軸側スイッチ要素はオフ状態しておく。こ
のようにしてセンサオン信号が出なかった軸側のサーボ
モータのみに指令が入る。 3)センサ6、7がオン状態になるとテーブルの傾きが
無くなった状態になる。 4)センサ6とセンサ8、センサ7とセンサ9の距離は
既知の値に設定されている。原点位置(センサ6、7の
位置)からセンサ8、9の少なくとも一方がオン状態に
なるまで駆動テーブルを移動する。 5)センサがオン状態になった位置と指令値とが一致す
る場合には、ピッチ誤差補正はゼロである。駆動テーブ
ル5が指令値に対応する移動をしたとき、駆動テーブル
5の位置が行き足りなかった場合、また行きすぎた場合
にはピッチ補正をする。 6)指令によって指定された位置に移動した駆動デーブ
ル5が、センサのターンオン位置までたどり着かなかっ
た軸のモータに+1パルスずつ指令を与える。また、指
令によって指定された位置に移動した駆動デーブル5
が、センサのターンオン位置を通り過ぎた軸のモータに
は逆方向に移動するための指令パルスを1パルスずつ与
える。この時、切り替えスイッチ11は、センサがター
ンオンしなかった側の軸側スイッチのみオン状態にす
る。 7)指令を与えていって、センサがターンオンした時の
増分値が、ピッチ誤差量となる。 8)ピッチ補正値は、ピッチ誤差量を、センサ6とセン
サ8間の距離で割った値とする。 9)テーブルをプログラム運転する時には、移動距離に
対応してピッチ補正量を演算し、そのピッチ補正量を移
動距離に加算して(この加算は加算器18または19に
よって行う)、当該軸側の補正指令とする。 上記補正により、駆動テーブルは、図3のように傾くこ
となく、駆動すること可能になる。
【0033】上記の実施例は、姿勢指標として駆動テー
ブルの側面に鉛直方向の指標線を用いた場合の例である
が、姿勢指標として、駆動テーブルの側面の鉛直方向の
辺を用いることができる。
【0034】この場合には、センサは、センサから発射
された光が駆動テーブルによって遮断されて反射された
状態と、遮断されない状態すなわち反射されない状態と
の遷移点が指標検出に対応する。
【0035】したがって、センサとしては、反射光を収
束して電気信号に変換し、適切な閾値を設定して反射光
を受光した状態と受光しない状態とを弁別する装置であ
れば充分である。この実施例においても、センサ6、7
の相対位置およびセンサ8、9の相対位置は、駆動テー
ブル5が基準姿勢にあるとき、駆動テーブル5の姿勢検
出位置において同時に駆動テーブルの側面の鉛直方向の
辺を検出するように設定される。
【0036】また、他の実施例として、センサとして接
触スイッチを使用し、駆動テーブルの推進方向の端面
の、両側方部分を接触検知する。この実施例において
は、駆動テーブルの端面の、両側方部分が姿勢指標にな
る。2対の接触スイッチの各対を構成する2つの接触ス
イッチは、駆動テーブル5が基準姿勢にあるとき、同時
に駆動テーブルの端面の、両側方部分を接触検出するよ
うに配置される。
【0037】このように、設定される姿勢指標および使
用するセンサは種々あるけれど、駆動テーブルが姿勢検
出位置にあるとき、該駆動テーブルが所定の基準姿勢に
ある場合においてのみ、同時に姿勢指標を検出すること
によって駆動テーブルが基準姿勢にあるか否かを検知す
る。
【0038】
【発明の効果】以上説明したように、本発明はつぎの効
果を有する。 1)駆動テーブルが所定の基準姿勢にある場合において
のみ、同時に姿勢指標を検出するセンサによって駆動テ
ーブルが基準姿勢にあるか否かを検知し、駆動テーブル
が基準姿勢にない場合には、それぞれのボールねじを独
立に駆動して、基準姿勢からのずれを補償することによ
ってテーブルの傾きを補正することができる。その結
果、図4に示すような切削ずれが発生することはない。 2)第1の姿勢検出手段によって駆動テーブルを基準姿
勢に調整したのちに、第1の姿勢検出手段から所定距離
の位置にある第2の姿勢検出手段の方向に、その所定距
離に該当する指令値を与えて第1軸、第2軸のモータを
駆動したとき、第2の姿勢検出手段が、駆動テーブルが
基準姿勢にあることを検出しなかったときには、第1
軸、第2軸のモータに独立に指令を与えて駆動テーブル
の位置の偏り、姿勢の偏りを補正し、その補正のために
与えた指令値をピッチ誤差に対応する位置誤差として記
憶することによって、ピッチ誤差に基づく駆動テーブル
の位置ずれを補正することができる。 3)本発明は、懸垂支持される2軸のボールねじとサー
ボモータを有する工作機械にも適用される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の同期制御装置の制御対象である2軸工
作機械装置の概略図である。
【図2】本発明の同期制御装置の一実施例のブロック図
である。
【図3】駆動テーブルが傾いた状態を示す図である。
【図4】駆動テーブルが傾いた状態で加工した場合の加
工物の切削軌跡を示す図である。
【符号の説明】
1 第1軸サーボモータ 2 第2軸サーボモータ 3 第1軸ボールねじ 4 第2軸ボールねじ 5 駆動テーブル 6 第1センサ 7 第2センサ 8 第3センサ 9 第4センサ 10 指令器 11 切り替えスイッチ 12 第1軸制御系 13 第2軸制御系 14 第1軸モータエンコーダ 15 第2軸モータエンコーダ 16 第1軸ピッチ誤差補正値メモリ 17 第2軸ピッチ誤差補正値メモリ 18 カッティングツール 19 加工軌跡
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 3C001 KA01 KB10 TA02 TB01 TD03 3C029 AA03 AA40 5H269 AB01 BB03 EE06 EE10 FF06 HH03 JJ04 5H303 AA10 BB01 BB07 BB17 CC06 DD25 GG01 GG11

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 2軸のモータと該モータに連結されてい
    るボールねじによって、1つの駆動テーブルを駆動する
    同期制御装置において、 第1の軸と第2の軸との任意に選択された軸のモータ
    に、上位装置から送られる指令を伝達する指令スイッチ
    手段を有することを特徴とする同期制御装置。
  2. 【請求項2】 前記ボールねじの軸心の方向、すなわ
    ち、前記駆動テーブルの推進方向に対する該駆動テーブ
    ルの姿勢を検出する2つの姿勢検出手段を有し、該2つ
    の姿勢検出手段は、前記駆動テーブルの推進方向に所定
    距離をおいて配置され、相互に独立に駆動テーブルの姿
    勢を検出する、請求項1に記載の同期制御装置。
  3. 【請求項3】 ピッチ誤差に対する補正値を格納するピ
    ッチ誤差補正メモリを有し、駆動テーブルの姿勢調整時
    において、第1の姿勢検出手段が、第1の位置において
    駆動テーブルが所定の姿勢から偏っていることを検出し
    たときには、該偏りを補償するように、第1の軸と第2
    の軸の一方のモータに指令を与え、 駆動テーブルが前記所定の姿勢になったときには、前記
    駆動テーブルを、前記所定距離だけ第2の姿勢検出手段
    の方向に移動し、その移動後の第2の位置において前記
    駆動テーブルが前記所定の姿勢にあることが検出されな
    かったときには、第1の軸および第2の軸のモータの一
    方または双方に指令を与えて、駆動テーブルの位置の偏
    り、および姿勢の偏りを補償し、前記駆動テーブルの位
    置の偏りおよび姿勢の偏りを補償するために、第1の軸
    および第2の軸のモータに与えられた指令値を、前記所
    定距離に対応するピッチ誤差に基づく移動距離の誤差と
    して、第1の軸および第2の軸のボールねじのピッチ誤
    差に対する補正をする、請求項2に記載の同期制御装
    置。
  4. 【請求項4】 前記指令スイッチ手段は、前記上位装置
    と第1の軸のモータとを接続する第1のスイッチ要素
    と、前記上位装置と第2の軸のモータとを接続する第2
    のスイッチ要素とを有し、第1のスイッチ要素と第2の
    スイッチ要素とは相互に独立にオン・オフ制御される、
    請求項1に記載の同期制御装置。
  5. 【請求項5】前記駆動テーブルは、その進行方向に対し
    て横方向の2つの側面のそれぞれに、当該駆動テーブル
    の姿勢を検出するための姿勢指標手段を有し、各々の前
    記姿勢検出手段は、駆動テーブルが姿勢検出位置にある
    ときに姿勢指標手段を検出するために前記駆動テーブル
    の前記横方向の両側に設けられた2つのセンサ手段を有
    し、前記2つのセンサ手段は、前記駆動テーブルが姿勢
    検出位置にあるとき、該駆動テーブルが所定の基準姿勢
    にある場合においてのみ、同時に前記姿勢指標手段を検
    出する、請求項3に記載の同期制御装置。
  6. 【請求項6】 姿勢指標手段が、駆動テーブルの側面
    と、駆動テーブルの推進方向の端面とが隣接する、当該
    側面の辺である、請求項5に記載の同期制御装置。
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