JPH06148361A

JPH06148361A - ステージ移動装置

Info

Publication number: JPH06148361A
Application number: JP32239392A
Authority: JP
Inventors: Shigeru Akao; 茂赤尾; Keiichi Kimura; 景一木村
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1992-11-06
Filing date: 1992-11-06
Publication date: 1994-05-27

Abstract

(57)【要約】【目的】移動ステージを基準面に対して正確に位置合
せする。【構成】移動ステージ２を案内面３に沿って移動する
とき、センサ３１乃至３３により基準面１との距離を測
定する。これにより、移動ステージ２の基準面１に対す
るローリングとピッチングを検出し、これを補正する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えばＩＣを製造する
ような場合において、パターニングを行う場合に用いて
好適なステージ移動装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えばＩＣのパターニングを行う場合、
所定のパターンが描かれているフィルムを所定の位置に
移動し、基板に対して露光を行い、フィルムを戻して交
換する動作を繰り返す必要がある。このような場合にお
いて、フィルムは移動ステージに載置され、繰り返し所
定の位置に移動される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来のステージ移動装
置は、その機械的な精度を高くすることにより、移動ス
テージの移動位置を正確に制御するようにしている。し
かしながら、パターニングが行われる基板は、パターニ
ングを行う都度、微妙に変化する。その結果、移動ステ
ージの移動位置を機械的精度により規定したとしても、
前のパターニングにおいて移動した位置と、次のパター
ニングにおいて移動すべき位置が変化してしまい、結
局、前のパターニング位置と次のパターニング位置を正
確に位置合せすることが困難になる課題があった。

【０００４】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
ものであり、正確に位置合せができるようにするもので
ある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明のステージ移動装
置は、所定の方向に移動する移動ステージ２と、移動ス
テージ２を案内する案内面３と、例えば移動ステージ２
に取り付けられ、所定の基準面１との距離を光学的に計
測するセンサ３１乃至３３とを備えることを特徴とす
る。

【０００６】センサ３１乃至３３の出力に対応して、移
動ステージ２と基準面１との相対的位置を微少に制御す
る微動機構４１をさらに設けることができる。

【０００７】また、センサ３１乃至３３により、移動ス
テージ２のローリング、ピッチング、またはヨーイング
を検出するようにすることができる。基準面にトラック
６１を形成し、ヨーイングを検出する場合、トラック６
１に、さらにピット６２を形成し、このピット６２を計
数して、移動ステージ２の位置を検出するようにするこ
とができる。

【０００８】

【作用】上記構成のステージ移動装置においては、移動
ステージ２と基準面１との相対的な距離がセンサ３１乃
至３３により計測される。従って、正確な位置の調整が
可能となる。

【０００９】

【実施例】図１は、本発明のステージ移動装置の第１の
実施例を示している。基台５には支柱４が立設されてお
り、この支柱４には、案内面３を有する、断面が四角形
状の柱状部材が支持されている。移動ステージ２は、こ
の案内面３に案内されて、Ｘ軸方向（図中、左方向）に
移動するようになされている。移動ステージ２の進行方
向の左側の側面には、その前端部と後端部に、それぞれ
センサ３１と３２が取り付けられており、右側面の先端
には、センサ３３が取り付けられている。基台５の上に
は基準面１が載置され、センサ３１乃至３３は、移動ス
テージ２と基準面１との距離（絶対的距離または相対的
距離）を計測するようになされている。

【００１０】移動ステージ２は、案内面３に案内されて
Ｘ軸方向に移動するとき、それぞれＸ軸、Ｙ軸、または
Ｚ軸を中心として、若干回動する。この回動は、それぞ
れローリング、ピッチング、またはヨーイングと称され
る。

【００１１】図２は、ローリングの検出方法を示してい
る。同図に示すように、センサ３１は基準面１との距離
を計測し、また、センサ３３も基準面１との距離を計測
する。センサ３１により計測された距離をＬ₃₁、センサ
３３により計測された距離をＬ₃₃とするとき、ローリン
グ誤差Ｄ_rは、次式により求めることができる。Ｄ_r＝sin^-1（（Ｌ₃₁−Ｌ₃₃）／Ｌ₁）ここで、Ｌ₁は、センサ３１と３３の距離を表してい
る。

【００１２】また、この場合における移動ステージ２の
基準面１に対する距離（高さ）Ｌ_rcは、次式により演算
することができる。Ｌ_rc＝（Ｌ₃₁＋Ｌ₃₃）／２

【００１３】このようにして求めた距離Ｌ₃₁とＬ₃₃の差
ΔＬ_r（ΔＬ_r＝Ｌ₃₁−Ｌ₃₃）が０になるようにするとと
もに、Ｌ_rcが予め設定された一定の値になるように制御
することで、移動ステージ２のローリングを補正するこ
とができる。

【００１４】図３は、ピッチングを補正する原理を示し
ている。同図に示すように、センサ３１により計測され
た移動ステージ２と基準面１との距離をＬ₃₁、センサ３
２により計測された距離をＬ₃₂、センサ３１と３２の距
離をＬ₂とするとき、ピッチング誤差Ｄ_Pは、次式により
演算することができる。Ｄ_P＝sin^-1（ΔＬ_P／Ｌ₂）＝sin^-1（（Ｌ₃₁−Ｌ₃₂）／Ｌ₂）

【００１５】また、この場合における移動ステージ２の
基準面１に対する距離（高さ）Ｌ_PCは、次式により演算
される。Ｌ_PC＝（Ｌ₃₁＋Ｌ₃₂）／２

【００１６】従って、ΔＬ_P（＝Ｌ₃₁−Ｌ₃₂）が０にな
るようにするとともに、Ｌ_PCが予め設定された所定の値
になるように制御することで、ピッチング誤差を補正す
ることができる。

【００１７】図４および図５は、ローリング誤差とピッ
チング誤差を補正する機構を設けた実施例を示してい
る。即ち、この実施例においては、移動ステージ２が、
内側移動ステージ２１と外側移動ステージ２２に分割さ
れている。内側移動ステージ２１は、案内面３により案
内されるようになされている。そして、外側移動ステー
ジ２２は、微動機構４１を介して内側移動ステージ２１
に取り付けられている。そして、この外側移動ステージ
２２にセンサ３１乃至３３が取り付けられている。

【００１８】従って、ローリング誤差Ｄ_rおよびピッチ
ング誤差Ｄ_Pに対応する信号により、微動機構４１を駆
動し、外側移動ステージ２２の位置を微少に調整するよ
うにすれば、外側移動ステージ２２の位置を、基準面１
に対して正確に所定の位置（ローリングとピッチングを
補正した位置）に配置することが可能となる。

【００１９】図６は、微動機構４１の構成例を示してい
る。この実施例においては、微動機構４１が、３つの微
動機構４１ａ乃至４１ｃにより構成されている。微動機
構４１ａは、外側移動ステージ２２の前方端部の近傍の
中央に配置されており、微動機構４１ｂと４１ｃは、外
側移動ステージ２２の後方の端部の近傍に左右対称の位
置に配置されている。従って、例えばセンサ３１の出力
に対応して微動機構４１ｂを駆動し、センサ３３の出力
に対応して微動機構４１ｃを駆動するようにすれば、外
側移動ステージ２２のローリングが補正される。

【００２０】また、センサ３１の出力に対応して微動機
構４１ａを駆動し、センサ３２の出力に対応して微動機
構４１ｂと４１ｃを駆動することにより、ピッチング誤
差を補正することができる。

【００２１】図７は、センサ３１（３２，３３）の構成
例を示している。この実施例においては、レーザダイオ
ード５１より出射されたレーザ光が、偏光ビームスプリ
ッタ５２を介してコリメータレンズ５３に入射され、発
散光から平行光に変換されるようになされている。そし
て、この平行光が１／４波長板５４を介して対物レンズ
５５に入射され、この対物レンズ５５により基準面１上
に集束照射される。

【００２２】基準面１により反射されたレーザ光は、対
物レンズ５５、１／４波長板５４、およびコリメータレ
ンズ５３を介して偏光ビームスプリッタ５２に入射され
る。このようにして、偏光ビームスプリッタ５２に入射
されるレーザ光は、基準面１に向かう場合と、基準面１
から反射された場合とで、１／４波長板５４を２回透過
するため、その偏光面が９０度回転される。このため、
偏光ビームスプリッタ５２を透過することができず、そ
こで反射されて、シリンドリカルレンズ５６を介してフ
ォトダイオード５７に入射される。

【００２３】フォトダイオード５７は、例えば図８に示
すように、Ａ乃至Ｄの４つの領域に分割されている。こ
のフォトダイオード５７に入射されるレーザ光は、シリ
ンドリカルレンズ５６により非点収差が与えられるた
め、所謂、非点収差法の原理に基づくフォーカスエラー
信号を生成することができる。即ち、領域ＡとＣの出力
が加算器１２により加算され、領域ＢとＤの出力が加算
器１１により加算される。そして、加算器１１と１２の
出力が減算器１３により減算されて、フォーカスエラー
信号（（Ｂ＋Ｄ）−（Ａ＋Ｃ））が生成される。

【００２４】このようにして、加算器１１，１２と減算
器１３よりなる演算回路１４により生成されたフォーカ
スエラー信号は、対物レンズ５５と基準面１との距離が
所定の距離より近すぎる場合と、遠すぎる場合とで、正
負逆極性の信号を出力する。従って、このフォーカスエ
ラー信号が０となるように、微動機構４１を駆動するこ
とで、ローリング誤差およびピッチング誤差を補正する
ことができる。

【００２５】図９は、さらに他の実施例を示している。
この実施例においては、基準面１が単純な平面ではな
く、湾曲した面とされている。また、案内面３も、この
基準面１に沿って湾曲した面とされている。本実施例に
おいては、微動機構４１が設けられているため、湾曲し
た基準面１に対して正確に外側移動ステージ２２の位置
を調整することができる。

【００２６】尚、この図９の実施例においては、案内面
３を基準面１に対応して湾曲させるようにしたが、この
案内面３は、図４に示す場合と同様に、直線的な面で構
成することもできる。このようにしても、微動機構４１
で外側移動ステージ２２を湾曲した基準面１に対して常
に平行な姿勢に制御することができる。

【００２７】図１０は、ヨーイングを検出する構成例を
示している。この実施例においては、基台５に１本のト
ラック６１が形成されており、そして、このトラック６
１には多数のピット６２が形成されている。

【００２８】尚、この実施例においては、基台５が、こ
れまでの実施例における基準面１として、そこにトラッ
ク６１が形成されているが、基台５ではなく、これまで
の実施例のように、基準面１を基台５と別に設け、そこ
にピット６２を有するトラック６１を形成するようにす
ることもできる。

【００２９】図１１は、トラック６１の断面形状の例を
示している（この図１１は、図１２におけるXI−XI線断
面図を示している）。図１１（ａ）は、基台５から高さ
ｔだけ突出させてトラック６１を形成した実施例を示し
ている。このトラック６１の左右には、エッジ６１ａと
６１ｂが形成され、その中央にはピット６２が凹部とし
て形成されている。

【００３０】図１１（ｂ）は、トラック６１がエッジ６
１ａと６１ｂを有する溝として形成されている例を示し
ている。そして、この例においては、深さｔの溝からな
るトラック６１の中央に突部としてピット６２が形成さ
れている。

【００３１】図１２は、このようなトラック６１を設け
ることで、ヨーイングを検出する原理を示している。こ
の実施例においては、いま、センサ３１により、移動ス
テージ２がトラック６１より進行方向に向かって左側
（図中、下側）に幅Ｗ₃₁だけ、ずれていることを検出し
ている。また、センサ３２はトラック６１より右側（図
中、上側）に幅Ｗ₃₂だけ、ずれていることを検出してい
る。

【００３２】ヨーイング誤差Ｄ_yは、次式により演算す
ることができる。Ｄ_y＝sin^-1（ΔＷ／Ｌ₂）＝sin^-1（（Ｗ₃₁−Ｗ₃₂）／Ｌ₂）

【００３３】また、この場合における外側移動ステージ
２２のトラック６１からのシフト量Ｗ_Cは、次式より演
算することができる。Ｗ_C＝（Ｗ₃₁＋Ｗ₃₂）／２

【００３４】従って、ΔＷが０になるようにするととも
に、Ｗ_Cの値を予め設定された一定の値に制御するよう
にすることで、外側ステージ２２のヨーイングを補正す
ることができる。

【００３５】図１３および図１４は、ヨーイングを補正
するための機構を設けた実施例を示している。即ち、こ
の実施例においては、内側移動ステージ２１の左右側部
に微動機構４１ｄと４１ｅがそれぞれ設けられ、この微
動機構４１ｄと４１ｅを介して、外側移動ステージ２２
が内側移動ステージ２１に取り付けられている。従っ
て、上述したセンサ３１またはセンサ３２の出力に対応
して、この微動機構４１ｄまたは４１ｅを駆動すること
により、外側移動ステージ２２のヨーイングを補正する
ことができる。

【００３６】図１５は、微動機構４１ｄ，４１ｅの構成
例を示している。この実施例においては、微動機構４１
ｄが微動機構４１ｇと４１ｈにより構成され、微動機構
４１ｅが微動機構４１ｉにより構成されている。微動機
構４１ｇは、内側移動ステージ２１の左側面の前方端部
の近傍の位置（センサ３１に対応する位置）に配置さ
れ、微動機構４１ｈは、内側移動ステージ２１の左側面
の後方端部の近傍の位置（センサ３２に対応する位置）
に配置されている。そして、微動機構４１ｉは、内側移
動ステージ２１の右側面のＸ軸方向の中央の位置（微動
機構４１ｇと４１ｈのＸ軸方向の中間の位置）に配置さ
れている。

【００３７】従って、この実施例においては、センサ３
１が幅Ｗ₃₁の誤差に対応して出力するトラッキングエラ
ー信号に従って、微動機構４１ｇと４１ｉを、所定の割
合で駆動し、センサ３２が幅Ｗ₃₂の誤差に対応して出力
するトラッキングエラー信号に基づき、微動機構４１ｈ
と４１ｉを所定の割合で駆動することにより、ヨーイン
グを補正することができる。

【００３８】図１６は、このように、ローリングおよび
ピッチングだけでなく、ヨーイングをも検出する場合の
センサ３１（３２，３３）の構成例を示している。この
実施例においては、レーザダイオード５１と偏光ビーム
スプリッタ５２との間に回折格子５８が挿入されてい
る。その結果、レーザダイオード５１より出射されたレ
ーザ光が、この回折格子５８により実質的に３本の光ビ
ームに分割される。その結果、この３本の光ビームが対
物レンズ５５によりトラック６１上に照射されることに
なる。

【００３９】図１７は、トラック６１上に３本の光ビー
ムが照射された結果、形成された光スポットの位置を示
している。同図に示すように、３本の光のビームのうち
の中央の光ビームにより生成される光スポットＭは、ト
ラック６１の中央に形成され、その左右の光ビームによ
り形成される光スポットＬ，Ｒは、それぞれトラック６
１の左側のエッジ６１ａと右側のエッジ６１ｂにかかる
ように配置される。

【００４０】そして、このような３つの光スポットから
の反射レーザ光が、図１８に示すように、大きく３つに
分割されているフォトダイオード５７ａ乃至５７ｃにそ
れぞれ照射されるようになされている。即ち、中央の光
スポットＭからの反射によるレーザ光は、フォトダイオ
ード５７ａに入射される。そして、左側の光スポットＬ
に対応する反射レーザ光は、フォトダイオード５７ｂに
入射され、光スポットＲに対応する反射レーザ光は、フ
ォトダイオード５７ｃに入射される。

【００４１】フォトダイオード５７ｂと５７ｃの出力
を、減算器として動作する演算回路１５により減算する
ことにより、所謂、スリービーム法（ツービーム法）に
基づくトラッキングエラー信号を生成することができ
る。このトラッキングエラー信号が、上述した図１２に
おける幅Ｗ₃₁，Ｗ₃₂に対応する信号となる。

【００４２】また、フォトダイオード５７ａは、図８に
おける場合と同様に、Ａ乃至Ｄの４つの領域に区分され
ており、その出力が演算回路１４により演算され、フォ
ーカスエラー信号が生成される。

【００４３】また、領域Ａ乃至Ｄの出力は、演算回路１
６にも供給されて加算され（（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）とさ
れ）、さらに波形整形回路１７に供給され、波形整形さ
れた後、カウンタ１８に供給されている。カウンタ１８
は、波形整形回路１７より供給されるパルスの立上りエ
ッジあるいは立下りエッジをカウントすることにより、
トラック６１に形成されているピット６２の数をカウン
トする。図１２に示すように、このピット６２は、トラ
ック６１上に一定の周期で周期的に配置されている。従
って、このカウント値は、移動ステージ２のＸ方向の位
置に対応することになる。このようにして、Ｘ軸方向の
移動ステージ２の位置を検出する必要がない場合におい
ては、ピット６２を設ける必要がない。即ち、ヨーイン
グを検出するだけでよい場合においては、トラック６１
を設けるだけでよい。

【００４４】図１９は、トラック６１を湾曲して形成し
た実施例を示している。このように、トラック６１を湾
曲して形成した場合においても、移動ステージ２が、こ
のトラック６１に沿って移動するため、このトラック６
１に対するヨーイングを補正することができる。また、
この実施例においては、案内面３もトラック６１に沿っ
て湾曲するように形成されているが、上述したように、
この案内面３は直線的に形成することもできる。

【００４５】図２０は、図６に示すローリング誤差およ
びピッチング誤差を補正するための微動機構４１ａ乃至
４１ｃと、図１５に示すヨーイング誤差を補正する微動
機構４１ｇ乃至４１ｉを有するステージ移動装置におい
て、これらの微動機構４１ａ乃至４１ｉを駆動する回路
の構成例を示している。微動機構４１ａ乃至４１ｉは、
電磁機構あるいは圧電素子などよりなるアクチュエータ
と、これを駆動する駆動回路より構成されている。ま
た、各センサ３１乃至３３は、フォトダイオード５７ａ
乃至５７ｃと、演算回路１４，１５により構成されてい
る。

【００４６】外側移動ステージ２２の左側面の前方に配
置されているセンサ３１の演算回路１４が出力するフォ
ーカスエラー信号は、ローリングを補正するため、外側
移動ステージ２２の後方の左側に配置された微動機構４
１ｂに供給されている。また、外側移動ステージ２２の
右側面の前方に配置されたセンサ３３の演算回路１４が
出力するフォーカスエラー信号が、微動機構４１ｂの右
側に配置された微動機構４１ｃに供給されている。従っ
て、この微動機構４１ｂと４１ｃにより、ローリングが
補正される。

【００４７】また、ピッチングを補正するため、前方の
センサ３１の演算回路１４が出力するフォーカスエラー
信号が、外側移動ステージ２２の前方に配置された微動
機構４１ａに供給される。また、後方に配置されたセン
サ３２の演算回路１４が出力するフォーカスエラー信号
が、後方に配置された微動機構４１ｂと４１ｃに供給さ
れる。前方の微動機構４１ａは１個であるのに対して、
後方の微動機構は４１ｂ，４１ｃと２個であるため、後
者に供給する信号は前者に供給する信号とバランスをと
るため、所定の係数を乗算する等して調整することがで
きる。これにより、外側移動ステージ２２がピッチング
方向に制御される。

【００４８】さらに、外側移動ステージ２２の前方に配
置されたセンサ３１の演算回路１５が出力するトラッキ
ングエラー信号と、後方に配置されたセンサ３２の演算
回路１５が出力するトラッキングエラー信号が、演算回
路７１に入力され、所定の割合で分配され、左側面の前
方に配置された微動機構４１ｇ、左側面の後方に配置さ
れた微動機構４１ｈ、および右側面の中間に配置された
微動機構４１ｉを駆動する。これにより、外側移動ステ
ージ２２のヨーイングが補正される。

【００４９】尚、以上の実施例においては、基準面１
（基台５）に対して、外側移動ステージ２２をローリン
グ、ピッチング、あるいはヨーイング方向に駆動するよ
うにしたが、基準面１（基台５）を移動ステージ２に対
して各方向に移動させるようにすることも可能である。
さらに、センサ３１乃至３３を、基準面１（基台５）側
に配置することも可能である。

【００５０】また、以上において、フォーカスエラー信
号により相対的距離を検出するようにしたが、例えばＰ
ＳＤを用いることにより、絶対的距離を検出することも
可能である。

【００５１】

【発明の効果】以上の如く請求項１に記載のステージ移
動装置によれば、移動ステージと所定の基準面との距離
をセンサにより光学的に計測するようにしたので、移動
ステージと基準面の位置を正確に検出することが可能と
なる。

【００５２】請求項２に記載のステージ移動装置によれ
ば、センサの出力に対応して、移動ステージと基準面と
の相対的位置を制御するようにしたので、両者の相対的
位置を常に所定の位置に制御することが可能となる。

【００５３】請求項３乃至５のステージ移動装置によれ
ば、それぞれローリング、ピッチングまたはヨーイング
を検出するようにしたので、これらの方向の誤差が補正
可能となる。

【００５４】さらに請求項６に記載のステージ移動装置
によれば、トラックにピットを形成するようにしたの
で、移動ステージの位置を検出することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のステージ移動装置の一実施例の構成を
示す斜視図である。

【図２】図１の実施例のローリングの検出の原理を説明
する図である。

【図３】図１の実施例のピッチングの検出の原理を説明
する図である。

【図４】本発明のピッチングおよびローリングを補正す
るステージ移動装置の一実施例の構成を示す斜視図であ
る。

【図５】図４のＶ−Ｖ線の断面図である。

【図６】図５の微動機構４１の構成例を示す平面図であ
る。

【図７】図１の実施例のローリングとピッチングを検出
するセンサ３１の構成例を示す図である。

【図８】図７のフォトダイオード５７の構成例とその出
力を演算する演算回路の構成を示すブロック図である。

【図９】本発明のステージ移動装置の他の実施例の構成
を示す斜視図である。

【図１０】本発明のヨーイングを検出するステージ移動
装置の一実施例の構成を示す斜視図である。

【図１１】図１２のXI−XI線の断面を示す断面図であ
る。

【図１２】図１０の実施例におけるヨーイングの検出の
原理を説明する図である。

【図１３】本発明のヨーイングを補正する実施例の構成
を示す斜視図である。

【図１４】図１３のXIV−XIV線の断面図である。

【図１５】図１４の微動機構４１ｄ，４１ｅの構成例を
示す図である。

【図１６】本発明のヨーイングを検出する場合のセンサ
３１の構成を示す図である。

【図１７】図１６のトラック６１上の光スポットの位置
関係を説明する図である。

【図１８】図１６のフォトダイオード５７の構成例とそ
の出力を演算する演算回路の構成を示す図である。

【図１９】本発明のヨーイングを補正する他の実施例の
構成を示す斜視図である。

【図２０】ローリング、ピッチングおよびヨーイングを
補正する場合のセンサ３１乃至３３の出力に対応して微
動機構４１ａ乃至４１ｉを駆動する電気的構成を示すブ
ロック図である。

【符号の説明】

１基準面２移動ステージ３案内面５基台１１，１２加算器１３減算器１４乃至１６演算回路１７波形整形回路１８カウンタ２１内側移動ステージ２２外側移動ステージ３１乃至３３センサ４１，４１ａ乃至４１ｉ微動機構５１レーザダイオード５６シリンドリカルレンズ５７フォトダイオード６１トラック６１ａ，６１ｂエッジ６２ピット

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｆ 8418−4Ｍ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】所定の方向に移動する移動ステージと、前記移動ステージを案内する案内面と、前記移動ステージと所定の基準面の一方に取り付けら
れ、他方との距離を光学的に計測するセンサとを備える
ことを特徴とするステージ移動装置。
【請求項２】前記センサの出力に対応して、前記移動
ステージと基準面との相対的位置を微少に制御する微動
機構をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の
ステージ移動装置。
【請求項３】前記センサは、前記移動ステージのロー
リングを検出することを特徴とする請求項１または２に
記載のステージ移動装置。
【請求項４】前記センサは、前記移動ステージのピッ
チングを検出することを特徴とする請求項１，２または
３に記載のステージ移動装置。
【請求項５】前記基準面にはトラックが形成され、前記センサは前記トラックを追跡して、前記移動ステー
ジのヨーイングを検出することを特徴とする請求項１乃
至４のいずれかに記載のステージ移動装置。
【請求項６】前記トラックにはピットが形成され、前記センサは前記ピットを計数して、前記移動ステージ
の位置を検出することを特徴とする請求項５に記載のス
テージ移動装置。