JP3222295B2 - 光学式変位センサ - Google Patents
光学式変位センサInfo
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- JP3222295B2 JP3222295B2 JP31961193A JP31961193A JP3222295B2 JP 3222295 B2 JP3222295 B2 JP 3222295B2 JP 31961193 A JP31961193 A JP 31961193A JP 31961193 A JP31961193 A JP 31961193A JP 3222295 B2 JP3222295 B2 JP 3222295B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、三角測距の原理を応
用して被検出物の位置を検出する光学式変位センサに関
する。
用して被検出物の位置を検出する光学式変位センサに関
する。
【０００２】
【従来の技術】被検出物までの距離または被検出物の変
位を光学的に検出する変位センサとして、従来より図４
に示す構成を備えたものがある。図４において、半導体
レーザなどの発光素子１０１の光を投光レンズ１０２を
介して被検出物１１０に配光し、被検出物１１０におけ
る反射光を受光レンズ１０３を介して光位置検出素子
（以下ＰＳＤという。）１０４で受光する。被検出物１
１０の受光レンズ１０３に対する距離変化は、被検出物
１１０における反射光の受光レンズ１０３に対する入射
角の変化となって現れ、受光レンズ１０３を挟んで被検
出物１１０と反対側に位置するＰＳＤ１０４において反
射光スポットが形成される位置は、反射光の入射角変
化、即ち、被検出物の位置変化によって変わる。例え
ば、図４において被検出物１１０が位置ａ→ｂ→ｃのよ
うに変化すると、ＰＳＤ１０４における反射光スポット
の形成位置は、ａ´→ｂ´→ｃ´のように変化する。こ
のＰＳＤ１０４は、長手方向における受光位置に応じた
大きさの両端電流を出力する。したがって、ＰＳＤ１０
４の両端電流を測定することにより反射光の入射角変化
を通じて被検出物１１０の位置を検出できる。
位を光学的に検出する変位センサとして、従来より図４
に示す構成を備えたものがある。図４において、半導体
レーザなどの発光素子１０１の光を投光レンズ１０２を
介して被検出物１１０に配光し、被検出物１１０におけ
る反射光を受光レンズ１０３を介して光位置検出素子
（以下ＰＳＤという。）１０４で受光する。被検出物１
１０の受光レンズ１０３に対する距離変化は、被検出物
１１０における反射光の受光レンズ１０３に対する入射
角の変化となって現れ、受光レンズ１０３を挟んで被検
出物１１０と反対側に位置するＰＳＤ１０４において反
射光スポットが形成される位置は、反射光の入射角変
化、即ち、被検出物の位置変化によって変わる。例え
ば、図４において被検出物１１０が位置ａ→ｂ→ｃのよ
うに変化すると、ＰＳＤ１０４における反射光スポット
の形成位置は、ａ´→ｂ´→ｃ´のように変化する。こ
のＰＳＤ１０４は、長手方向における受光位置に応じた
大きさの両端電流を出力する。したがって、ＰＳＤ１０
４の両端電流を測定することにより反射光の入射角変化
を通じて被検出物１１０の位置を検出できる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
変位センサは、半導体レーザ１０１、投光レンズ１０
２、集光レンズ１０３及びＰＳＤ１０４を、被検出物の
検出面を経由する光路中に配置する必要があり、また、
投光レンズ１０２及び集光レンズ１０３として、共に組
合せレンズが用いられていたため、更に多数の部品を適
正な位置に配置しなければならず、個々の部品の光軸合
せなどの調整作業が困難になる問題があるとともに、セ
ンサの小型化及び軽量化の要請を満足できない問題もあ
った。また、基準平面からの被検出物の複数の点の距離
を同時に測定する場合には、複数の変位センサを同一平
面上に正確に配置することが困難であった。
変位センサは、半導体レーザ１０１、投光レンズ１０
２、集光レンズ１０３及びＰＳＤ１０４を、被検出物の
検出面を経由する光路中に配置する必要があり、また、
投光レンズ１０２及び集光レンズ１０３として、共に組
合せレンズが用いられていたため、更に多数の部品を適
正な位置に配置しなければならず、個々の部品の光軸合
せなどの調整作業が困難になる問題があるとともに、セ
ンサの小型化及び軽量化の要請を満足できない問題もあ
った。また、基準平面からの被検出物の複数の点の距離
を同時に測定する場合には、複数の変位センサを同一平
面上に正確に配置することが困難であった。
【０００４】この発明の目的は、発光素子、投光レン
ズ、受光レンズ及びＰＳＤの各部品の配置を容易にする
ことができるとともに、光軸合せなどの調整箇所を少な
くして部品点数の削減を図り、小型化及び軽量化を実現
できるとともに、基準平面からの複数点の距離を同時に
測定する場合であっても、複数の変位センサを容易且つ
正確に配置できる変位センサを提供することである。
ズ、受光レンズ及びＰＳＤの各部品の配置を容易にする
ことができるとともに、光軸合せなどの調整箇所を少な
くして部品点数の削減を図り、小型化及び軽量化を実現
できるとともに、基準平面からの複数点の距離を同時に
測定する場合であっても、複数の変位センサを容易且つ
正確に配置できる変位センサを提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明の光学式変位セ
ンサは、単一または複数の発光素子と、発光素子から照
射した光を被検出物に配光する投光レンズ及び被検出物
における反射光を集光する受光レンズを前記発光素子と
同数ずつ同一面に形成した単一の透明平板と、受光レン
ズを介して集光された反射光スポットの位置に応じた検
出信号を出力する前記発光素子と同数の光位置検出素子
と、光位置検出素子の検出信号を処理する信号処理回路
とを設け、前記透明平板の所定位置に前記発光素子及び
光位置検出素子を固定したことを特徴とする。
ンサは、単一または複数の発光素子と、発光素子から照
射した光を被検出物に配光する投光レンズ及び被検出物
における反射光を集光する受光レンズを前記発光素子と
同数ずつ同一面に形成した単一の透明平板と、受光レン
ズを介して集光された反射光スポットの位置に応じた検
出信号を出力する前記発光素子と同数の光位置検出素子
と、光位置検出素子の検出信号を処理する信号処理回路
とを設け、前記透明平板の所定位置に前記発光素子及び
光位置検出素子を固定したことを特徴とする。
【０００６】
【０００７】さらに、前記透明平板の透光レンズ及び受
光レンズが形成される面と同一面に、前記発光素子及び
光位置検出素子の平面方向の取付位置を示すマーカを透
光レンズ及び受光レンズと同時に形成したことを特徴と
するものである。加えて、前記投光レンズ及び受光レン
ズが、透明平板の同一表面に形成されたホログラムレン
ズであることを特徴とするものである。また、前記発光
素子、投光レンズ、受光レンズ、及び光位置検出素子は
各々少なくとも３つで構成され、それぞれ、同一直線上
に位置しないように配置したことを特徴とする。
光レンズが形成される面と同一面に、前記発光素子及び
光位置検出素子の平面方向の取付位置を示すマーカを透
光レンズ及び受光レンズと同時に形成したことを特徴と
するものである。加えて、前記投光レンズ及び受光レン
ズが、透明平板の同一表面に形成されたホログラムレン
ズであることを特徴とするものである。また、前記発光
素子、投光レンズ、受光レンズ、及び光位置検出素子は
各々少なくとも３つで構成され、それぞれ、同一直線上
に位置しないように配置したことを特徴とする。
【０００８】
【作用】この発明においては、透明平板の同一面上に投
光レンズ及び受光レンズが発光素子と同数ずつ形成され
る。したがって、投光レンズと受光レンズとの間の位置
関係、及び、各レンズの光軸の向きが一義的に決まり、
これらを調整する必要がない。
光レンズ及び受光レンズが発光素子と同数ずつ形成され
る。したがって、投光レンズと受光レンズとの間の位置
関係、及び、各レンズの光軸の向きが一義的に決まり、
これらを調整する必要がない。
【０００９】また、投光レンズ及び受光レンズを形成し
た透明平板に投光素子及び光位置検出素子が固定される
ため、先に述べたような投光レンズと受光レンズとの間
の位置関係だけでなく、さらに発光素子と光位置検出素
子との間の位置関係も一義的に決まる。そのため、透明
平板を適正な位置に配置するだけで変位センサを構成す
る全部品を適正な位置に配置することができる。
た透明平板に投光素子及び光位置検出素子が固定される
ため、先に述べたような投光レンズと受光レンズとの間
の位置関係だけでなく、さらに発光素子と光位置検出素
子との間の位置関係も一義的に決まる。そのため、透明
平板を適正な位置に配置するだけで変位センサを構成す
る全部品を適正な位置に配置することができる。
【００１０】さらに、請求項２に記載した発明において
は、透明平板に形成された投光レンズ及び受光レンズに
対する発光素子及び光位置検出素子の平面方向の適正な
取付位置を示すマーカが投光レンズ及び受光レンズと同
時に形成される。したがって、発光素子及び光位置検出
素子の取り付けに際し、透明廃盤上に形成されたマーカ
に従って発光素子及び光位置検出素子の平面方向の正確
な位置が容易に認識される。加えて、請求項３に記載し
た発明においては、透明平板の同一表面に投光レンズ及
び受光レンズとしてホログラムレンズが形成される。し
たがって、透明平板の表面に対して投光レンズ及び受光
レンズを容易に形成できる。また、請求項４に記載した
発明においては、少なくとも３つの発光素子、投光レン
ズ、受光レンズ、及び光位置検出素子が同一直線上に位
置しないように配置されるから、同一基準面（透明平板
の上面）から測定対象物上の３箇所までの距離を同時に
測ることができる。このことは、オートコリメータのよ
うな使い方を可能にする。すなわち、複数の測定点まで
の距離が等しくなるように測定対象物をセッティングす
ることにより、変位センサの基準面と測定対象物の測定
面とを並行にすることができる。
は、透明平板に形成された投光レンズ及び受光レンズに
対する発光素子及び光位置検出素子の平面方向の適正な
取付位置を示すマーカが投光レンズ及び受光レンズと同
時に形成される。したがって、発光素子及び光位置検出
素子の取り付けに際し、透明廃盤上に形成されたマーカ
に従って発光素子及び光位置検出素子の平面方向の正確
な位置が容易に認識される。加えて、請求項３に記載し
た発明においては、透明平板の同一表面に投光レンズ及
び受光レンズとしてホログラムレンズが形成される。し
たがって、透明平板の表面に対して投光レンズ及び受光
レンズを容易に形成できる。また、請求項４に記載した
発明においては、少なくとも３つの発光素子、投光レン
ズ、受光レンズ、及び光位置検出素子が同一直線上に位
置しないように配置されるから、同一基準面（透明平板
の上面）から測定対象物上の３箇所までの距離を同時に
測ることができる。このことは、オートコリメータのよ
うな使い方を可能にする。すなわち、複数の測定点まで
の距離が等しくなるように測定対象物をセッティングす
ることにより、変位センサの基準面と測定対象物の測定
面とを並行にすることができる。
【００１１】
【実施例】図１は、この発明の実施例である光学式変位
センサの構成を示す側面図及び平面図である。透明平板
５の上面には、ホログラムコリメートレンズ２及びホロ
グラム集光レンズ３が形成されている。また、透明平板
５の下面には半導体レーザ１及びＰＳＤ４が取り付けら
れている。半導体レーザ１は図外の駆動回路により駆動
され、発散光を上方に照射する。半導体レーザ１から照
射された光は透明平板５に入射し、ホログラムコリメー
トレンズ２により平行光に変換され、被検出物１０に配
光される。被検出物１０において反射した光の一部は、
ホログラム集光レンズ３により集束光に変換され、透明
平板５内に入射してＰＳＤ４の受光面上に反射光スポッ
トを形成する。ＰＳＤ４は、受光面における反射光スポ
ットの集光位置に応じた電流をその両端において出力す
る。
センサの構成を示す側面図及び平面図である。透明平板
５の上面には、ホログラムコリメートレンズ２及びホロ
グラム集光レンズ３が形成されている。また、透明平板
５の下面には半導体レーザ１及びＰＳＤ４が取り付けら
れている。半導体レーザ１は図外の駆動回路により駆動
され、発散光を上方に照射する。半導体レーザ１から照
射された光は透明平板５に入射し、ホログラムコリメー
トレンズ２により平行光に変換され、被検出物１０に配
光される。被検出物１０において反射した光の一部は、
ホログラム集光レンズ３により集束光に変換され、透明
平板５内に入射してＰＳＤ４の受光面上に反射光スポッ
トを形成する。ＰＳＤ４は、受光面における反射光スポ
ットの集光位置に応じた電流をその両端において出力す
る。
【００１２】上記の構成において被検出物１０が図１
（Ａ）に示す位置ａ→ｂ→ｃと変位すると、被検出物１
０における反射光の受光レンズ３に対する入射角が変化
し、ＰＳＤ４の受光面における反射光スポットの形成位
置もａ´→ｂ´→ｃ´のように変化する。これにともな
ってＰＳＤ４の両端電流の値が変化する。したがって、
ＰＳＤ４の両端電流を図外の信号処理回路において測定
することにより、被検出物１０までの距離を測定するこ
とができる。
（Ａ）に示す位置ａ→ｂ→ｃと変位すると、被検出物１
０における反射光の受光レンズ３に対する入射角が変化
し、ＰＳＤ４の受光面における反射光スポットの形成位
置もａ´→ｂ´→ｃ´のように変化する。これにともな
ってＰＳＤ４の両端電流の値が変化する。したがって、
ＰＳＤ４の両端電流を図外の信号処理回路において測定
することにより、被検出物１０までの距離を測定するこ
とができる。
【００１３】図２は、この発明の別の実施例に係る光学
式変位センサの平面図である。同図に示すように、透明
平板１５の上面にはそれぞれ３個のホログラムコリメー
トレンズ２及びホログラム集光レンズ３が形成されてお
り、下面にはそれぞれ３個の半導体レーザ１及びＰＳＤ
４が取り付けられている。
式変位センサの平面図である。同図に示すように、透明
平板１５の上面にはそれぞれ３個のホログラムコリメー
トレンズ２及びホログラム集光レンズ３が形成されてお
り、下面にはそれぞれ３個の半導体レーザ１及びＰＳＤ
４が取り付けられている。
【００１４】以上のように構成された変位センサを用い
ることにより、例えば透明平板１５の上面を基準面とし
て被検出物における３ヵ所との間の距離を同時に測定す
ることができる。したがって、単一の被検出物における
各測定距離が等しくなるように被検出物を水平に配置す
るオートコリメータに適用することができる。また、同
様の測定を複数の被検出物について行うことにより、こ
れら複数の被検出物を相互に平行になるように配置する
こともできる。更に、被検出物の表面形状を測定する表
面段差計にも適用することができる。
ることにより、例えば透明平板１５の上面を基準面とし
て被検出物における３ヵ所との間の距離を同時に測定す
ることができる。したがって、単一の被検出物における
各測定距離が等しくなるように被検出物を水平に配置す
るオートコリメータに適用することができる。また、同
様の測定を複数の被検出物について行うことにより、こ
れら複数の被検出物を相互に平行になるように配置する
こともできる。更に、被検出物の表面形状を測定する表
面段差計にも適用することができる。
【００１５】なお、透明平板１５に形成及び取り付ける
ホログラムコリメートレンズ２、ホログラム集光レンズ
３、半導体レーザ１及びＰＳＤ４の個数は３個に限るも
のではない。
ホログラムコリメートレンズ２、ホログラム集光レンズ
３、半導体レーザ１及びＰＳＤ４の個数は３個に限るも
のではない。
【００１６】図３は、上記光学式変位センサの作成方法
を示す図である。まず、ガラス（ＢＫ７等）または樹脂
（ＰＭＭＡ等）製の透明平板５の上面に全面に亘ってレ
ジスト材料３１塗布し（図３（Ａ））、その上面に露光
用マスク３２を載置して露光光を照射する（同図
（Ｂ））。このようにして同図（Ｃ）に示すようにレジ
スト膜３３が形成された透明平板５に対して反応性イオ
ンエッチングを施すことにより、透明平板５の上面にホ
ログラムコリメートレンズ２及びホログラム集光レンズ
３が形成される（同図（Ｄ））。この透明平板５の下面
に半導体レーザ１及びＰＳＤ４を位置合わせを行い取り
付ける（同図（Ｅ））。この位置合わせの前に、予め紫
外線硬化樹脂を塗布しておき、位置合わせ後に紫外線を
照射することにより、透明平板５の下面に半導体レーザ
１及びＰＳＤ４を接着固定する。
を示す図である。まず、ガラス（ＢＫ７等）または樹脂
（ＰＭＭＡ等）製の透明平板５の上面に全面に亘ってレ
ジスト材料３１塗布し（図３（Ａ））、その上面に露光
用マスク３２を載置して露光光を照射する（同図
（Ｂ））。このようにして同図（Ｃ）に示すようにレジ
スト膜３３が形成された透明平板５に対して反応性イオ
ンエッチングを施すことにより、透明平板５の上面にホ
ログラムコリメートレンズ２及びホログラム集光レンズ
３が形成される（同図（Ｄ））。この透明平板５の下面
に半導体レーザ１及びＰＳＤ４を位置合わせを行い取り
付ける（同図（Ｅ））。この位置合わせの前に、予め紫
外線硬化樹脂を塗布しておき、位置合わせ後に紫外線を
照射することにより、透明平板５の下面に半導体レーザ
１及びＰＳＤ４を接着固定する。
【００１７】上記露光用マスク３２において、ホログラ
ムコリメートレンズ２及びホログラム集光レンズ３のレ
ンズパターンを正確に位置決めして作成するとともに、
ＰＳＤ４の取付位置の基準となるマーカ３５を２種類の
ホログラムレンズパターンに対する正確な位置に形成す
る。これによって反応性イオンエッチングが施された透
明平板５の上面には、ホログラムコリメートレンズ２及
びホログラム集光レンズ３とともにマーカ６がホログラ
ム集光レンズ３に対する適正な位置に形成される。ＰＳ
Ｄ４を透明平板５の下面に取り付ける際には、このマー
カ６によってＰＳＤ４を取り付けるべき位置を目視確認
することができ、ＰＳＤ４を正確な位置に容易に固定で
きる。
ムコリメートレンズ２及びホログラム集光レンズ３のレ
ンズパターンを正確に位置決めして作成するとともに、
ＰＳＤ４の取付位置の基準となるマーカ３５を２種類の
ホログラムレンズパターンに対する正確な位置に形成す
る。これによって反応性イオンエッチングが施された透
明平板５の上面には、ホログラムコリメートレンズ２及
びホログラム集光レンズ３とともにマーカ６がホログラ
ム集光レンズ３に対する適正な位置に形成される。ＰＳ
Ｄ４を透明平板５の下面に取り付ける際には、このマー
カ６によってＰＳＤ４を取り付けるべき位置を目視確認
することができ、ＰＳＤ４を正確な位置に容易に固定で
きる。
【００１８】なお、本実施例では半導体レーザ１はホロ
グラムコリメートレンズ２の垂直下方に位置しているた
め、半導体レーザ１の取り付けに際してはホログラムコ
リメートレンズ２の一部をマーカとして取付位置を決定
することができる。この場合には、ホログラムコリメー
トレンズ２が半導体レーザ１の取付位置を示すマーカと
なるが、半導体レーザ１の適正な取付位置がホログラム
コリメートレンズ２の垂直下方に位置しない場合には、
上記マーカ６と同様のマーカを反応性イオンエッチング
により作成することができる。
グラムコリメートレンズ２の垂直下方に位置しているた
め、半導体レーザ１の取り付けに際してはホログラムコ
リメートレンズ２の一部をマーカとして取付位置を決定
することができる。この場合には、ホログラムコリメー
トレンズ２が半導体レーザ１の取付位置を示すマーカと
なるが、半導体レーザ１の適正な取付位置がホログラム
コリメートレンズ２の垂直下方に位置しない場合には、
上記マーカ６と同様のマーカを反応性イオンエッチング
により作成することができる。
【００１９】以上のようにして透明平板５の上面に形成
されるホログラムレンズは、入射した光線を任意の光線
に変換する機能を有するため、図４に示した従来例のよ
うに組合せレンズを用いる必要がなく、レンズの光軸に
対して大きく傾斜して入射する光も良好に集光すること
ができるため、透明平板５の同一面上に半導体レーザ１
及びＰＳＤ４を配置することができ、装置の小型化が実
現できる。また、被検出物１０からの反射光の入射角変
化をＰＳＤ４の受光面上における反射光スポットの変化
として検出する場合には、反射光スポットの変位方向に
ついてのＰＳＤ４の取付位置を正確に決定する必要があ
るが、透明平板５におけるレンズの作成時にＰＳＤ４の
取付位置を示すマーカを同時に形成することにより、Ｐ
ＳＤ４の位置決めを正確且つ容易に行うことができる。
されるホログラムレンズは、入射した光線を任意の光線
に変換する機能を有するため、図４に示した従来例のよ
うに組合せレンズを用いる必要がなく、レンズの光軸に
対して大きく傾斜して入射する光も良好に集光すること
ができるため、透明平板５の同一面上に半導体レーザ１
及びＰＳＤ４を配置することができ、装置の小型化が実
現できる。また、被検出物１０からの反射光の入射角変
化をＰＳＤ４の受光面上における反射光スポットの変化
として検出する場合には、反射光スポットの変位方向に
ついてのＰＳＤ４の取付位置を正確に決定する必要があ
るが、透明平板５におけるレンズの作成時にＰＳＤ４の
取付位置を示すマーカを同時に形成することにより、Ｐ
ＳＤ４の位置決めを正確且つ容易に行うことができる。
【００２０】
【発明の効果】この発明によれば、透明平板の同一面上
の正確な位置に投光レンズ及び受光レンズを形成するこ
とができ、投光レンズ及び受光レンズの相対的な位置関
係を調整する必要がないとともに、装置の小型化を実現
できる利点がある。
の正確な位置に投光レンズ及び受光レンズを形成するこ
とができ、投光レンズ及び受光レンズの相対的な位置関
係を調整する必要がないとともに、装置の小型化を実現
できる利点がある。
【００２１】また、透明平板の所定位置に発光素子及び
光位置検出素子を取り付けることにより、投光レンズ及
び受光レンズに対する発光素子及び光位置検出素子の相
対的な位置関係が一義的に固定されるため、これらの位
置関係を調整する必要が全くなく、変位センサの組立作
業を極めて容易にすることができる。
光位置検出素子を取り付けることにより、投光レンズ及
び受光レンズに対する発光素子及び光位置検出素子の相
対的な位置関係が一義的に固定されるため、これらの位
置関係を調整する必要が全くなく、変位センサの組立作
業を極めて容易にすることができる。
【００２２】更に、透明平板の上面に発光素子及び光位
置検出素子の取付位置を表すマーカを形成することによ
り、発光素子及び光位置検出素子を適正な位置に正確且
つ容易に取り付けることができる。加えて、透明平板の
同一表面に投光レンズ及び受光レンズとしてホログラム
レンズを形成することにより、透明平板の表面に対して
投光レンズ及び受光レンズを容易に形成できる。
置検出素子の取付位置を表すマーカを形成することによ
り、発光素子及び光位置検出素子を適正な位置に正確且
つ容易に取り付けることができる。加えて、透明平板の
同一表面に投光レンズ及び受光レンズとしてホログラム
レンズを形成することにより、透明平板の表面に対して
投光レンズ及び受光レンズを容易に形成できる。
【図１】この発明の実施例である光学式変位センサの側
面図及び平面図である。
面図及び平面図である。
【図２】この発明の別の実施例に係る光学式変位センサ
の平面図である。
の平面図である。
【図３】この発明の実施例である光学式変位センサの作
成方法を示す図である。
成方法を示す図である。
【図４】従来の光学式変位センサの構成を示す側面図で
ある。
ある。
１−半導体レーザ（発光素子） ２−ホログラムコリメートレンズ（投光レンズ） ３−ホログラム集光レンズ（受光レンズ） ４−ＰＳＤ ５−透明平板 ６−マーカ １０−被検出物
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石原 武尚 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (56)参考文献 特開 平４−52619（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−93626（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−193210（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−125823（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01C 3/06 G01B 11/00
Claims (4)
- 【請求項１】単一または複数の発光素子と、発光素子か
ら照射した光を被検出物に配光する投光レンズ及び被検
出物における反射光を集光する受光レンズを前記発光素
子と同数ずつ同一面に形成した単一の透明平板と、受光
レンズを介して集光された反射光スポットの位置に応じ
た検出信号を出力する前記発光素子と同数の光位置検出
素子と、光位置検出素子の検出信号を処理する信号処理
回路と、を設け、前記透明平板の所定位置に前記発光素
子及び光位置検出素子を固定したことを特徴とする光学
式変位センサ。 - 【請求項２】前記透明平板の透光レンズ及び受光レンズ
が形成される面と同一面に、前記発光素子及び光位置検
出素子の平面方向の取付位置を示すマーカを透光レンズ
及び受光レンズと同時に形成した請求項１に記載の光学
式変位センサ。 - 【請求項３】前記投光レンズ及び受光レンズが、透明平
板の同一表面に形成されたホログラムレンズである請求
項１または２に記載の光学式変位センサ。 - 【請求項４】前記発光素子、投光レンズ、受光レンズ、
及び光位置検出素子は各々少なくとも３つで構成され、
それぞれ、同一直線上に位置しないように配置したこと
を特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載の光学式
変位センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31961193A JP3222295B2 (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | 光学式変位センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31961193A JP3222295B2 (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | 光学式変位センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07174550A JPH07174550A (ja) | 1995-07-14 |
| JP3222295B2 true JP3222295B2 (ja) | 2001-10-22 |
Family
ID=18112215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31961193A Expired - Fee Related JP3222295B2 (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | 光学式変位センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3222295B2 (ja) |
-
1993
- 1993-12-20 JP JP31961193A patent/JP3222295B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07174550A (ja) | 1995-07-14 |
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