CN1808680A - 图像显示装置及其制造方法 - Google Patents

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井上勇一
羽鸟明
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Abstract

本发明提供一种具有配置在显示区域内的多个间隔保持部件(间隔物)的图像显示装置。为了防止所述间隔物的带电、得到长使用寿命、高亮度、高可靠性的图像显示装置，在间隔物(12)的底面(121)上配置导电膜(14)，并用接合部件(13)覆盖该导电膜(14)。

Description

图像显示装置及其制造方法
技术领域
本发明涉及利用向形成在前面基板和背面基板之间的真空发射电子的平面型的图像显示装置，特别涉及在上述两基板间的所述真空中具有多个间隔保持部件的图像显示装置。
背景技术
作为在高亮度、高清晰度方面表现优异的显示设备，以往广泛使用彩色阴极射线管。但是，随着近年来信息处理装置和电视广播的高像质化，对具有高亮度、高清晰度的特性且轻便、省空间的平面型图像显示装置(平板显示器、FPD)的需求高涨。
作为其典型例子，液晶显示装置、等离子显示装置等正被实用化。此外，作为能实现高亮度的显示装置，寻求利用从电子源向真空发射电子的自发光型显示装置、即被称为电子发射型图像显示装置或场致发射型图像显示装置的显示装置、以低耗电为特征的有机EL显示器等各种平面型图像显示装置的实用化。
在平面型图像显示装置中的自发光型平板显示器中，已知有把电子源配置成矩阵状的结构，作为其中之一，已知有利用微小、可集成的冷阴极的上述电子发射型图像显示装置。
此外，在自发光型的平板显示器中，对于该冷阴极，使用Spindt型、表面传导型、碳纳米管型、层叠了金属-绝缘体-金属的MIM(Metal-Insulator-Metal)型、层叠了金属-绝缘体-半导体的MIS(Metal-Insulator-Semiconductor)型、或者金属-绝缘体-半导体-金属型等的薄膜型电子源。
关于MIM型电子源，已知有例如专利文献1、专利文献2中所公开的结构。此外，关于金属-绝缘体-半导体型电子源，已知有非专利文献1中记载的MOS型电子源，关于金属-绝缘体-半导体-金属型电子源，已知有非专利文献2等中记载的HEED型电子源、非专利文献3等中记载的EL型电子源、非专利文献4等中记载的多孔硅(poroussilicon)型电子源。
作为电子发射型FPD，已知有由如下部分构成的显示板：具有上述那样的电子源的背面基板；具有荧光体层和阳极的前面基板，其中该阳极被施加用于使从电子源发射出的电子轰击到上述荧光体层的加速电压；作为使上述背面基板和前面基板相对、并使相对的两基板的内部空间密封为预定的真空状态的密封框的支撑体。电子发射型FPD使驱动电路组合在该显示板内进行工作。
在具有MIM型电子源的图像显示装置中，所述背面基板具有由绝缘材料构成的基板，在该基板上形成有在一个方向延伸、在与该一个方向正交的其他方向并排设置，并按上述其他方向依次施加扫描信号的多条扫描信号布线。此外，在该基板上形成有在上述其他方向延伸、在与上述扫描信号布线正交地上述一个方向上并排设置的多条图像信号布线。在扫描信号布线和图像信号布线的各交叉部附近设置所述电子源。这两种布线和电子源通过供电电极连接，对电子源提供电流。
各电子源与对应的荧光体层成对构成单位像素。通常，由红(R)、绿(G)、蓝(B)3色的单位像素构成一个像素(彩色像素、pixel)。须指出的是，当彩色像素时，单位像素称作副像素(subpixel)。
在上述那样的平面型的图像显示装置中，一般，在由背面基板和前面基板之间的上述支撑体围绕的显示区域内，固定配置多个间隔保持部件(以下称作间隔物)，与所述支撑体协作，使所述两基板间的间隔保持预定间隔。该间隔物一般由玻璃或陶瓷等绝缘材料所形成的板状体构成，通常每隔多个像素设置在不妨碍像素的动作的位置。
此外，在专利文献3中提出一种在平面型图像显示装置中，使具有半导电性的间隔物与电极接触并连接起来的结构的显示用板。
进而，在专利文献4中提出一种在平面型图像显示装置中，从壁体的侧面到底面形成溶解导电性物质的导电膜的结构。
[专利文献1]日本特开平7-65710号公报
[专利文献2]日本特开平10-153979号公报
[专利文献3]日本专利第3305166号公报
[专利文献4]美国专利第6225737号说明书
[非专利文献1]j.Vac.Sci.Techonol.B11(2)p.429-432(1993)
[非专利文献2]high-efficiency-electro-emission device，Jpn.J.Appl.Phys.，vol36，pL939
[非专利文献3]Electroluminescence，应用物理第63卷，第6号，592页
[非专利文献4]应用物理第66卷，第5号，437页
发明内容
在背景技术中，提出了在电子发射型FPD中，作为保持两基板间的间隔的部件，具有框状的支撑体、和配置在由该支撑体包围的显示区域内的多个间隔物的结构，该间隔物在显示区域内与扫描信号布线平行地配置。在这样的间隔物的配置中，从电子源发射出的电子因阳极加速电压而被加速，撞击到荧光体层使之发光，但是电子的一部分使间隔物带电，由于该带电，从电子源发射出的电子的轨道歪曲，无法使足够的电子撞击到荧光体层，存在激励不充分的问题。结果，发生亮度不足、颜色再现性差的问题。
此外，还存在如下问题：间隔物的带电引起两基板间的耐电压特性恶化，成为阻碍长使用寿命化的原因。
进而，还存在如下问题：在这种图像显示装置中，两基板间被设定成数毫米程度的狭小间隔，所以固定间隔物的接合构件的排气容易变得不充分，这成为难以维持高度真空的主要原因之一，在这点上也成为阻碍长使用寿命化的原因。
作为解决因间隔物带电而引起的问题的策略之一，在专利文献3中提出了通过使间隔物表面具有半导电性，使该半导电性膜与设置在间隔物的顶面和底面上的导电性膜电连接，来解决上述问题的结构。但是底面侧的导电性膜露出到真空区域内，该导电性膜有可能与阳极相对，作为一个电极工作，存在抑制电子发射、使电子轨道歪曲等各种问题，要求进一步的对策。
本发明通过在经由接合部件固定在低电压侧的电极(背面基板侧)上的间隔物的底面上配置导电膜，并用上述接合部件覆盖该导电膜，来解决上述课题。
根据本发明，在作为低电压侧的背面基板侧的间隔物底面上配置导电膜，从而能谋求防止间隔物带电，此外能提高排气效率，而且排出的气体难以再吸附在板内，能确保高度真空。进而，导电膜由接合部件覆盖，不露出到显示区域内，从而能阻止与高压侧的短路，能促进气体排出，提高排气效率，实现长使用寿命化。还能防止火花的产生，谋求耐电压特性的提高。于是，能得到长使用寿命、高亮度、高可靠性的图像显示装置。
根据本发明，通过具备薄膜电子源，电子束收敛性优异，此外能解决电子源的表面污染的问题，能得到电子发射特性优异，且长使用寿命、高可靠性的图像显示装置。
根据本发明，间隔物与扫描信号布线重叠，并与扫描信号布线在同一方向延伸地配置，从而能防止电子源、图像信号布线等电极类的损伤。
根据本发明，接合部件具有导电性，从而能得到防止间隔物带电、耐电压特性优异的图像显示装置。
根据本发明，通过在接近低电压侧的背面基板的位置配置上述导电膜，能确保两基板间所希望的导通，能防止间隔物带电，提高排气效果，且排出的气体难以再吸附在板内，能确保高度真空，能得到使用寿命长、高亮度、高可靠性的图像显示装置。
根据本发明，通过在间隔物底面的一部分配置导电膜，能够在具备上述发明效果之外，还具有廉价的优点。
根据本发明，导电膜具有1～100Ω的电阻值，由此，能够与间隔物的有无无关地使布线电阻值大致均匀，能抑制布线电阻值的差所引起的特性的变动。
根据本发明，导电膜由铝构成，从而性质稳定，容易处理，并且廉价。
根据本发明，间隔物具有108～109Ω·cm的电阻值，从而谋求确保两基板间的耐电压特性。
根据本发明，间隔物由陶瓷材料构成，并且其全长小于等于200mm，间隔物的处理变得容易，也能确保机械强度。
根据本发明，接合部件包含玻璃料(frit glass)，从而气体排出量比其它接合材料少，并且容易进行温度管理。
根据本发明，在间隔物的顶面(与前面基板相对的部分)配置比上述导电膜的导电性低的薄膜层，两基板间的电位分布变得平滑，能确保所希望的电子轨道。
根据本发明，在排气时局部加热间隔物的底面(与背面基板相对的部分)，由此能提高气体排出效果，并且能防止排出的气体的再吸附，能确保高度真空，能得到使用寿命长、高亮度、高可靠性的图像显示装置。
附图说明
下面简要说明附图。
图1A和图1B是用于说明本发明的图像显示装置的一个实施例的图，图1A是从前面基板侧观察的平面图，图1B是从图1A的A方向观察的侧视图。
图2是去掉图1的前面基板后表示的背面基板的示意平面图。
图3是沿着图2的B-B线的背面基板以及与它对应的前面基板的示意剖视图。
图4是图3的要部放大示意剖视图。
图5是本发明的图像显示装置中使用的间隔物的一个例子的立体图。
图6是表示本发明的图像显示装置的其他实施例的、与图4相同式样的示意剖视图。
图7是本发明的图像显示装置中使用的间隔物的其他例子的立体图。
图8是表示本发明的图像显示装置的其他实施例的、与图4相同式样的示意剖视图。
图9是用于说明本发明的图像显示装置的制造方法的一个例子的工序图。
具体实施方式
下面，说明本发明的实施例。
[实施例1]
图1A～图4是用于说明本发明的图像显示装置的一个实施例的图，图1A是从前面基板侧观察的平面图，图1B是从图1A的A方向观察的侧视图，图2是去掉图1的前面基板后表示的背面基板的示意平面图，图3是沿着图2的B-B线的背面基板以及与背面基板对应的部分的前面基板的示意剖视图，图4是把图3的要部放大进行表示的示意剖视图。
在该图1A～图4中，参照标号1是背面基板，2是前面基板，这两个基板1、2由厚度为数毫米、例如3mm左右的玻璃板构成。3是支撑体，该支撑体3由厚度数毫米、例如3mm左右的玻璃板或玻璃料的烧结体构成。4是排气管，该排气管4固定在所述背面基板1上。所述支撑体3围绕所述两基板1、2的周围部地插在该两基板之间，两基板1、2通过玻璃料那样的密封部件5密封。
由支撑体3、两基板1、2以及密封部件5包围的空间，通过所述排气管4排气，并保持例如10-3～10-5Pa的真空度，构成显示区域6。此外，所述排气管4如上所述被安装在所述背面基板1的外表面，与贯穿该背面基板1地设置的通孔7连通，在排气结束后，所述排气管4被密封。8是图像信号布线，该图像信号布线8在背面基板1的内表面沿Y方向延伸、沿X方向并排设置。9是扫描信号布线，该扫描信号布线9在所述图像信号布线8上方，沿与它交叉的X方向延伸、沿Y方向并排设置。10是电子源，该电子源10设置在所述扫描信号布线9和图像信号布线8的各交叉部附近，扫描信号布线9和电子源10由连接电极11连接。此外，在所述图像信号布线8和所述扫描信号布线9之间配置有层间绝缘膜FTR。
这里，上述图像信号布线8例如使用Al/Nd膜，扫描信号布线9例如使用Ir/Pt/Au膜等。
参照标号12是间隔物，该间隔物12由陶瓷材料构成，整形为长方形的薄板形状，在本实施例中，竖直配置在扫描信号布线9上方，每隔一条扫描信号布线9配置一个，并用接合部件13与两基板1、2固定。该间隔物12通常每隔多个像素地设置在不妨碍像素的动作的位置。
该间隔物12的尺寸根据基板尺寸、支撑体3的高度、基板材料、间隔物的配置间隔、间隔物材料等设定，但一般来说高度是与所述支撑体3大致相同的尺寸，厚度是数十微米～数毫米以下，长度是20mm～200mm左右，优选的是80mm～120mm左右，成为实用的值。
此外，该间隔物12具有108～109Ω·cm左右的电阻值。
所述接合部件13具有导电性，由例如含有接合用玻璃料或玻璃化成分、和例如银的导电性接合材料构成，所述间隔物12与两基板1、2固定接合。该接合部件13的厚度虽然也取决于其组成，但从确保接合固定的观点出发，其厚度设定为至少十几微米，希望设定为20～40μm左右的厚度。
此外，参照标号14是由铝膜构成的导电膜，该导电膜14如图5中所表示的其一例那样，遍及所述间隔物12的底面121的全长地设定在整个面上，该导电膜14与所述扫描信号布线9相对配置，成为容易从高电压侧的前面基板2向低电压侧的背面基板1侧形成放电电路的结构。
并且，该导电膜14由所述接合部件13覆盖，成为在显示区域6内从高电压侧遮掩导电膜14的结构配置。
该导电膜14通过例如蒸镀或印刷等方法形成，具有1～100Ω左右的电阻值。作为构成材料，从处理的容易程度、廉价的观点出发，推荐使用上述铝，但同样也能够使用例如铬(Cr)、金(Au)、银(Ag)、白金(Pt)等。
这里，图5是本发明的图像显示装置中使用的间隔物的一个例子的立体图，对于与前面说明过的图相同的部分标注相同标号。
此外，所述间隔物12的顶面122侧是不具有所述导电膜14的结构，通过所述接合部件13固定在将在后面描述的前面基板2的阳极上。
在该前面基板2的内表面，红色、绿色、蓝色用的荧光体层15由遮光用的BM(黑矩阵)膜16划分配置，并覆盖它们，用例如蒸镀方法设置由金属薄膜构成的背金(阳极电极)17，形成荧光面。
关于这些荧光体，例如作为红色，可以使用Y2O2S:Eu(P22-R)，作为绿色，可以使用ZnS:Cu、Al(P22-G)，作为蓝色，可以使用ZnS:Ag，Cl(P22-B)。
在该荧光面结构中，使从所述电子源10发射的电子加速，撞击到对应的构成像素的荧光体层15。据此，该荧光体层15以预定颜色的光发光，与其它像素的荧光体的发光颜色混合，构成预定颜色的彩色像素。
此外，阳极电极17是表示为面电极的，但也可以是与扫描信号布线9交叉，按每一像素列分割的条(stripe)状电极。
在本实施例中，荧光体层15以BM膜16的开口部161为大致中心，延伸到其外侧的BM膜上地配置。该荧光体层15在X、Y两方向上都由BM膜16隔离，所述各荧光体层15配置为点状。这里，所述荧光体层15的尺寸也可以采用三色间不同的结构。
如果是该实施例1的结构，则通过设置在间隔物12的低电压侧的导电膜14，能从高电压侧到低电压侧形成放电电路，能减少间隔物12的带电，确保电子轨道，使足够用于激励的电子撞击到荧光体层15，结果，能实现亮度提高和颜色再现性优异的图像显示装置。
而且，通过采用由接合部件13覆盖所述导电膜14的结构，能阻止与高电压侧的不需要的短路。进而，能防止火花的产生，能提高耐电压特性。
此外，通过防止间隔物12的带电，能提高两基板1、2间的耐电压特性，能实现长使用寿命。
另外，即使存在间隔物12和扫描信号布线9部分没有电连接的地方，通过配置导电膜14，该间隔物12和扫描信号布线9的导通稳定，能够从间隔物12的高电压侧到低电压侧构成通电电路。而且，在对由两基板1、2和支撑体3所包围的空间排气的步骤中，通过对阳极电极17和扫描信号布线9之间施加预定时间的电压，经由导电性的接合部件13与扫描信号布线9电连接的导电膜14附近局部地变为自加热状态，能提高该导电膜附近的气体排出效果，并且促进排气过程中的气体放出，提高排气效率。此外，因为是排气过程中的气体放出，所以能阻止放出的气体的再吸附，确保高度真空，实现长使用寿命化。
[实施例2]
图6是表示本发明的图像显示装置的其他实施例的、与图4相同式样的示意剖视图，对于与之前描述过的图相同的部分，标注相同的标号。
在图6中，间隔物12在背面基板1侧的底面121具备导电膜24的结构与前面描述的实施例相同，但是在该实施例2中，采用所述导电膜24连续延伸到间隔物12的侧壁123地配置的结构。
当然，在该实施例2中，导电膜24也被接合部件13覆盖，是不露出到显示区域6内的结构。
如果是该实施例2的结构，则与所述实施例1相比，进一步扩大了导电膜24的覆盖面积，从而能取得与实施例1同等以上的优异的作用效果。
此外，对于导电膜24的形成，也可以利用浸渍方法，该方法廉价，且有利于批量生产。当然，也可以利用蒸镀、印刷方法。
[实施例3]
图7是本发明的图像显示装置中使用的间隔物的其他例子的立体图，对于与前面描述的图相同的部分标注相同标号。
在图7中，间隔物12是只在底面121的全长的大致中央部的一部分具有导电膜34的结构。
另外，用单点划线表示的结构是在间隔物12的底面121的宽度的一部分上具有导电膜44的结构。
如果是该实施例3的结构，则具有与所述实施例1、2大致相同的作用效果，而且廉价。
图8是表示本发明的图像显示装置的其他实施例的、与图4相同式样的示意剖视图，对于与前面描述的图相同的部分标注相同标号。
在图8中，间隔物12在背面基板1侧的底面121上具备导电膜14的结构与前面描述的实施例相同，但在该实施例4中，是在前面基板2侧的顶面122配置薄膜层54的结构。
该薄膜层54具有比底面侧的导电膜14的导电性低的特性，可以使用例如绝缘膜。
当然，在该实施例4中，也是导电膜14被接合部件13覆盖，不露出到显示区域6内的结构。
如果是该实施例4的结构，则具有与所述实施例1～3大致相同的作用效果，并且具有使电位梯度平滑的效果。
[实施例5]
下面说明本发明的图像显示装置的制造方法。图9是用于说明本发明的图像显示装置的制造方法的工序图，对于与上述图1A～图8相同的部分标注相同的参照标号。在图9中，前面基板2是在基板用玻璃2a上设置了由BM膜16、荧光体图案15及背金(阳极)17构成的荧光面的结构。在荧光体层15的形成步骤和背金膜17的形成步骤之间，具有形成用于使该背金膜17平滑的基底膜17a的步骤。这是用于减轻荧光体层15的凹凸所引起的对背金17的不良影响的制造步骤，虽然该基底膜17a本身在之后的加热步骤中会消失，但也是产生残留气体的原因。在本结构的前面基板2上，把混合了非晶体玻璃料和预定的粘合剂的密封部件5、以及固定间隔物12的顶面122的例如混合了玻璃料和预定的粘合剂的接合构件13，分别涂敷形成为预定的图案，作为前面基板临时组装体FTA。
这里，也可以是上述密封构件5不形成在基板上，而是全部设置在支撑体3侧。在能使上述粘合剂中所包含的溶剂消失的150℃左右的温度下将该前面基板临时组装体FTA干燥(P-a)后，用夹具(未图示)等把接合部件13和间隔物12定位，并在大气中以例如450℃加热10分钟，使所述间隔物12的顶面122通过接合部件13固定在前面基板2上，形成前面基板临时组装体FPA。
另一方面，在背面基板1侧，首先在背面基板用玻璃1a上形成在一个方向、例如Y方向延伸，并在与该一个方向交叉的另一方向、例如X方向并排设置的多条图像信号布线8，和在上述另一方向、例如X方向延伸，并在与该另一方向交叉的上述一个方向、例如Y方向并排设置的多条扫描信号布线9，以及电子源10等之后，分别把与预定的粘合剂混合后的所述接合部件13以及密封部件5涂敷形成为预定图案，作为背面基板临时组装体BTA。
这里，关于上述接合部件13，可以在所述背面基板1侧和所述前面基板2侧使用不同的接合构件。在能使上述粘合剂中所包含的溶剂消失的150℃左右温度下，将该背面基板临时组装体BTA干燥(P-b)，形成背面基板组装体BPA。
另一方面，在支撑体3的上下两端面分别涂敷上述密封部件5，在使上述粘合剂中所包含的溶剂消失的150℃左右的温度下将其干燥(P-c)，成为支撑体组装体SPA。
接着，将使间隔物12的顶面122固定在前面基板2上的前面基板组装体FPA、背面基板组装体BPA和支撑体组装体SPA三者在Z方向上重叠，作为板临时组装体PSA，一边在Z方向上对其加压，一边在例如430℃下加热10分钟(P-d)，用密封部件5把两基板1、2和支撑体3气密密封(P-e)。在该气密密封的同时，通过导电膜14以及接合构件13把所述间隔物12的底面121固定在背面基板2上。
接着，通过排气管4把由两基板1、2和支撑体3包围的作为显示区域6的空间排气烘焙(P-f)。该排气烘焙例如是在真空炉内配置板临时组装体PSA，并在最高温度比所述密封部件5和接合部件13的软化温度低的例如380℃下进行数小时的步骤。此外，在不具有排气管的情况下，也可以与上述气密密封同时进行所述排气烘焙步骤。
在该排气烘焙过程中，在两基板1、2间(阳极17和扫描信号布线9之间)施加与动作电压大致相同的电压。关于该排气步骤中的电压施加，如果在烘焙温度下降过程中的100℃以上进行，则因间隔物12的导电膜14附近的局部加热而引起的气体排出效率高。如果考虑到排气设备的低成本化，则排气步骤中的施加电压时的气氛温度最好是100℃～150℃的范围。
此外，当采用上述实施例4所示的在间隔物12的前面基板2侧的顶面122上形成了具有导电性的薄膜层54的结构时，通过上述排气步骤中的电压施加，上述薄膜层54附件也被局部加热，不仅是前面基板2侧的接合部件13引起的气体，从上述背金膜17的基底膜17a产生的残留气体也被高效地排出。
然后，在设置有排气管的结构中，在排气结束后拆离(tip-off)排气管，进而经过老化(aging)(P-g)等预定处理，制造图像显示装置的板组装体PA。
根据这样的制造方法，间隔物的导电膜附近被局部加热，该附近的气体排出效率提高，且能防止被排出的气体的再吸附，所以能获得高度真空，实现长使用寿命。

Claims (15)

1.一种图像显示装置，包括：在内表面具有荧光体层和阳极电极的前面基板；
在内表面具有电子源的背面基板，以预定间隔与上述前面基板相对；
支撑体，在所述前面基板和背面基板之间围绕显示区域地设置，保持所述预定间隔；
配置在所述前面基板和背面基板之间的所述显示区域内的多个间隔保持部件；
接合部件，分别接合上述间隔保持部件的端面和所述前面基板以及所述背面基板；
密封部件，分别气密密封所述支撑体的端面和所述前面基板以及背面基板；
该图像显示装置的特征在于：
所述间隔保持部件在所述背面基板侧具有导电膜，且该导电膜由所述接合部件覆盖。
2.根据权利要求1所述的图像显示装置，其特征在于：
所述背面基板具有：沿一个方向延伸、沿与该一个方向正交的其他方向并排设置，且在所述其他方向上依次施加扫描信号的多条扫描信号布线；沿上述其他方向延伸、沿与上述扫描信号布线交叉的上述一个方向并排设置的多条图像信号布线；设置在所述扫描信号布线和所述图像信号布线的各交叉部附近的电子源；连接该电子源和上述扫描信号布线的供电电极。
3.根据权利要求2所述的图像显示装置，其特征在于：
上述间隔保持部件与上述扫描信号布线重叠，且在与该扫描信号布线相同的方向上延伸配置。
4.根据权利要求1所述的图像显示装置，其特征在于：
上述接合部件具有导电性。
5.根据权利要求1所述的图像显示装置，其特征在于：
上述导电膜配置在上述间隔保持部件的与上述背面基板相对的底面上。
6.根据权利要求5所述的图像显示装置，其特征在于：
上述导电膜从上述底面一直配置到侧面。
7.根据权利要求5所述的图像显示装置，其特征在于：
上述导电膜配置在上述底面的一部分上。
8.根据权利要求1所述的图像显示装置，其特征在于：
上述导电膜具有1～100Ω的电阻值。
9.根据权利要求1所述的图像显示装置，其特征在于：
上述导电膜由铝构成。
10.根据权利要求1所述的图像显示装置，其特征在于：
上述间隔保持部件具有108～109Ω·cm的电阻值。
11.根据权利要求1所述的图像显示装置，其特征在于：
上述间隔保持部件由陶瓷材料构成，且全长小于等于200mm。
12.根据权利要求1所述的图像显示装置，其特征在于：
上述接合部件包含玻璃料。
13.根据权利要求1所述的图像显示装置，其特征在于：
在上述间隔保持部件的与上述前面基板相对的顶面，配置有比上述导电膜的导电性低的薄膜层。
14.一种图像显示装置的制造方法，该图像显示装置包括：在内表面具有荧光体层和阳极电极的前面基板；
在内表面具有电子源的背面基板，以预定间隔与上述前面基板相对；
支撑体，在所述前面基板和背面基板之间围绕显示区域地设置，保持所述预定间隔；
配置在所述前面基板和背面基板之间的所述显示区域内的多个间隔保持部件；
接合构件，分别接合上述间隔保持部件的端面和所述前面基板以及所述背面基板；
密封构件，分别气密密封所述支撑体的端面和所述前面基板以及背面基板；
并使上述显示区域保持真空；
该制造方法的特征在于：
在对上述显示区域排气时，局部加热所述间隔保持部件的与所述背面基板相对的部分。
15.根据权利要求14所述的图像显示装置的制造方法，其特征在于：
所述局部加热，是基于配置在上述间隔保持部件的上述背面基板侧的导电膜的自加热而进行的。
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