CN1776013A - 一种五氧化二钒薄膜的制备方法-超声喷雾法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种五氧化二钒薄膜超声喷雾制备法,包括以下步骤:(1)依次用丙酮、甲醇、去离子水超声清洗衬底,烘干,备用;(2)取偏钒酸铵粉末溶解在浓度为1wt%~25wt%的氨水溶液中,配制成偏钒酸铵氨水溶液,静置,过滤;(3)以超声雾化器将偏钒酸铵溶液雾化成雾状颗粒,由载气将雾粒喷镀在150℃~650℃的热衬底上,沉积时间10秒~30分钟,雾化率1毫升/分钟~20毫升/分钟,气体流速0.05米3/小时~2米3/小时,超声波频率为1.3~2.5兆赫兹。使用本发明制备五氧化二钒薄膜,原料来源丰富,价格低廉,衬底可选范围广,操作简单;所制薄膜可广泛应用于电变色器件、防伪材料、光学开关、催化剂行业和高容量锂电池阴极材料等领域。
Description
技术领域
本发明涉及一种五氧化二钒薄膜的制备方法,尤其是涉及一种采用超声喷雾法制备五氧化二钒薄膜的方法。
背景技术
五氧化二钒薄膜广泛应用于电变色器件、防伪材料、光学开关和高容量锂电池阴极材料等领域。目前五氧化二钒薄膜的制备方法主要有:磁控溅射、热蒸发、真空沉积、脉冲激光沉积和溶胶-凝胶法等。前几种制备方法需要高真空,大型设备,生产成本较高。后一种方法工艺较复杂,且容易在薄膜中引入其他化学物质。
发明内容
本发明的目的在于提供一种原料来源丰富,价格低廉,设备及工艺操作简单,工艺参数容易控制,且成膜质量高,衬底可选范围广的五氧化二钒薄膜制备方法。
本发明的目的是通过以下技术方案实现的,其包括以下步骤:(1)衬底处理依次用丙酮、甲醇、去离子水超声清洗,烘干,备用;(2)偏钒酸铵溶液配制取偏钒酸铵粉末溶解在氨水溶液中(氨水浓度为1wt%~25wt%),配制偏钒酸铵的氨水溶液(可以为饱和溶液,也可以为非饱和溶液),静置,过滤;(3)超声雾化喷镀沉积以超声雾化器,将偏钒酸铵溶液雾化成微米级雾状颗粒,由载气(可为空气或氧气)将雾粒喷镀在热衬底上;所用超声波频率在1.3~2.5兆赫兹之间(优选1.6兆赫兹-2.0兆赫兹);衬底温度150℃~650℃(优选250℃~550℃),沉积时间10秒~30分钟(当偏钒酸铵氨水溶液为饱和溶液时,沉积时间可以较短;当为非饱和溶液时,沉积时间应当长一些),雾化率1毫升/分钟~20毫升/分钟(优选5毫升/分钟~10毫升/分钟),气体流速0.05米3/小时~2米3/小时(优选0.5米3/小时~1米3/小时)。
偏钒酸铵溶液用超声波雾化为微米级颗粒,以载气(空气或氧气)携带喷镀在热衬底上,经热分解而形成五氧化二钒薄膜。超声喷雾法是一种物理化学综合方法,是超声雾化技术与喷镀热解法结合而成的一种方法。利用超声波的高能分散特性,当压电陶瓷换能器晶片以一定的频率振动时,在晶片中心附近的溶液上方激起类似于喷泉的水柱,同时,由于超声频率的振动在水柱表面产生空化作用,使得溶液被雾化成大量悬浮微米级微粒。溶液雾化后再由载气携带至热衬底表面,热解形成新的化合物。
原料偏钒酸铵(NH4VO3)宜用分析纯的,为山色或略带淡黄色结晶粉末,微溶于冷水、溶于热水及稀氢氧化铵中,其水溶液很快变黄。在真空中加热到135℃开始分解,超过210℃时分解形成钒的低价氧化物(V2O4及V2O5)。在空气中灼烧变成五氧化二钒(V2O5)。偏钒酸铵常用作催化剂和媒染剂等,也可以用以制取五氧化二钒。
衬底可选取玻璃,硅片,二氧化钛薄膜,二氧化锡薄膜,金属,陶瓷等。衬底可使用电炉加热,热电偶测量温度,以智能温控仪控制衬底温度。
影响五氧化二钒薄膜成膜质量及厚度的主要因素为雾化量大小,载气流量,衬底温度,喷嘴离衬底的距离,喷镀时间。
本发明具有以下突出特点:原料来源丰富,价格低廉,衬底可选范围广泛;制备工艺操作简单,工艺参数容易控制;所制备的五氧化二钒薄膜成膜质量高,特别在硅衬底上所制备的薄膜表面呈松子球状结构,表面层状皱褶结构丰富,比表面积大,非常适用于催化剂行业及高容量锂电池电极材料;可制备大面积薄膜,适用于规模化流水线生产。
附图说明
图1为实施例1条件下制备的五氧化二钒薄膜的X射线衍射图谱;
图2、3、4、5分别为实施例1、2、3、4条件下制备的五氧化二钒薄膜的扫描电镜图。
具体实施方式
下面通过实施例,对本发明作进一步说明,但不得解释为对本发明所要求保护范围的限制。
实施例1
(1)选择玻璃作衬底,依次用丙酮、甲醇、去离子水超声清洗,烘干,备用;(2)取过量的偏钒酸铵粉末,溶于100毫升浓度为25wt%的氨水中,充分搅拌,静置24小时,过滤,配置成25℃偏钒酸铵的饱和氨水溶液;(3)将衬底加热至350℃,调节超声雾化器喷嘴至衬底表面距离为4厘米,雾化率为1毫升/分钟,超声波频率为1.3兆赫兹,气体流量为0.05米3/小时,沉积时间控制为6分钟,即制得V2O5薄膜。图1所示为X射线衍射,表明该方法制备的V2O5薄膜为斜方晶系结构,图2所示为其扫描电镜表面形貌图。
实施例2
选择镀SnO2薄膜的玻璃作衬底,清洗方法同实施例1;取过量的偏钒酸铵粉末,溶于100毫升浓度为20wt%的氨水中,充分搅拌,静置24小时,过滤,配置成25℃偏钒酸铵的饱和氨水溶液;将衬底温度控制在450℃,调节超声雾化器喷嘴至衬底表面距离为5厘米,雾化率为4毫升/分钟,超声波频率为1.5兆赫兹,气体流量为0.2米3/小时,沉积时间控制为10分钟。该实施例所制V2O5薄膜为斜方晶系结构,图3所示为其扫描电镜表面形貌图。
实施例3
选择硅片作衬底,清洗方法同实施例1;称取偏钒酸铵粉末0.5克,溶解在100毫升浓度为10wt%的氨水中,充分搅拌溶解,静置20小时,过滤;衬底温度控制在550℃,调节超声雾化器喷嘴至衬底表面距离为2厘米,雾化率为8毫升/分钟,超声波频率为1.6兆赫兹,气体流量为0.5米3/小时,沉积时间控制为10秒。本实施例所制V2O5薄膜为斜方晶系结构,图4所示为其扫描电镜表面形貌图,表面呈松子球状结构,表面层状皱褶结构丰富,比表面积大,非常适用于催化剂行业及用作高容量锂电池电极材料。
实施例4
选择镀TiO2薄膜的玻璃作衬底,清洗方法同实施例1;称取偏钒酸铵粉末0.8克,溶解在100毫升浓度为5%的氨水中,充分搅拌溶解,静置24小时,过滤;衬底温度控制在600℃,调节超声雾化器喷嘴至衬底表面距离为8厘米,雾化率为10毫升/分钟,超声波频率为1.8兆赫兹,气体流量为1.0米3/小时,沉积时间控制为1分钟。该实施例所制V2O5薄膜斜方晶系结构,图5所示为V2O5薄膜的扫描电镜表面形貌图。
实施例5
选择铝片作衬底,清洗方法同实施例1;称取偏钒酸铵粉末1.0克,溶解在100毫升浓度为2%的氨水中,充分搅拌溶解,静置24小时,过滤。选择镀铝片作衬底,衬底温度控制在200℃,调节超声雾化器喷嘴至衬底表面距离为10厘米,雾化率为12毫升/分钟,超声波频率为2兆赫兹,气体流量为1.5米3/小时,沉积时间控制为20分钟。
实施例6
选择陶瓷片作衬底,清洗方法同实施例1;称取偏钒酸铵粉末2克,溶解在100毫升浓度为1%的氨水中,充分搅拌溶解,静置24小时,过滤。衬底温度控制在150℃,调节超声雾化器喷嘴至衬底表面距离为6厘米,雾化率为20毫升/分钟,超声波频率为2.5兆赫兹,气体流量为2米3/小时,沉积时间控制为30分钟。
Claims (10)
1、一种五氧化二钒薄膜超声喷雾制备法,其特征在于,包括以下步骤:(1)衬底处理依次用丙酮、甲醇、去离子水超声清洗,烘干,备用;(2)偏钒酸铵溶液配制 取偏钒酸铵粉末溶解在浓度为1wt%~25wt%的氨水溶液中,配制成偏钒酸铵的氨水溶液,静置,过滤;(3)超声雾化喷镀沉积 以超声雾化器将偏钒酸铵溶液雾化成雾状颗粒,由载气将雾粒喷镀在150℃~650℃的热衬底上,沉积时间10秒~30分钟,喷嘴离衬底的距离1厘米~10厘米,雾化率1毫升/分钟~20毫升/分钟,气体流速0.05米3/小时~2米3/小时,超声雾化所用超声波频率为1.3兆赫兹~2.5兆赫兹。
2、根据权利要求1所述五氧化二钒薄膜超声喷雾制备法,其特征在于,所述热衬底温度为250℃~550℃。
3、根据权利要求1或2所述的五氧化二钒薄膜超声喷雾制备法,其特征在于,所述雾化率5毫升/分钟~15毫升/分钟。
4、根据权利要求1或2所述的五氧化二钒薄膜超声喷雾制备法,其特征在于,所述气体流速0.5米3/小时~1.0米3/小时。
5、根据权利要求1或2所述的五氧化二钒薄膜超声喷雾制备法,其特征在于,所述喷嘴离衬底的距离为1厘米~10厘米。
6、根据权利要求1或2所述的五氧化二钒薄膜超声喷雾制备法,其特征在于,所述偏钒酸铵溶液浓度为饱和浓度和非饱和浓度。
7、根据权利要求1或2所述的五氧化二钒薄膜超声喷雾制备法,其特征在于,所述载气为空气或纯氧气。
8、根据权利要求1或2所述的五氧化二钒薄膜超声喷雾制备法,其特征在于,所述衬底为玻璃,硅片,二氧化钛薄膜,二氧化锡薄膜,金属片,陶瓷片。
9、根据权利要求1或2所述的五氧化二钒薄膜超声喷雾制备法,其特征在于,所述超声雾化所用超声波频率为1.6兆赫兹~2.0兆赫兹。
10、根据权利要求3所述的五氧化二钒薄膜超声喷雾制备法,其特征在于,所述超声雾化所用超声波频率为1.6兆赫兹~2.0兆赫兹。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNB2005100324321A CN100346000C (zh) | 2005-11-25 | 2005-11-25 | 一种五氧化二钒薄膜的制备方法——超声喷雾法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNB2005100324321A CN100346000C (zh) | 2005-11-25 | 2005-11-25 | 一种五氧化二钒薄膜的制备方法——超声喷雾法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1776013A true CN1776013A (zh) | 2006-05-24 |
CN100346000C CN100346000C (zh) | 2007-10-31 |
Family
ID=36765724
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNB2005100324321A Expired - Fee Related CN100346000C (zh) | 2005-11-25 | 2005-11-25 | 一种五氧化二钒薄膜的制备方法——超声喷雾法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN100346000C (zh) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102299383A (zh) * | 2011-07-20 | 2011-12-28 | 宁波大学 | 一种全固态薄膜锂电池的喷雾热解制备方法 |
CN102456928A (zh) * | 2011-07-20 | 2012-05-16 | 宁波大学 | 一种双层薄膜全固态薄膜锂电池喷雾热解电池制造方法 |
CN105206426A (zh) * | 2015-09-08 | 2015-12-30 | 南方科技大学 | 一种驻极体薄膜制备方法及驻极体薄膜 |
CN107698171A (zh) * | 2017-08-31 | 2018-02-16 | 浙江大学 | 一种TiN镀膜玻璃的制备方法 |
CN109752431A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-05-14 | 海南大学 | 一种利用喷雾干燥法制备微电极的方法 |
CN109881198A (zh) * | 2019-04-10 | 2019-06-14 | 浙江大学 | 二氧化锡/五氧化二钒核壳结构的多色电致变色薄膜的制备方法 |
CN112233910A (zh) * | 2020-10-19 | 2021-01-15 | 成都先进金属材料产业技术研究院有限公司 | 纳米二氧化钒/天然多孔碳电极材料的制备方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102212808B (zh) * | 2011-04-26 | 2012-10-03 | 哈尔滨工业大学 | 一种表面光滑的五氧化二钒薄膜的制备方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59203712A (ja) * | 1983-05-06 | 1984-11-17 | Res Dev Corp Of Japan | 鉄−テルル系非晶質化合物材料及びその製造法 |
CN1195097C (zh) * | 2002-07-13 | 2005-03-30 | 华中科技大学 | 一种制备氧化钒薄膜的方法 |
CN1225318C (zh) * | 2003-03-04 | 2005-11-02 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 氧化钒薄膜材料的制备方法 |
-
2005
- 2005-11-25 CN CNB2005100324321A patent/CN100346000C/zh not_active Expired - Fee Related
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CN102299383A (zh) * | 2011-07-20 | 2011-12-28 | 宁波大学 | 一种全固态薄膜锂电池的喷雾热解制备方法 |
CN102456928A (zh) * | 2011-07-20 | 2012-05-16 | 宁波大学 | 一种双层薄膜全固态薄膜锂电池喷雾热解电池制造方法 |
CN102456928B (zh) * | 2011-07-20 | 2014-10-08 | 宁波大学 | 一种双层薄膜全固态薄膜锂电池喷雾热解电池制造方法 |
CN105206426A (zh) * | 2015-09-08 | 2015-12-30 | 南方科技大学 | 一种驻极体薄膜制备方法及驻极体薄膜 |
CN105206426B (zh) * | 2015-09-08 | 2017-12-15 | 南方科技大学 | 一种驻极体薄膜制备方法及驻极体薄膜 |
CN107698171A (zh) * | 2017-08-31 | 2018-02-16 | 浙江大学 | 一种TiN镀膜玻璃的制备方法 |
CN109752431A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-05-14 | 海南大学 | 一种利用喷雾干燥法制备微电极的方法 |
CN109752431B (zh) * | 2018-12-29 | 2021-07-30 | 海南大学 | 一种利用喷雾干燥法制备微电极的方法 |
CN109881198A (zh) * | 2019-04-10 | 2019-06-14 | 浙江大学 | 二氧化锡/五氧化二钒核壳结构的多色电致变色薄膜的制备方法 |
CN109881198B (zh) * | 2019-04-10 | 2020-04-17 | 浙江大学 | 二氧化锡/五氧化二钒核壳结构的多色电致变色薄膜的制备方法 |
CN112233910A (zh) * | 2020-10-19 | 2021-01-15 | 成都先进金属材料产业技术研究院有限公司 | 纳米二氧化钒/天然多孔碳电极材料的制备方法 |
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Publication number | Publication date |
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CN100346000C (zh) | 2007-10-31 |
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